試料調製、試験、分析のためのソリューション
BUEHLER 国際本部41 Waukegan Road
Lake Bluff, Illinois 60044-1699 USA 電話： (847) 295-6500 www.buehler.com | info@buehler.com BUEHLER ドイツ info.eu@buehler.com BUEHLER フランス info.fr@buehler.com BUEHLER 英国 info.uk@buehler.com BUEHLER カナダ info@buehler.ca BUEHLER 日本 info.japan@buehler.com BUEHLER 中国 info.cn@buehler.com BUEHLER アジア太平洋 info.asia@buehler.com
アプリケーションガイド
研磨
それぞれの試料、用途および必要性について特別な方法が要求される場合があります。表中の基本的 な研磨方法を使って素晴らしい結果をもたらすことができます。研磨手順、力、回数、速度およびそ
の他のヒントやコツなどの詳細な方法については、Buehler SumMet™ ガイドまたは www.buehler.com
にて弊社の eClub を参照してください。 試料 研削工程 研磨工程1 研磨工程2 研磨工程3 セラミックおよび塗料 セラミック UltraPrep 金属用接 着剤
Apex Hercules H VerduTex VerduTex 45µm 9µm MetaDi™ シュプ レム ダイアモンド 3µm MetaDi シュプ レム ダイアモンド 1µm MetaDi シュプ レム ダイアモンド 金属溶射塗装
Apex Color 黄 UltraPad™ TriDent ChemoMet
35µm ダイアモンド 9µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド 3µm MetaDi シュプレム ダイアモンド MasterMet
™ シリカ
金属溶射塗装
Apex Color 黄 UltraPad TriDent ChemoMet 35µm ダイアモンド 9µm MetaDi シュプ レム ダイアモンド 3µm MetaDi シュプ レム ダイアモンド MasterMet シリカ 焼結炭化物
Apex Hercules H Apex Hercules S VerduTex ChemoMet 30µm MetaDi シュプ レム ダイアモンド 9µm MetaDi シュプ レム ダイアモンド 3µm MetaDi シュプ レム ダイアモンド MasterMet シリカ
推奨方法
試料のタイプ
アルミニウム 鋳鉄 セラミック セラミック溶射 銅 一般的なバルク 一般的な薄片 硬鋼 調質鋼 セラミックの高温はんだ 金属溶射 マイクロ電子試料 ニッケル基合金 未装着のPCB ポリマー マイクロ電子のシリコン 焼結炭化物 軟鋼 ステンレス鋼 チタンクロス選択ガイド
UltraPad
™UltraPol
™TexMet
™P
Nylon
TexMet C TriDent
™
Ver
duT
ex
VelT
ex
WhiteFelt
™PoliCloth Micr
oCloth
™Micr
oFloc
MasterT
ex
™ChemoMet
™ 粗 中間 微細詳細については弊社ウェブサイト www.buehler.com を参照してください。 3
試料 研削工程 研磨工程1 研磨工程2 研磨工程3 研磨工程4
電子試料
未装着のプリン ト基板
CarbiMet TriDent™ TriDent TriDent ChemoMet™
320グリット [P400] 600グリット [P1200] 9µm MetaDi™ シュプ レム ダイアモンド 3µm MetaDi シュ プレム ダイアモ ンド 1µm MetaDi シュ プレム ダイアモ ンド MasterPrep™ アルミナ マイクロ電子の シリコン
CarbiMet VerduTex™ VerduTex VerduTex ChemoMet
600グリット [P1200] 6µm MetaDi シュプ レム ダイアモンド 3µm MetaDi シュプレム ダイアモ ンド 1µm MetaDi シュ プレム ダイアモ ンド MasterMet™ シリカ マイクロ電子 試料
CarbiMet TexMet™ P VerduTex VerduTex ChemoMet
320グリット [P400] 9µm MetaDi シュプ レム ダイアモンド 3µm MetaDi シュ プレム ダイアモ ンド 1µm MetaDi シュ プレム ダイアモ ンド MasterPrep アルミナ 鉄および非鉄試料 アルミニウム 合金
