（設計・マスク・ 露光装置・プロ
セス）
半導体（微細）
6,545件 75.2%
光学部材（レンズ）
117件 1.3%
印刷物 13件
0.1%
カラーフィルター 93件
1.1% プリント配線板（PWB ) 101件
1.2%
汎用 58件 0.7%
その他 408件 4.7%
磁気ヘッド（MR 素子）
188件 2.2%
立体物 50件
0.6%
フラットパネル（微細大型）
1,133件 13.0%
提 言 − ３
半 導 体 用 フ ォ ト マ ス ク 及 び 液 晶 パ ネ ル 用 フ ォ ト マ ス ク の 開 発 が フ ォ ト マ ス ク 市 場 を 拡 大 し て き た 。 市 場 シ ェ ア （ 図 6- 7 を 参 照 ） を 見 る と 、 国 内 の 液 晶 パ ネ ル 用 フ ォ ト マ ス ク メ ー カ ー は 過 半 数 の シ ェ ア を 占 有 し 、 液 晶 パ ネ ル 用 フ ォ ト マ ス ク 市 場 に お い て も 、 半 導 体 用 市 場 と 同 様 、 国 際 競 争 力 を 持 っ て い る こ と が わ か る 。
ま た 、フ ォ ト マ ス ク の 露 光 対 象 別 出 願 件 数 の 割 合 は 、半 導 体 用 途 が 75. 2％ と 圧 倒 的 に 多 く 、 次 い で 、 フ ラ ッ ト パ ネ ル 用 途 が 13. 0％ で 続 い て い る （ 図 6- 8 を 参 照 ）。 こ れ ら 2 つ の 用 途 で 全 体 の 約 90％ を 占 め 、半 導 体 及 び 液 晶 パ ネ ル が フ ォ ト マ ス ク の 主 要 な ア プ リ ケ ー シ ョ ン で あ る こ と が 確 認 さ れ る 。
図 6- 7 液 晶 用 フ ォ ト マ ス ク の メ ー カ ー シ ェ ア （ 2007 年 ）
出 典 ： 2008 年 11 月 マ ス ク メ ー カ ー へ の ヒ ア リ ン グ 結 果 に 基 づ き MCTR が 作 成
図 6- 8（ 図 2- 5 の 再 掲 ） 露 光 対 象 別 の 出 願 件 数 の 割 合 （ 日 米 欧 中 韓 へ の 出 願 ）
提 言 − ３ 新 し いア プ リ ケ ー シ ョ ン に 対 応 し た フ ォ ト マ ス ク の 技 術 開 発 を 推 進 さ せ 、 フ ォ ト マ ス ク の 用 途 を 拡 大 し 、 世 界 に 先 駆 け た 新 し い 領 域 の 応 用 技 術 開 発 を 推 進 す る こ と が 期 待 さ れ る 。
2007年市場規模：780億円
HOY A（日本）
23%
エスケーエレクトロニク ス（日本）
大日本印刷（日本） 21%
17%
凸版印刷（日本）
6%
ピーケーエル（韓国）
14%
エルジーマイクロン
（韓国）
18%
アライド インテグレーテッド パターニング（台湾）
1%
液 晶 パ ネ ル 用 マ ス ク と し て 、 シ ミ ュ レ ー シ ョ ン を 多 用 し た 多 階 調 マ ス ク （ グ レ イ ト ー ン マ ス ク 、 ハ ー フ ト ー ン マ ス ク な ど ） の 開 発 と と も に 、 基 板 サ イ ズ の 大 面 積 化 に 対 応 し た 製 造 技 術 の 開 発 が 進 め ら れ て き た 。 そ の 他 の 用 途 に お い て 、 微 細 な フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ が 必 要 な フ ォ ト マ ス ク に 関 す る 特 許 出 願 は 磁 気 ヘ ッ ド 用 な ど 、 ご く わ ず か で あ る 。
フ ォ ト マ ス ク の 新 し い 用 途 と し て 、 一 時 期 、 有 機 EL パ ネ ル 等 の 新 タ イ プ の FPD や MEMS な ど が 期 待 さ れ た が 、 い ず れ も 、 ま だ 将 来 の 大 き な 市 場 は 見 え て い な い 。 ま た 、 バ イ オ 分 野 へ の フ ォ ト リ ソ グ ラ フ ィ の 応 用 も 期 待 さ れ て い る が 、 必 ず し も 将 来 展 望 が 明 確 で は な い 。 半 導 体 、 液 晶 パ ネ ル に 続 く フ ォ ト マ ス ク の 将 来 展 開 に つ な が る 新 し い ア プ リ ケ ー シ ョ ン は 現 時 点 で は 、 ま だ 明 確 に な っ て い な い 。
