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1緒言    鷲鑑㌘鷲蕊慧導㌫;蓮

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(1)

不導体上への銅メッキ第1報 磁器上への無電解銅メッキ

工業化学科 無機化学教室

乾     忠  孝 細  川  邦  典 林     黎  吉

      Copper Plating on Non−Conductors.

Report 1. Electroless Copper Plating on Porceline.

By Tadayoshi INUI, Kunisuke HOSOKAWA,&

   Reikichi HAYASHI.

 Electroless copper plating on a piece of porceline using an electrolyte composed of more stable cu−citrate replacing traditional unstable cu−tartrate chelate has been studied.

 Acleaned piece of porceline is sensitized by dipping it in the acidic stannous chloride solution(SnCl2・2H205−100 g十35%HCl 8−165 ml/1)and then activated in the palladous chloride solution(PdCl20.1 g/1, pH=3.0)at 40−50°C. After the activated piece of porce・

line has been dipped in hot distilled water for a few seconds, it is treated in each of baths of the following two types and then an adherent copperdeposit can be obtained.

   (1)Acidic bath      (2)Basic bath

CuSO4・5H20………・・……・…50 g/l    CuSO4・5H20…………・…・…・40−60 g/l

Na2C6H507・2H20………100 g/l    Na2C6H507・…・…・・…・…・…90−150 g/l

N・H2PO・・2H・O・………・……・20−409/l  CH・0(37%)・……・……・…80−150 m1/l pH………・・…・…・……・…∴・……・5.0−6.O     pH・…・……・・…・…一………… 11.5−12.5 temp.・…・……一…・…………・…− 90°C     temp.………・・…・・……・・……10−20°C  The velocity of deposit in the basic bath(2)at 20°C is 6μ/hr.(2−3 times faster than when using Rochelle salt as chelating agent).

 The basic l)ath(2)has prooved stable for a long time at 20°C, being more stable than the bath based on Rochelle salt.

1緒言    鷲鑑㌘鷲蕊慧導㌫;蓮

 還元剤による無電解メッキは従来ニッケルにつ   性の面で難点があり,無電解銅メッキが密着性の

いて最も盛んに行なわれ,工業的にもかなりの用   よいことから下地メッキとして直接不導体に施さ

途を見出している。ところで最近プラスチックの  れるようになってきている。また電子工業におけ

急速な進歩とともに,金属材料の分野にまでプラ  るプリント配線や磁性テープ,エポキシ樹脂等に

スチックが進出し,装飾面から金属に似たような  電導性をもたせること,plated through h(海等に

(2)

無電解銅メッキの需要はますます増大する傾向に  定性を増すために銅イオン濃度を減少させること ある。この無電解銅メッキの過去の用途としては  が必要である。このため錯化剤或はキレート化剤 銅鏡の製造,鋼線の引き抜き時における潤活剤と  を用いることが必要であり,現在主にロッシェル して,銅または錫との合金メッキ等が行なわれて  塩が用いられているが,更に安定なキレートを形 おり,メッキ液として錯化剤にロッシェル塩を用  成すると思われるクエン酸の挙動を調べ,これを いたCahil1やSaubestre①らの研究がある。しか  用いてロッシェル塩②・③との比較を行ない,次に

しこれらの浴は電着速度が遅い(通常2〜3μ/hr)  ホルマリン,次亜燐酸ソーダ等各種還元剤の比較 こと及び浴寿命が短かい(数時間及至数日で,還   検討を行なう。析出した銅については外観調査,

元剤を多量に用い電着速度を大にすれば,それだ   ハンダ試験及び電気抵抗を測定してその性質を調 け寿命が短かくなる)等の欠点がある。それで不  べる。

導体の上に電導性良好なる電着を与え,しかも寿

命の長い無電解銅メッキ浴作成の目的で研究を行   皿1 結果および考察

なったのでここに報告する。猶今回はメッキ浴に    1. Sensiモizing及びActivatingについて 重点をおき・前処理の一部(etching)を省略する   ニッヶルの無電解メッキの場合は塩化パラジウ ため・多孔質の磁製管を試料に用いた。       ム処理だけでも良好な析出物が得られるが銅の場       合は活性化の前にSensitizingといわれている前  1 実験方法      処理を行なう必要がある。これは恐らく次の  メッキ試料にはporousな磁製の小管(外径  Activating処理で触媒金属の析出(本実験の場 15mm,内径9mm,長さ16 mm)を用い,内外  合Pd)を起こすためのものと推察される。予備実 面にわたっての均一電着性をみることにした。メ  験でキレート化剤としてクエン酸を用いた場合の ッキにはまず前処理を厳密に行ない,その後メッ  メッキ浴組成を決定し,まずSensitizingの最良 キ浴に浸漬する。       条件を求めた。メッキ浴の浸漬時間は30分であ

