主な研究設備・装置一覧
Ⅲ．複合機能・特殊機能装置 主な研究設備・装置一覧｜研究・産学連携｜豊田工業大学
... Ⅲ．複合機能・特殊機能装置 装置名 研究室名 装置名 研究室名 デバイス特性測定システム 電子デバイス 直立4足歩行パワーアシストロボット 制御システム 電気自動車コムス（含リアボックス） ｽﾏｰﾄﾋﾞｰｸﾙ研究ｾﾝﾀｰ 高感度ＣＣＤ ＴＶカメラ ...
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Ⅰ－2．マイクロ・ナノ構造形成用プロセス 主な研究設備・装置一覧｜研究・産学連携｜豊田工業大学
... スパッタ（金属、絶縁体）蒸着装置 Sputtering (Metal/Insulator) Deposition System キーワード マグネトロンスパッタ 平行平板 ３インチ 逆スパッタ 特長 スパッタリング現象を利用して電子デバイス用薄膜などの機 能性材料薄膜を成膜する。 3 インチマグネトロンカソードを３式 装備しており、 3 種類の材料まで成膜が可能。 500W の RF 電源 ...
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Ⅱ．形状観察・構造解析・物性計測のための装置 主な研究設備・装置一覧｜研究・産学連携｜豊田工業大学
... 四探針比抵抗計 半導体 マイクロ波光源および信号検出装置 フロンティア材料 半導体特性評価システム 半導体 広帯域オシロスコープ 光機能物質 ＩＣＴＳ測定装置（Isothermal Capacitance Transient Spectroscopy） ...
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Ⅱ．形状観察・構造解析・物性計測のための装置 主な研究設備・装置一覧｜研究・産学連携｜豊田工業大学
... 詳細情報 （ページ） 利用形態 その他 条件 ダイシング装置 φ ６ ” 以下 材質・形状制約あり 自前利用/代行支援 要受講 ＮＴＣｸﾘｰﾝﾙｰﾑ 20 積層造型機 ＳＴＬデータからの３次元形状の造 ...
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Ⅱ－4 電気物性・磁気物性計測 主な研究設備・装置一覧｜研究・産学連携｜豊田工業大学
... 高温電子物性測定装置 High Temp. Physical Properties Measurement System キーワード 高温物性 電気抵抗率 ゼーベック係数 特長 ・環状炉内部に測定用プローブを導入することで，真空下で の物性測定が可能 ...
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Ⅱ－3 光学物性計測・分光分析 主な研究設備・装置一覧｜研究・産学連携｜豊田工業大学
... 動的粘弾性測定装置 Dynamic Viscoelastometer キーワード 動的粘弾性 湿度コントロール FTIR同時測定 水素結合 特長 湿度および温度変調下での動的粘弾性測定が可能。さらに、 フーリエ変換型赤外スペクトルを同時に測定できるよう、試料 セルが改造されており、湿度や温度変化に伴う試料の力学 特性と構造の時間変化を同時に測定可能（写真を参照）。とく ...
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Ⅱ－5 化学的性質および量子物性計測 主な研究設備・装置一覧｜研究・産学連携｜豊田工業大学
... 電子スピン共鳴装置 Electron Spin Resonance Spectrometer キーワード 磁性イオン フリーラジカル ESR EPR 配位子場 特長 最高磁場 1.3 テスラ付近まで測定できる X バンド電子スピン共 鳴装置であるため、 0.3 テスラ近傍に観測されるラジカルの信 号だけでなく、共鳴磁場が広範囲に角度変化する磁性イオン のスペクトルも測定が可能。 ...
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Ⅰ－3．化学合成・加熱処理・真空処理など 主な研究設備・装置一覧｜研究・産学連携｜豊田工業大学
... ・装置に投入するシリコンウェハは、ＲＣＡ洗浄等所定の薬品 にてクリーニングおよびドライ処理をしておくこと ・投入する試料に金属、あるいは有機物が付着した状態で、 拡散炉に投入しないこと ...
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Ⅲ．複合機能・特殊機能装置 主な研究設備・装置一覧｜研究・産学連携｜豊田工業大学
... 詳細情報 （ページ） 利用形態 その他 条件 ダイシング装置 φ ６ ” 以下 材質・形状制約あり 自前利用/代行支援 要受講 ＮＴＣｸﾘｰﾝﾙｰﾑ 20 積層造型機 ＳＴＬデータからの３次元形状の造 ...
