ロボット0611.indd

■本  社 〒 720-2104 広島県福山市神辺町道上 1588-2 TEL（084）960-0001 FAX（084）960-0200 ホームページ アドレス http://www.rorze.com ■神奈川 FA センター 〒 243-0432 神奈川県海老名市中央 2-4-8 ニコービル 5F TEL（046）236-1380 FAX（046）236-1381 ■京都 FA センター 〒 612-8238 京都市伏見区横大路下三栖山殿 53 番 1 TEL（075）612-6370 FAX（075）612-6377 ■九州 FA センター 〒 861-1116 熊本県合志市福原 1-16 TEL（096）292-4100 FAX（096）292-4105 海外関連会社

●RORZE TECHNOLOGY, INC.（台湾）

1F., No.12, Industry East Road.,Ⅳ,

Science-based Industrial Park, Hsinchu, Taiwan, R.O.C. Telephone +886-3-5776482

Facsimile +886-3-5776461

●RORZE AUTOMATION, INC.（米国）

1625 McCandless Drive, Milpitas, CA 95035, U.S.A. Telephone +1-408-935-9100

Facsimile +1-408-935-9101

●RORZE SYSTEMS CORPORATION（韓国）

919 Korim-Dong, Yongin-City, Kyunggi-Do, 449-923, Korea Telephone +82-31-335-9100

Facsimile +82-31-337-1811

●RORZE ROBOTECH INC.（ベトナム）

Nomura-Haiphong Industrial Zone

Km13 Road No.5 Anduong District, Haiphong City, Vietnam Telephone +84-31-3743030

Facsimile +84-31-3743044

●RORZE TECHNOLOGY SINGAPORE PTE. LTD.（シンガポール） 627A, Aljunied Road, #10-11, Biztech Centre

Singapore 389842 Telephone +65-68445502 Facsimile +65-68445510

●RORZE TECHNOLOGY CONSULTANTS (SIP) CO.,LTD.（中国）

Room C1711, No.360, Hengtong Road, Shanghai 200070, China

RORZE TECHNOLOGY SINGAPORE PTE. LTD. RORZE TECHNOLOGY, INC.

RORZE TECHNOLOGY CONSULTANTS (SIP) CO.,LTD.

RORZE AUTOMATION, INC. RORZE SYSTEMS CORPORATION

RORZE ROBOTECH INC.

SHI 061201

※製品改良のため、お断わりなしに仕様の一部を変更することがありますので、 あらかじめご了承ください。

特長

2 マスターネットコントロールシステム ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 2 ウエハ搬送ロボット パーティクル測定 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 4 気流最適化にもとづいたクリーンなシステム ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 6

EFEM 対応 システム例

7

性能

8 用語解説 MTBF 繰り返し精度 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 8

ウエハ搬送機

大気ロボット RR713・RR716・RR717 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 10 RR700 RR701 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 12 真空ロボット MUSASHIシリーズ ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 14 RR352 RR452 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 16 アライナ RA310 RA210 RA401 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 18 300mmウエハ対応オープナ FORS300 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 21 エレベータ RE119 RE120 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 22 EFEM RS70000シリーズ ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 24 ウエハソータ RSCシリーズ ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 26 RS8221 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 28 RACS200 ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 29 200mmEFEM RACS200S（SMIF-Pod 対応） ‥‥‥‥‥‥ 30 RE201（SMIFオープナ） ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 31

液晶ガラス基板搬送機

カセットステーション RRG-80（1100×1250クラス） ‥‥‥‥‥‥ 32

オプション

セラミックフィンガ ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 34

INDEX

ウエハ搬送ロボット（補間制御タイプ） ● ポーリング不要 高速の RS-485 通信（最大 921.6kbps）によって、RC-400 が常に各コントローラを監視しているので、ホストコンピュー タの負担が大幅に軽減されます。（自動ポーリング機能） また、ホストコンピュータと RC-400 間の通信速度は従来の約 10 倍（最大 115.2kbps）です。 ● 多軸同期補間制御が可能 ホストコンピュータからの単純な指令で、複数の RC-420 を使った多軸同期補間制御が可能です。 ● 省配線 1 台の RC-400 と、1 対のツイストペア線でネットワークを構成でき、1.2km までの通信と、120 台までの RC-400 シ リーズコントローラの制御が可能です。 VAC2 VAC1 ORG STALL ORG STALL E-083E40 CCW LIMIT FAN回転検出 STALL ORG STALL ORG RS-485 PCM-5820B RO -UW3 R-073 RS232C

CLOCK G CLOCK F CLOCK E CLOCK

J I H A A D C B B C D E F G I J H RC-420 RC-431 エンコーダマスタ ジェネレイトマスタ RC-420 ジェネレイトマスタ RC-420 ジェネレイトマスタ RC-420 ジェネレイトマスタ リセット セット Ｚ軸 STALL バレル STALL アーム STALL リスト STALL アーム CLOCK リスト CLOCK Ｚ軸 CLOCK バレル CLOCK Ｚ軸 エンコーダ信号 バレル エンコーダ信号 アーム エンコーダ信号 リスト エンコーダ信号 RD-029MS ドライバ RD-026MSA ドライバ モータ エンコーダ モータ エンコーダ モータ エンコーダ モータ エンコーダ アーム バレル Ｚ軸 リスト ブレーキ基板 マッピングセンサ 真空吸着 吸着確認 リスト部 マッピングセンサ RD-026MSA 電磁ブレーキ RD-026MSA ドライバ ドライバ

新型コントローラ

RC-400 シリーズ

■

RC-400 シリーズ搭載機種

RS73000 RR732 RR420 特長 RC-420

システム構成図

特  長

特長

マスターネットコントロールシステム

マスターネットコントロールシステムは、パソコンなどの RS-232C を持つ機器によって、複数のモータを使っ

た装置の集中制御と管理を行うシステムです。

このシステムは、以下の 4 つの製品群からなります。

1. パソコンと複数のコントローラを、3 本の通信線のみで通信を可能にする通信アダプタ（RC-400, RC-002）

2. 通信による制御が可能で、汎用入出力接点を持つモータ制御用コントローラ

（RC-410/420，RC-204A，207A，234）

3. モータのそばに取り付けが可能な、小型ステッピングモータドライバ（RD シリーズ）

4. 当社ドライバの特性に最適化された 2 相／5 相ステッピングモータ（RM シリーズ）

● 各コントローラが通信で受けたコマンドを元に独自の制御を行うため、パソコン上の簡単なプログラムで高度な制御が 可能です。 ● RS-232C 通信の制御ができる言語であれば、どんな言語でも制御プログラムが作成可能です。 ● コンパクトな筐体と単純な配線による制御が可能なため、各機器の配置の自由度が高く、機械全体をコンパクトにで きます。 ● DC 電源で動作するため、自走ロボットなどへ組み込めます。 ● モータ毎に動作チェックが可能なため、装置の開発期間の短縮、迅速な故障診断および復旧が可能です。 電磁ブレーキ 真空吸着 リセット セット ROS-02 ROP-02 ROS-02 吸着確認 VAC1 STALL ORG RC-234 RD-026MSA Ｚ軸 RC-204A FAN 回転検出入力 STALL ORG CCW LIMIT RC-234 アーム2 アーム1 旋回 RD-026MSA R-022 STALL CCW LIMIT ORG RD-026MSA RC-234 RC-234 RC-002 アーム1リスト部 VAC2 ブレーキ制御出力 セット リセット アーム2リスト部 ORG 吸着確認 真空吸着 VAC2 VAC1 STALL ROP-02 ROS-02 ROS-02 RD-026MSA R-022 マッピングセンサ マッピングセンサ RS232C カレントループ リンクマスタ ジェネレイトマスタ I/Oマスタ ドライバ ドライバ ドライバ ドライバ ジェネレイトマスタ ジェネレイトマスタ ジェネレイトマスタ A A CLOCK マッピング準備OK マッピング動作完了 モータ モータ モータ モータ

