MPSMU/HRSMU

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MPSMU: 中電力ソース/モニタ・ユニット HRSMU: 高分解能ソース/モニタ・ユニット

• 電圧レンジ、分解能、確度

高分解能ADCのデータはTable 4-1、高速ADCのデータはTable 4-3を 参照のこと。

• 電流レンジ、分解能、確度

高分解能ADCのデータはTable 4-2、高速ADCのデータはTable 4-4を 参照のこと。

測定分解能の限界値は測定可能なノイズの限界値により制限されます。

6 桁の表示機能で、最小表示分解能は1 aA(1 pA レンジ)です。

低いレンジでの測定は、振動や衝撃の影響を強く受けます。測定時には 振動や衝撃を与えないでください。

• 消費電力

電圧出力時

電流出力時

電圧レンジ (V) 消費電力 a (W)

a. Icは電流コンプライアンス

0.5 Ic  20

2 Ic  20

5 Ic  20

20 Ic  20

40 Ic  40

100 Ic  100

電圧コンプライアンス a (V)

a. Vcは電圧コンプライアンス

消費電力 b (W)

b. Ioは出力電流

Vc  20 V Io  20 W

20 V < Vc  40 V Io  40 W 40 V < Vc  100 V Io  100 W

Table 4-1 MPSMU/HRSMU電圧レンジ、分解能、確度(高分解能ADC)

Table 4-2 MPSMU/HRSMU電流レンジ、分解能、確度(高分解能ADC)

レンジ 設定分解能 測定分解能 設定確度(%+mV)a

a. (設定値あるいは指示値の% + オフセットmV)

測定確度(%+mV)a 最大電流

±0.5 V 25 V 0.5 V (0.018 + 0.15) (0.01 + 0.12) 100 mA

±2 V 100 V 2 V (0.018 + 0.4) (0.01 + 0.14) 100 mA

±5 V 250 V 5 V (0.018 + 0.75) (0.009 + 0.25) 100 mA

±20 V 1 mV 20 V (0.018 + 3) (0.009 + 0.9) 100 mA

±40 V 2 mV 40 V (0.018 + 6) (0.01 + 1) b

b. 100 mA (Vo  20 V)、50 mA (20 V < Vo  40 V)、20 mA (40 V < Vo)、Voは出力電圧

±100 V 5 mV 100 V (0.018 + 15) (0.012 + 2.5)

レンジ 設定分解能 測定分解能 設定確度(%+A+A)a

a. (設定値あるいは指示値の% + オフセット(固定項+比例項)A )、Voは出力電圧V 測定確度(%+A+A)a 最大電圧

±1 pA b

b. Keysight E5288Aアト・センス/スイッチ・ユニット(ASU)を使用した場合

1 fA 0.1 fA (0.9+15E-15) (0.9+12E-15) 100 V

±10 pA c

c. ASUに接続されていないMPSMUには無効

5 fA 0.4 fAb / 1 fA (0.46+3E-14+VoE-17) (0.46+15E-15+Vo1E-17) 100 V

±100 pAc 5 fA 0.5 fAb / 2 fA (0.3+1E-13+VoE-16) (0.3+3E-14+Vo1E-16) 100 V

±1 nA 50 fA 10 fA (0.1+3E-13+Vo1E-15) (0.1+2E-13+Vo1E-15) 100 V

±10 nA 500 fA 10 fA (0.1+3E-12+Vo1E-14) (0.1+1E-12+Vo1E-14) 100 V

±100 nA 5 pA 100 fA (0.05+3E-11+Vo1E-13) (0.05+2E-11+Vo1E-13) 100 V

±1 A 50 pA 1 pA (0.05+3E-10+Vo1E-12) (0.05+1E-10+Vo1E-12) 100 V

±10 A 500 pA 10 pA (0.05+3E-9+Vo1E-11) (0.04+2E-9+Vo1E-11) 100 V

±100 A 5 nA 100 pA (0.035+15E-9+Vo1E-10) (0.03+3E-9+Vo1E-10) 100 V

±1 mA 50 nA 1 nA (0.04+15E-8+Vo1E-9) (0.03+6E-8+Vo1E-9) 100 V

±10 mA 500 nA 10 nA (0.04+15E-7+Vo1E-8) (0.03+2E-7+Vo1E-8) 100 V

±100 mA 5 A 100 nA (0.045+15E-6+Vo1E-7) (0.04+6E-6+Vo1E-7) d

d. 100 V (Io  20 mA)、40 V (20 mA < Io  50 mA)、20 V (50 mA < Io)、Ioは出力電流

Table 4-3 MPSMU/HRSMU電圧レンジ、分解能、確度(高速ADC)

