− 元 ･ ロ ー 一 d q ■ ﾛ 一 一 一 − 8 − − 一 − − ． − 今 ･ − 一 一 一 f ･ ･ 一 一 一● ■ ･ ･ ･ ･ # − − ← 今 ･ 一O や ｡ 一 ･ ･ ■ ' 一 ・ 争 ・ 9 一 一 一 ・ 凸 , ｡ − ． ． − ． ‑ 一 一 二 ‑ q ｡ 一 一 ・ 一 一 . ・ ・ − ， − − − = ̲ − ． .‑ . , 今 一 一 . ‑ 』 . . . ‐ . ‑
Table3‑3Criticalconstantsandacentricfactors.
一 一 一 一 一 一 一 一 ‑ 一 一 一 一 一 一 ・ ・ 一 ◆ ‐ ‐ ｰ ▼･ ‐ 一 一 句 q ■ ‑ 口 ■ 一 一 一 一 一 一 一 ◆ 士 一 一 由 ● − ● ｡ ④ 一 一 ● 一 ◇ − − G ‑ 一 q ■ D ■ ■ ■
100
80
００６４
﹇誤﹈・﹂
20
合 理
0
1xlO‑72xlO‑73xlO‑74xlO‑7
Fm[N]
0
Fig.3‑17Removalefficiencybyapulsejetr･
asafunctionofkineticenel､gyF,n．
とが考えられたが、Figs.3‑7,3‑8の結果(3‑2‑2ノズルー表面 間 距 離 ） を 考 慮 す る と 、 ノ ズ ル 先 端 ウ エ ハ 表 面 間 で そ の よ う な 分 布 が 存 在 す る と は 考 え に く い 。 こ の よ う に 相 関 が 認 め ら れ な か っ た の は 、 む し ろ 、 l i q . ( 3 ‑ 5 ) で 与 え た F m 自 体 に 問 題 が あ る の で は な い か と 思 わ れ る 。 つ ま り 、 こ の F , 風 と い う の は 定 常 な ジ ェ ッ ト 気 流 に つ い て の 話 で あ り 、 ジ ェ ッ ト 噴 射 直 後 に 飛 散 が 起 こ っ て い る こ と を 考 慮 す る と 、 む し ろ ジ ェ ッ ト 気 流 を 噴 射 し た 瞬 間 に 生 じ る 圧 力 波 の 立 ち 上 が り に よ っ て 飛 散 が 起 こ っ て い る
と 考 え た ほ う が 妥 当 と 思 わ れ る 。
そ こ で 、 こ の 立 ち 上 が り の 効 果 を 実 験 的 に 調 べ る た め に 、 パ ル ス 的 に P I 1 = 5 0 0 k P a の ジ ェ ッ ト 気 流 を 噴 射 す る 方 法 の ほ か に 、 電 磁 バ ル ブ を 開 い た ま ま で エ ア ー レ ギ ュ レ タ ー に よ っ て 圧 力 を
皇QQKPaま.で.徐.久に.上̲はZ.L,̲<̲.1=̲1.Ok堕心)gL̲Ig̲より一発生.童̲土土一
一 一 ー ･ 一 丁 ■ ＝ ･ ー 画 一 ＝ ■ 一 一 一 一 一 ー 一 − − − r 一 一 ● 一 一 一 一 ・ 一 ・ ・ 口 ■ ■ ー − − −▲
た ジ ェ ッ ト 気 流 を 用 い て 洗 浄 を 行 っ た 。 な お 、 い ず れ の 場 合 も ノ ズ ル A を 用 い て l . 1 お よ び 0 . 5 5 川 の 粒 子 が 付 着 し た ウ エ ハ を 洗 浄 し た 。 こ う し て 得 ら れ た 飛 散 率 の 測 定 結 果 を T a b l e 3 ‑ 4 に 示 す 。 こ の 表 を 見 る と 、 い ず れ の 粒 径 の 場 合 も パ ル ス 的 に ジ ェ
､ ソ ト 気 流 を 噴 射 し た 方 が 飛 散 率 が 大 き く な っ て お り 、 こ の こ と か ら 、 確 か に パ ル ス ジ ェ ッ ト に よ る 圧 力 波 の 立 ち 上 が り が 粒 子 の 飛 散 に 影 響 し て い る と 考 え ら れ る 。
Table3‑4Comparisonbetweenremovalefficiency bypulseairjetandthatbyairjet withgradualvelocityincrease.