RC-200 シリーズ

ウエハ搬送ロボット

特  長

RC-234

システム構成図

特長

パーティクル測定

経過時間

（ｈ）

合計

1

0

0

0

0

0

0

0

2

0

0

0

0

0

0

0

3

0

0

0

0

0

0

0

4

0

0

0

0

0

0

0

5

0

0

0

0

0

0

0

6

0

0

0

0

0

0

0

7

0

0

0

0

0

0

0

8

0

0

0

0

0

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9

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

0

クリーンブース

U L P A

H E P A

RR713

《試験概要》

《測定方法》

クリーンルーム内

（[ISO]クラス1対応）

パーティクルカウンタ

（TS-3700, 吸引量：1CF/min）

《測定結果》

連続動作時のパーティクル数

【測定ポイント】 Z軸最上位置・アーム伸び切 り付近（ロボットから400mm） の位置とした。 【ロボット動作】 旋回 270°・Z 軸最上位置での アーム伸縮（アーム 1・アーム 2交互動作）と旋回及び Z軸が 原点位置でのアーム伸縮（ア ーム 1・アーム 2 同時動作）の 繰り返しで、サイクルタイム は8.6sec とした。 【測定時間】 60 分毎の 12 時間連続測定と し、1 分間当たりの平均パーテ ィクル数（個/CF）を算出した。

パーティクル数

（個/CF）

≧0.1μm

≧0.2μm

≧0.3μm

≧0.5μm

≧1.0μm

≧2.0μm

0.000

平均（/min）

総計（12h）

10

11

12

《評価》

12 時間連続動作時のパーティクル数は0 個/CF（粒径≧ 0.1μm）です。これは、ウエハ搬送レベルに

おいてはロボットからの発塵が無いことを意味しています。

特長

大気用ウエハ搬送ロボット

標準 RR701L1211-204

低発塵 高スループット

ウエハ搬送ロボット RR701

高速ウエハ搬送を実現した最適 S 字加減速コントローラを採 用し、アーム関節部に磁性流体シールを採用した半導体製造用 クリーンロボットで、当社のロングセラー機です。ダブルアー ムで、Z 軸を内蔵し、プロセスステージでのウエハ交換を素早 く行うことができます。マスターネットコントロールシステムに より、エレベータ・アライナなどとの自由な組み合わせができ、 搬送システムがコンパクトかつ容易に構築できます。  RR701 シリーズは「基板搬送用スカラ型ロボット」とし て特許取得済みです。（日本特許第 2739413 号、韓国特許第 0288085 号）本特許のダブルアームロボットは、半導体およ び液晶パネルの製造工程で数多く使用されています。

_ダブル

シングルアーム

アーム

フィンガ

シングルフィンガ 対称フィンガ 1フィンガ×2

スループット

1.0

1.6

1.8

フットプリント

1.0

1.5

1.3

コストパフォーマンス

1.0

1.1

1.4

ロボットアームの違いによるコストパフォーマンス比較表

ＥＦＥＭ 対応システム例 RV201-F05 ロードポート エレベータ（320ST） RE123-321-001 FFU（ULPA） RA310-812 アライナ 1600 545 3 17 545 98 2 15 297.5 505 797.5 31 3 41 7 445 11 7 5 350 16 5 0 2000 E M O PLACEMENT PRESENCE MANUALAUTO 搬入禁止搬入予約 PA192-80M OPERATOR ACCESS LOAD UNLOAD 505 クリーンロボット RA310-812アライナ FFU（ULPA） AIR2 AIR1 VAC COVER CLOSE

COVER LOCKPLACEMENT LOADUNLOAD

Logitech PLACEMENT PRESENCE MANUALAUTO 搬入禁止搬入予約 EMO OPERATOR ACCESS LOAD UNLOAD PLACEMENT PRESENCE MANUALAUTO 搬入禁止搬入予約 MENUAUTOSELECT Access Vision 30 0 56 0 51 0 11 8 0 70 25 0 325 505 505 2165 515 315 350 14 6 0 16 5 0 2 000 EMO 300mmFOUP ロードポート RV201-F05 200mmOCロードポート RV101 RR712L1521-3A3-E11 （FORS300） FOUP オープナ 非常停止 スイッチ RA301-812 アライナ RT130-1112 X 軸テーブル ロボット RR713-L150 350 16 5 0 12 0 0 20 0 0 FFU（ULPA） 448 505 2200 505 360 280 800 E M O PLACEMENT PRESENCEUNLOADLOAD

PLACEMENT

PRESENCEUNLOADLOAD PLACEMENTPRESENCEUNLOADLOAD

RS232C IN P-CN5 ROBOT-C RS232C OUT P-CN4 ROBOT-D I/O 12 4 8 80 0 338 660 25 0 70

EFEM 対応 システム例

Ⅰ

FOUP,

8", 12" オープンカセット対応

Ⅱ

FOUP 2 ポート ,

8", 12" オープンカセット対応

Ⅲ

FOUP 3 ポート対応

特長

気流最適化にもとづいたクリーンなシステム

気流最適化によってクリーンなシステムを実現し、

稼動時でもロードポートを交換できます

●

気流の最適化

気流解析にもとづく設計で層流を装置内に発生させ、吹き溜まりや巻き上がりによるパーティクルの付着を防止しました。

●

中段差圧プレートの採用

気流解析結果にもとづき、搭載される FFU の出力を有効に利用するために、中段差圧プレートを開発しました。 中段差圧プレートを取り付けることにより、搬送エリアをよりクリーンに保つことができます。 また、装置内部と外部との差圧の確保にも有効です。

●

稼動時でもロードポート交換が可能

十分な気流対策と中段差圧プレートにより、システムが稼動中にもロードポートの交換が可能です。 中段差圧プレート

■

中段差圧プレートを

 使用した装置

RS73000 RSC242 特許出願中

繰返し精度

RR700L90 の場合 Ia = 94mm アーム寸法 If = 287mm 測定用フィンガ寸法  （If：アーム第 3 関節からフィンガ先端） L0 = 140mm 軸間寸法（原点） L1 = 163mm 軸間寸法（アーム伸張時） L2 = 450mm 搬送寸法 θ方向換算式 θ方向バックラッシュ角度をＡ（˚）とすると、バックラッシュ量Ｂ（mm）は以下計算式で表すことが出来ます。 B ＝ L2・tanA 性能 動作パターン : 図 1 および図 2 参照。 測 定 回 数 : 100 回 測 定 部 : 図 1 の C 部にて、図 3 に示すようにフィンガ先端部の 2 方向 X・Y について測定。 測 定 条 件 : 第 3 関節部にアルミフィンガを取り付け、振動停止後測定。 測 定 具 : 非接触変位計（レーザ方式）・ノギス・ダイヤルゲージ他。 レーザ変位計 （X方向） レーザ変位計 （Y方向） 進行方向 イニシャライズ アーム伸 アーム縮 旋回 90˚ 旋回180˚ 旋回 0˚ 1サイクル 図2. 動作フロー 図3. XY変位測定

性能

■ 動 作 時 間： 被搬送物がない状態で一定距離を最高速度で動作させる時に要 する時間（23 ∼ 30℃の環境において測定） ■ 動作範囲 Ｒ方向： 搬送可能な最大ストローク ■   〃   θ方向： 旋回可能な最大動作角度 ■   〃   Ｚ方向： 昇降可能な最大ストローク ■ 繰 返 し 精 度： ある一点に一定方向送りを繰返した時のバラツキ量 ■ 位 置 決 め 精 度： アライナでのあわせ精度 ■ 本 体 質 量： コントロールユニット、パワーユニット、接続ケーブルなどの質量 を含まない重さ

