岡山理科大学紀要 第53号 A pp. 69-73（2017）
（2017年10月24日受付、2017年12月４日受理）
71 大気圧プラズマ窒化処理への真空パージ法の導入
73 大気圧プラズマ窒化処理への真空パージ法の導入
（Received October 24, 2017 ; accepted December 4, 2017）
大気圧プラズマ窒化処理への真空パージ法の導入
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