環 境 報 告 書
株式会社東芝
セミコンダクター & ストレージ社
四日市工場
工 場 概 要
1992年1月 渡辺 友治（わたなべ ともはる） 四日市工場： 三重県四日市市山之一色町800番地 朝日テストセンター： 三重県三重郡朝日町縄生2000番地 四日市工場： 666,100㎡（201,848坪）※駐車場含む 朝日テストセンター： 47,862㎡（14,503坪） 5,500名(2015年3月現在) NAND型フラッシュメモリ・MCP・SSD 設 立 工 場 長 所 在 地 敷地面積 従業員数 生 産品目 ●NAND型フラッシュメモリ 電気的に一括消去が可能なフラッシュメモリの一種で、画像や音楽等の大容量データの記録に適しています。●MCP： Multi Chip Package(マルチ・チップ・パッケージ)
複数のメモリチップを積層させて、1パッケージ化したもの。
●FlashAirTM
無線LAN機能を搭載したSDHCメモリカードで、FlashAirTM 搭載機器同士でファイルの送受信を行なったり、 PCやスマートフォンなど外部の無線LAN機器からFlashAirTM 内のファイルにアクセスしたりすることが可能です。
●SSD： Solid State Drive（ソリッド・ステート・ドライブ）
記憶媒体としてNAND型フラッシュメモリを使用するドライブ装置で、ハードディスク装置の代替として利用が広がっています。 ・サーバ ・ゲーム ・産業用機器 ・ヘルスケア ・電子ブック ・テレビ ・車載 ・カーナビ 携帯オーディオ デジカメ／ビデオカメラ パソコン スマートフォン／タブレット microSDXCカード SDXCカード FlashAir SSD USBメモリ
製 品 紹 介
〈用途〉 組み込み式NAND型フラッシュメモリ SSDの特徴 ・アクセス時間が短い ・軽量 ・消費電力が少ない ・耐衝撃性に優れている目 次
Contents
はじめに
. . . 1 工場概要 . . . 1 製品紹介 . . . 1 編集方針 . . . 2環境マネジメント
. . . 3 特集 . . . 3 環境方針 . . . 5 環境マネジメントシステム . . . 6 環境保全体制 . . . 6 工場沿革と 環境保全活動の歩み . . . 7 環境目的・目標 . . . 8 環境会計 . . . 9 法令遵守 . . . 9 環境監査 . . . 10 リスク管理 . . . 11事業活動における
環境負荷低減
. . . 12 環境負荷 . . . 12 廃棄物削減 . . . 12 化学物質排出量削減 . . . 12 温室効果ガス総排出量削減 . . . 14製品における
環境負荷低減の取り組み
. . . 15 製品における環境負荷低減 . . . . 15 グリーン調達 . . . 15コミュニケーション
. . . 16 社内教育・啓発 . . . 16 CSR・地域貢献 . . . 16 情報発信 . . . 17 生物多様性保全への取り組み . . 18 社外からの評価 . . . 18編 集 方 針
この報告書は、株式会社東芝 セミコンダクター＆ストレージ社 四日市工場の環境経営（環境マネジメント、事業活動における環境 負荷低減など）に関して、皆様に一層ご理解いただくことを目的と しています。 この報告書は、環境省発行の「環境報告ガイドライン2012年版」 を参考にして編集しています。報 告 書 記 載 内 容 の 対 象 期 間
活動実績データは、2014年度（2014年4月1日∼2015年3月31 日）の活動が中心となっていますが、一部それ以前、あるいは2015年 度の活動を含んでいます。対 象 組 織
株式会社東芝 セミコンダクター&ストレージ社 四日市工場 ※及び朝日テストセンター ※駐在部門及び構内常駐会社を含む四日市工場は、世界トップクラスの
環境負荷低減を積極的に推進しています。
また、自然保護活動にも力を入れています。
世界を牽引するNAND型
フラッシュメモリの生産拠点、四日市工場
東 芝 セミコンダクター&ストレージ 社 四日市 工場 は、世界有数の規模を有する半導体工場です。急速に普 及しているスマートフォンをはじめ、様々なデジタルプロ ダクツに組み込まれるNAND型フラッシュメモリは、こ こ四日市から世界に送り出されています。最新鋭の生産 設備を整えた生 産工場であり、開発拠 点でもある四日 市工場は、同時に人 類が 直面する地球環境問題にも正 面から取り組む「環境負荷低減を積極的に推進している 工場」でもあります。 2005年から製造棟を拡張し、2014年9月に2期分が 竣工した第5棟は、第4棟比較で約13％のCO₂排出量を 削減しています。さらに、3次元構造のNAND型フラッ シュメモリ（3Dメモリ）の量産に向けて、第2棟の建て替 えを開始、2015年夏に竣工予定です。建て替え後の第2 棟は第5棟比較で約15%のCO₂排出量削減を目指しま す。四日市工場は、地球温暖化防止策、化学物質削減、生 物多様性活動など、世界トップクラスの最新鋭工場の名 に恥じない様々な環境への取り組みを実践しています。随所に 省エネ 対策を施した
工場の製造ライン
四日市工場のCO₂排出削減で特徴的な取り組みの一 つに、「製造プロセスの省エネ」があげられます。半導体 製造には欠かせない材料であるウェハの格納箱内部や 製造装置では、常に最高レベルのクリーン状態を確保し ていますが、他の部分ではクリーン度を緩和することで 全 体の電 力消費 量を抑えるようにしています。他にも、 工場内の動力供給装置の高効率化を図り、空調設備を 削減する「動力供給の省エネ」や、さらに「生産ラインの 効率化」を行なっています。例えば、加工途中の製品が、 専用の小型容器に入った状態で、最適な製造ラインを求 めて製 造棟間を自在に搬 送するシステムが 構築されて います。このシステムを活用すれば、生 産ラインに供給 される無 駄なエネルギーを排除することが でき、生 産 性を大幅に向上させることが できます。四日市工場は、 省エネに関するテクノロジーが随所に反映された工場と 言えるでしょう。環境・CSR・コミュニケーション重視の
活動を展開