MTBF

   平均故障間隔

修理系の相隣る故障間の動作時間の平均値（JIS Z8115 H10） RR701 における MTBF 算 定 方 法：出荷台数・故障回数と稼働率を考慮したもので、計算式は下式による。 総稼働時間：算定時点の 3 ヶ月前までの出荷台数の総数にロボット稼働率 25% を乗じて算出（出荷後 3 ヶ月より稼働）。 故 障 回 数：初期故障、検査異常なし（不具合が再現しないもの）も含め、故障修理として対応した回数。 出 荷 台 数：年初までの出荷累計台数と、年出荷台数に 0.5 を乗じたものの和。 MTBF = 総稼働時間（1 年間） 故 障 回 数（1 年間） ■ R 方向、θ方向、Z 方向 本カタログで仕様に用いる語句説明

用語解説

年 度

MTBF

1996 年

1.54 年

1997 年

2.30 年

1998 年

3.43 年

1999 年

4.54 年

2000 年

7.75 年

2001 年

10.66 年

2002 年

13.41 年

2003 年

12.98 年

2004 年

21.55 年

2005 年

19.01 年

ウエハ搬送機

外形寸法

外形寸法

[ ロボット∼カセット ] 間の距離はフィンガ長さによって異なります。 RR713 は上記寸法図のように X 軸なしで 2 ロードポートに搬送できません。 [ ロボット∼カセット ] 間の距離はフィンガ長さによって異なります。 50 5 608 76 1 .5 30 0 73 6 .7 75 4 .9 543 12 0 200 15 6 156 φ228 φ221 排気ファン φ228 φ221 608 73 5 30 0 73 2. 4 200 12 0 156 50 5 545 排気ファン RR717L1521-3A6 RR716L1523-3A6

300mm ウエハ 搬送ロボット

RR713・RR716・RR717

RR713/716/717 の特長 1. 磁性流体シールとフルカバースカートにより、優れたク リーン性能をもちます。 2. エッジクランプ搬送と真空吸着搬送の 2 タイプが選択でき ます。 3. Ｚ軸は 300mm ストロークで、300mm ウエハ用 25 段 カセットに対応します。 RR716/717 の特長 1. 旋回軸とアーム軸を補間制御することで、Ｘ軸無しで2ロー ドポートに搬送できます。 2. アブソリュートエンコーダ搭載により、原点復帰が不要です。 3. 新型コントローラにより最適加減速制御を行います。 4. コントローラ内部でウエハ搬送の最適軌跡を計算し、サイ クルタイムを短縮できます。 5. 第一関節がロボット中心からオフセットした構造で、従来 のシングルアームロボットと同じ最小旋回範囲でウエハの 搬送距離を大きくすることができます。（RR716）

特 長

仕 様

RR717L1521-3A6 RR716L1523-3A6 J.PAT. No.2739413 型   式 被搬送物 300 330 300 ±0.05 繰り返し精度 動作範囲 動作時間 R方向 （mm） θ方向 （°） Z方向 （mm） 1.6 40 41 R方向 （sec） θ方向 （sec） Z方向 （sec） R方向 （mm） θ方向 （°） Z方向 （mm） 本体質量 （kg） 備 考 注1 注2 φ300mm ウエハ （200g）

■供給源 電源 24V 23A 以上 / 真空 圧力：-40kPa∼-80kPa，流量：10R/min 以上 注１ ロボット動作範囲は、リスト部・フィンガによって異なります。 注２ R 方向は伸びきり、θ方向は 330°、 Z 方向は Z 軸ストロークに要する時間です。 注３ 記載しているデータは、装置単体で測定しています。システムとして動作する場合は異なる場合があります。 R733 R716 ±0.1 ±0.03 ±0.02 1.2 1.3 1.2 2.0 2.5 1.5 45 真空吸着 エッジクランプ

RR713L1521-3A3

L1522-3A3

R622

RR716L1523-3A6

RR717L1521-3A6

取付寸法

コントロールユニット

565 13 0 RC POWER CP2(RD) CP1(RC) RD POWER Z MOTOR ROBOT I/O ROBOT 28 0 TCP/IP FAN RS-485 OUT RS-232C KEY VGA 11 7 （配 線 ス ペ ー ス ） RR713L1522-3A3 特許出願中

ウエハ搬送機

大気ロボット

RR701

シリーズ

1. 搬送アームを 2 組装備し、プロセス ステージでのウエハ交換を素早く行 うことができます。 2. 高速ウエハ搬送を可能にした最適 S 字加減速コントローラを採用してい ます。 3. アーム関節部に磁性流体シールを採 用し、発塵を最小限に抑えています。 4. Z 軸 は、20・200・300mm の 3 タ イプを用途により選択できます。

特 長

仕 様

外形寸法

取付寸法

J.PAT. No.2739413 RR701L1211-204 型   式 被搬送物

RR701L0911-021

L1211-021

L1211-204

L1211-303

L1521-204

L1521-303

L0911-204

R373 R427 R512 R582 330 20 200 20 200 300 200 300 ±0.05 ±0.02 繰り返し精度 動作範囲 動作時間

■供給源 電源 24V 12A 以上 / 真空 圧力：-40kPa∼-80kPa，流量：10R/min以上   注１ ロボット動作範囲は、リスト部・フィンガによって異なります。   注２ R 方向は伸びきり、θ方向は 330°、 Z 方向は Z 軸ストロークに要する時間です。   注３ Z 軸ストローク 300mm のロボットについては、角ベース取り付けタイプも選択可能です。   注４ 記載しているデータは、装置単体で測定しています。システムとして動作する場合は異なる場合があります。 R方向 （mm） ±0.008 ±0.012 θ方向 （°） Z方向 （mm） 0.7 1.3 0.8 1.5 1.0 1.8 0.6 19 2.0 26 0.6 23 2.0 30 3.0 34 2.0 36 3.0 40 R方向 （sec） θ方向 （sec） Z方向 （sec） R方向 （mm） θ方向 （°） Z方向 （mm） 本体質量 （kg） 注1 注3 注3 注2 φ100∼ φ300mm ウエハ （200g） RR701L0951-204 防滴ロボット RR701L0911-204 コントロールユニット

大気ロボット

RR700

シリーズ

RR700L1521-204 1. 高速ウエハ搬送を可能にした最適 S 字加減速コントローラを採用してい ます。 2. アーム関節部に磁性流体シールを採 用し、発塵を最小限に抑えています。 3. Z 軸 は、20・200・300mm の 3 タ イプを用途により選択できます。

特 長

仕 様

外形寸法

外形寸法

取付寸法

ORG CW 3等配−M5 φ100 貫通穴 φ2 40 M5キャップスクリューネジ M6セットスクリューネジ レベル調整用 取付ベース φ300 □220 φ228 反転可能位置：267 59 4. 5∼ 89 4. 5 反転 中心 :7 18 .5 ∼ 101 8. 5 φ300 □62 47 29 12 10 43 .5 30 0 280 最小旋回範囲:φ550 15 6 70 155 最大搬送範囲:R592 25.4 排気ファン （オプション） ORG CWリミット （旋回範囲 :330゜） RR700L1522-3A3 型   式 被搬送物