Table 4-4 MPSMU/HRSMU電流レンジ、分解能、確度(高速ADC)

レンジ 設定分解能 測定分解能 設定確度(%+mV)a

a. (設定値あるいは指示値の% + オフセットmV)

測定確度(%+mV)a 最大電流

±0.5 V 25 V 25 V (0.018 + 0.15) (0.01 + 0.25) 100 mA

±2 V 100 V 100 V (0.018 + 0.4) (0.01 + 0.7) 100 mA

±5 V 250 V 250 V (0.018 + 0.75) (0.01 + 2) 100 mA

±20 V 1 mV 1 mV (0.018 + 3) (0.01 + 4) 100 mA

±40 V 2 mV 2 mV (0.018 + 6) (0.015 + 8) b

b. 100 mA (Vo  20 V)、50 mA (20 V < Vo  40 V)、20 mA (40 V < Vo)、Voは出力電圧

±100 V 5 mV 5 mV (0.018 + 15) (0.02 + 20)

レンジ 設定分解能 測定分解能 設定確度(%+A+A)a

a. (設定値あるいは指示値の% + オフセット(固定項+比例項)A )、Voは出力電圧V 測定確度(%+A+A)a 最大電圧

±1 pA b

b. Keysight E5288Aアト・センス/スイッチ・ユニット(ASU)を使用した場合

1 fA 0.1 fA (0.9+15E-15) (1.8+12E-15) 100 V

±10 pA c

c. ASUに接続されていないMPSMUには無効

5 fA 1 fA (0.46+3E-14+VoE-17) (0.5+15E-15+Vo1E-17) 100 V

±100 pAc 5 fA 5 fA (0.3+1E-13+VoE-16) (0.5+4E-14+Vo1E-16) 100 V

±1 nA 50 fA 50 fA (0.1+3E-13+Vo1E-15) (0.25+3E-13+Vo1E-15) 100 V

±10 nA 500 fA 500 fA (0.1+3E-12+Vo1E-14) (0.25+2E-12+Vo1E-14) 100 V

±100 nA 5 pA 5 pA (0.05+3E-11+Vo1E-13) (0.1+2E-11+Vo1E-13) 100 V

±1 A 50 pA 50 pA (0.05+3E-10+Vo1E-12) (0.1+2E-10+Vo1E-12) 100 V

±10 A 500 pA 500 pA (0.05+3E-9+Vo1E-11) (0.05+2E-9+Vo1E-11) 100 V

±100 A 5 nA 5 nA (0.035+15E-9+Vo1E-10) (0.05+2E-8+Vo1E-10) 100 V

±1 mA 50 nA 50 nA (0.04+15E-8+Vo1E-9) (0.04+2E-7+Vo1E-9) 100 V

±10 mA 500 nA 500 nA (0.04+15E-7+Vo1E-8) (0.04+2E-6+Vo1E-8) 100 V

±100 mA 5 A 5 A (0.045+15E-6+Vo1E-7) (0.1+2E-5+Vo1E-7) d

d. 100 V (Io  20 mA)、40 V (20 mA < Io  50 mA)、20 V (50 mA < Io)、Ioは出力電流

ASU

ASU:アト・センス/スイッチ・ユニット

• 最大電圧、AUXパス

100 V(AUX入力−AUXコモン)

100 V(AUX入力−サーキット・コモン)

42 V(AUXコモン−サーキット・コモン)

• 最大電流、AUXパス

0.5 A(AUX入力−Force出力)

• 帯域幅(-3 dB)、参考値

< 30 MHz(AUXポート)

NOTE ASUを専用SMUに接続してください

ASUの仕様は、校正時に接続されていた、専用SMUとの組み合わせでの み保証されます。シリアル番号を確認して、正しい組み合わせのASUと SMUを接続してください。

NOTE 接続パスを制御するには

ASU接続パスの制御を行う前に、ASUの入力に接続されている測定器の出 力を落としてください。

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