四日市工場は、「廃 棄 物を極 力出さない」「廃 棄 物を 資源へ転換する」取り組みも積極的に展開し、いわゆる 3R 活動でも成果を上げ ています。リソグラフィ工程で 使 用する薬 液の使 用量を削減したり、洗浄用薬 液の新 規 購入を削減したりしています。また、製 造 過程で 生じ るフッ酸は、分解後の成分をフッ化カルシウムとして固 四日市工場 工場長渡辺 友治
定化する回収設備を導入。有価物として高濃度のフッ酸 とともに新たなフッ素製品の原料として業者に販売して います。 工場内部の環 境 活動はもちろんですが、工場周辺地 域の生物多様 性 活動にも積極的に取り組んでいます。 東芝グループが導入している「生物多様性ポテンシャル 簡易評価」を用いて、工場を中心とする半径2km圏内の 緑 地や水系を定 量的に評価し、自治 体や専門家とも連 携した活動を行っています。他にも、地元地域主催の里 山づくり活動への参画や、地元当社グループの「150万 本の森づくり」活動など、自然保護の新たな取り組みを 展開しています。 さらに、環境保全の取り組みを中心としたCSR活動の 推進にも力点を置き、地域と連携した各種活動も行なっ ています。例えば、定期的に開催する地域住民との環境 連 絡会、近隣 小学 校での環 境 授 業、展示 会への出展な どは、四日市工場の環境活動を広く知っていただき、ス テークホルダーとのコミュニケーションを深める機会と して機能しています。このような努力が一つひとつ実を 結び、工場と近隣 地 域との信 頼関係を深めることにつ ながっています。
環境負荷低減を積極的に推進している
工場が送り出す次世代半導体メモリ
世界に誇る環境負荷低減を積極的に推進している四 日市 工場で 製 造されるN A N D 型フラッシュメモリ自 体、様 々な 製 品の 低 消費 電 力 化に貢 献しています。特 にSSDは、HDDのように駆動部分がなく、消費電力を 格段に抑えることが できるため 、ビッグデータ活用 時 代の担い手であるデータセンターや医療機器分野への 応用が急ピッチで進んでいます。 こうしたメモリの 低 消 費 電 力を実現しているのが 、 最 先 端のプロセス技 術です。メモリセル面積を縮小す る微 細 化技 術に15n m プ ロセスを採 用してい ます。一つのメモリセル に 2 ビット 以 上 の デ ー タを記憶する多値化技 術 や 、チップ の 薄 厚 研 削・薄 厚多段 積 層 技 術 な ど を 採 用 す る こ と で、メモリ容量あたりのコストと消費電力を大幅に削減 しました。 また、従 来のN A N D 型フラッシュメモリを3次 元化 することで記憶容量を大幅に増やした次世代半導体メ モリの開発にも着手しています。2015年3月には世界 初の48層積 層プロセスを用いた3次元フラッシュメモ リ（BiC S）を製品化しました。BiC Sの専用設備を設置 するため第2製造棟を建て替え、2015年夏に一部が 竣 工し 、2 0 16 年 前 半 に は 全 体 が 竣 工 する 予 定 で す 。 BiCSは、４年以内に現行製品の16倍にあたる容量1TB の実 用化を目指 すものです。そのために、最 先 端の製 造装置を導入するとともに、効率的なBiCS量産への切 り替えを図っていきます。 このように、四日市工場は、様々な技術を駆使して環 境 活動と企業活動とを両立させています。工場の省エ ネ技 術と生 産性向上がコスト削減につながり、製品の 価格競争力を高める一方で、低消費電力半導体の設計 技 術とプロセス技 術が、市場を牽引する製品の誕 生を 後押ししています。四日市工場は、製造プロセスの自動 化を一層進め、生産性を究極まで高めることで、社員を より付加価値の高い仕事にシフトし、製品開発力、技術 力に磨きをかけることが できます。そこでは「環 境」こ そ、最も重要なキーワードの一つです。四日市工場の環 境保 全 活 動が、世界で認 知されるよう、全 員で 歩み続 けます。 世界初の48層積層プロセスを 用いた3次元フラッシュメモリ （BiCS）豊かな価値の創造と地球との共生を図る工場を目指し、低炭素社会、循環型社会、自然共生社会を目指した環境活動により、持続可 能な社会の実現に貢献することを理念に環境方針を掲げています。
環 境 方 針
未来のエレクトロニクス社会を牽引する立場で最先端の環境活動を。
株式会社東芝 セミコンダクター＆ストレージ社 四日市工場は、東芝グループの環境基本方針である「“かけがえのない地球 環境”を、健全な状態で次世代に引き継いでいくことは、現存する人間の基本的責務」との認識に立って、東芝グループ環境 ビジョンのもと、豊かな価値の創造と地球との共生を図ります。低炭素社会、循環型社会、自然共生社会を目指した環境活動に より、持続可能な社会の実現に貢献します。 （1）西に緑豊かな鈴鹿山脈、東に恵み豊かな伊勢湾に立地するハイテク工場と意識し、環境保全への取組みを工場経営の最重要課題の一つと位置 付け、経済と調和させた環境活動を継続的に推進します。 （2）環境に関する法令・条例・協定、当工場が受入を決めた要求事項および自主基準などを遵守します。 （3）環境活動レベルの向上を図るため、定期的な監査と活動のレビューにより環境マネジメントシステムの継続的な改善を行ないます。 全ての事業プロセスにおける環境側面について、生物多様性を含む環境への影響を評価し、環境負荷の低減、汚染の防止、省電力型製品などの開発 に関する環境目的および目標を設定して、積極的な環境施策を展開します。 （1）高容量化、小型化、省資源化による製品開発、製品の環境事前評価、および原材料の適正管理と使用量削減を行い、NAND型フラッシュメモリ の提供を通じ、社会の環境負荷低減に貢献します。 （2）製造設備および動力設備における省エネルギー推進、PFC除害装置の設置をはじめとした温室効果ガス排出削減施策の実施により、地球温暖 化の防止に貢献します。 （3）循環型社会構築のために生産性の向上、3Rの取り組みを積極的に進め、廃棄物の総排出量削減、水資源の受入れ量削減施策の実施などにより 資源の有効活用を推進します。 （4）使用する化学物質の管理ならびに化学物質の削減に係る技術の開発と共に、取扱量および排出量の削減施策の実施により環境リスクの低減を 実現します。 （5）生物多様性の保全を行なうために、事業活動が生物多様性に及ぼすかかわりを把握し、生物多様性に及ぼす影響の低減を図り、また、社会貢献 活動を推進します。 （6）環境に関する情報の発信、構外活動への参画を進めることにより、地域・社会のみなさまとの相互理解を促進します。 （7）全従業員の環境意識向上を目的とした行事に全員で取り組みます。 この環境方針は、社内外に開示するとともに本組織で働くすべての人々に周知し、方針に沿った企業活動を推進します。理 念