RR700L0911-021

L0911-204

L1211-021

L1211-204

L1211-303

L1522-204

L1522-303

L1521-021

L1521-204

L1521-303

R408 R462 R532 R590 R528 330 20 200 20 200 300 20 200 300 200 300 ±0.05 ±0.02 繰り返し精度 動作範囲 動作時間 ■供給源 電源 24V 9A 以上 / 真空 圧力：-40kPa∼-80kPa，流量：10R/min以上 注１ ロボット動作範囲は、リスト部・フィンガによって異なります。 注２ R 方向は伸びきり、θ方向は 330°、 Z 方向は Z 軸ストロークに要する時間です。 注３ Z 軸ストローク 300mm のロボットについては、角ベース取り付けタイプも選択可能です。 注４ 記載しているデータは、装置単体で測定しています。システムとして動作する場合は異なる場合があります。 R方向 （mm） ±0.008 ±0.012 θ方向 （°） Z方向 （mm） 0.7 1.3 0.8 1.5 1.0 1.8 1.5 1.8 0.6 17 2.0 24 0.6 19 2.0 26 3.0 27 0.6 22 2.0 29 3.0 30 2.0 29 3.0 30 R方向 （sec） θ方向 （sec） Z方向 （sec） R方向 （mm） θ方向 （°） Z方向 （mm） 反転仕様 反転仕様 本体質量 （kg） 備 考 注1 注3 注3 注3 注2 φ100∼ φ300mm ウエハ （200g）

反転タイプ

RR700L0911-204 コントロールユニット

仕 様

外形寸法

取付寸法

ウエハ搬送機 − 2.0sec/550mm 1.6sec/450mm 2.4sec/180° 2.0sec/180° 1.0sec/20mm 繰り返し精度 動作範囲 動作時間（水平軸：加速度0.2G指令時） R方向 （mm） ±0.01 − − θ方向 （°） Z方向 （mm） R方向 θ方向 Z方向 R方向 （mm） θ方向 （°） Z方向 （mm） 旋回半径 （mm）

LONG ARM

SHORT ARM

1065 870 無制限 無制限 70 515 420 ±0.022 ±0.0012 ±0.018 ±0.0012 注１ 真空度によって仕様変更があります。 φ283 取付フランジ詳細 8 等配 -M8 P.C.D.310 最小 旋 回 範 囲：φ 10 30 R365 （ア ーム 原点 での ウエ ハ中 心） 搬送高さ 10 5 .5 最大 搬送距離 :R1065 700 （3 2 0 ） 56 ° 10 2 .5 13 2 3 13 89 .5 29 89 .5 16 1.5 （フィンガ：オプション） 10 5 .5 26. 5 18 1. 1 32 0 .1 φ340 13 9 ロボット取付面 （UPPER・LOWER） （1 0 0 ） （φ283） （φ140） LR UR UL LL UPPER LOWER

取付寸法

真空ロボット

MUSASHI

シリーズ

外形寸法

●極高真空対応 1. 隔壁構造採用により短時間で真空引きが可能です。 2. 極高真空1.0 x 10-6_{Paで動作可能です。} ●極小アウトガス 1. 特殊表面処理、隔壁構造採用によりアウトガスを低減しました。 ●世界最小真空ロボット 1. ロボット駆動部改良、DD 構造によりロボットをコンパクト化、 軽量化しました。 ・Z 無しタイプ、全高 330mm（フランジ取り付け面より185mm） ・ Z 70mm stroke 全高 570mm（フランジ取り付け面より 425mm） ●高性能、低振動 1. 連続繰り返し位置精度± 20μm。振動 0.1G 以下で搬送可 能です。 ●自由自在のレイアウト 1. radial（放射状）、multi（多軸補間）動作が可能なため自由 なレイアウトが可能です。 2. 上下フィンガ同一平面設計です。 ●高温対応 1. ロボット直接温度120℃動作可能。悪環境に対応します。

特 長

φ283 取付フランジ詳細 P.C.D.310 8 等配 -M8 （フィンガ：オプション） 600 320 73 STROKE 46.25 69.25 5 14 UPPER LOWER 22 R270（ア ーム原 点でのウ エハ中 心） 最小 旋_回 範 囲：φ₄₂₅ 最大搬 送距離:R870 67 ° 92.275 ロボット取り付け面 424. 5 73 STRO KE 570.75 1 424.5 14 6. 25 φ340 φ280 94.275

ウエハ搬送機

真空ロボット

RR452

シリーズ

1. ウエハ搬送が簡単な構成で可能とな る Z 軸付です。 2. 高速ウエハ搬送を可能にした、最適S字 加減速コントローラを採用しています。 3. アーム内のベアリング、ベルト等から の発塵を磁性流体シールとフィルタ により防止した発塵対策製品です。 4. 高分解能・低振動で、発塵・位置ずれを 最小限に抑え、確実な搬送ができます。 5. ロボット交換が簡単にできるチャンバ 上面交換方式です。 6. ウエハ移載時間の短縮を可能にする対 称フィンガタイプが標準仕様にあります。 7. 標準仕様としてフランジ下面に O リ ング取り付け用アリ溝加工済です。 8. ゲートバルブを通り抜けるロボットアーム 厚がわずか24mmのSEMI規格対応ア ームのモデルもあります。（RR452S）

特 長

仕 様

外形寸法

取付寸法

RR452L200 旋回範囲 最小旋回範囲  φ474 コントロールユニット 型   式 被搬送物 耐真空度 （Pa） 330 10 20 10-6 繰り返し精度 動作範囲 動作時間 ■供給源 電源 24V 8A 以上 ■シール方式 磁性流体＋ベローズ     注１ 当社標準 250mm フィンガを使用した場合です。 対称フィンガロボットはフィンガ長 200mm を使用した場合です。     注２ フィードスルーの耐真空度です。     注３ R 方向は伸びきり、θ方向は 180°、Z 方向は Z 軸ストロークに要する時間です。 被搬送物がないときの時間です。 被搬送物があるときはフィンガの形状と被搬送物により、速度設定の変更が必要です。     注４ 対称フィンガタイプの場合は、フィンガにウエハ押さえ用ガイドが必要です。     注５ アーム原点サーチ時に、コマンド及びパラメータによっては、最小旋回範囲を越える場合があります。     注６ 記載しているデータは、装置単体で測定しています。 システムとして動作する場合は異なる場合があります。 R方向 （mm） ±0.1 ±0.008 ±0.1 θ方向 （°） Z方向 （mm） 対称フィンガ 対称フィンガ R方向 （sec） θ方向 （sec） Z方向 （sec） R方向 （mm） θ方向 （°） Z方向 （mm） 本体質量 （kg） 備 考 注1 注2 注3 注4 φ50∼ φ300mm ウエハ （200g）

RR452L150-112

L150-122

L200-112

L200-122

S250-112

S250-251

R568 R518 R650 R600 R750 3∼4 3∼4 3∼4 30 RR452L200-112

真空ロボット

RR352

シリーズ

1. 高速ウエハ搬送を可能にした、最適S字 加減速コントローラを採用しています。 2. アーム内のベアリング、ベルト等か らの発塵を磁性流体シールとフィル タにより防止した発塵対策製品です。 3. 高分解能・低振動で、発塵・位置ずれを 最小限に抑え、確実な搬送ができます。 4. ロボット交換が簡単にできるチャン バ上面交換方式です。 5. ウエハ移載時間の短縮を可能にする対 称フィンガタイプが標準仕様にあります。 6. 標準仕様としてフランジ下面に O リ ング取り付け用アリ溝加工済です。 7. ゲートバルブを通り抜けるロボット ア ー ム 厚 が わ ず か 24mm の SEMI 規格対応アームのモデルもあります。 （RR352S）

