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【相違点についての判断】

〈相違点1〉

 半導体キャリア用フィルムである COF(Cip On Film)

において,フィルムに形成される配線層の表面にスズメッ キを施すことは,甲第 3 号証(2003 年 5 月 20 日に技術情報 協会により頒布されたテキスト「セミナーテキスト NO.1」)

や甲第 7 号証(2003 年 1 月 20 日に(株)技術調査会により 発行された雑誌「エレクトロニクス実装技術」に掲載され た「TAB 材料の現状と今後」)に示されるように,原出願 日よりも前から周知であり,相違点 1 に係る本件発明 1 の 構成は,引用発明に単にこの周知技術を適用したに過ぎな いものである。

〈相違点2〉

 甲第 3 号証には,IC を金バンプを介して PI フィルム(ポ リイミドフィルム)上のインナーリードに接続したものが 記載されている。この「IC」,「金バンプ」,「インナーリー ド」は,それぞれ本件発明 1 の「半導体素子」,「突起電極」,

「配線層」に相当する。

 甲第 4 号証(2002 年 8 月に被請求人により頒布された製 品カタログ「SHARP 液晶用 LSI2002.8」)には,ベアチッ プの金バンプがフィルム上の銅配線パターンに接続された SOF(System On Film)が 記 載 さ れ て い る。SOF は,

COF と同等の技術であり,甲第 4 号証の「ベアチップ」,「金 バンプ」,「銅配線パターン」は,それぞれ本件発明 1 の「半 導体素子」,「突起電極」,「配線層」に相当する。

 上記のとおり,半導体キャリア用フィルムである COF において,半導体素子を突起電極を介してフィルムに形成 された配線層に接続することは,甲第 3 号証や甲第 4 号証 に示されるように,原出願日よりも前から周知であり,相 違点 2 に係る本件発明 1 の構成は,引用発明に単にこの周 知技術を適用したに過ぎないものである。

〈相違点3〉

 甲第 4 号証には,携帯電話や PC(パソコン)に用いられ る液晶ドライバの液晶駆動電圧の具体的数値が形名毎に記 載されており,ノート PC / PC モニタ用 TFT 液晶ドライ バについては,ソースドライバ(ドット反転駆動)の機能 を有する液晶ドライバの液晶駆動電圧は 12V 〜 15V の範 囲の値となっている。少なくとも液晶ドライバにおいて,

12 〜 15V 程度の駆動電圧を使用することは,原出願日よ りも前から周知であることが窺える。

 引用発明の半導体装置は,液晶ドライバを含む様々な用 途に適用可能なものであり,その駆動電圧を,上記 12 〜 15Vとした場合は,配線間距離 20μmと駆動電圧(出力)

により定まる電界強度は6×105〜7.5×105V/mであって,

本件発明1の電界強度の数値範囲に含まれる。そうしてみ ると,相違点 3は,引用発明が通常の仕様・環境の下で使 用され得る技術事項に過ぎないものというべきである。

 なお,半導体キャリア用フィルムである COF において,

〈一致点〉

 「絶縁性を有するベースフィルム,該ベースフィルム上 に形成されたニッケル−クロム合金からなり厚みが 7nm 以 上のバリア層,および該バリア層の上に形成された銅を含 んだ導電物からなる配線層を有する半導体キャリア用フィ ルムと,前記配線層に接続された半導体素子とを備える半 導体装置であって,前記バリア層と前記配線層とを所定パ ターンに形成した半導体素子接合用配線が複数あり,前記 半導体素子接合用配線の配線間距離が 50 μ m 以下となる 箇所を有し,前記バリア層におけるクロム含有率を 15 〜 50 重量%とする半導体装置。」

〈相違点〉

〈相違点1〉

 本件発明 1 は,配線層の表面にスズメッキが施されるの に対して,引用発明は,銅層 3,4 の表面にスズメッキが 施されていない点。

〈相違点2〉

 本件発明 1 は,半導体素子が配線層に接続された突起電 極を有するのに対して,引用発明は,半導体素子が銅層 3,

4 に接続される突起電極を有するか否か不明である点。

〈相違点3〉

 本件発明1は,隣り合う二つの半導体素子接合用配線の 間において,配線間距離及び出力により定まる電界強度が 3×105〜2.7×106V / mであるのに対して,引用発明は,

隣り合う二つの配線の間における電界強度が不明である点。

〈相違点4〉

 本件発明 1 は,バリア層におけるクロム含有率を 15 〜 50 重量%とすることにより,バリア層の溶出によるマイ グレーションを抑制するものであるのに対して,

 引用発明は,Ni-Cr合金層2におけるCr含有率は18重量%

であるが,バリア層の溶出によるマイグレーションを抑制 するものであるか否か不明である点。

効果は自ずから生じる。したがって,マイグレーション抑 制効果は引用発明の構成中に必然的に内在しており,相違 点 4 は実質的な相違点ではない。

 Ni-Cr 合金層におけるマイグレーション抑制の課題は,

周知の技術課題であり,原出願日当時,当業者において,

引用発明における Ni-Cr 合金層について,マイグレーショ ンを抑制する課題は認識されていた。さらに,バリア層の 溶出成分が Ni であることも周知であり,マイグレーショ ンの発生を抑制するために,バリア層としてクロムの含有 量を高めた抵抗値の高い Ni-Cr 層材料を選択する技術事項 も周知であった。そして,マイグレーション抑制のために バリア層におけるクロム含有量を 15 〜 50 重量%とするこ とは,当業者が容易に選択できる事項である。