こ の 圧 力 波 の 立 ち 上 が り が 粒 子 の 飛 散 に 影 響 し て い る と い う こ と に な る と 、 さ ら に 粒 子 の 飛 散 を 促 進 す る に は こ の 立 ち 上 が り を で き る だ け 急 峻 に す る こ と が 重 要 に な っ て く る 。 こ の た め に は パ ル ス ジ ェ ッ ト が 、 祗 磁 バ ル ブ を 開 い た 瞬 間 に 発 生 し た 圧 力 波 の 立 ち 上 が り の 波 形 に 近 い 状 態 で 噴 射 さ れ る こ と が 要 求 さ れ る が 、 こ の 立 ち 上 が り の 波 形 に 影 響 を 及 ぼ す も の の 一 つ と し て ノ ズ ル の 内 部 榊 造 が 考 え ら れ る 。 3 − − 1 − 2 で 述 （ た よ う に 、 本 研 究 で 用 い た 二 つ の ノ ズ ル （ ノ ズ ル A , ノ ズ ル B ) は 内 部 龍 造 が 大 き く 異 な っ て い る ( F i g ． 3 " 2 ) 。 そ こ で 、 ノ ズ ル A を 用 い た 時 の 洗 浄 と 同 じ 条 件 で 、 ノ ズ ル B を 用 い て 洗 浄 実 験 を 行 い 、 そ れ ら の 結 果 を 比 較 し た 。 1 ' a b l e 3 ‑ 5 は ノ ズ ル A と ノ ズ ル B か ら 噴 射されるP{,=500kPaのバルスジエツトによって1.1および0.55
# m の 粒 子 が 付 着 し た ウ エ ハ の 洗 浄 を 行 っ た 時 の 1 パ ル ス ご と の 飛散率r(,の測定紬果を示したものである｡
−−−−−G−−．−年一一一一一一一一・・△一一一々■のロー･壷一一・●一向一等一必e−刈一一一一一一一●｡‐一・句Hゆ･・‐幸令写字−−今の。蝉専一朝額回岸今卓銅可一等2−●画一金勺争雪一･･や一・−−−●幸
di,[川］ Removalefficiency
一一
%
］
Pulsea l r J●●et Airjet
1.1 0．55
33.7 25.2
17．8 9.1
Table3‑5Influenceofnozzleconfiguration onremovalefficiency(Pu=500kPa, n=10).
d,[pm]
1.1 0.55
Removalefficiencyr⑨ X
NozzleA 33.7 25.2
NozzleB 26.2 14.1
− − ｰ− − −
こ の 表 を 見 る と 、 い ず れ の 粒 径 の 場 合 も ノ ズ ル B の 方 の 飛 散 率 が 小 さ く な っ て い る の が 分 か る 。 ' r a b l e 3 ‑ 1 で 示 し た よ う に ノ ズ ル B か ら の ジ ェ ッ ト 気 流 の 方 が 気 流 速 度 が 速 い こ と を 考 え る と 、 ノ ズ ル B を 用 い て 洗 浄 を 行 っ た 方 が l パ ル ス ご と の 飛 散 率 は 大 き く な る と 思 わ れ た が 、 実 験 結 果 は そ れ と は 逆 で あ っ た 。 つ ま り 、 こ の こ と か ら も パ ル ス ジ ェ 、 ソ ト に よ る 洗 浄 効 果 は 、 ジ ェ ッ ト 気 流 に よ る 運 動 エ ネ ル ギ ー の 効 果 よ り も ジ ェ ッ ト 気 流 が 噴 射 さ れ た 瞬 間 の 圧 力 波 の 立 ち 上 が り の 効 果 の 方 が 支 配 的 で あ る と 考 え ら れ る 。 た だ し 、 F i g . 3 ‑ 2 か ら 分 か る よ う に 、 管 路 の 急 激 な 縮 小 を 経 た 後 に 噴 出 さ れ る パ ル ス ジ ェ ッ ト の 方 が 、 喉 部 ま で ス ム ー ズ に 導 か れ た 後 に 噴 出 さ れ る バ ル ス ジ ェ 、 ソ ト よ り も 圧 力 波 の 立 ち 上 が り が 急 峻 に な っ て い る か ど う か は 今 の と こ ろ は ま だ 明 ら か に な っ て い な い が 、 T a b l e 3 ‑ 5 に 示 し た 結 果 か ら 考 え て 、 実 際 に そ の よ う な こ と に な っ て い る 可 能 性 は 十 分 に あ る と 思 わ れ る 。
い ず れ に し て も 、 以 上 の こ と か ら パ ル ス ジ ェ ッ ト の 圧 力 波 の 立 ち 上 が り が 粒 子 の 飛 散 を 起 こ す 虹 要 な フ ァ ク タ ー に な っ て い る こ と が 分 か っ た の で 、 実 際 に パ ル ス ジ ェ ッ ト の 圧 力 波 の 立 ち 上 が り を 測 定 で き れ ば 、 そ れ を 用 い て 飛 散 率 の 実 験 デ ･ 一 タ を 相 関 で き る も の と 思 わ れ る 。
− − 一 − 一