不導体上への銅メッキ第1報 磁器上への無電解銅メッキ
工業化学科 無機化学教室
乾 忠 孝 細 川 邦 典 林 黎 吉
Copper Plating on Non−Conductors.
Report 1. Electroless Copper Plating on Porceline.
By Tadayoshi INUI, Kunisuke HOSOKAWA,&
Reikichi HAYASHI.
Electroless copper plating on a piece of porceline using an electrolyte composed of more stable cu−citrate replacing traditional unstable cu−tartrate chelate has been studied.
Acleaned piece of porceline is sensitized by dipping it in the acidic stannous chloride solution(SnCl2・2H205−100 g十35%HCl 8−165 ml/1)and then activated in the palladous chloride solution(PdCl20.1 g/1, pH=3.0)at 40−50°C. After the activated piece of porce・
line has been dipped in hot distilled water for a few seconds, it is treated in each of baths of the following two types and then an adherent copperdeposit can be obtained.
(1)Acidic bath (2)Basic bath
CuSO4・5H20………・・……・…50 g/l CuSO4・5H20…………・…・…・40−60 g/l
Na2C6H507・2H20………100 g/l Na2C6H507・…・…・・…・…・…90−150 g/l
N・H2PO・・2H・O・………・……・20−409/l CH・0(37%)・……・……・…80−150 m1/l pH………・・…・…・……・…∴・……・5.0−6.O pH・…・……・・…・…一………… 11.5−12.5 temp.・…・……一…・…………・…− 90°C temp.………・・…・・……・・……10−20°C The velocity of deposit in the basic bath(2)at 20°C is 6μ/hr.(2−3 times faster than when using Rochelle salt as chelating agent).The basic l)ath(2)has prooved stable for a long time at 20°C, being more stable than the bath based on Rochelle salt.
1緒言 鷲鑑㌘鷲蕊慧導㌫;蓮
還元剤による無電解メッキは従来ニッケルにつ 性の面で難点があり,無電解銅メッキが密着性の
いて最も盛んに行なわれ,工業的にもかなりの用 よいことから下地メッキとして直接不導体に施さ
途を見出している。ところで最近プラスチックの れるようになってきている。また電子工業におけ
急速な進歩とともに,金属材料の分野にまでプラ るプリント配線や磁性テープ,エポキシ樹脂等に
スチックが進出し,装飾面から金属に似たような 電導性をもたせること,plated through h(海等に
無電解銅メッキの需要はますます増大する傾向に 定性を増すために銅イオン濃度を減少させること ある。この無電解銅メッキの過去の用途としては が必要である。このため錯化剤或はキレート化剤 銅鏡の製造,鋼線の引き抜き時における潤活剤と を用いることが必要であり,現在主にロッシェル して,銅または錫との合金メッキ等が行なわれて 塩が用いられているが,更に安定なキレートを形 おり,メッキ液として錯化剤にロッシェル塩を用 成すると思われるクエン酸の挙動を調べ,これを いたCahil1やSaubestre①らの研究がある。しか 用いてロッシェル塩②・③との比較を行ない,次に
