、，万一・＼
θ ・・酬 甑一 ．
伽〜1gμm
一 一一 一一 一一 一一 一十一一 I
130μm l
1
120 1
d＝280μm110 一■ d＝600μm l
100 1
90 1
80 1
70 1 60 50 40 ノ
30 1
！ ／
20 ／
／ ／ ／ ／ ／
管軸
図4．9
0 0．1 0．2 0．3 0．4 0．5 0．6 0．7 0．8 0．9 1．O
x
H（y）／㎞。。
研磨進行状態の模式図
工の進行に伴って突起体の高さが次第に減少していく場合の衝突砥粒数について考え る．研磨につれて被研磨面に衝突する曄粒数は，衝突断面積（突起高さ）に比例する とすると，突起体の高さCのときには，研磨開始時の値に比して，C／C。倍となる・
先に砥粒は研磨面に対して平行に流れていると仮定したので，図4・9に示すような 力F。（ベクトル表示）で壁面に衝突し研磨作用を営むと考える・ここで・力F・を面に
対して垂直の成分F、と平行な成分F2の2つに分解し，研磨には而に垂直のF、の成分が 主として作用すると考える．F、の値はF。の。／a倍の大きさとなる．
次に，1パス当たりに営まれる研磨量について考える．まず，N＝！（1パス目）の 研磨面に対する研磨能力P、は，作用砥粒数と砥粒の研磨作用力との積であり，n（1）×
（co／a。）×Foとなるので，それは，
P、一㎞（・）・土・。一血・。
a a
O O （k：定数） （3）
で与えられる．ここで，N＝1の除去高さをあらかじめy、と設定すると，高さy、を除 去後の突起体の高さ。、の時の研磨面に対する研磨能力P、は次式で与えられる．
C C
P、一㎞（1）・ユ・ユ・F．
CO a1
（4）
したがって，N＝2の時の研磨能力P。は，初期の研磨能力に対して，
（c，2／a，c。）／（c／a。）の割合となるので，N＝2のときの除去高さy、はy、を用いて，次式 で表される．
pl （・子／・、・。）
y2＝y1X一＝ylX
p2 （co／ao） （5）
したがって，2パス後の突起体の高さは，
（・1／・、・。）
C2＝C1・凾PX
（C。／a。） （6）
で与えられる．以後，本計算を繰り返すことにより， N＝nのときの突起体の高さを 求めることができ，その値は次式で与えられる．
（・1．、／・．、．、・、，）
Cn＝Cn．1−y1X （C。／a。）
（7）
図4．10に計算結果を示す．計算に際しては，実験におけるRaの変化率を参照して，
管径大（O・6mm）の場合y、＝0・1とし，c。は最大高さとしてRaの4倍程度の10μmとし た．また，θ＝15。@（b。＝2万）とした．一方，管径小（0・28mm）の場合は，平均流速 一は，管径大（O．6mm）のそれのO．7倍であったので，研磨エネルギーの比は（O．7）2倍と 考えて，y、をO．05とした．また，同様に。。＝3μmとした．図4・10から，パス回数を重 ねるにつれて表面粗さが次第に低減していく様子がわかる．これは，図4．2に示す実験 結果とも定性的に合うように思われる．
なお，本研磨法の場合，砥粒は固定されていないので目づまりや目つぶれを起こす ことなく，常に砥粒の鋭い切れ刃が壁面に接して能率良く研磨作用を営むと推測され
る．
10
8
y1＝O．1（管径大：0．6mm）
y！＝0・05（管径小：0・28mm）
冒
⇒ 6
杣 恒
母 4
哩蝋
＼＼ ＼＼ ＼
0
0 10 20 30 40
パ ス 回 数
50