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導体/磁性体積層シールドのメカニズム

本節では,導体シールドにおいてMSEが得られる理由を説明し,その考え方 を積層シールドに拡張する.

図 4.2 (a) に導体シールド近傍の電磁波の伝搬を示す.導体シールドの場合,

磁界のノイズ源から放射した電磁波は空気/導体層の界面で反射するとともに,

導体内で減衰する[1][2].磁界のノイズ源から放射する近傍界における波動イン ピーダンスZw,導体層の特性インピーダンスZc,および導体層内における電磁 波の減衰定数αcはそれぞれ以下のよう表すことができる.

0

2 0

c

Zw rf (4.1)

c c

Z j

0

(4.2)

2

1 0 c

c c



(4.3)

ただし r はノイズ源とシールド間の距離,c は導体層の導電率である.空気

/導体層の界面で反射係数 wc は次式で与えられる.

c w

c w

wc Z Z

Z Z

 

 1

1 (4.4)

導体シールドの MSE は空気/導体層の界面における反射と導体内における多 重反射から得られる.電磁波は導体層内における多重反射している間に減衰す る.薄い導体層による導体シールドは導体内における電磁波の減衰が十分得ら

(a) 導体シールド

0

2 0

 

c Zwrf

空気

空気 導体層

c c

Z j

0

0

2 0

  c Zwrf

2

0 c c

  

磁界のノイズ源

特性インピーダンス 減衰定数

0

2 0

  c Zwrf

c c

Z j

0

c c

Z j

0

0

2 0

  c Zwrf

m r m

Z j

0

特性インピーダンス

2

0 r m

m

  

2

0 c c

  

2

0 c c

  

減衰定数

磁界のノイズ源

空気

空気 導体層

導体層

磁性体層

m r m

Z j

0

, (4.5)

2

1 0 r m

m m



, (4.6)

µr は磁性体層の比透磁率,σm は磁性体層の導電率である.導体層/磁性体層 の界面における反射係数cm は次式となる.

m c

m c

cm Z Z

Z Z

 

 1

1

. (4.7)

積層シールドの場合,電磁波は空気/導体層の界面だけではなく,導体層/磁性 体層の界面でも反射する.磁性体層により反射面が増え,多重反射の回数がより 多くなり,電磁波はシールド層内で減衰しやすくなる.

また,磁性薄層の比透磁率rは複素比透磁率として,下記のように表される.

' ' j

' r

r r   , (4.8)

r’ 比透磁率の実部, r’’比透磁率の虚部である.

そして,複素比透磁率の周波数特性はLandau-Lifshitz-Gilbert 方程式の解と して下記のように表せる[3].

 

  

4

1

' 2 2 2 2

0

2 2 0 2

0

2

  

rMs

, (4.9)

02 2

2

 

2

2

0 2

4 ' 4

'   



 

s

r

M

, (4.10)

k s

r M H

f

0 2

0 2

 

  

, (4.11)

なお,磁性体層は 一軸磁気方向依存性を持ち,高い比透磁率は磁化困難軸方 向(磁化回転により磁化過程が進行するような方向)のみ得られる.これと直交 する磁化容易軸方向(磁壁移動により磁化過程が進行するような方向)の透磁率 は真空の透磁率となり,導体層/磁性体層の界面における高い反射係数は得られ ない.従って,磁性体を 1 層のみ用いた積層シールドでは,面内の 1 方向のみ に高いMSEを有する.しかしながら,磁性体層を2層以上用い,それぞれの層 の困難軸方向を直交させるなど平行ではない方向に誘導すれば,面内の2方向 に高いMSEを有するシールドとすることが製作することができる.