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Ⅰ－1．機械加工・研磨・5D形成など 主な研究設備・装置一覧｜研究・産学連携｜豊田工業大学
... 試料表面の鏡面研磨や試料片の薄肉化 ■ グルービング装置 グルービング装置で試料表面近傍にお椀状の窪みを形成 した後、 p層とn層を観察しやすいようにステインエッチング で色の濃淡差を付け、金属顕微鏡などの表面画像で計測し た値によりp-n接合深さを算出 ...
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Ⅳ．計算機およびソフトウェア（物性解析・設計・制御用） 主な研究設備・装置一覧｜研究・産学連携｜豊田工業大学
... 並列演算クラスターサーバ 光機能物質. クラスタ計算機 制御システム.[r] ...
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Ⅳ．計算機およびソフトウェア（物性解析・設計・制御用） 主な研究設備・装置一覧｜研究・産学連携｜豊田工業大学
... 【ページ数なし】 詳細はありません。 ■その他条件 【要受講】 事前講習を受講いただきます。 【要相談】 使用に関する付加的な条件があります。 【経験者】 使用経験のある方限定です。 ...
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Ⅱ－1 顕微鏡観察 主な研究設備・装置一覧｜研究・産学連携｜豊田工業大学
... 機能・仕様 光源：水銀ランプ 対物レンズ 50 倍（試料レンズ間距離は約 1 ｃｍ）、 100 倍（この場合油浸なので試料はオイルに浸され、 レンズ試料間距離は 1mm 以下となる。） 青色レーザー（波 長 400nm, スポット径0.9μm、試料表面最大パワー 13 ｍＷ） 利用方法 講習を受ければ観察可能、共同研究が望ましい ...
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Ⅶ．ライフサイエンス 主な研究設備・装置一覧｜研究・産学連携｜豊田工業大学
... Ⅶ．ライフサイエンス 装置名 研究室名 装置名 研究室名 TOC分析装置 multi N/C2100Ｓ 高分子ﾅﾉ複合材料 テーブルトップ遠心機 KUBOTA 4000 高分子ﾅﾉ複合材料 低温インキュベーター FMU-133I 高分子ﾅﾉ複合材料 プレート専用遠心機 KUBOTA ...
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Ⅰ－4．その他 主な研究設備・装置一覧｜研究・産学連携｜豊田工業大学
... 高周波誘導加熱装置 Induction Furnace キーワード 高温炉， 溶融， 試料作製 特長 ・水冷された銅管コイルの内側に金属を配置することで加熱． ロータリー・ディフュージョンポンプによる真空排気およびAr ガス導入が可能 ...
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Ⅱ－2 構造解析 主な研究設備・装置一覧｜研究・産学連携｜豊田工業大学
... 特長 結晶に比べ数百～数千Åの大きな長周期を有する構造から の小角 X 線散乱を短時間で取得可能である。高分子の分野 では、積層ﾗﾒﾗ構造やﾐｸﾛ相分離構造、高分子中の無機粒子 分散状態などが主なﾀｰｹﾞｯﾄになる。 2 台の高感度検出器によ り、試料によっては秒のｵｰﾀﾞｰでの広角（ WAXD ）、小角散乱 （ SAXS ）同時測定が可能である。試料ｽﾃｰｼﾞ周りが広く、 ...
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Ⅰ．試料の形成・加工・処理のための装置 主な研究設備・装置一覧｜研究・産学連携｜豊田工業大学
... マイクロ・ナノ構造形成用プロセス 装置名 研究室名 装置名 研究室名 分子線エピタキシー装置 電子デバイス 分子線エピタキシー（ＭＢＥ）装置 半導体 多成分クラスターイオン生成装置 クラスター 反射防止膜成膜実験装置 半導体 イオン銃 クラスター 複合ＣＶＤ装置 ﾏｲｸﾛﾒｶﾄﾛﾆｸｽ ...
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Ⅱ－6 その他の物性計測 主な研究設備・装置一覧｜研究・産学連携｜豊田工業大学
... 利用方法 ・FF法の場合は試料層の最表面に100nmのMo膜を蒸着。RF 法の場合は石英基板もしくは光学研磨基板を使用し、試料 層の最表面および基板-試料間に100nmのMo層を蒸着。 ・測定は装置管理者の指導の下行う ...
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