渡辺 友治
株式会社東芝 セミコンダクター＆ストレージ社 四日市工場は、株式会社東芝 セミコンダクター＆ストレージ社グループの環 境方針に基づき、エレクトロニクス社会を支えるNAND型フラッシュメモリの開発、製造とそれにより発生する排出物、および サービスなどの事業プロセスにおいて最先端の環境施策を導入し、可能な限り環境に配慮することを目指します。 そして、持続可能な社会とすることを目指し、以下のことに全員で取り組みます。 １．倫理観（コンプライアンス）と継続性（サステナビリティ−） ２．実行（エクセキューション） 2015年4月1日 改正 株式会社東芝 セミコンダクター＆ストレージ社 四日市工場 工場長方 針
環 境 マネジメントシステム
方針の決定から管理状況のレビューまで、独自の取り組みを展開。
当工場では、国際規格ISO14001:2004に準拠した環境マネ ジメントシステム（以下、EMSとします）を構築し、継続的な改 善・向上に取り組んでいます。 2007年8月に環境経営活動の強化を目的に、株式会社東芝 セミコンダクター社（現 株式会社東芝 セミコンダクター＆スト レージ社）としてEMSを統合し、2014年9月には国内関係会社を 含む13サイト、海外7サイトの統合EMSの認証を取得しました。 当工場は、事業活動、製品及びサービスに関わる環境側面につい て、生物多様性を含む環境への影響を評価し、環境負荷の低減、 汚染の防止、環境負荷低減施策を進めた製品の創出などに関する 環境目的及び目標を設定して、積極的な環境施策を展開します。環 境 保 全 体 制
工場長をトップに各種委員会などを設置し、責任体制を明確化。
環境保全活動を継続的かつ効果的に推進するため、工場長を トップとする環境保全体制を構築し、責任及び権限を明確に定 めるとともに、環境保全に関する最高審議機関として地球環境 会議を設置して、EMS、環境方針、環境目的、実施計画の審議を行 なっています。また、法令などの遵守を監督するコンプライアンス 実行委員会を設置し、遵法の徹底を図っています。継続的改善
マネジメントレビュー 点 検 環境方針 実施及び運用 計 画 コンプライアンス実行委員会 地球環境会議 部門環境会議 内部環境監査員 公害防止管理者 構内常駐会社 環境保全担当グループ長 省エネルギー委員会 職場環境担当者会議 環境保全副責任者：施設管理部長 ISO14001事務局 各部門長 各課長・グループ長 環境保全体制図 環境保全責任者：工場長 ISO14001登録証 環境マネジメントシステムモデル8月 12月 2月 11月 1月 4月 2月 11月 2月 5月 10月 10月 2月 2月 4月 2月 2月 2月 10月 11月 2月 12月 7月 12月 2月 1月 5月 6月 8月 11月 2月 4月 10月 7月 10月 4月 7月 11月 12月 2月 10月 11月 2月 2月 10月 12月 10月 10月 四日市市土地開発公社による「四日市ハイテク工場団地」としての造成に伴い、土地整備開始 三重県四日市市と公害防止協定締結 第一製造棟建設開始 四日市市山之一色町自治会と公害防止協定締結／山之一色町地元連絡会開始 設立 DRAM生産開始 操業開始（第一製造棟稼働開始） 東芝総合環境監査（旧称EASTER）初回受査 第二製造棟完成 BS7750環境マネジメントシステム認証取得 第二製造棟稼働開始 ISO14001：1996環境マネジメントシステム認証取得 SRAM 生産開始 NAND型フラッシュメモリ生産開始 リサイクル推進協議会会長賞受賞 MCP生産開始 SDメモリカード発売開始 中部通産局長賞受賞（エネルギー管理優良工場 熱部門） （財）省エネルギーセンター会長賞受賞 産業廃棄物ゼロエミッションを全社に先駆けて達成（1999年度実績） 中部経産局長賞受賞（エネルギー管理優良工場 電気部門） 中部経産局長賞受賞（エネルギー管理功労者） DRAM生産終了 miniSDカード発売開始 USBフラッシュメモリ発売開始 資源エネルギー庁長官賞受賞（エネルギー管理優良工場 熱部門） 四日市工場環境報告書初版発行 朝日テストセンター稼働 資源エネルギー庁長官賞受賞（エネルギー管理優良工場 電気部門） 第三製造棟完成 第三製造棟稼働開始 ISO14001：2004環境マネジメントシステム認証取得 microSDカード発売開始 SDHCカード発売開始 省エネ優秀事例全国大会 省エネルギーセンター優良賞受賞 Kids'ISO14000プログラム開始（子供環境教育） 厚生棟完成 第四製造棟完成 ISO14001：2004環境マネジメントシステム （株）東芝 セミコンダクター社統合認証取得 第四製造棟稼働開始 PRTR優秀賞（審査員特別賞）受賞 SRAM生産終了 業界最大級512GB SSD製品化 業界最大64GB 組込み式NAND型フラッシュメモリ製品化 こどもよっかいちCO2ダイエット作戦開始（子供環境教育） ボイラー管理優良事業場表彰受賞 世界最大容量64GB、世界最速転送速度、世界初SDXCメモリカード発売 業界最大128GB 組込み式NAND型フラッシュメモリ製品化 200mmウェハ製造ライン終息 関西エコオフィス大賞 奨励賞受賞 エコキッズCO2ダイエット大作戦開始（子供環境教育） 世界最小19nmプロセス 64 ギガビット（8 ギガバイト）大容量NAND型フラッシュメモリ開発 第五製造棟完成（第1期） 第五製造棟稼働開始 第49回全日本ボイラー大会「技術賞」受賞 東芝グループ環境賞「優秀賞」受賞 世界初19nmプロセスのNAND型フラッシュメモリを用いたPC向けSSD製品化 業界最大クラスの1.6TBを実現したエンタープライズ向けSSD製品化 省エネ大賞「省エネルギーセンター会長賞」受賞 3 R 推進功労者等表彰「会長賞」受賞 国際グリーンアップル賞「銀賞」受賞 業界最大クラス 記憶容量1.6TBのエンタープライズ向けSSDのサンプル出荷開始 中部経済産業局長表彰（エネルギー管理優良事業者）受賞 一般財団法人省エネルギーセンター東海支部長表彰（省エネ推進功労者）受賞 3 R 推進功労者等表彰「会長賞」受賞 第2回みえ環境大賞(環境経営部門) 受賞 15nmプロセスを用いたNAND型フラッシュメモリ量産 48層積層プロセスを用いた3次元フラッシュメモリ（BiCS）製品化 3 R 推進功労者等表彰「会長賞」受賞 資源循環技術・システム表彰「経済産業大臣賞」受賞 2014年 2013年 2012年 2011年 2010年 2009年 2007年 2003年 2006年 1996年 2005年 2000年 2004年 2001年 2008年 1999年 1993年 2002年 1998年 1992年 1995年 1991年 1990年 1994年