しこれらの浴は電着速度が遅い(通常2〜3μ/hr) ホルマリン,次亜燐酸ソーダ等各種還元剤の比較 こと及び浴寿命が短かい(数時間及至数日で,還 検討を行なう。析出した銅については外観調査,
元剤を多量に用い電着速度を大にすれば,それだ ハンダ試験及び電気抵抗を測定してその性質を調 け寿命が短かくなる)等の欠点がある。それで不 べる。
導体の上に電導性良好なる電着を与え,しかも寿
命の長い無電解銅メッキ浴作成の目的で研究を行 皿1 結果および考察
なったのでここに報告する。猶今回はメッキ浴に 1. Sensiモizing及びActivatingについて 重点をおき・前処理の一部(etching)を省略する ニッヶルの無電解メッキの場合は塩化パラジウ ため・多孔質の磁製管を試料に用いた。 ム処理だけでも良好な析出物が得られるが銅の場 合は活性化の前にSensitizingといわれている前 1 実験方法 処理を行なう必要がある。これは恐らく次の メッキ試料にはporousな磁製の小管(外径 Activating処理で触媒金属の析出(本実験の場 15mm,内径9mm,長さ16 mm)を用い,内外 合Pd)を起こすためのものと推察される。予備実 面にわたっての均一電着性をみることにした。メ 験でキレート化剤としてクエン酸を用いた場合の ッキにはまず前処理を厳密に行ない,その後メッ メッキ浴組成を決定し,まずSensitizingの最良 キ浴に浸漬する。 条件を求めた。メッキ浴の浸漬時間は30分であ
1.前処理 る。結果は表1の如くである。
(1)脱脂洗浄;前処理としてはまず脱脂洗浄を 表1 塩化第一錫の濃度変化(室温)
行なうがこれは水酸化ナトリウムと界面活性剤 塩化パラジウム0.19/1,pH=3,50°C,硫酸
(ラウリル硫酸ナトリウム)混合溶液中に60°C 銅409/1,クエン酸ナトリウム0・19/1,次亜 で数分間浸漬して十分表面を清浄にした後水洗す リン酸ナトリウム309/1,pH=5石,温度90°C る。次に硫酸一クロム酸の混酸水溶液中において
約1分間浸漬し表面の濡れが一様になるようにす
る。
(2)Sensitizing;塩化第一錫溶液で処理し次の
Activating処理で触媒に有効な金属を還元析出
させるための準備をする。
(3)Activating;塩化第一錫溶液で処理後水洗 し,次に塩化パラジウム水溶液に浸漬して活性化
試料翻虜劇35%塩曄出状態離纂藤
1
23
4 56
759/1
20 40 60 80 100 1208ml/1
33 66 99 130 165 197良好
〃
〃
〃
〃
〃
〃
殆んど溶 けない
〃
〃 〃 〃 〃 〃を行なう。更に適当な水洗を施してメッキ浴に浸 塩化第一錫は加水分解を起し易いので塩酸を加
漬するが・(2)及び(3)の最良条件を検討する。 え濃度を変えてみたが,濃度範囲が5〜1009/1で2. メッキ浴 あればいずれも良好な析出物が得られ, 後の ホルマリン等の還元剤を用いるときは液をアル Activating程厳密な制御は必要でない。塩化第
カリ性にせねばならぬがアルカリ性においては銅 一錫は完全な溶液状態でなく,微粒子として懸濁
イオンが多いと,イオン積との関係から水酸化銅 しており,これがporeに吸着し, activating処
の沈澱を生ずることや,また酸性域においての安 理で塩化パラジウムに作用するものと思われる。
この吸着量が多量であると,メッキの剥離や,浴 化パラジウムはα19/1・pH=3・0で大体溶解す の消耗が著しいので, 数秒間水洗しactivating る如く見えるが・コロイド状粒子がpo「ousな試 料表面に吸着され,前の塩化第一錫で還元され,
を行なう。
A。、iva、ing;。。、iv。t。,セこ塩化パラジウムを用 触媒として作用するものと思われる・以上から
sensitizing条件(塩化第一錫60 g+35%HC1 いその最良条件を調査した結果は表2,表3の如
くである。 99ml)/1・activating条件塩化パラジウムα19/1
表2塩化パラジウムの離及びpH変化 pH=30・45°Cと決定した・
(50°C)塩化第一錫959+35%塩酸150ml/1, 2.錯化剤(キレート化剤)
硫酸銅40g/1 銅イオン(1)濃度を調節する目的でキレート クエン酸ナトリウム759/1,次亜リン酸ナトリ 化剤としては従来ロッシェル塩(酒石酸カリーナ ウム309/1,温度90°C,pH=5・6 トリウム)が用いられているがロッシェル塩では