特 長

仕 様

外形寸法

取付寸法

RR352L200-122 第二フィンガ 搬送範囲 330゜ 第一フィンガ 搬送範囲 330゜ 最小旋回 範囲     φ600 コントロールユニット 型   式 被搬送物 耐真空度 （Pa） 330 − 10-6 繰り返し精度 動作範囲 動作時間 ■供給源 電源 24V 5A 以上 ■シール方式 磁性流体 注１ 当社標準 250mm フィンガを使用した場合です。 対称フィンガロボットはフィンガ長 200mm を使用した場合です。 注２ フィードスルーの耐真空度です。 注３ R 方向は伸びきり、θ方向は 180°に要する時間です。 被搬送物がないときの時間です。 被搬送物があるときはフィンガの形状と被搬送物により、速度設定の変更が必要です。 注４ 対称フィンガタイプの場合は、フィンガにウエハ押さえ用ガイドが必要です。 注５ アーム原点サーチ時に、コマンド及びパラメータによっては、最小旋回範囲を越える場合があります。 注６ 記載しているデータは、装置単体で測定しています。 システムとして動作する場合は異なる場合があります。  R方向 （mm） ±0.1 ±0.1 ±0.008 ±0.2 ±0.2 − − θ方向 （°） Z方向 （mm） 対称フィンガ 対称フィンガ 対称フィンガ 20 R方向 （sec） θ方向 （sec） Z方向 （sec） R方向 （mm） θ方向 （°） Z方向 （mm） 本体質量 （kg） 備 考 注1 注2 注3 注4 φ50∼ φ300mm ウエハ （200g）

RR352L150-112

L150-122

L200-112

L200-122

L250-122

S250-112

R568 R518 R650 R600 R700 R750 3∼4 3∼4 RR352L200-122

仕 様

型   式 _{ノッチ合わせ} （°） センター合わせ （mm） ノッチ・センター合わせ （sec）

RA210-C12

φ300mm Siウエハ 石英ガラスウエハ ±0.2 ±0.1 約4.5（標準） 15 位置決め精度 処理対象物 本体質量 （kg） 位置決め時間 ■供給源 電源 24V 4A 以上 / エアー圧力：0.5MPa，流量：20R/min以上     注１ 記載しているデータは、装置単体で測定しています。システムとして動作する場合は異なる場合があります。     注 2 ノッチ位置が特定の条件以外とした場合。 注2

300mm ウエハ対応アライナ

RA210

本装置は、クランプ軸，Z 軸およびθ軸を保有した、赤色 光センサによるエッジクランプ方式のアライナです。 1. ウエハの外周を保持するエッジクランプ方式 (PEEK 製ク ランプパッド ) の採用により、ウエハへのパーティクルの 付着を最小限に抑えます。 2. 赤色光センサと新型コントローラおよびドライバを使用 し、高速・高精度に位置決めを行います。 3. Z 軸には電源 OFF 時の落下防止用ブレーキが内蔵されてい ます。

特 長

外形寸法

9P 9P 15P 9P 圧力センサ 24 7 32 .5 23 5 12 φ100（開口穴） 232C OUT 232C IN DC24V AIR MAINTENANCE 95 17 0 305 22 0 26 0 70 90 20 90 15 0 4-M4 326 スピンドル中心 50 70 40 80 ウエハ確認センサ 11 5 28 1. 5 25. 5 10 .5 2-5+0.1 +0.05 326±0.02 340 326 φ300 φ100 （ファン用開口穴） 排気ファン内蔵 コネクタ用スペース ORG （位置決め用） ベース取付け穴 詳細 （固定用） （位置決め用） ファイバセンサ RA210-C12 ウエハ搬送機 特許出願中

300mm ウエハ対応アライナ

RA310

本装置は、X 軸 , Z 軸およびθ軸を保有した 300mm ウエ ハ用高精度アライナです。 ウエハのセンタ合わせ、ノッチ合わせが可能です。 1. 赤外線アナログセンサにより、非接触でアライメントを行 い、パーティクルの付着を最小限に抑えます。 2. ± 3mm 以内に置かれたウエハを自動的に高精度アライメ ントします。 3. コントローラ・ステッピングモータドライバなどの電気制 御部をメカ部に内蔵したマスターネットコントロールシス テムを採用しております。 4. 新型コントローラの採用により、より高精度で高速なアラ イメントが可能になりました。

特 長

外形寸法

111 28 5 160 110 4 7 160 39 6 28 9 14 12 335 295 160 スピンドル径φ50 167.5 19 0 17 6 95 95 25.4 （オプション） 排気ファン □62 DC24V 2-φ5.1（位置決用） 20 4-φ4.5（固定用） 232C IN 232C OUT EXH VAC.SUP

仕 様

型   式 オリフラまたは ノッチ合わせ （°） センター合わせ （mm） オリフラまたは ノッチ・センター合わせ （sec）

RA310-C12

RA310-512

RA310-812

φ300mm Siウエハ φ300,φ200mm Siウエハ φ125,φ150,φ200mm Siウエハ ±0.2 ±0.1 _{（ズレ量：±3mm以内）}約5 14 11 位置決め精度 処理対象物 本体質量 （kg） 位置決め時間 ■供給源 電源 24V 4A 以上 / 真空 圧力：-60kPa∼-80kPa，流量：10R/min以上     注１ 記載しているデータは、装置単体で測定しています。 システムとして動作する場合は異なる場合があります。 RA310-C12

ウエハ搬送機

300mm ウエハ対応オープナ

FORS300

1. モータ駆動により、確実で最適なスピードで動作します。 2. モータ駆動とスルービームによる確実なマッピングで、クロスウ エハ検出、ウエハ厚さエラー検出を行います。 3. 独自の機構により、装置内へのパーティクルを最小限に抑えます。

特 長

外形寸法

197.5 243 250 319.5 1386 1187（BOLTS開口） 107 865 900 1021.5 45 542 ₄₉₃ 45.5 ₄₇₂ 414（BOLTS開口） 410 Operator access Switch Latch Key

Horizontal datum plane

（OPTION） AGV/RGV Sensor Floor CID Reader （OPTION） Connection panel Registration Pin Chucking Pad BOLTS plane Facical datum plane

（OPTION） info pad A,B,C,D

PLACEMENT PRESENCE UNLOAD LOAD F O R S - 3 0 0

取付寸法

plane OPEN Horizontal datum 455.5 ±0.1 394 1187 1341 1386 29 207 207 29 68 Floor 832 ±0.1 900 793 45 62 斜線エリアは平坦の事 215±0.1 472 215±0.1 92 Loadport 取付面 (inside of tool) 4-M8 取付ネジ

仕 様

型   式 _オープン （sec）

RV201-F05

（標準タイプ） SEMI規格 FOUP 15 （マッピング動作含む） クローズ （sec） 10 65 動作時間 適応キャリア 本体質量 （kg） ■供給源 電源 24V 7A 以上      真空 圧力：-60kPa∼-80kPa，流量：10R/min以上      圧空 圧力：0.44MPa∼0.54MPa，流量：10R/min以上     注 1 記載しているデータは、装置単体で測定しています。 システムとして動作する場合は異なる場合があります。 標準タイプ ストッカー対応タイプ FOSB 対応タイプ TYPE：RV201-F05-T01 TYPE：RV201-F05-T02 床面 Stocker hand 床面 180° 床面 180° TYPE：RV201-F05- ※※※ 特許出願中

外形寸法

取付寸法

仕 様

型   式 オリフラまたは ノッチ合わせ （°） センター合わせ （mm） オリフラまたは ノッチ・センター合わせ （sec）

RA401-512

φ125,φ150, φ200mm Siウエハ ±0.1 ±0.03 約11 15 位置決め精度 処理対象物 本体質量_（kg） 位置決め時間 ■供給源 電源 24V 4A 以上 / 真空 圧力：-40kPa∼-80kPa，流量：10R/min以上     注 1 300mm ウエハ対応タイプ（RA401-C12）及び石英ガラスウエハ対応タイプ（RA402）もございます。     注 2 記載しているデータは、装置単体で測定しています。システムとして動作する場合は異なる場合があります。