工 場 沿 革 と 環 境 保 全 活 動 の 歩 み
約20年、工場拡張の歩みとともに、環境活動も積極展開。
毎年、前年度の環境目標達成状況やパフォーマンス、当工場への要求事項、環境情勢の変化などを環境影響評価の結果に反映し、環 境目的・目標を設定しています。 2014年度は、下表の通り環境目標を設定し、各種活動を通して全項目の目標達成を実現しました。 2014年度環境目標と結果 環 境 目 的 地球温暖化防止の推進 製品における環境負荷低減 環境コミュニケーションの推進 生物多様性保全活動の推進 環 境 目 標 目 標 値 実 績 評 価 CO2 排出量の削減 資源の有効利用推進 環境リスクの低減 21,840ｔ- CO2 以上削減 66,250ｔ以下に抑制 27,361ｔ以下に抑制 13,368 千m3 以下に抑制 529ｔ以下に抑制 45,000ｔ以下に抑制 寄与３施策 1社 1件 5回 23,508ｔ- CO2 ○ 環境意識の向上 啓発施策の実施・展開 環境関係強調月間の開催 ◆環境月間：6月 ◆3R推進月間：10月 ◆省エネ月間：2月 計画通り実施 ○ 27,275 t ○ 水資源受入量の抑制 12,622 千m3 ○ 廃棄物総発生量の抑制 56,721ｔ ○ 3校 2回 1回 496ｔ ○ ３施策 ○ 1社 ○ 38,955ｔ ○ 東芝Gr環境一斉アクション2014推進 1件 ○ 日本語版：8月発行 英語版：12月発行 計画通り実施 ○ 子供環境授業 環境報告書の発行 3校 ○ 社内外環境イベントへの出展 5回 ○ 2回 ○ 1回 ○ チャリティー ecoバザーによるリユース推進 ※四日市市緑化基金に寄贈 不要カレンダー・手帳回収によるリユース推進 ※社会福祉協議会へ寄贈 地域企業連携による生物多様性ネットワークの構築 (参加企業拡大) 微細化による製品と製造プロセスの 環境負荷低減 全社アクションプラン対象 化学物質取扱量の抑制 全社アクションプラン対象 化学物質の排出量抑制 廃棄物量削減 (産業廃棄物)
環 境 目 的・目 標
掲げた項目に対し、着実に目標値を達成。
実測値 振動 （dB） 事業活動に関わる費用のうち、環境保全に関わる コストとその効果を定量的に把握し、環境保全活 動の指針とするため｢環境会計｣を導入しています。 環境保全コストの分類と算出は、環境省が定めた ｢環 境 会 計ガイドライン20 05年版 ｣及び 東 芝グ ループ独自の基準に基づいています。2014年度の 環境保全コストは合計約142億円となりました。 当工場では、大気・水域に排出する物質などについて、法律の規制値より厳しい自主管理値を設定し、その遵守に努めています。 2014年度についても自主管理値を満足していることを確認しています。 グリーン調達などのためのコスト ISO14001運用・環境教育などのためのコスト 資源有効活用・廃棄物減量などのためのコスト 温暖化防止などのためのコスト 大気・水質保全等公害防止のためのコスト 大気測定結果 排水測定結果 法規制値 自主管理値 実測値 測定頻度 NOx （ppm） SOx （Nm3／h） ばいじん （mg／Nm3） 130以下 1.2以下 50以下 72以下 0.099以下 35以下 31∼58 0.01以下 1.0以下 1回／年 1回／年 2回／年 騒音・振動測定結果 測定場所：時間の区分 騒音 （dB） 規制値 対象外 対象外 対象外 対象外 対象外 自主管理値 60以下 65以下 55以下 50以下 50以下 実測値 43∼54 44∼54 44∼53 30以下 30以下 測定頻度 4回／年 4回／年 4回／年 1回／年 1回／年 規制値 自主管理値 実測値 測定頻度 6.5∼8.0 4.0以下 4.0以下 3以下 6.0以下 5.0以下 7.6 0.6 2.9 0.5 2.7 2.8 1回／月 1回／月 1回／週 1回／月 1回／週 1回／週 pH BOD （mg／L） COD （mg／L） SS （mg／L） 窒素 （mg／L） フッ素 （mg／L） 5.8∼8.6（三重県条例 ※1） 20以下（三重県条例） 20以下（三重県条例） 70以下（三重県条例） 60以下（水濁法 ※2） 8以下（水濁法） ※1：三重県生活環境の保全に関する条例 ※2：水質汚濁防止法 敷地境界： 朝・夕 敷地境界： 昼 敷地境界： 夜 敷地境界： 昼 敷地境界： 夜
環 境 会 計
事業拡大に伴う環境負荷増加に対し、費用対効果をふまえた環境保全コスト。
法 令 遵 守
厳しい自主管理値のもとで遵守を実行。