 1.前処理        る。結果は表1の如くである。

 (1)脱脂洗浄;前処理としてはまず脱脂洗浄を     表1 塩化第一錫の濃度変化(室温)

行なうがこれは水酸化ナトリウムと界面活性剤   塩化パラジウム0.19/1,pH=3,50°C,硫酸

(ラウリル硫酸ナトリウム)混合溶液中に60°C   銅409/1,クエン酸ナトリウム0・19/1,次亜 で数分間浸漬して十分表面を清浄にした後水洗す    リン酸ナトリウム309/1,pH=5石,温度90°C る。次に硫酸一クロム酸の混酸水溶液中において

約1分間浸漬し表面の濡れが一様になるようにす

る。

 (2)Sensitizing;塩化第一錫溶液で処理し次の

Activating処理で触媒に有効な金属を還元析出

させるための準備をする。

 (3)Activating;塩化第一錫溶液で処理後水洗 し,次に塩化パラジウム水溶液に浸漬して活性化

試料翻虜劇35%塩曄出状態離纂藤

1

2

3

4 5

6

7

 59/1

20 40 60 80 100 120

8ml/1

33 66 99 130 165 197

良好

殆んど溶 けない

 〃

 〃  〃  〃  〃  〃

を行なう。更に適当な水洗を施してメッキ浴に浸   塩化第一錫は加水分解を起し易いので塩酸を加

漬するが・(2)及び(3)の最良条件を検討する。    え濃度を変えてみたが,濃度範囲が5〜1009/1で

 2. メッキ浴      あればいずれも良好な析出物が得られ, 後の  ホルマリン等の還元剤を用いるときは液をアル  Activating程厳密な制御は必要でない。塩化第

カリ性にせねばならぬがアルカリ性においては銅  一錫は完全な溶液状態でなく,微粒子として懸濁

イオンが多いと,イオン積との関係から水酸化銅   しており,これがporeに吸着し, activating処

の沈澱を生ずることや,また酸性域においての安  理で塩化パラジウムに作用するものと思われる。

(3)

この吸着量が多量であると,メッキの剥離や,浴  化パラジウムはα19/1・pH=3・0で大体溶解す の消耗が著しいので, 数秒間水洗しactivating  る如く見えるが・コロイド状粒子がpo「ousな試        料表面に吸着され,前の塩化第一錫で還元され,

を行なう。

A。、iva、ing;。。、iv。t。,セこ塩化パラジウムを用 触媒として作用するものと思われる・以上から

      sensitizing条件(塩化第一錫60 g+35%HC1 いその最良条件を調査した結果は表2,表3の如

くである。      99ml)/1・activating条件塩化パラジウムα19/1

  表2塩化パラジウムの離及びpH変化 pH=30・45°Cと決定した・

 (50°C)塩化第一錫959+35%塩酸150ml/1,   2.錯化剤(キレート化剤)

 硫酸銅40g/1             銅イオン(1)濃度を調節する目的でキレート  クエン酸ナトリウム759/1,次亜リン酸ナトリ  化剤としては従来ロッシェル塩(酒石酸カリーナ  ウム309/1,温度90°C,pH=5・6        トリウム)が用いられているがロッシェル塩では

0.019/1

0.19/1

1.09/1

1.0    3.0

析出せず 析出せず 全部溶ける全部溶ける 析出せず 全面につく 全部溶ける殆ど溶ける

議罐議

5.0

小さな褐色 の小点 全部溶ける

薄い析出 少し沈澱 まばらにつ く底に沈澱

浴寿命の短い欠点がある。Meites②はporlaro一 70    graphyによる研究を行ないアルカリ性域で

殆んど析出    Cu(OH)2(Tart)4{ごCu2++20H一

纂溶ける   +2T・・t・−K−・4×・・一・・②

薄い析出    Cu(OH)2(Cit)2−6之Cu2++20H−+2Cit3一

底に沈澱        K=48×10−2・③

竃;か (Tart2一は酒石酸イオンCit3一はクエン酸イオンを表わす)