RA401

特許出願中 RA401-512 本装置は、X・Y 軸 , Z 軸およびθ軸を保有した赤外線光セン サ高精度アライナです。 1. 赤外線光センサにより、非接触でアライメントを行い、パー ティクルの付着を最小限に抑えます。 2. ウエハサイズはソフトまたはハードにより変更できます。 3. ± 10mm 内に置かれたウエハを自動的に高精度アライメ ントします。 4. コントローラ、ステッピングモータドライバ等の電気制御 部をメカ部に内蔵したマスターネットコントロールシステ ムを採用しております。

特 長

アライナ

RA401-512 RA401-512

マッピングエレベータ

RE120

RE120-002 本装置は固定テーブルに置かれたカセット内ウエハの高さ レベルを、赤外線光センサにより検出する昇降式高速ウエハ マッピング装置です。 1. モータ駆動とスルービームによる確実なマッピングで、ク ロスウエハ検出、ウエハ厚さエラー検出を行います。 2. 最適 S 字加減速コントローラ・サーチ専用コントローラ採 用によりスムーズな高速サーチを実現しています。 3. コントローラ、ステッピングモータドライバ等の電気制御 部をメカ部に内蔵したマスターネットコントロールシステ ムを採用しております。 4. 透明丸基板、角基板にも対応可能です。

特 長

仕 様

型   式

RE120-002

φ125∼φ200mm_ウエハ ±0.02 処理対象物 繰り返し精度 （mm） 220 有効ストローク （mm） 2 7 マッピング時間 （sec） 本体質量 （kg） ■供給源 電源 24V 2.5A 以上   注１ 200mm ストローク移動してマッピングを行ったときに要する時間です。   注２ 記載しているデータは、装置単体で測定しています。システムとして動作する場合は異なる場合があります。 注1 ウエハ搬送機

外形寸法

RE120-002

エレベータ

RE119

RE119-121 本装置は、カセット内ウエハの高さレベルを赤外線光セン サで検出し、ロボットにより搬出入するための昇降装置です。 1. モータ駆動と赤外線光センサによるマッピングで、ウエハ の位置を正確に検出します。 2. 最適 S 字加減速コントローラ・サーチ専用コントローラ採 用により、スムーズな高速サーチを実現しています。 3. コントローラ、ステッピングモータドライバ等の電気制御 部をメカ部に内蔵したマスターネットコントロールシステ ムを採用しております。 4. 透明丸基板、角基板にも対応可能です。

特 長

仕 様

型   式

RE119-121

φ125∼φ200mm ウエハカセット ±0.01 処理対象物 繰り返し精度 （mm） 264 有効ストローク （mm） 6 6 マッピング時間 （sec） 本体質量 （kg） ■供給源 電源 24V 2.5A 以上   注１ 210mm ストローク移動してマッピングを行ったときに要する時間です。   注２ 記載しているデータは、装置単体で測定しています。システムとして動作する場合は異なる場合があります。 注1

外形寸法

光軸 高 さ：3 8 6 有効 駆 動 範 囲：1 41 ∼ 4 0 5 ，原 点：4 0 5 40 0 120 305 サーチセンサ 14 5 175 285 RC -2 0 4 A I/O マ ス タ セン サ メ イ ト RS -1 14 A ドラ イ バ RD -0 23 M S コン ト ロ ー ラ RC -2 3 4 DC 24V RS232C OUT RS232C IN RE119-121

補間動作設定支援ツール付属

多軸補間制御ロボットの複雑な搬送経路を

シミュレーションソフトで簡単に作成できます

      （特許出願中）

●

視覚的経路作成

シミュレーションソフトを使用することにより、視覚的に確認しながらウエハ搬送 経路を作成できます。

●

干渉確認

装置レイアウト上でシミュレーションを行うことにより、ロボットと装置との干渉を 確認し、最短搬送経路が設定できます。

●

モータ回転速度確認

ロボットの動作と同時にモータの回転速度もシミュレートできるので、モータへの 負荷を確認できます。

●

搬送時間の算出

ウエハをあるポイントから別のポイントまで搬送する一連の動作の搬送時間を計算 できます。

RS70000 シリーズの特長

X 軸不要の多軸補間制御ロボット搭載

■

RR730・RR732

1. X 軸を使用せず、ロボット 1 台で 3 ロードポー トまで搬送できます。 2. 磁性流体シールとフルカバースカートにより、 優れたクリーン性能をもちます。 3. アブソリュートエンコーダ搭載により、原点 復帰が不要です。 4. 水平多軸方式を採用し、さらに高剛性に設計さ れているため、ウエハ搬送にもっとも重要な水 平方向精度が向上しました。 5. エッジクランプ搬送と真空吸着搬送の 2 タイ プが選択できます。 6. デュアルブレード設計により、当社ダブルアー ムロボットと同等の入れ替え速度を実現しま した。（RR732） 7. 新型コントローラによって最適加減速制御を 行います。 8. 搬送経路の設定は、シミュレーションソフト により簡単に行うことができます。 （このロボットの単体販売はしておりません。）

特 長

RR730L2712-372 特許出願中 RR732L2722-372 ウエハ搬送機

300mm EFEM

RS70000

シリーズ

RS73000 特許出願中

外形寸法

RV201-F05 ロードポート 非常停止スイッチ 1830 175 20 0 0 16 5 0 91 3 370 900 24 0 44 13 0 0 803 INV CP1 ELB CP2 PL GL OL WL 12 5 0 563 505 1655 350 クリーンユニット 70 25 0 322.5 300.3 497.5 505 122.4 600 1000 56 0 23 5 480 36 7 801 13 0 200 RA310-C12 RR732L2722-372 ロボット アライナ 最小旋回範囲 φ640 27₀ 40 0 270 270 940 PRESENCE PLACEMENT ロボット詳細図 PRESENCE PLACEMENT PRESENCE PLACEMENT スト ロ ー ク ULPA EMO

特 長

オートティーチング機能を備え、簡単な操作が可能です。 ●ミニ エンバイロメントコンセプト 1. 気流の可視化、気流解析にもとづく中段差圧プレートを採用し、 搬送部付近の低発塵化をはかりました。 2. ロードポート交換時においても装置へのパーティクルの進入を 防ぎます。 3. 省スペース、低振動、低騒音です。 4. X 軸をなくし、コンパクト化、低コスト化をはかりました。 ●ロボットコンセプト 1. 自在動作のデュアルブレードロボット RR732 を採用し、ダブ ルアームロボットと同等の入れ替え速度を実現しました。 2. X軸を使用せず、ロボット1台で3ロードポート間の搬送ができます。 3. 磁性流体シールとフルカバースカートにより、優れたクリーン 性能を発揮します。 4. アブソリュートエンコーダ搭載により、原点復帰が不要です。 5. 水平多軸方式を採用、更に高剛性に設計されているため、ウエ ハ搬送に最も重要な水平方向精度が向上しました。 6. 新型コントローラによって最適加減速制御を行います。 7. 簡単なプログラミングで多彩な搬送パターンの設定ができます。 図面上の搬送距離は、リアパネル形状や L/L 室開口部の形状により変わります。

ウエハ搬送機 56 0 70 クリーンロボット RR712L1521-3A3-E11 FFU（ULPA） RA310-812 アライナ AIR2 AIR1 VAC COVER CLOSE

COVER LOCK PLACEMENT LOADUNLOAD

Logitech 505 51 0 505 PLACEMENT PRESENCE

MANUALAUTO 搬入禁止搬入予約 MANUALAUTOPLACEMENTPRESENCE搬入禁止搬入予約

2165 11 8 0 20 0 0 16 5 0 14 6 0 350 25 0 325 30 0 OPERATORACCESS LOAD UNLOAD 315 515 MENUAUTOSELECT Access Vision EMO EMO 200mmOC ロードポート RV101 300mmFOUP ロードポート RV201-F05