各年度の環境保全コスト推移 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200 220 （億円） 2005 2006 2007 2008 2009 2010 2011 2012 2013 2014東芝グループでは、1993年から独自に構築した東芝総合環境監 査システムに基づき、当工場をはじめとする東芝グループの事業 場を対象とした定期環境監査（1回／年）を実施しています。 この監査は、「三全主義（全域の、全設備施設を、全員で管理）」 「三現主義（現場、現物、現実）「目視管理」 （見る、見える、見せる 管理）」を基本理念に、社内の有資格者で構成された監査チー ムにより、2日間にわたり行なわれます。 監査項目は、1.環境経営監査、2.遵法監査、3.現場監査からな り具体的には、排水処理施設、リサイクルセンター、薬品倉庫、 薬品使用施設など19施設の現場管理に関する監査、緊急事 当工場では、「東芝総合環境監査」を毎年実施しています。監査は現場管理を 中心に省エネルギー、化学物質排出量削減、廃棄物削減などの東芝グループ 環境アクションプランの達成状況などについて行なわれます。 態を想定した対応訓練の有効性に関する監査、法令遵守や法規 制物質の計測管理に関する監査、4S（整理、整頓、清掃、清潔）へ の取り組みに関する監査、従業員教育の実施状況に関する監査 などです。 また、当工場ではISO14001に基づくEMSを構築しており、これに ついても内部環境監査（1回／年）を実施し、環境パフォーマンスの 向上を図っています。 このほか、ISO14001外部審査（1回／年）も受査しており、EMSの ISO14001規格への適合性確保と環境管理活動の継続的な改善 に取り組んでいます。 東芝総合環境監査 当工場の全部門を対象に、内部環境監査を実施しています。監査員は、外部認 定資格を有しています。 各部門の活動内容が当工場の環境方針に沿った活動となっているか、環境目 的・目標を達成するために積極的に活動しているかなどを確認することにより、 問題点を洗い出して改善につなげています。また、優れた活動を積極的に取り 上げ、他部門へ横展開を図ることにより全体のレベルアップを図っています。 内部環境監査 毎年、外部の認証機関による審査を受けています。審査は２種類あり、1回／ 年の定期審査ではEMSの有効性と維持の事実を確認しています。1回／3年 の更新審査では、EMS全体の包括的で継続した有効性を検証しています。 2014年度は、株式会社東芝 セミコンダクター&ストレージ社として定期審査 を受け、当工場は指摘事項が0件でした。 ISO14001外部審査
環 境 監 査
「三全主義」
「三現主義」
「目視管理」が基本の徹底監査を実施。
現場管理の監査 内部監査の様子 外部審査の様子半導体の製造には、多くの薬品・ガスを使用することから、これらの保管や取り扱い時における漏洩を防止するため、様々な構造物上の 対策を講じています。また排出される水・ガスの重要項目を24時間自動監視しています。 排水処理設備 製造工程の排水は処理装置で浄化を行った後、河川に放流しています。 地上架空化配管／配管継ぎ手部二重化 配管を地中埋設せずにラックの上に置くことにより、土壌の汚染を防止 しています。また、配管継ぎ手部を二重化し、液漏れをモニターできる ようにしています。 防液堤 クリーンルーム棟にある地下中継槽は屋外ではなく地下に施設を設け ることで、拡散防止に努めています。万が一、タンク内の排水が漏洩し た時のために、防液堤を設置することにより流出の拡大を防ぎます。 環境汚染防止対策事例 当工場から排出される水・ガスは、水質汚濁防止法、大気汚染防止法、 三重県条例による規制値、及び四日市市との協定値を守るため、より 厳しい自主管理基準を設けて管理しています。 排水・排ガス共に重要項目を自動測定器で24時間連続監視をしてい ます。排水・排ガスは工場内の分析センターで年間約20,000項目を分 析し、機械と人で監視を行なっています。 水質・大気の保全 製造棟建設時など、環境負荷が変動すると想定されるタイミングで工 場周辺河川の生態系調査、臭気、化学物質調査などを実施することに より、周辺地域の長期的な環境リスクを評価し、影響ないことを確認 しています。 環境リスク調査 緊急事態の発生が想定される環境リスクの高い施設と作業を選び出 し、その全ての対処方法を標準化しています。万が一緊急事態が発生 しても速やかに対処できるよう、対応訓練を定期的に実施し、対処方 法の有効性確認と見直しを行なっています。 緊急事態対応訓練
リスク 管 理
工場排水や排ガスなど、環境への影響要因を監視・分析。
排水処理設備 排水中継槽防液堤 ※赤線で示したところが防液堤 配管継ぎ手部二重化 自動計測器での24時間連続監視 環境リスク調査 緊急事態対応訓練化学物質 市 水 工業用水 2012年度 71,542 21 10,015 2013年度 2014年度 t 千 m3 千 m3 2012年度 2013年度 2014年度 温室効果ガス 化学物質 廃棄物 排水量 NOx SOx 千t-CO₂ t t 千 m3 t t 753 410 55,282 8,626 17.1 0 76,937 27 11,998 80,695 31 12,590 823 395 57,659 10,017 15.3 0 926 496 56,721 10,767 17.2 0 投入量の推移 排出量の推移 2014 年 度に発 生した 廃 棄 物（ 有価 物 を 含 む ）の 総 量 は 56,721tでした。 廃棄物総発生量は増加傾向にありますが、薬品・ガスの使用量 削減に取り組むとともに、発生した廃棄物のリサイクルや有価 売却の拡大に積極的に取り組んでいます。また、メモリ容量あ たりの廃棄物総発生量（GB原単位）は昨年度より削減してい ます。
廃棄物総発生量削減
※メモリ容量1GB（ギガバイト）あたり廃棄物総発生量の2005年度実績を100%とした比率 廃棄物総排出量 GB原単位比(※)廃 棄 物 削 減
発生廃棄物のリサイクルや有価売却を積極的に。
事業活動における環境負荷低減
環 境 負 荷
製造工程などにおける環境負荷量の把握・分析を推進。
2014 ※メモリ容量1GB（ギガバイト）あたり化学物質発生量の2005年度実績を100%とした比率 20% 40% 60% 80% 100% 0 10,000 20,000 30,000 40,000 50,000 60,000 70,000 （GB原単位比） （t） 2005 2006 2007 2008 2009 2010 2011 2012 2013Reducing Environmental Impact Caused by Business Activities
Reducing Environmental Impact Caused by Business Activities
0% 半導体の製造工程では、様々な化学物質を使用しています。 当工場では化学物質使用量の削減や代替化、排出量の削減 などに積極的に取り組んでいます。2014年度は、揮発性有機 化合物の除害装置の増設、工程改善により、排出量の増加を 抑制することができました。
