・自動車部品の低温試験
・生産ライン上での簡易低温試験
樹脂押出し エア吹込み
冷却・離型
冷風吹込み アクリル樹脂の二次加工 成型塗装後の工程で冷風研磨システムの冷風源
樹脂ブロー成型後の急速冷却 機械加工時の刃先冷却 樹脂の冷風ポリッシング
エアーミキシング温度制御の作動原理
520
550
851
534
740 510 ドレン排出口 Rp3/8
1510
空気入口 Rp1/2
650
1552
排風口
(1001) 700
700
コンプレッサ エアードライヤー ミストフィルター ライン フィルター
ヒートレス エアードライヤー
流量調節バルブ 温度・流量調節バルブ
流量計 APX-15A-500
熱交換器 温度制御弁
温度センサ
温度コントローラ 前面
右面 左面
後面 上面
Clean Air System
52
ペルチェ温調方式で高精度と省エネを実現するナノサーモ
Ⓡ（圧縮空気温度調節機）
圧縮空気冷却装置・ナノサーモ Ⓡ 「ACU」
ACU100-MD / ACU300-MD / ACU600-MD / ACU1000B / ACU2000B 制御精度 ±0.01℃
温度制御範囲 15.00 〜 40.00℃
処理空気量 30 〜 2,100L/min
製品仕様表
製品仕様表
型 式 ACU100-MD ACU300-MD ACU600-MD ACU1000B ACU2000B
適用流体 圧縮空気
使用範囲
使用圧力範囲（ゲージ圧） MPa 0.2〜0.85 0.2〜0.83
出口圧力調整範囲（ゲージ圧） MPa 0.05〜0.83 ―
入口空気温度 ℃ 5〜40 15〜35 15〜30
出口温度設定範囲 ℃ 16〜30 15〜35 15〜40
出口空気流量 L/min 30〜130 50〜390 ※2 130〜600 ※2 130〜1000 ※2 330〜2100
周囲温度 ℃ 18〜25
入口空気水蒸気含有量 ℃ 飽和以下 圧力下10℃以下
基本性能
出口空気露点（大気圧下） ℃ −17以下※3 ― ―
出口空気温度制御精度※1 ℃ 設定値±0.01
条 件
出口設定温度 ℃ 23
入口空気温度 ℃ 5〜40 15〜28
入口空気圧力（ゲージ圧） MPa 0.7
入口空気流量 L/min 125 375 750 1000 2100
出口空気流量 L/min 100 300 600 1000 2100
パージ空気流量 L/min 25 75 150 0 0
周囲温度 ℃ 25
電気特性 電源 V（Hz） 単相100±10％（50/60） 単相200±10％（50/60）
最大運転電流 A 4 5
電源容量 kVA 0.4 0.5 1
遮断器容量 A 10
温度制御方式 ペルチェ式定電流制御（PID制御）
放熱方式 空冷式
除湿方式 中空糸膜式 ― ―
出入口配管接続口径 Rc1/4 Rc3/8 Rc1/2 Rc3/4
外装 塗装色：N5.5/N8.0
機器細目 エアーフィルタ・ミクロミストフィルタ・
膜式ドライヤー・レギュレータ・フロースイッチ内蔵 ※4 フロースイッチ内蔵
質量 kg 28 36 38 35 45
外形寸法（高さ×奥行×幅） mm 490×500×240 510×550×320 530×600×320
※ 1 出口空気流量、入口空気温度、周囲温度が安定状態で、急激な変動がない場合。（入口空気温度勾配：1℃ /10min 以内） ※ 2 入口空気圧力が 0.25MPa 以下の時、本機内圧力損失により、
最大流量は次の様になります。ACU300-MD：270L/min、ACU600-MD：520L/min、ACU1000B：870L/min ※ 3 入口空気温度 28℃時。 ※ 4 フィルタを搭載しております が出口空気ろ過度を保証するものではありません。※空気流量は、圧縮機の吸込状態（大気圧、20℃、65％）に換算した値です。 ※ ACU1000B/2000B：圧縮空気の除湿機能は内蔵 しておりませんので、供給される圧縮空気は、必らずエアードライヤーを通過した圧縮空気を供給してください。
ACU100-MD
ACU2000B
設定値表示部
設定状態表示ランプ
各種設定キー部 運転ランプ
ON/OFF スイッチ
コントローラ部
電子冷熱の応答性と当社独自の高精度コントローラに より、高精度温調が可能。
超精密加工、計測器の熱歪を高精度に制御し、母機の 性能を最大限発揮させます。