表3塩⇔ジウムの温度変化  鑓竪二巖漂鍵ぽ縫

塩化パラジウム0.19/1,pH=3.0,塩化第一錫

      けられる。従つて我我はキレート化剤としてクエ

6°9/1噛酸99ml/1     ン酸ナトリウムをとりあげることにした.なお

硫醐5°9/1・クェン酸ナトリウム1°°9/1・次 M。i、。、の結果に娯論もあり④光度計法を用し、

亜リン酸ナトリウム359/1,pH=5.6,温度90°C

      調査した結果では⑤・⑥銅一クエン酸キレートは

試料螂温凶析出状態ぽ羅ラジウ pH−a°付近から生成しはじめ・pH55−125

1

2 3

4

5 6

20°C

30 40 50 60 70

析出せず

  〃

まばらに析出 全面に析出 少しまばらに析出

薄い析出

      で安定な(Cu2+:Cit3−=1:1)キレートを形

 溶解しにくい

少し溶解しにくい  成するようである。但しpH=1α5以上では水 殆ど溶解     酸イオンの配位の可能性も考えられる。

慧㌶麟 3還元剤ならびに電着条件

すぐに沈澱      (1)還元剤はpHによって著しくその還元力        が影響されるので,酸性域とアルカリ性域にわけ  塩化パラジウムは溶解度が小さく,量を増加し  て調査する。まず酸性溶液中における還元剤及び

てもよい結果は得られない。アンモニアでpHを  その酸化一還元電位は次の如くである⑦。

高くすると黒褐色の沈澱を生じ,塩酸でpHを   Cu≒Cu2++2e−     E°=−0.337 V 下げると錯塩を形成し溶解するが析出状態がよく   H3PO2+H20≒H3PO4+2H吉+2e− 0.50 ない。温度の影響は表3の如くで温度が低いと全   H3PO3+H20之H3PO4+2H++2e− 0.276 然析出せず,また高すぎると加水分解により水酸   N2H5+ごN2+5H++4e−      0.23 化パラジウムの沈澱が生じこれが生じると活性能   HS204−+2H20ご2H2SO3+H++2e− 0.08 が著しく低下する。高温の場合この活性能の低下   HCHO(aq)+H20之HCOOH(aq)

と時間との関係の測定が困難であったので塩化パ       +2H++2e−        −0.056

ラジウム浴は各実験毎に取り替えた。要するに塩   H2SO3+H20之SO42−+4H++2e− −0.17

(4)

 上の標準酸化一還元電位表を参照して考えてみ  温度45°Cである。

ると条件さえ整えればどの還元剤でも使用し得る

筈である。しかし実際に電着条件を変えて実験し    表4 硫酸銅の濃度変化

てみた結果,ハイドロサルファイトは一度に黒色    クエン酸ナトリウム 759/1,次亜燐酸ナトリ の沈澱を生じ,塩酸ヒドラジン,硫酸ヒドラジン   ウム309/1

は容器中に黄色の沈澱を生じた。これらは分解が      pH=5・6    浴温度 90°C

酸・ホルマリン・亜硫酸は変化を起こさなかった。       茶褐色〜金属銅色黄色にな

       出せず た。析出の可否は亜燐…酸の場合を除いて一応E°

に従うが,触媒との関連性もあってその分解速度    表5 クエン酸ナトリウムの濃度変化 はまちまちである。一方アルカリ性溶液中での還   硫酸銅(5水塩)509/1, 次亜燐酸ナトリウム

元剤及び酸化還元電位は次の如くである。(7・8)    30g/l

 Cu十20H一ごCu(OH)2十2e− E。=0.224⑧       pH=5・6    浴温度 90°C 急速嘩みすぎることを劾している・また醗硫醐(5水塩灘・/1・・2・3・14・5・16・

ただ次亜醐ナトリウムのみが麟雄果を与え 析出状態 鍾鑑ころはり金属銅

HCHO(aq)十30H一ごHCOO−(aq)十2H20     }一

H2P°『+3°H一二HP°1−+2H・°+2・−1訂ク蘇細錫ム6・7・…{・3・・6・1・9・

+2e−       1.14    析出状態 容器の底に沈

論好姦鑑

S20]一十40H一ご2SOi『十2H20十2e−   1.12

HPGす+3・ぽ・㌃一微L・2の鷺;1!欝㌶▲≧驚:塁

S°§+2°H一ごS°2−+H・°+2e一 @α93に姫離ナトリウムの離踏えてみた結果は

は析出した銅が自触媒となり,その上での ウ魂度、/1.11|ll回 が進行するようなものでなくてはならなし・・この㈱態塁鷺大㈱簸一竃碧

 中性〜アルカリ性域では硫酸ヒドラジン・塩酸   表6の如くで20〜409/1が良好であった。

ヒドラジン次亜燐酸ナトリウムは還元力が強く一一

時に黄色〜黒色の沈澱を生じる。亜燐酸,亜硫酸    表6 次亜燐酸ナトリウムの濃度変化 は中性付近では銅がまばらに析出するがpH 10に   硫酸銅509/1,クエン酸ナトリウム1009/1 なると浴中にも多量の沈澱が生成するようにな      pH=5.6   浴温度 90。C る。要するに還元剤として持つべき望ましい条件  次亜燐酸ナトリ