0.019/1
0.19/1
1.09/1
1.0 3.0
析出せず 析出せず 全部溶ける全部溶ける 析出せず 全面につく 全部溶ける殆ど溶ける議罐議
5.0
小さな褐色 の小点 全部溶ける
薄い析出 少し沈澱 まばらにつ く底に沈澱
浴寿命の短い欠点がある。Meites②はporlaro一 70 graphyによる研究を行ないアルカリ性域で 殆んど析出 Cu(OH)2(Tart)4{ごCu2++20H一
纂溶ける +2T・・t・−K−・4×・・一・・②
薄い析出 Cu(OH)2(Cit)2−6之Cu2++20H−+2Cit3一
底に沈澱 K=48×10−2・③
竃;か (Tart2一は酒石酸イオンCit3一はクエン酸イオンを表わす)
表3塩⇔ジウムの温度変化 鑓竪二巖漂鍵ぽ縫
塩化パラジウム0.19/1,pH=3.0,塩化第一錫
けられる。従つて我我はキレート化剤としてクエ
6°9/1噛酸99ml/1 ン酸ナトリウムをとりあげることにした.なお
硫醐5°9/1・クェン酸ナトリウム1°°9/1・次 M。i、。、の結果に娯論もあり④光度計法を用し、
亜リン酸ナトリウム359/1,pH=5.6,温度90°C
調査した結果では⑤・⑥銅一クエン酸キレートは
試料螂温凶析出状態ぽ羅ラジウ pH−a°付近から生成しはじめ・pH55−125
1
2 3
45 6
20°C
30 40 50 60 70析出せず
〃
まばらに析出 全面に析出 少しまばらに析出
薄い析出
で安定な(Cu2+:Cit3−=1:1)キレートを形
溶解しにくい少し溶解しにくい 成するようである。但しpH=1α5以上では水 殆ど溶解 酸イオンの配位の可能性も考えられる。
慧㌶麟 3還元剤ならびに電着条件
すぐに沈澱 (1)還元剤はpHによって著しくその還元力 が影響されるので,酸性域とアルカリ性域にわけ 塩化パラジウムは溶解度が小さく,量を増加し て調査する。まず酸性溶液中における還元剤及び
てもよい結果は得られない。アンモニアでpHを その酸化一還元電位は次の如くである⑦。
高くすると黒褐色の沈澱を生じ,塩酸でpHを Cu≒Cu2++2e− E°=−0.337 V 下げると錯塩を形成し溶解するが析出状態がよく H3PO2+H20≒H3PO4+2H吉+2e− 0.50 ない。温度の影響は表3の如くで温度が低いと全 H3PO3+H20之H3PO4+2H++2e− 0.276 然析出せず,また高すぎると加水分解により水酸 N2H5+ごN2+5H++4e− 0.23 化パラジウムの沈澱が生じこれが生じると活性能 HS204−+2H20ご2H2SO3+H++2e− 0.08 が著しく低下する。高温の場合この活性能の低下 HCHO(aq)+H20之HCOOH(aq)
と時間との関係の測定が困難であったので塩化パ +2H++2e− −0.056
ラジウム浴は各実験毎に取り替えた。要するに塩 H2SO3+H20之SO42−+4H++2e− −0.17
上の標準酸化一還元電位表を参照して考えてみ 温度45°Cである。
ると条件さえ整えればどの還元剤でも使用し得る
筈である。しかし実際に電着条件を変えて実験し 表4 硫酸銅の濃度変化
てみた結果,ハイドロサルファイトは一度に黒色 クエン酸ナトリウム 759/1,次亜燐酸ナトリ の沈澱を生じ,塩酸ヒドラジン,硫酸ヒドラジン ウム309/1
は容器中に黄色の沈澱を生じた。これらは分解が pH=5・6 浴温度 90°C
酸・ホルマリン・亜硫酸は変化を起こさなかった。 茶褐色〜金属銅色黄色にな
出せず た。析出の可否は亜燐…酸の場合を除いて一応E°
に従うが,触媒との関連性もあってその分解速度 表5 クエン酸ナトリウムの濃度変化 はまちまちである。一方アルカリ性溶液中での還 硫酸銅(5水塩)509/1, 次亜燐酸ナトリウム
元剤及び酸化還元電位は次の如くである。(7・8) 30g/lCu十20H一ごCu(OH)2十2e− E。=0.224⑧ pH=5・6 浴温度 90°C 急速嘩みすぎることを劾している・また醗硫醐(5水塩灘・/1・・2・3・14・5・16・
ただ次亜醐ナトリウムのみが麟雄果を与え 析出状態 鍾鑑ころはり金属銅
HCHO(aq)十30H一ごHCOO−(aq)十2H20 }一
H2P°『+3°H一二HP°1−+2H・°+2・−1訂ク蘇細錫ム6・7・…{・3・・6・1・9・
+2e− 1.14 析出状態 容器の底に沈
澱 論好姦鑑
S20]一十40H一ご2SOi『十2H20十2e− 1.12