 したがって,相違点 4 に係る構成を採用することは,当 業者が容易に想到できる技術的事項である。

【判示事項:本件発明1の容易想到性の判断の誤り(取消 事由2)について】

(1)相違点4に係る構成の技術的意義

 本件発明 1 は,高温高湿環境下であっても,マイグレー ションの発生を抑制して,端子間の絶縁抵抗を劣化しにく くすることにより,ファインピッチ化や高出力化に適用で きる半導体装置を提供することを課題とし,その課題解決 手段として,ニッケル−クロム合金からなるバリア層にお けるクロム含有率を 15 〜 50 重量%とすることとしたもの であり,これによって,バリア層の表面抵抗率・体積抵抗 率が向上して,バリア層を流れる電流が小さくなり,配線 層を形成する銅の腐食を抑制することができ,また,バリ ア層の表面電位が標準電位に近くなり,バリア層を形成し ている成分の水分中への溶出を抑制することができ,マイ グレーションの発生を抑制するとの効果を奏する。

 これに対し,引用発明は,1 種類のエッチング溶液で配 線パターンを形成することができ,さらに,中間層として クロム層を介在させた場合と同等の密着強度を有するプリ ント配線基板用の銅層(銅箔)を提供することを課題とし,

その課題解決手段として,支持基板と銅層との中間層にク ロム層の代わりに Cr を一定割合含有する Ni-Cr 合金層を 用いた発明である。また,甲 2 文献には,マイグレーショ ンの発生の抑制に関する事項については,記載及び示唆は ない。

(2)原出願日前に頒布された各刊行物の記載

ア 平成 15 年に開催された,「モバイル用液晶モジュール におけるCOF実装技術のファインピッチ/高信頼性化」

に関するセミナーのテキスト(甲3)

 モバイル用液晶モジュールにおける COF において,絶 縁信頼性を維持する上でマイグレーションが問題となるこ とは記載されているが,その機序や発生抑制方法等に関し 配線間距離及び出力により定まる電界強度が3×105〜2.7

× 106V / m の範囲の値となるように選択すること自体も 周知技術といえる。すなわち,甲第 4 号証には,出力数が 480 である形名 LH168V の液晶ドライバの液晶駆動電圧が 13V であること,同形名の液晶ドライバのパッケージ構造 は TCP(Tape Carrier Package)と SOF の両方があるこ と(「TCP / SOF」)について記載されており,また,「ファ インピッチ技術を駆使し,35mm テープで 480 出力(パッ ドピッチ 50 μ m,アウターリードピッチ 55 μ m)の超多 ピン・ファインピッチ TCP を開発いたしました。」との記 載がある。ここで,パッドピッチ 50 μ m は配線間距離 25 μ m に相当するから,甲第 4 号証には,COF と同等の SOF において,液晶駆動電圧を 13V とし,かつ,配線間 距離を 25 μ m とする例が記載されているということがで きる。この配線間距離と駆動電圧(出力)により定まる電 界強度は 5.2 × 105V / m であって,本件発明 1 の電界強度 の数値範囲に含まれる。

〈相違点4〉

 本件明細書に「図 3 で示されるように,バリア層の表面 抵抗率および体積抵抗率は,クロム含有率が 30 重量%に おいて極大値を示す。ここで,クロム含有率は 15 〜 55 重 量%が望ましい。これにより,表面抵抗率が 30 Ω/□以 上となり,従来の 7 重量%のときに比べ,1.3 倍以上となる。

このように,表面抵抗率および体積抵抗率が増大すると,

バリア層 2 に流れる電流が小さくなるので,配線層 3 の銅 と侵入した水分中の不純物との化学反応が抑制される。こ れにより,銅の腐食や銅イオンの溶出を抑制することがで きるため,マイグレーションの発生を抑制することができ る。」(段落【0038】)との記載があることから理解されるよ うに,マイグレーションの抑制に必要な構成は,ニッケル

−クロム合金層からなるバリア層のクロム含有率を 15 〜 50 重量%として,該バリア層の表面抵抗率および体積抵 抗率を所望の範囲とすることである。そうしてみると,引 用発明の Ni-Cr 合金層 2 における Cr 含有率は 18 重量%で あって本件発明 1 の数値範囲に入るから,バリア層の溶出 によるマイグレーションを抑制するという効果をもつ点に おいて,本件発明 1 と異なるところはない。したがって,

相違点 4 は実質的な相違点とはいえない。

 以上のことから,本件発明 1 は,引用発明及び周知技術 に基づいて当業者が容易に発明をすることができたもので ある。

判示事項

【判決中で引用された被告の反論】

(エ)相違点4

 本件発明の構成は,引用発明に基づいて当業者が容易に 想到し得るものであり,Cr 含有量を 18 重量%とした引用 発明の構成から,相違点 4 に係るマイグレーション抑制の

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