       5  10 203040  50  80  90  110

       み分解

条件をみたすのはホルマリンのみでアルカリ性域

での唯一の良好な還元剤であった。これはSau一   表5,6,7の最良条件で各成分の割合を一定 betre らの見解とも一致している。以上で酸性  にし濃度を変えてみたが濃度が大となると浴に沈 域での良好な還元剤は次亜燐酸ナトリウム,アル  澱を生じ, またあまり小であると電着速度が遅

カリ性域ではホルマリンであることが判ったので   く,最良条件は硫酸銅509/1, クエン酸ナトリ 両還元剤を用いた析出最良条件を調べた。     ウム1009/1,次亜燐酸ナトリウム359/1であ  (2)酸性域での析出最良条件      った。 この最良条件で温度及びpHを変化させ  銅イオンとクエン酸イオンが酸性域で完全にキ  た結果は表7,8の如くであった。

レートを形成するpH=5.6で還元剤として次亜

燐酸ナトリウムを用い,硫酸銅及びクエン酸ナト   表7 浴の温度変化   pH=56

リウム濃度を変化させ端果噸4・5の亥日くで 醸(°c)6・7・」8・19・195

⊇なお以下の実験のSen・ t ・ing及びaCti一 析出状態 vatmg条件はすべて(塩化第一錫609+35%塩

析出

せず 黒色析出物    金属銅色析出 酸99ml)/1,室温,塩化パラジゥム0.1g/1,pH 3.0,

(5)

表8 浴のpH変化   浴温度90°C       さ10 cm)をハンダ付し万能ブリヅヂ(横

・H4515・156i7・lg・1…1・25  河製)を用い・全抵抗を測定した・

反㌶慧2㌫1鷲鰹蕊;1諸『未16・7・9・1・…3・・5・・7・・9・

下では活性化試片上へは勿論・容器の周囲にも著    析出状態 しく析出が起こる。 これはfree銅イオン(1)

が過剰に存在するためで高pH域では水酸化第一

銅及び酸化第_鋤析出趨こり,最適pHは 甑抵抗〔Ω〕

5°〜6°であった・以上次亜燐酸ナトリウムを還 硫醐濃度はあま嶋すぎると浴寿命カミ短く,

薫㌫三㌫㌫磐罐竃;慧ジ蕊濃鷲星篤‡三漂

上にならない1)欠点があり,従って電気抵抗も著

       は硫酸銅に対しモル比1以下であると,アルカリ

しく小さくはならない・     性域では活性試牌漬前に水素が発生し鋤ミ析出

 (3)アルカリ性域での析出最良条件       しはじめる。クエン酸ナトリウムを過剰にしたも

(1)の結果からアルカリ性域での最良還元剤はホル  のは析出状態は変らないが電気抵抗よりみて・硫 マリンであったのでクエン酸キレートにホルマリ  酸銅609/1に対し90〜1509/1が適当である。次 ンを還元剤として用い浴組成及び析出条件を検討   にホルマリン濃度の影響は表11の如くで濃度が してみた。なおホルマリンは37%水溶液を用い  低いと全然析出が起こらず・80〜150ml/1が良 た。硫酸銅及びクエン酸ナトリウム濃度変化の影  好であった・更に濃度を大にしても析出速度は変 響は表9,10の如くである。      らない。