RSC131

特 長

ストッカー組み込み可能 RR713RISUTO-048 232C OUT 232C IN DC24V MAINTENANCEAIR 250 70 510 510 70 250 1660 450 760 450 VAC AIR1 RR717L1522-3A6 ロボット 505 X軸テーブル RT130-521 フィ ンガ ピ ッ チ ： 10 300 ス トロ ーク 10P×24 240 44 350 非常停止スイッチ 325 ロードポート RV201-F05 電源BOX タッチパネルディスプレイ 非常停止スイッチ 1660 FFU（ULPA） 515 315 RA210-C12 アライナ （865：ステージ高さ） H.D.P.900 928.5 1460 1650 2000 CLAMP/UNCLAMP DOCK/UNDOCK ERROR LOADUNLOAD PRESENCE PLACEMENT PORT 1 M EO STOPRUN Mainte. 800 PUSH AUTOSELECT MENU Access Vision ERROR LOADUNLOAD

PLACEMENTPRESENCE DOCK/UNDOCKCLAMP/UNCLAMP POWER WAFER SORTER PORT 2 EM O SELECTAUTO MENUAccess Vision

RSC151

300mm 対応 ID 読み取りウエハソータ

RSC

シリーズ

RSC242

特 長

●ミニエンバイロメントコンセプト 1. 高速、省スペース、低振動、低騒音です。 ●読み取りコンセプト 1. M12，T7，M1.15 の読み取りができます。 2. 表裏両面の読み取りができます。 3. 光学系と画像処理の組み合わせにより、高い認識率を実現しま した。 ●ロボットコンセプト 1. 磁性流体シールとフルカバースカートにより、優れたクリーン 性能を発揮します。 特許出願中 非常停止スイッチ クリーンユニット RV201-F05 ロードポート RR717L1522-3A6 ロボット シグナルタワー アライナ RA210-C12 ULPA タッチパネルディスプレイ RV201-F05 ロードポート O M E E M O 92 8 フィ ンガ ピ ッ チ ： 10 30 0 ス トロ ー ク H.D .P .= 9 0 0 44 10 p× 2 4 24 0 ステ ー ジ 高 さ ：8 6 5 16 5 0 350 20 0 0 325 505 505 325 1660 25 0 70 51 0 51 0 70 25 0 45 0 76 0 45 0 16 6 0 14 6 0 55 PORT 1 PORT 2 MENUSELECTAUTOAccess Vision Corporation RORZE Access Vision MENUSELECT AUTO Corporation RORZE DOCK/UNDOCK CLAMP/UNCLAMP MANUAL MODE LOAD UNLOADERROR PLACEMENT PRESENCE DOCK/UNDOCK CLAMP/UNCLAMP MANUAL MODE LOAD UNLOADERROR PLACEMENT PRESENCE WAFER SORTER POWER AIR2

VACAIR1 AIR3

Logitech

特 長

1. 気流の可視化、気流解析にもとづく中段差圧 プレートを採用し、搬送部付近の低発塵化を はかりました。 2. 2 ロボットによる分離運用が可能です。 3. ダブルアームロボット採用により、各ポジショ ンでの高速入れ替え搬送ができます。 4. 新型コントローラによって最適加減速制御を 行います。 5. ウエハグリップ部はエッジクランプタイプを 採用し、ウエハ裏面へのパーティクルの転写 を防止します。

RSC242

29

ウエハ搬送機

200mm EFEM

RACS200

RACS200

外形寸法

シグナルタワー オプション RE120-002 RA301-512 アライナ マッピングエレベータ ロボット RR701L1211-3A3 X 軸テーブル RT107-1201 非常停止スイッチ A1 92-8 0M J 21 0 1640 320 275 20 320 225 275 360 69 7 768 20 225 19 7 14 0 71 1680 15 5 0 600 最大 搬送 範囲      R45 2 16 0 91 0 30 0 ス ト ロ ー ク 95 0 10 0 18 5 0 エリアセンサー オプション バーコードリーダー 18 5 0 P OWE R OFF E ME R GE NCY 最小旋回径    φ396

特 長

Z 軸 300mm のダブルアームロボットと、赤外線光セン サを使用した高速ウエハサーチおよびアライナで構成された 200mm ウエハ対応搬送システムです。 1. ダブルアームロボットによりウエハを真空吸着し、高速で 入れ換えをします。 2. 赤外線アナログセンサ方式により、非接触でパーティクル の付着を最小限に抑えたアライナにより、ウエハのセンタ 合わせおよび、ノッチ合わせができます。 3. バーコードリーダの取付も可能です。（オプション） 4. FFU の取付も可能です。（オプション）

200mm 対応 ID 読み取りウエハソータ

RS8221

SMIF-Pod 対応

RS8221

外形寸法

EMO クリーンユニット制御パネル 900 375 RR700L0911-021 273 14 7 RR304L90-124 プリアライナOCR ID OCR 350 197.5 29 0 シグナルタワー 197.5 クリーンユニット 750 355 10 6 0 1530 350 18 8 0 タッチパネルディスプレイ 非常停止スイッチ Corporation RORZE ロボット TBF201 バッファ ステーション ロボット SMIFエレベータ RE201-822 ULPA

特 長

本装置は、半導体製造工程内でウエハ ID を読み取り、工程にあ わせてウエハ分配、統合をする装置です。 1. RR304L90 と RR700L90 の搬送ロボット 2 台による搬送 で時間あたり 450 枚以上の高スループットを実現しています。 2. 本体幅 750mm のコンパクトサイズです。 3. 豊富なソータ機能を持ち、かつレシピ登録が簡単にできます。 4. タッチパネル上のスイッチひとつで操作できます。 5. SECSⅡ /GEM にオプション対応します。

ウエハ搬送機

SMIF-Pod対応システムの特長

整流板の効果検証（気流解析）

ウエハに平行な気流

制御機器

整流板

クリーンエアー

層流

●気流・圧力のトータルな制御と密閉構造により、搬送エ リアを ISO クラス１に保ちます。 ●搬送エリアを陽圧に保ち、外部環境からのパーティク ルを侵入させません。 ●整流板の設置により、ウエハに平行な気流を作ること で、Pod 開閉に伴うパーティクルを即座に排出し、ウエ ハへの接近を防ぎます。 ●発塵のあるものはクリーンエア気流の下流に設置し、 搬送レベルへパーティクルを侵入させません。 ●制御機器は仕切られた場所に設置してあり、クリーン エリアと隔離されています。 ●SMIF-Pod 対応のエレベータを採用しています。 ●200mmSMIF-Pod，レチクル Pod に対応 ●シリコンウエハ，ガラスウエハ対応 ●確実なマッピングで、クロスウエハ検出、ウエハ厚さエラーの検出が可能 RE201 型  式

RE201-181

_SMIF-Pod200mm ±0.01 処理対象物 繰り返し精度 （mm） 264 有効ストローク （mm） 7.5 18 マッピング時間 （sec） 本体質量 （kg） ■供給源 電源 24V 2.5A 以上   注１ マッピング動作のみに要する時間です。 注1

■仕様

SMIF オープナ

RE201

SMIF-Pod 対応システムの特長・SMIF オープナ

200mm EFEM

RACS200S

SMIF-Pod 対応

RACS200S

外形寸法

1 0 0 0 ス テ ー ジ 上 面 22 0 0 パンチング クリーンユニット ULPA 21 0 0 30 0 14 0 5 18 0 0 395 10 0 330 805 355 285 79 900 12 0 0 エレベータ RE201-832 アライナ RA301-512 30 0 ス ト ロ ー ク 8"SMIF 423. 5 非常停止スイッチ 285 1940 355 25 0 330 43 7. 5 884 21 0 .5 44 6 .5 RR701L1211-3A3 ロボット 非常停止スイッチ 最大 搬送 範囲 R492