CarbiMet TexMet C TexMet C TexMet C ChemoMet 320グリット [P400] 9µm MetaDi シュプレム ダイア モンド 3µm MetaDi シュプレム ダイア モンド 1µm MetaDi シュプレム ダイア モンド MasterMet シリカ ニッケル基超 合金
CarbiMet TriDent ChemoMet 240グリット [P280] 3µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド
MasterMet シリカ
チタン合金
CarbiMet UltraPad™ ChemoMet
320グリット [P400] 9µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド MasterMet シリカ
銅および銅合金
CarbiMet TexMet C VerduTex VerduTex ChemoMet 220グリット [P240] ～ 320グリット [P400] 9µm MetaDi シュプレム ダイア モンド 3µm MetaDi シュプレム ダイア モンド 1µm MetaDi シュプレム ダイア モンド MasterMet シリカ 硬鋼
Apex DGD 赤 Apex Hercules S TriDent MicroCloth™
75µm ダイアモンド 9µm MetaDi シュプ レム ダイアモンド 3µm MetaDi シュプレム ダイアモ ンド MasterPrep アルミナ 軟鋼
CarbiMet UltraPad TriDent MicroCloth 320グリット [P400] 9µm MetaDi シュプ レム ダイアモンドサ スペンション 3µm MetaDi シュプレム ダイア モンド MasterPrep アルミナ 鋳鉄
CarbiMet TexMet C TriDent MicroCloth 320グリット [P400] 9µm MetaDi シュプ レム ダイアモンドサ スペンション 3µm MetaDi シュプレム ダイア モンド MasterPrep アルミナ 調質鋼
Apex DGD 赤 Apex Hercules S MicroFloc 75µm ダイアモンド 9µm MetaDi シュプ レム ダイアモンド 3µm MetaDi シュプレム ダイアモン ドサスペンション ステンレスおよ びマルエージン グ鋼
CarbiMet UltraPad TriDent ChemoMet 120グリット [P120] ～ 320グリット [P400] 9µm MetaDi シュプ レム ダイアモンドサ スペンション 3µm MetaDi シュ プレム ダイアモ ンド MasterPrep アルミナ 複合材料 ポリマーマトリ ックス複合材料
CarbiMet TexMet P VerduTex MicroCloth 320グリット [P400] 9µm Meta Diシュプ レム ダイアモンドサ スペンション 3µm MetaDi シュプレム ダイア モンド MasterPrep アルミナ 岩石学 一般的なバルク 標本
Apex DGD TriDent TriDent TexMet C 45µm ダイアモンド 9µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド 3µm MetaDi シュプレム ダイア モンド
MasterPrep アルミナ
UltraPad™ 硬 質 織 物 、 毛羽立ちなし 6 µ m 以 上 、 ダイアモンド Nylon 耐油性のある中硬質織物、 毛羽立ちなし 6µm以上、ダイアモンド UltraPol™ 硬 質 織 物 、 非刺激性絹布 6 µ m 以 上 、 ダイアモンド TexMet™ P 硬 質 有 孔 、 不織布 6 µ m 以 上 、 ダイアモンド TexMet C 不織圧縮布 15 ～ 0.02μm、 ダイアモンド、AI2O3、SiO2 TriDent™ 軟らかくて耐久性のある合成織 布、毛羽立ちなし 15 ～ 0.02μm、ダイアモンド VerduTex 耐久性のある中硬質合成絹布 9 ～ 1μm、ダイアモンド VelTex 毛羽の短い合成ビロード 9 ～ 1μm、ダイアモンド WhiteFelt™ 軟らかく耐久性のあるマットな毛 織物 6 ～ 0.02μm、ダイアモンド、 AI2O3、SiO2 PoliCloth 中硬質の毛織物 6 ～ 1μm、ダイアモンド MicroCloth™ 軟らかく汎用的な毛羽の長い合成 レーヨン 5 ～ 0.02μm、ダイアモンド、 AI2O3、SiO2 MasterTex™ 軟らかく毛羽の少ない合成ビロード 1 ～ 0.05μm、AI2O3、SiO2 MicroFloc 軟らかく毛羽の長い布 3 ～ 0.02μm、ダイアモンド、AI2O3、SiO2 ChemoMet™ 軟らかく多孔質で化学的耐性のある 合成布 1 ～ 0.02μm、AI2O3、SiO2
研磨クロスガイド
粗い
中間
微細
ご存知ですか
?