化 学 物 質 排 出 量 削 減
有害物質の使用制限と代替化の促進、独自のシステムで管理を徹底。
0 100 200 300 400 500 600 2005 2006 2007 2008 2009 2010 2011 2012 2013 2014 0% 20% 40% 60% 80% 100% （GB原単位比） （t） 化学物質排出量 GB原単位比(※)クリーンルーム ローリー輸送 WET行程 廃硫酸の流れ 廃棄物 有価売却（売却） 硫酸希釈設備 希塩酸（購入） 使用量削減 薬液タンク フッ素含有水 処理設備 窒素含有水 処理設備 化学物質は適切に管理されなければ環境汚染を引き起こし、 人の健康や生態系に有害な影響をもたらすおそれがあります。 当工場では「化学物質はできるだけ使用しない」「可能な限り削 減・代替化に努める」「使用する場合は適正に管理する」ことを 化学物質管理の基本的な考え方としています。 毎月の取扱量は化学物質管理システムを使用して集計し、大 気、水域への排出量、廃棄物としての移動量などの把握に努め ています。 化学物質使用量・排出量の管理 PRTRとは、どのような化学物質が、どこから、どのくらい、環境 （大気・公共用水・土壌など）中へ排出されているか（排出量）、廃 棄物などとして移動しているか（移動量）を把握し、集計・公表す る制度です。 「特定化学物質の環境への排出量の把握等及び 管理の改善の促進に関する法律（PRTR法）」では、第一種指定 化学物質の年間取扱量が１ｔ以上（特定第一種化学物質において は0.5t以上）となった場合に排出量・移動量を報告することが義務 付けられています。東芝グループでは、独自に年間0.1t以上取扱う 第一種指定化学物質を対象とし、排出量・移動量以外にも取扱量・ 消費量・除去処理量・リサイクル量を合わせて開示しています。
PRTR（Pollutant Release and Transfer Register）
化学物質管理システム 半導体製造のプロセスで使用している洗浄用の硫酸は量も 多くリサイクルに課題がありました。そこで、従来のプロセス を見直し、薬液使用量を減らすとともにリサイクルも可能にす る技術を導入しました。 また、排出される硫酸を排水処理のｐH調整剤として再利用 することで、従来、排水処理で使用される希塩酸の使用量を 削減することもできました。これらの施策により、工場全体で は薬液の使用量を約4,000ｔ／年 削減できました。今後も 環境負荷低減に向け、3Rを念頭に置いた技術開発を進めて まいります。 2014年度PRTR対象物質データ ※1 消費量は製品に含有もしくは同伴されて場外に持ち出される量をいいます。 ※2 除去処理量は工場内で中和、分解、反応処理などにより他物質に変化した量をいいます。 ※3 廃棄物移動量かリサイクル量かは、有価か無価で決まります。したがって、リサイクル目的であってもお金を払って処理を委託している場合は、廃棄物としての移動量になります。 （少数点以下第３位を四捨五入しています） 法令で 定めた 物資番号 272 374 395 405 453 化学物質名 銅水溶性塩（錯塩を除く） ふっ化水素及びその水溶性塩 ペルオキソ二硫酸の水溶性塩 ほう素化合物 モリブデン及びその化合物 取扱量 排出 大気 0 0.80 0 0 0 公共 用水 0 0 0 0 0 大気 0 0 0 0 0 事業所 内埋立 0 0 0 0 0 排出量 合計 0 0.80 0 0 0 ※3 廃棄物 ※1 消費量 ※2 除去 処理量 ※3 リサイ クル量 6.28 0 1.96 0.62 0 下水道 0 0 0 0 0 移動量 合計 6.28 0 1.96 0.62 0 0 0 0 0 0 0 3738.63 89.47 0 0.44 0 0 0 0 0 移動量 6.28 3,739.42 91.42 0.62 0.44 （単位： t/年）
半導体製造工程では、多量のエネルギー、及び温室効果ガスで あるパーフルオロカーボン類（PFCs）を使用しています。 そのため、製造設備及び動力設備において様々な省エネ施策を 展開するとともに、PFC除害100%設置を継続し、温室効果ガス の排出量を抑制することで地球温暖化防止に努めています。 製造工程ではウェハ上に薄膜を形成するＰ−ＣＶＤ（プラズ マＣＶＤ）工程、配線やコンタクトホールを微細加工するＤＲ Ｙ（ドライエッチング）工程において多量かつ多種類の温室 効果ガスを使用しています。温室効果ガスの排出削減に関し ては「源流からの排出削減」を取り組みの柱として、下の表に 示すような多くの施策を実施しました。施策No.１は温室効 果ガスを使用する製造設備に温室効果ガスを温暖化係数の 小さいガスに分解し排出する除害装置を設置するものです。 この施策は温室効果ガスの殆どを分解することができるた め、大きな削減効果がありました。施策No.２∼７は製造装置内 の反応室のクリーニング時間を装置の改造等により短縮するも ので温室効果ガス自体の使用量を抑制しました。施策No.８は ウェーハを処理する際の加工条件を最適化することにより時間 短縮し、温室効果ガスの使用量の削減を実現しました。施策No. ８は効果自体は小さいものですが、特に今後予定されている新 製品では製品のコスト削減に対して有効な項目とされていま す。このような製品のコスト削減と連動した施策を今後も推進 していきます。 温室効果ガス排出削減事例：製造設備における排出削減への取り組み 四日市工場では数多くの製造装置を導入し半導体製品を製造 しています。それぞれの半導体装置は電気、ガス、水、排気の 動力を供給された上で稼働しています。製品が微細化・高度化 するにつれて製造装置から要求される動力の要求値も年々、 精密に制御することが求められています。この要求値を満足 するために製造装置自身が別個に空調装置等をもつ場合も あります。 今回、Litho(リソグラフィ)工程の製造装置において装置固有の 空調装置を小型化してエネルギーを削減する取組みを行いま した。これまでは空調機を設置している設備エリア（図中：階下） の雰囲気を吸気して温度・湿度制御して装置内に送り込んでい ました。