       表11 ホルマリンの濃度変化   表9 硫酸銅の濃度変化

      硫酸銅609/1,クエン酸ナトリウム1009/1,

 クエン酸ナトリウム1009/1,ホルマリン

       pH=12,  浴温度10°C 30分

 100ml/l

pH−・2(水酸化ナトリウムで纏)浴温  ε多亥〜リ巖、。3。5。7。9。、、。、3。、5。

 10°C30分      ml/1

 析出状態

@浴寿命

d気抵抗〔Ω〕

pH調

ョ時に

ェ解

良やや否0.14

〃良0.09 〃〃0.11 〃〃0.11 〃〃0.11 〃〃0.12 〃〃0.16

析出状態※1

℃ 命 ※2

d気抵抗〔Ω〕

@   ※3

やや

武F

ヌ0.14

〃〃0.43 良〃0.14

〃〃0.14 〃〃0.10 〃否α10 〃否0.10

 析出状態

@浴寿命

d気抵抗〔Ω〕

析 出せ ず

〃一一 斑状

ヘ出

ヌ2.12

良〃0.18 〃〃0.25 〃〃0.11 〃〃0.12 〃〃0.10

      010    表12浴のpH変化

      硫酸銅609/1,クエン酸ナトリウム1009/1,

※1.表面が金属銅色でハンダ試験でも剥離し   ホルマリン100ml/1, 温度10°C,30分

※2.24時間経過後も容器内面に析出物及び沈

ないもの蜥出状態良とした・

@  ・Hl・α・1・エ・・51・2・1・251・3・1・a5

  澱物の生じないものを浴寿命良とし,短時  析出状態   間で沈澱物が多量に生ずるものを否とし  浴寿命

  た。      抵抗〔Ω〕

※3.電気抵抗を試片両端に銅線(φ3mm,長

析出状態

?R〔Ω〕

析 出せ ず

析出表

ハ黒化

@良

やや

@黒化

@〃

P6.6

良〃0.11

 〃

竄笏ロ

O.07

〃否0.06

Cu(O

g)2

フ沈澱

ェ起る

(6)

 pHの影響は表12の如くでpH 12前後が適当 である。pH 12,温度10°Cにおける以上3成分 の割合をg濃度比で示すと図1の如くである。

      析          C・SO 5H・0      出4       量       茎3       8・

       時間 ㎞in)

図2 アルカリ浴における析出量と時間との関係

   図1三成分の最良濃度比(太線内)         の如くである。

        認農;℃       Sensitizing

       塩化第一錫    5〜100g/1 さらに浴の温度の影響をみたが,結果は表13の

       塩酸(35%)   8〜165ml/1

如く・15°C以上だと浴輪はやや悪くなり数日  温度  常温 しか使用に耐なくなる・      A。tiv。、ing

  表13浴の温度変化       塩化パラジウム  0.19/1  硫酸銅609/1,クエン酸ナトリウム1009/l      pH       3.0

 ホルマリン100ml/1, pH 12, 30分   温度   40〜50°C

析出状態

℃ 命

?R〔Ω〕

やや黒化

@良

O.20

良〃0.12 〃〃0.11 〃やや否0.09

温度CC)1・151・・1・5に12)酸璽鱗讃≧漂讃⊆竃亡

       〃    て用いるとかなり良好な銅メッキが得られ,その       やや否   浴組成は次のものが適当である。

       009     硫酸銅(5水塩)      509/1       クエン酸ナトリウム(2水塩)100g/1  最後に電着速度を調べたが10℃においては    次亜燐酸ナトリウム     20〜409/1 3μ/hr,20°Cにおいては6μ/hrでロッシェル塩    pH      50〜6C

をキレート化剤として用いた場合の約3倍に近か    温度      90°C

った。なお20°Cにおける析出量と時間との関係   (3)アルカリ性域ではホルマリンが唯一の良好 は図2の如くである。      な還元剤で,キレート化剤としてロッシェル塩を       用いた従来の浴に比較して2〜3倍の析出速度で

W結 論       良好な鋤。キが得られるが温度を高めること

 銅イオン供給源として硫酸銅,キレート化剤と  によって析出速度を大きくすると,それだけ浴寿 してクエン酸ナトリウムを用いた無電解銅メッキ  命は短かくなる。しかし10°C付近ではロッシェ 浴では,porousな磁器を塩化第一錫溶液を用い   ル塩を用いた場合にくらべ浴寿命は長くなる。ア てsensitize し,更に塩化パラジウムを用いて  ルカリ性域での最良条件は次の如くである。

activateすると,酸性浴,アルカリ性浴の2通    硫酸銅(5水塩)     40〜60 g/1

りで良好な銅メッキが得・られる。       クエン酸ナトリウム(2水塩)90〜1509/1

(7)

  ホルマリン(37%水溶液) 80〜150ml/1   ④RW・Parry・F・W・Dubis;ibid 74・3749〜53

  pH       11.5〜12.5        (1952)

  温度     10〜20。C   ⑤M・S・・Bararia etal;J・Sci・Indust「・Res・・

      21B,127〜9(1961)

       ⑥細川,未松;金属表面技術,15,404〜8(1964)

     文献    

⑦W.M. L。time,;Oxidati。n P。tenti。ls sec。nd

①EB. Saubestre;Metal Finishing,60, N・.7   edition 339〜348, Prentice−Hall, New York

 49〜53, (1962)       (1952)

②L.Meites;J. Am. Chem. Soc.71,3269〜75  ⑧T. Moeller;lnorganic Chemistry moderm   (1949)      asia edition 286〜290, John, Wiley Sons. New

③L.Meites;ibid 72,180〜4(1950)    York(1952)

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