表示の研磨サイズが一般的に最適なサイズ ですが、特定の用途では表示範囲を超える 研磨剤が素晴らしい結果を生み出します。ダイアモンド研磨サスペンションとペースト
ダイアモンドは除去率が高いため、ほとんどの試料調整で標準的に使用されます。ミクロサイズ、キャリア、ダイアモンドの種類 の幅広い範囲で使用可能な、MetaDi™ ダイアモンド製品は汎用的な調整ツールです。 単結晶ダイアモンドの鋭い刃で 確実に清潔で効率的な切断作業 が可能です。 アンギュラーでブロッキーな形 状 の 多 結 晶 ダ イ ヤ モ ン ド に よ り、粒子の表面にたくさんの切 断ファセットが形成されます。 • 粒径と形で等級分けされた合成ダイアモンドを含みます • ダイアモンド粒子は使いやすく整合的な用途のために均一に分散しています • MetaDi サスペンションには、清潔で効率的な切断作業が可能な鋭い塊状の単結晶が含まれ ます • MetaDi シュプレムのアンギュラーな多結晶粒子が、さらに小平面を切削することで表面下 の歪みを無くします • 水性および油性キャリアのどちらでも使用可能です • サスペンションは噴射ノズル、またはバースト供給システムのような自動供給システムで 塗布されます • ダイアモンドサスペンションはすべて、毒性がなく不燃性のため環境を破壊しません • ダイアモンドペーストはダイアモンドを埋め込んでいることの多い試料に最適です• MetaDi - 天然単結晶粒子、MetaDi II – 人工単結晶粒子、MetaDi ウルトラ – 天然および人工多 結晶粒子の混合で使用可能です • 通常、ペーストはおよそ50rpmで研磨盤を回転させ、研磨盤の中心から約2インチ（5cm） の所に注射器の先を置き、清潔な布に塗布します • ほとんどの試料には MetaDi 液のような潤滑油が必要で、水に弱い試料には研磨油、または AutoMet™ ラッピングオイルが必要です • ダイアモンドペーストはすべて、毒性がなく不燃性のため環境を破壊しません クロスに関係なく、どうしてもダイヤモンド研磨に対応できない試料があります（鉛、CP Al、インジウム）。埋め込まれた研磨剤 としてダイヤモンドを使用すると表面仕上げがうまくできません。これらの試料または類似の試料を準備している場合、代替研磨 剤（主にアルミナ）を選択してください。 5 詳細については弊社ウェブサイト www.buehler.com を参照してください。
MetaDi および MetaDi シュプレムサスペンション
MetaDi ダイアモンドペースト
単結晶ダイアモンドと多結晶ダイアモンドの除去速度の比較 MetaDi™ 単結晶 MetaDi シュプレム多結晶 除去速度（ミクロン/分） チタン ステンレス鋼 アルミニウム青銅 Rc-60鋼 Rc-20鋼 亜鉛 4.0 3.5 3.0 2.5 2.0 1.5 1.0 0.5 0.0仕上げ用研磨剤は目には見えない最終研磨面の歪みを取るためのものです。また、この歪みの除去は、高倍率の顕微鏡や、偏 光観察、微分干渉コントラスト、および EBSD 技術の使用による解析に不可欠です。 新しいクロスを十分なサスペンションで湿らせて、研磨サイクル中に潤滑油を塗布します。以前使用したクロスには新しいサ スペンションを適量加えて、十分な潤滑油を塗布します。サスペンションの供給を停止し、研磨サイクルの最後の30秒間で 水に変え、クロス表面を洗い流します。 仕上げ研磨用サスペンションはすべて、Burst 供給システムや VibroMet™ 2 振動研磨機などの自動供給システムに対応してい ます。 MasterPrep アルミナサスペンション • ゾルゲルアルミナサスペンション （pH ～8.5） • 微細分散した、0.05µmの非凝集粒子 MasterMet コロイダルシリカサスペンション • 0.06µmの微細な非晶質コロイダルシリ カサスペンション（pH ～10） • 化学機械的な研磨で繊細な表面仕上げ を実現 MasterMet 2 非結晶コロイダルシリカサ スペンション • 0.02µmの 微 細 な 非 結 晶 の 非 晶 質 コ ロイダルシリカサスペンション（pH ～10.5） • 化学機械的な研磨で歪みのない優しい 試料除去を実現 MasterPolish™ サスペンション • 0.05µmの高純度アルミナとコロイダルシリカ（pH ～9）の混合 • 水は最小限に抑えているため水に弱い試料に最適 MasterPolish 2 サスペンション • 0.06µmの高純度酸化鉄（pH ～10） • 化学機械的な研磨で上質の表面仕上 げを実現 MicroPolish™ アルミナ粉末およびサスペンション • 凝集性アルミナで同じサイズの他のアルミナよりも高 い除去率を実現 • 1、0.3、0.05µmの砥粒径で使用可能 MasterPolishⅡ アルミナ粉末およびサスペンション • 非凝集性アルミナで凝集性アルミナよりも高い品質の 表面仕上げを実現 • 1および0.3µmの砥粒径で使用可能 MasterPrep™ アルミナは、完全に機械的な研磨法で試料を除去 します。 MasterPrep ™ 2 化学機械的な研磨 SiO 2 粒子を研磨剤ではなく、 試料表面の反応層を拭き取るために使用することで、化学研磨を 続行できます。
仕上げ用研磨サスペンション
詳細については弊社ウェブサイト www.buehler.com を参照してください。 ほとんどの MetaDi™ ダイアモンドサスペンションおよびダイアモンドペーストには様々なサイズがあります。詳細な発注情報 については、Buehler 製品カタログを参照してください。 ほとんどの仕上げ用研磨サスペンションおよび粉末には様々なサイズがあります。詳細な発注情報については、Buehler 製品カ タログを参照してください。