HPGす+3・ぽ・㌃一微L・2の鷺;1!欝㌶▲≧驚:塁
S°§+2°H一ごS°2−+H・°+2e一 @α93に姫離ナトリウムの離踏えてみた結果は
は析出した銅が自触媒となり,その上での ウ魂度、/1.11|ll回 が進行するようなものでなくてはならなし・・この㈱態塁鷺大㈱簸一竃碧
中性〜アルカリ性域では硫酸ヒドラジン・塩酸 表6の如くで20〜409/1が良好であった。
ヒドラジン次亜燐酸ナトリウムは還元力が強く一一
時に黄色〜黒色の沈澱を生じる。亜燐酸,亜硫酸 表6 次亜燐酸ナトリウムの濃度変化 は中性付近では銅がまばらに析出するがpH 10に 硫酸銅509/1,クエン酸ナトリウム1009/1 なると浴中にも多量の沈澱が生成するようにな pH=5.6 浴温度 90。C る。要するに還元剤として持つべき望ましい条件 次亜燐酸ナトリ
5 10 203040 50 80 90 110
み分解
条件をみたすのはホルマリンのみでアルカリ性域
での唯一の良好な還元剤であった。これはSau一 表5,6,7の最良条件で各成分の割合を一定 betre らの見解とも一致している。以上で酸性 にし濃度を変えてみたが濃度が大となると浴に沈 域での良好な還元剤は次亜燐酸ナトリウム,アル 澱を生じ, またあまり小であると電着速度が遅
カリ性域ではホルマリンであることが判ったので く,最良条件は硫酸銅509/1, クエン酸ナトリ 両還元剤を用いた析出最良条件を調べた。 ウム1009/1,次亜燐酸ナトリウム359/1であ (2)酸性域での析出最良条件 った。 この最良条件で温度及びpHを変化させ 銅イオンとクエン酸イオンが酸性域で完全にキ た結果は表7,8の如くであった。
レートを形成するpH=5.6で還元剤として次亜
燐酸ナトリウムを用い,硫酸銅及びクエン酸ナト 表7 浴の温度変化 pH=56
リウム濃度を変化させ端果噸4・5の亥日くで 醸(°c)6・7・」8・19・195
⊇なお以下の実験のSen・ t ・ing及びaCti一 析出状態 vatmg条件はすべて(塩化第一錫609+35%塩
析出
せず 黒色析出物 金属銅色析出 酸99ml)/1,室温,塩化パラジゥム0.1g/1,pH 3.0,
表8 浴のpH変化 浴温度90°C さ10 cm)をハンダ付し万能ブリヅヂ(横
・H4515・156i7・lg・1…1・25 河製)を用い・全抵抗を測定した・
反㌶慧2㌫1鷲鰹蕊;1諸『未16・7・9・1・…3・・5・・7・・9・
下では活性化試片上へは勿論・容器の周囲にも著 析出状態 しく析出が起こる。 これはfree銅イオン(1)
が過剰に存在するためで高pH域では水酸化第一
銅及び酸化第_鋤析出趨こり,最適pHは 甑抵抗〔Ω〕
5°〜6°であった・以上次亜燐酸ナトリウムを還 硫醐濃度はあま嶋すぎると浴寿命カミ短く,
薫㌫三㌫㌫磐罐竃;慧ジ蕊濃鷲星篤‡三漂
上にならない1)欠点があり,従って電気抵抗も著
は硫酸銅に対しモル比1以下であると,アルカリ
しく小さくはならない・ 性域では活性試牌漬前に水素が発生し鋤ミ析出
(3)アルカリ性域での析出最良条件 しはじめる。クエン酸ナトリウムを過剰にしたも
(1)の結果からアルカリ性域での最良還元剤はホル のは析出状態は変らないが電気抵抗よりみて・硫 マリンであったのでクエン酸キレートにホルマリ 酸銅609/1に対し90〜1509/1が適当である。次 ンを還元剤として用い浴組成及び析出条件を検討 にホルマリン濃度の影響は表11の如くで濃度が してみた。なおホルマリンは37%水溶液を用い 低いと全然析出が起こらず・80〜150ml/1が良 た。硫酸銅及びクエン酸ナトリウム濃度変化の影 好であった・更に濃度を大にしても析出速度は変 響は表9,10の如くである。 らない。
表11 ホルマリンの濃度変化 表9 硫酸銅の濃度変化
硫酸銅609/1,クエン酸ナトリウム1009/1,
クエン酸ナトリウム1009/1,ホルマリン
pH=12, 浴温度10°C 30分
100ml/lpH−・2(水酸化ナトリウムで纏)浴温 ε多亥〜リ巖、。3。5。7。9。、、。、3。、5。
10°C30分 ml/1
析出状態
@浴寿命
d気抵抗〔Ω〕
pH調
ョ時に
ェ解
良やや否0.14
〃良0.09 〃〃0.11 〃〃0.11 〃〃0.11 〃〃0.12 〃〃0.16
析出状態※1
℃ 命 ※2
d気抵抗〔Ω〕
@ ※3
やや
武F
ヌ0.14
〃〃0.43 良〃0.14