吸気口を作業エリア（図中：階上）近くに設置してより精 密に温度・湿度制御されている雰囲気を吸気する仕様に変更しま した。このことで空調機を小型化して装置１台当たりの消費電力の 大きな削減を実現することができました。このような設備の特性、 クリーンルーム建屋の特性を利用した省エネの取組みを製造担当 と動力担当の連携により全工程で取り組んでいます。 エネルギー起源CO₂排出削減事例：製造装置における省エネ ※1 京都議定書の定める削減対象温室効果ガス6種類 二酸化炭素（CO₂）、メタン（CH４）、 一酸化二窒素（N2O）（＝亜酸化窒素）、ハイドロフルオロカーボン類（HFCs）、 パーフルオロカーボン類（PFCs）、六フッ化硫黄（SF6） ※2 メモリ容量1GB（ギガバイト）あたり温室効果ガス総排出量の2005年度実績を100%とした比率 精密 空調機 装置の要求 スペックに 応じた空気 小型化し 消費電力を 削減 Litho装置 階 上 階 下 階 上 階 下 吸気 吸気 吸気 吸気 より高品質な 雰囲気 改善後 精密 空調機 改善前 装置の要求 スペックに 応じた空気 Litho装置 階 上 階 下 階 上 階 下 高品質な 雰囲気 吸気 吸気
温 室 効 果 ガ ス 総 排 出 量 削 減
工場内の製造設備や動力設備における省エネ対策を実施。
施策No. 1 2 3 4 5 6 7 8 施策名 除害装置設置 反応室クリーニング時間時短① 反応室クリーニング時間時短② 反応室クリーニング時間時短③ 反応室クリーニング時間時短④ 反応室クリーニング時間時短⑤ 反応室クリーニング時間時短⑥ 処理条件最適化 工程 P-CVD、DRY P-CVD P-CVD P-CVD P-CVD P-CVD DRY DRY 対象ガス CF4、C4F8、CHF3、SF6、NF3 NF3 NF3 NF3 NF3 NF3 CF4 CF4、CHF3 備考 新規導入設備に設置継続 15年度継続 15年度継続 14年度完了 14年度完了 14年度完了 15年度継続 15年度継続 総削減量への寄与割合（％）14年度 98.77% 0.04% 0.74% 0.06% 0.04% 0.32% 0.01% 0.03% 200 400 600 800 1000 0% 20% 40% 60% 80% 100% 0 2005 2006 2007 2008 2009 2010 2011 2012 2013 2014 温室効果ガス総排出量（※1） GB原単位比(※2) （GB原単位比） （千t-CO2）製 品 に お ける 環 境 負 荷 低 減
大容量化の追求とメモリ実装技術の進化で製品の環境負荷低減を実現。
グ リーン 調 達
GPUSで調達先との連携強化を実践。
出荷 容量あたりの環境負荷を削減 ■ 微細化技術の開発を積み重ねて、NAND型フラッシュメモリ1チッ プの記憶容量は4000倍に!! 株式会社東芝 セミコンダクター＆ストレージ社では、グリー ン調達ガイドラインを2014年9月1日に改訂し、当社が定め る「環境管理物質」に関する情報や、調達先の体制に関する 情報、及び資料の提出を求めています。 当工場は2009年からインターネットを介して情報・資料を提出可能 な仕組み、グリーン調達更新システム（GPUS）を構築し、調達先との より緊密かつ効果的なグリーン調達活動の推進に努めています。 メモリ実装技術がもたらす環境負荷低減 ■ 東芝は半導体微細加工技術のみならず薄型化、多段積層化などの 実装技術開発を推進してメモリ製品の小型化、大容量化を実現!! 部材情報調査 ①RoHS対象物質非含有証明書 ②環境管理物質非含有証明書 ③分析データ ④安全データシート（SDS） 参照 情報 入手 ⑤製品・部品構成表 ⑥ハロゲンフリー対象化学物質非含有証明書 製品情報 四日市工場 営 業 顧 客 回 答 問合せ 回 答 問合 せ 部材 データベース 製品環境 データベース 出荷ラベルへの ＲｏＨＳ対応 部材情報 同じプロセス世代技術のチップを使いながら最新の実装 技術を駆使し、32倍もの大容量化を実現して、大幅な小 型化、実装の省スペース化、省材料化を実現しています。 パッケージサイズ 20.0mm×12.0mm×1.2mm （TSOP） 32Gビット NAND型フラッシュメモリ 128Gバイト NAND型フラッシュメモリ（e・MMC™） パッケージサイズ 17.0mm×22.0mm×1.4mm （FBGA） 64Gビット NAND型フラッシュチップ （30µm厚）×１6枚 ＋ コントローラチップ 32Gビット NAND型フラッシュチップ （200µm厚）×１枚 32倍のメモリ容量 大幅な •小型化 •実装の省スペース化 •省材料化を実現 グリーン調達更新システム（GPUS） 入力 入力 32M（メガ）ビット NAND型フラッシュメモリ 450nmプロセス技術 パッケージサイズ 18.8mm×11.8mm （TSOP） 1996年 2014年 128G（ギガ）ビット NAND型フラッシュメモリ 15nmプロセス技術 パッケージサイズ 20.0mm×12.4mm （TSOP）社 内 教 育・啓 発
階層・職能別に環境教育を実施するとともに活動月間で徹底を。
コミュニケーション
環境活動の水準を高めるため、全従業員を対象に環境教育を実施しています。一般従業員教育では、eラーニングを活用して当工場のEMS についての理解を深めています。製造部門では、階層別、職能別の教育を展開し、環境意識・職務知識の向上、業務への反映に努めています。 なお、教育内容は、常に最新の情報を反映しています。また、1回／年、内部環境監査員教育を実施し、監査員としての力量を上げています。 環境教育 四日市市、及び近隣７社により発足した「四日市市環境フォーラム」が定める環境教育プログラム の一つです。当工場もこの教育プログラムの立ち上げに参画しました。 近隣の小学校に出向いて環境問題の現状を説明し、家庭でできる省エネ活動を実践してもらいま した。授業の最後に四日市市のマスコット「こにゅうどうくん」より、子供たち一人ひとりに認定証を 手渡しました。 こどもよっかいちCO₂ダイエット作戦 毎年、6月の環境月間、10月の3R推進月間（3R：リデュース、リユース、リサイクル）、2月の省エネルギー 月間には、従業員の環境意識を高めるため、様々な活動を実施しています。2014年の3R推進月間で は、2012年に当工場ではじめて開催したチャリティecoバザーが好評だったことから、毎年開催。 家庭の不用品を販売し、収益金を四日市市緑化基金に全額寄付しました。 月間行事 定期的に工場周辺道路や工場内の清掃活動を実施しています。回収したゴミは、廃プラスチック、 紙屑、鉄屑、ガラス屑、木屑などに分別しています。 クリーン活動 三重県と共同開発した環境教育プログラムの一つです。このプログラムを用いて、分工場のある 三重郡朝日町で、子供たちに環境教育を行ないました。家庭での電気について「どうしたら減ら せるか」子 供たちが 家庭のリーダーとなって取り組むことにより、子 供たちの環境に対する 「気づき」を導くよう努力しています。 授業の最後に朝日町のキャラクターである「アーミンとアミリ」も参加し、子供たち一人ひとりに 認定証を手渡しました。 エコキッズCO₂ダイエット大作戦CSR・地 域 貢 献