特 長

Ｚ軸ストローク 300mm のダブルアームロボット、赤外線 光センサによるウエハサーチを採用した SMIF 対応エレベー タ、およびアライナにより構成された SMIF-Pod 対応の搬送 システムです。 1. ダブルアームロボットにより、ウエハを真空吸着し、高速 で搬送します。 2. 赤外線アナログセンサ方式により、非接触でパーティクル の付着を最小限に抑えたアライナにより、ウエハのセンタ 合わせおよび、ノッチ合わせができます。 3. ウエハ高さレベルを赤外線光センサにより検出するウエハ サーチ方式を採用した SMIF-Pod 対応のエレベータにより、 SMIF-Pod に入ったカセット内ウエハを搬出入できます。 4. ULPA フィルタ採用のクリーンユニットによるダウンフ ローで装置内部の搬送エリアを高クリーン環境に保つこと ができます。

33

TEACHING MODE SWITCHAUTO P A S S LI N E 1 10 0 F L O O R T O T O P 2 2 0 0 F L O O R T O S IG N A L T O W ER 2 5 0 0 3465 6480 5120 3760

EMERGENCY OFF EMERGENCY OFF

EMERGENCY OFF

EMERGENCY OFF EMERGENCY OFF

EMERGENCY OFF EMERGENCY OFF

1100 12 5 0 1200 1360 1360 1360 1200 6480 3465

EQ-20 EQ-20 EQ-20 EQ-20

φ180₀

外形寸法

液晶ガラス基板搬送機 RRG-80 第五世代大型基板に対応したローダ・アンローダ装置です。 1. ロボット RR420 を搭載し、小さな旋回半径でロングリーチを実現しました。 2. 高剛性 CFRP エンドエフェクタに、カセットとの干渉を避けて基板のたわみを抑える特殊形状（特許出願中）を採用し、 t0.5 基板の搬送にも対応可能です。また、基板ずれを検知するためのセンサも装備しています。 3. 精密ラック＆ピニオン方式の走行軸の採用により、10m 以上の高速長距離搬送が可能です。 4. 各ステージ毎に分割可能な構造とし、AGV、MGV へ対応。RGV やストッカへの対応も容易です。 5. カセット位置決め機構に、カセット底面からの発塵を抑えるため、フローティング機構を採用しました。 6. アルミプロファイルを多用することにより、FFU、イオナイザなど豊富なオプションに容易に対応でき、狭い場所への設置や、 設置後の分解、再組立が可能な構造です。 7. 装置の側面もしくは内側からの保守を可能にし、AGV の移動範囲や、ストッカ内からの保守作業の必要をなくし、保守作業 での安全性が向上しました。 1100X1250mm より小さい基板に対しては RRG-10 ∼ 70 にて対応します。 詳しくはもよりの FA センターまでお問合せください。（550X650mm，680X880mm，730X920mm 等）

特 長

液晶ガラス基板搬送機

カセットステーション

（1100 ×1250 クラス）

RRG-80

搭載ロボット

233 660 233 P IC K U P 30 G la s s P it c h 36 ガラス支持点 608 ガラス支持点 472 ガラ ス た わ み 18 .5 9 9. 2 3 5.9

特殊形状によってたわみが軽減され

搬送が可能となりました。

GLASS 1100 G L A S S 1 2 5 0

改良型エフェクタでt0.5mmガラス基板搬送を実現

RR420

c

303FN-3720

v

3A-FN21054

230 2.1 2.0 品番 7 品番 8 品番 9 206 221 230 1.7 3.0 1.7 1.6 2.9 1.6 175 2.1 2.0 備 考 303FN-1196 の品番が 一杯になり追加 RA401-512 対応フィンガ RA401-312 対応フィンガ 品番の見方

3 0 3 F N - 1 1 9 6 - 1

図面番号 品  番

FN-3 A - F N 2 1 0 5 4 - 1

図面番号 品  番

-FN

-ウエハ吸着用溝 4-φ3.8貫 2-4×8長穴 42 25.6 9 54 63 20 B 18 26 2-C₆ 4-C 2 A 45 ° 1. 6 1. 7 表   面 8 45 R27 4 72 R45 A 17 （30） 10 7 12 4 90 ウエハ吸着用溝 2-6×10長穴 4-C 2 30 15 18 B 2-C 6 42 25.6 4 26 75 3. 5 2. 9 表   面 45 ° 4-φ3.8貫 オプション

オプション

セラミックフィンガ

z

303FN-1196

_313FN-4640

303FN-1677

x

寸法 品番 1 品番 2 品番 3 品番 4 品番 5 品番 6 A 195 175 195 206 175 175 B 1.7 1.7 3.0 3.0 2.1 3.0 C 1.6 1.6 2.9 2.9 2.0 2.9 A 221 195 B 2.1 2.1 C 2.0 2.0 A 195 195 195 221 165 175 B 3.0 2.1 1.7 1.7 1.7 1.7 C 2.9 2.0 1.6 1.6 1.6 1.6 A 158 188 228 B 111 141 181 A 315 275 290 B 245 205 220 図面番号

z

x

c

v

303FN-1196

313FN-4640

303FN-1677

303FN-3720

3A-FN21054

A 15 30 B 2-C1 5 25.6 42 表   面 18 2-C₆ 26 φ20,φ12,幅1以下 ウエハ吸着用溝 4-φ3.8 貫 C 4 25.6 2-C6 26 15 30 A 4-φ3.8貫 50 115 24 2-C 8 42 18 C B 表   面 4 ウエハ吸着用溝 φ20,φ12,幅1以下

■本  社 〒 720-2104 広島県福山市神辺町道上 1588-2 TEL（084）960-0001 FAX（084）960-0200 ホームページ アドレス http://www.rorze.com ■神奈川 FA センター 〒 243-0432 神奈川県海老名市中央 2-4-8 ニコービル 5F TEL（046）236-1380 FAX（046）236-1381 ■京都 FA センター 〒 612-8238 京都市伏見区横大路下三栖山殿 53 番 1 TEL（075）612-6370 FAX（075）612-6377 ■九州 FA センター 〒 861-1116 熊本県合志市福原 1-16 TEL（096）292-4100 FAX（096）292-4105 海外関連会社

●RORZE TECHNOLOGY, INC.（台湾）

1F., No.12, Industry East Road.,Ⅳ,

Science-based Industrial Park, Hsinchu, Taiwan, R.O.C. Telephone +886-3-5776482

Facsimile +886-3-5776461

●RORZE AUTOMATION, INC.（米国）

1625 McCandless Drive, Milpitas, CA 95035, U.S.A. Telephone +1-408-935-9100

Facsimile +1-408-935-9101

●RORZE SYSTEMS CORPORATION（韓国）

919 Korim-Dong, Yongin-City, Kyunggi-Do, 449-923, Korea Telephone +82-31-335-9100

Facsimile +82-31-337-1811

●RORZE ROBOTECH INC.（ベトナム）

Nomura-Haiphong Industrial Zone

Km13 Road No.5 Anduong District, Haiphong City, Vietnam Telephone +84-31-3743030

Facsimile +84-31-3743044

●RORZE TECHNOLOGY SINGAPORE PTE. LTD.（シンガポール） 627A, Aljunied Road, #10-11, Biztech Centre

Singapore 389842 Telephone +65-68445502 Facsimile +65-68445510

●RORZE TECHNOLOGY CONSULTANTS (SIP) CO.,LTD.（中国）

Room C1711, No.360, Hengtong Road, Shanghai 200070, China

RORZE TECHNOLOGY SINGAPORE PTE. LTD. RORZE TECHNOLOGY, INC.

RORZE TECHNOLOGY CONSULTANTS (SIP) CO.,LTD.

RORZE AUTOMATION, INC. RORZE SYSTEMS CORPORATION

RORZE ROBOTECH INC.

SHI 061201

※製品改良のため、お断わりなしに仕様の一部を変更することがありますので、 あらかじめご了承ください。