〃〃0.14 〃〃0.10 〃否α10 〃否0.10
析出状態
@浴寿命
d気抵抗〔Ω〕
析 出せ ず
鼈
〃一一 斑状
ヘ出
ヌ2.12
良〃0.18 〃〃0.25 〃〃0.11 〃〃0.12 〃〃0.10
010 表12浴のpH変化
硫酸銅609/1,クエン酸ナトリウム1009/1,
※1.表面が金属銅色でハンダ試験でも剥離し ホルマリン100ml/1, 温度10°C,30分
※2.24時間経過後も容器内面に析出物及び沈
ないもの蜥出状態良とした・
@ ・Hl・α・1・エ・・51・2・1・251・3・1・a5澱物の生じないものを浴寿命良とし,短時 析出状態 間で沈澱物が多量に生ずるものを否とし 浴寿命 た。 抵抗〔Ω〕
※3.電気抵抗を試片両端に銅線(φ3mm,長
析出状態
℃ 命
?R〔Ω〕
析 出せ ず
鼈 析出表
ハ黒化
@良
やや
@黒化
@〃
P6.6
良〃0.11
〃
竄笏ロ
O.07
〃否0.06
Cu(O
g)2
フ沈澱
ェ起る
pHの影響は表12の如くでpH 12前後が適当 である。pH 12,温度10°Cにおける以上3成分 の割合をg濃度比で示すと図1の如くである。
析 C・SO 5H・0 出4 量 茎3 8・
時間 ㎞in)
図2 アルカリ浴における析出量と時間との関係
図1三成分の最良濃度比(太線内) の如くである。
認農;℃ Sensitizing
塩化第一錫 5〜100g/1 さらに浴の温度の影響をみたが,結果は表13の
塩酸(35%) 8〜165ml/1
如く・15°C以上だと浴輪はやや悪くなり数日 温度 常温 しか使用に耐なくなる・ A。tiv。、ing
表13浴の温度変化 塩化パラジウム 0.19/1 硫酸銅609/1,クエン酸ナトリウム1009/l pH 3.0
ホルマリン100ml/1, pH 12, 30分 温度 40〜50°C
析出状態
℃ 命
?R〔Ω〕
やや黒化
@良
O.20
良〃0.12 〃〃0.11 〃やや否0.09
温度CC)1・151・・1・5に12)酸璽鱗讃≧漂讃⊆竃亡
〃 て用いるとかなり良好な銅メッキが得られ,その やや否 浴組成は次のものが適当である。
009 硫酸銅(5水塩) 509/1 クエン酸ナトリウム(2水塩)100g/1 最後に電着速度を調べたが10℃においては 次亜燐酸ナトリウム 20〜409/1 3μ/hr,20°Cにおいては6μ/hrでロッシェル塩 pH 50〜6C
をキレート化剤として用いた場合の約3倍に近か 温度 90°C
った。なお20°Cにおける析出量と時間との関係 (3)アルカリ性域ではホルマリンが唯一の良好 は図2の如くである。 な還元剤で,キレート化剤としてロッシェル塩を 用いた従来の浴に比較して2〜3倍の析出速度で
W結 論 良好な鋤。キが得られるが温度を高めること
銅イオン供給源として硫酸銅,キレート化剤と によって析出速度を大きくすると,それだけ浴寿 してクエン酸ナトリウムを用いた無電解銅メッキ 命は短かくなる。しかし10°C付近ではロッシェ 浴では,porousな磁器を塩化第一錫溶液を用い ル塩を用いた場合にくらべ浴寿命は長くなる。ア てsensitize し,更に塩化パラジウムを用いて ルカリ性域での最良条件は次の如くである。
activateすると,酸性浴,アルカリ性浴の2通 硫酸銅(5水塩) 40〜60 g/1
りで良好な銅メッキが得・られる。 クエン酸ナトリウム(2水塩)90〜1509/1
ホルマリン(37%水溶液) 80〜150ml/1 ④RW・Parry・F・W・Dubis;ibid 74・3749〜53
pH 11.5〜12.5 (1952)温度 10〜20。C ⑤M・S・・Bararia etal;J・Sci・Indust「・Res・・
21B,127〜9(1961)
⑥細川,未松;金属表面技術,15,404〜8(1964)
文献
⑦W.M. L。time,;Oxidati。n P。tenti。ls sec。nd
①EB. Saubestre;Metal Finishing,60, N・.7 edition 339〜348, Prentice−Hall, New York
49〜53, (1962) (1952)
②L.Meites;J. Am. Chem. Soc.71,3269〜75 ⑧T. Moeller;lnorganic Chemistry moderm (1949) asia edition 286〜290, John, Wiley Sons. New