発注情報
60-3255 アプリケーターボトル、8オンス（0.24ℓ） 40-6650 8オンス（0.24ℓ）ボトル用スプレーポンプ 40-6016 MetaDi 液、16オンス（0.47ℓ）（水溶性） 40-6032 MetaDi 液、32オンス（0.95ℓ）（水溶性） 40-6064-085 MetaDi 液、85オンス（2.5ℓ）（水溶性） 60-3250-006 油性ダイアモンドサスペンションおよびダイア モンドペーストに使用する AutoMet™ オイル、 6オンス（0.18ℓ） 60-3250-128 油性ダイアモンドサスペンションおよびダイア モンドペーストに使用する AutoMet オイル、 1ガロン（3.8ℓ） MetaDi 用追加アクセサリおよび消耗品 （shop.buehler.com にてオンライン購入可）ダイアモンド研磨サスペンションとペースト
仕上げ用研磨サスペンション
7 サスペンション ペースト砥粒径 色 MetaDi 単結晶 MetaDi シュプレム多結晶 MetaDi 単結晶、油性 MetaDi ウルトラ多結晶 MetaDi 単結晶 MetaDi II 単結晶
0.05µm 40-6627 40-6629 40-6112 40-6241 1µm 40-6530 40-6630 40-6540 40-1-6301 40-6138 40-6244 1µm 微細 40-6630F 3µm 40-6531 40-6631 40-6541 40-1-6303 40-6152 40-6247 3µm 微細 40-6631F 6µm 40-6532 40-6632 40-6542 40-1-6305 40-6172 40-6250 9µm 40-6533 40-6633 40-6543 40-1-6307 40-6192 40-6253 15µm 40-6534 40-6634 40-6544 40-1-6309 40-6212 40-6256 30µm 40-6635 45µm 40-6636 0.02µm 0.05µm 0.06µm 0.25µm 0.3µm 0.7µm 1µm MasterPrep™ アルミナ 40-6377 MasterMet™ コロイダルシリカ 40-6370 MasterMet 2 非結晶 コロイダルシリカ 40-6380 MasterPolish™ 仕上げ用研磨剤 40-10084 MasterPolish 2 仕上げ用研磨剤 40-6376 MicroPolish™ アルミナ粉末 40-10075 40-10077 40-10079 MicroPolish アルミナ粉末 40-10083 40-10082 40-10081 MicroPolishⅡアルミナ粉末 40-6323 40-6321 MicroPolishⅡアルミナサスペンション 40-6363 40-6361
BUEHLER 国際本部 41 Waukegan Road
Lake Bluff, Illinois 60044-1699 USA 電話： (847) 295-6500 BUEHLER フランス info.fr@buehler.com BUEHLER 英国 info.uk@buehler.com BUEHLER 日本 info.japan@buehler.com BUEHLER 中国 info.cn@buehler.com 切断
AbrasiMet • AbrasiMatic • IsoMet
埋め込み SimpliMet
研磨
EcoMet • AutoMet • MetaServ
画像化 • 分析 OmniMet 硬度試験 消耗品の一覧については、弊社ウェブサイト www.buehler.com をご覧いただくか弊社製品カタログを参照してください。Buehler は継続的に製品の改良を行ってい るため、技術仕様について予告なく変更する場合があります。 オンラインショップ（www.buehler.com）（米国、ドイツ、フランス、英国のみ） クロス 裏地 数量 8インチ （203mm） （10インチ254mm） （12インチ305mm） 粗 UltraPad™ PSA 10 40-7118 40-7120 40-7122 UltraPol™ PSA 10 40-7448 40-7450 40-7452 TexMet™ P PSA 5 40-7638 40-7640 40-7642 中間 Nylon PSA 10 40-7068 40-7070 40-7072 TexMetC PSA 10 40-1108 40-1110 40-1112 TriDent™ PSA 10 40-7518 40-7520 40-7522 VerduTex PSA 10 40-8018 40-8020 40-8022 VelTex PSA 10 40-8218 40-8220 SO 40-8222 SO WhiteFelt™ PSA 5 16-2002 16-2502 SO 16-3002 SO PoliCloth PSA 10 40-8418 40-8420 SO 40-8422 SO 微細 MicroCloth™ PSA 10 40-7218 40-7220 40-7222 MicroFloc PSA 10 40-8318 40-8320 SO 40-8322 MasterTex™ PSA 10 40-7738 40-7740 40-7742 ChemoMet™ PSA 10 40-7918 40-7920 40-7922 SO - 特別注文。リードタイムが長く最低発注量が設定されている場合があります。