県や市と連携した活動、資源の再利用化に向けた活動を実施。
Communication
チャリティecoバザー（3R推進月間） クリーン活動の様子 授業の様子 授業の様子 区 分 階層別教育 教 育 名 管理者教育 一般従業員教育 新規採用者／転入者教育 特定従業員教育 環境監査員教育 対 象 者 工場長／部門長 全従業員(構内常駐会社含む) 新規採用者／転入者 該当業務従事者のうち鍵となる者 内部環境監査員 内 容 各部門長の責任と権限 環境マネジメントシステム改正点､環境方針､環境目的･目標 など 地球環境問題､環境マネジメントシステム､環境方針 など 環境法令などの遵守事項、特定業務の作業標準書と手順を逸脱した場合の 環境影響 など 監査員の役割と責任､環境法令などの改正状況 など 職能別教育地域自治会様との環境連絡会 地域の環境保全を目的に、地域自治会様と定期的に連絡会を開催し、水質・大気などの環境測定 データの報告、環境施設の見学、東海地震への備えなど、地域の安心・安全に繋がる環境保全へ の取り組み状況について報告しています。地域と密着した企業活動が推進できるよう、今後も継 続してコミュニケーションを図っていきます。 環境報告書 当工場の環境の取り組みを多くの方にご理解いただくために、2003年度より環境報告書（サイトレポート） を発行し、今回が第13版となります。今後も「読みやすい環境報告書」を目指し発行を継続していきます。 企業の説明責任 Mieこどもエコフェア 三重県の子供たちに楽しみながら環境について学んでもらうため、三重県主催の「Mieこども エコフェア」に協賛・出展しました。当フェアには2日間合計で約4,100名(2014年実績)の来場 者がありました。 四日市市環境シンポジウム展示会 四日市市環境フォーラムが主催する展示会に出展し、当工場における省エネや省資源の取り組 み事例を紹介しました。 環境イベントへの参画 年末年始に、当工場内で余ったカレンダーや手帳を回収し、四日市市社会福祉協議会へ寄贈し ています。カレンダー・手帳としての活用以外に、リハビリ教材や筆談ノートなどとして活用され ています。 書き損じハガキの回収を通じて、開発途上国の教育支援を行う「世界寺子屋運動（日本ユネ スコ協会）」に2014年度から参加しています。2014年度は約1,200枚のはがきを回収、約 55,000円相当を寄付しました。 書き損じハガキ回収
情 報 発 信
定例会、イベント、報告書作成などを通じて工場の環境活動を告知。
使用済み羽毛製品を回収し、「羽毛プロジェクト」に寄付しています。 羽毛をリユースすることで得られたお金は、地元の地域貢献に役立 てられています。 使用済み羽毛製品回収 羽毛布団 ダウンジャケット 寄贈したカレンダー・手帳 回収した書き損じハガキ Mieこどもエコフェア 環境連絡会の様子 環境シンポジウム当工場と旭硝子株式会社、オルガノ株式会社は、一般社団法人産業環境管理協会 資源・リサ イクル促進センター主催の平成26年度 資源循環技術・システム表彰において、経済産業大臣 賞を受賞しました。3社が共同で行っている「フッ酸廃液からの人工蛍石の回収・リサイクル」が 再生資源の有効利用の観点から高く評価され、今回、受賞に至ったものです。 ※資源循環技術・システム表彰は、廃棄物の発生抑制（リデュース）、使用済み物品の再使用（リユース）、再生資源 の有効利用（リサイクル）に寄与する、高度な技術又は先進的なシステムの特徴を有する優れた事業や取組みを 広く公募・表彰し、その奨励・普及を図ることにより、循環ビジネスを振興することを目的としている賞です。 資源循環技術・システム表彰 東芝グループが進めている第５次環境アクションプラン（2012 年度∼2015年度）では「事業所を起点とした地域連携による生 態系ネットワークの構築」を掲げております。四日市工場では、 2012年から周辺地域に集う鳥類をモチーフに市内企業と連携 し、緑地ベルトと生息地の関連性を調査しています。これからも 生物多様性保全活動に積極的に取り組んでいきます。 企業連携による生物多様性ネットワークづくり 地域の自然環境の保全、自然に親しむ体験の場・地域の憩いの場づくりを目的に、地域住民が中心 となって進めている「みえ北里山づくり」の活動に、四日市工場からも従業員ボランティアが毎月の 整備活動に参加しています。この里山づくりの活動では、倒木の切り出しや間引きなどのほか、遊歩 道の設置も行なっており、将来人々の集まる憩いの場となるよう整備を進めています。 里山保全 当工場は、東芝グループにおけるCSR活動の一環である「150万 本の森づくり」を三重県内で展開しています。2014年10月に第3 回目の現地整備活動を実施し、四日市工場をはじめとする当社グ ループの従業員とその家族が、三重県・四日市市・地元自治会・ NPO法人「森林の風」の皆様にご指導をいただき、植栽や伐採な どを行ないました。 150万本の森づくり 3R推進協議会が主催する3R推進功労者等表彰において「3R推進協議会 会長賞」を2012年度 から3年連続で受賞しました。 製造プロセス合理化による薬品使用量削減、汚泥発生量の低減、有価物化の推進など3Rの取 り組みが評価されたものです。 ※循環型社会の実現を目的に、特に優れたリデュース・リユース・リサイクル活動を表彰するものです。 3R推進功労者等表彰