Emer gi ng Tec hnol ogy で あ る ナ ノ イ ン プ リ ン ト 技 術 は 非 常 に 微 細 な パ タ ー ニ ン グ が 必 要 で あ る の で 、 わ が 国 は 、 新 し い ア プ リ ケ ー シ ョ ン の 候 補 と し て 、 こ の 分 野 の 技 術 開 発 に お い て 先 行 す る こ と が 期 待 さ れ る （ 図 6- 1 を 参 照 ） 。
ナ ノ イ ン プ リ ン ト は 、 現 行 の マ ス ク 製 造 技 術 の 水 平 展 開 で ナ ノ イ ン プ リ ン ト 用 モ ー ル ド が 製 造 可 能 な た め 、 大 い に 期 待 さ れ て い る 。 し か し 、 ナ ノ イ ン プ リ ン ト 用 モ ー ル ド は 、 現 在 、 サ ン プ ル 試 作 を 行 っ て い る が 、実 用 レ ベ ル で の 検 査 は ま だ で き て い な い 。今 後 、2010 年 頃 に 実 用 化 が 予 想 さ れ て い る 磁 気 デ ィ ス ク（ 500GB／ 2. 5 イ ン チ ）用 や 32nm以 降 の 半 導 体 用 、F PD の フ レ キ シ ブ ル 化 に と も な う 偏 光 板 、 配 光 板 、 導 光 板 等 の 大 面 積 ロ ー ル イ ン プ リ ン ト 用 、 モ ス ア イ 型 光 部 品 用 な ど が 今 後 、 順 調 に 実 用 化 さ れ る こ と が 期 待 さ れ る 。
な お 、 最 近 、 マ ス ク レ ス 露 光 技 術 が 注 目 さ れ て い る が 、 マ ス ク レ ス 露 光 技 術 （ 電 子 ビ ー ム 直 接 描 画 等 ） は フ ォ ト マ ス ク と 競 合 す る （ す な わ ち 、 フ ォ ト マ ス ク 市 場 を 侵 蝕 す る ） 技 術 で は な く 、 デ バ イ ス 開 発 ・ 検 証 の コ ス ト 低 減 ・ TAT（ Tur n Ar ound Ti me） 短 縮 技 術 、 及 び 比 較 的 少 量 ・ 多 品 種 の デ バ イ ス 製 造 用 と し て マ ス ク 技 術 を 補 完 す る 技 術 と の 位 置 付 け で 、 共 存 で き る も の と 予 想 さ れ て い る 。
フ ォ ト マ ス ク 業 界 が 半 導 体 用 及 び 液 晶 パ ネ ル 用 を 主 体 と し た 現 状 に 甘 ん じ て い る と 、 現 状 の 市 場 規 模 を 維 持 す る こ と す ら 難 し く な る と 懸 念 さ れ る 。2009 年 2 月 時 点 の ヒ ア リ ン グ に お い て 、2008 年 の 市 場 規 模 は 2007 年 よ り も 大 幅 に 減 少 し 、2009 年 は 2008 年 よ り も さ ら に 減 少 す る と 予 測 さ れ て い る 旨 、 指 摘 さ れ て い る 。
わ が 国 は 、 フ ォ ト マ ス ク の 最 大 の 用 途 で あ る 半 導 体 用 フ ォ ト マ ス ク の 開 発 に は 、 従 来 通 り 注 力 す る と と も に 、 今 後 は 、 新 し い フ ォ ト マ ス ク の ア プ リ ケ ー シ ョ ン に 対 応 し た 技 術 開 発 が 従 来 以 上 に 重 要 に な る と 予 想 さ れ る（ 図 6- 9 を 参 照 ）。そ の た め に は 、新 し い ア プ リ ケ ー シ ョ ン に 対 応 し た フ ォ ト マ ス ク の 技 術 開 発 を 促 進 さ せ 、 フ ォ ト マ ス ク の 用 途 を 拡 大 し 、 世 界 に 先 駆 け た 新 し い 領 域 の 応 用 技 術 開 発 を 推 進 す る こ と が 期 待 さ れ る 。