主な特長
■エアー温度を±0.01℃に制御。
■ ACU100-MD・ACU300-MD・ACU600-MD は 除湿機能付で圧力調整も可能。
■コンパクト設計で省スペースを実現。
用途例
■精密加工機
■精密計測機
■ 半導体・FPD 製 造装置
■分析機器
■精密塗装機
■局所空間の精密温調
■加工物・計測物の温調
精密加工機のエアーベアリング
ナノサーモ
三次元測定器のエアースライド R
圧縮空気冷却装置・ナノサーモ「ＡＣＵ」
圧縮空気冷却装置・ナノサーモ「ＡＣＵ」
高精度制御を実現
電子冷熱の応答性と当社独自の高精度コントローラにより高精 度温調が可能。
低振動、低騒音
コンプレッサ搭載の冷凍機と違いペルチェ素子による電子冷凍 は動力部の振動が極めて少ないため微細加工での位置決め精度 に与える振動・騒音の影響を最小限にすることができます。
外形図
（単位：mm）圧力損失曲線
吸入
排熱 A
B
J
圧力計 C
D
圧力計 C
D G
G H
EF
警報出力 電源
(単相100V)
警報出力 電源 ドレン配管 (接続ﾁｭｰﾌﾞ外形P)
吸入 排熱
B
J K K A
レギュレータ 空気入口(N)
空気出口(M)
パージ口 (接続ﾁｭｰﾌﾞ外形Q)
空気出口(M) 空気入口(N)
EF
ACU100-MD / ACU300-MD / ACU600-MD
ACU1000B / ACU2000B
0.12 0.10 0.08 0.06 0.04 0.02 0.00
（レギュレータ全開）
圧 力 損 失︵
MPa
︶
出口空気流量L/min（ANR）
入口空気圧力
0.3MPa 0.5MPa 0.7MPa
0.25
0.20
0.15
0.10
0.05
0.00
（レギュレータ全開）
圧 力 損 失︵MPa
︶
出口空気流量L/min（ANR）
0 50 100 150 200 250 300 350 400 450
0.06 0.05 0.04 0.03 0.02 0.01 0.00 圧 力 損 失︵
MPa
︶
出口空気流量L/min（ANR）
0 200 400 600 800 1000 1200 0.035 0.030 0.025 0.020 0.015 0.010 0.005 0.000 圧 力 損 失︵MPa
︶
出口空気流量L/min（ANR）
0 250 500 7501000125015001750200022502500
（レギュレータ全開）
︵
0 100 200 300 400 500 600 700 0.18
0.16 0.14 0.12 0.10 0.08 0.06 0.04 0.02 0.00
出口空気流量L/min（ANR）
︵失 損力 圧
MPa
︶
0 20 40 60 80 100 120 140 160
ACU100-MD ACU300-MD
ACU1000B ACU2000B
ACU600-MD
圧力 レギュレータ
ミクロミストフィルタ パージエアー出口 膜式ドライヤー 熱交換器（恒温側）
圧縮空気入口 ペルチェ素子 (電子モジュール)
エアーフィルタ
制御センサ
圧力ゲージ 圧縮空気 出口
MDタイプのみ内蔵
項目 機種 ACU100-MD ACU300-MD ACU600-MD
A 490 510
B 500 550
C 240 320
D 198 278
E 215 240 198
F 200 160 242
G 65 52 95.8
H 27 68.5 34.2
J 376 426
K 30 30
M Rc1/4 Rc3/8 Rc1/2
N Rc1/4 Rc3/8 Rc1/2
P φ8mm φ8mm
Q φ6mm φ10mm φ16mm
項目 機種 ACU1000B ACU2000B
A 510 530
B 550 600
C 320 320
D 278 278
E 240 348.4
F 160 90
G 130 125
J 426 476
K 30 30
M Rc1/2 Rc3/4
N Rc1/2 Rc3/4
50cm 以上
100cm 以上
100cm 以上
■設置スペース
風通しを良くするために、また保守 点検をしやすくするために充分なス ペースを確保してください。
Clean Air System
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圧縮空気冷却装置・スパイラルクーラー「KSC」