• 検索結果がありません。

JAIST Repository: パルスレーザー堆積法による Si 上への光機能性酸化物薄膜の成長

N/A
N/A
Protected

Academic year: 2021

シェア "JAIST Repository: パルスレーザー堆積法による Si 上への光機能性酸化物薄膜の成長"

Copied!
2
0
0

読み込み中.... (全文を見る)

全文

(1)

Japan Advanced Institute of Science and Technology

JAIST Repository

https://dspace.jaist.ac.jp/ Title パルスレーザー堆積法による Si 上への光機能性酸化 物薄膜の成長 Author(s) 黒瀬, 英司 Citation Issue Date 1996-03

Type Thesis or Dissertation Text version none

URL http://hdl.handle.net/10119/2244 Rights

(2)

パルスレーザー堆積法による光機能性酸化物薄膜の成長

黒瀬 英司

(

五味研究室

) 1. 緒言 光コンピュータや光通信の心臓部のデバイスとしてモノリシック光・マイクロ波集積デバイ スが注目されているが、Si、GaAs基板上への結晶構造の全く異なる光機能性材料のヘテロエ ピタキシャル成長が困難なため未だ達成されていない。本研究の目的は、高真空で膜への汚染 の少ないパルスレーザー堆積法(PLD)によって、光回路では不可欠のアイソレーション機能を 持つY 3 Fe 5 O 12 (YIG)結晶膜をSi上にエピタキシャル成長させる諸条件を明らかにすることに ある。このため、YIG膜をSi上に直接成長させる可能性の有無、次いでYIGを成長させる際 のSi表面酸化防止、格子整合緩和を兼ねたCeO 2バッファー層の成長条件を探査した。 2. 実験方法 膜成長はNd:YAGレーザー(λ=266nm)を用いたPLD法により、水素終端されたSi(111)基 板上にパルス周波数10Hz、1∼20J/cm 02 で行なった。室温で初期層を堆積した後、基板は室温 ∼600℃まで加熱された。作製された膜の評価はXRD、極点図形、RHEEDにより行なった。 3. 結果と考察 直接Si上に堆積したYIG薄膜はオルソフェ ライト (YFeO 3 )相を含む多結晶となり、単相 は得られなかった。これは主にYとFeの堆積 比が大きく異なるためである。 CeO 2は Si とほぼ等しい格子定数を持つ立 方晶結晶であるため、Si 上に低温でエピ成長 したCeO 2上には高温でも表面酸化の問題なく YIG が成長する可能性がある。CeO 2 (111) 膜 はSi(111)上に低温で良好なエピタキシーを示 した。図1 は室温、高真空(∼3 2 10 07 Torr) で初期層(∼35Å)を堆積させ、その後、基板 温度を200℃まで上げ、酸素(5 210 05 Torr ) を導入して成膜した膜の  スキャンである。 図より、Siの[1  10]に対してCeO 2の [1  10]軸が 60°傾いてエピ成長していることが確認できる。 図2に図1で示したエピ膜のSEM像を示す。 また、初期層のみを堆積時間を変えて堆積し、 RHEEDによって表面の結晶状態を確認したと ころ、初期層が約35Åでは、Si基板よりの反 射が観測されるが、約70Å以上になるとSiよ りの反射は消失し、ハローが重なり初期層は非 晶質となっていることが明らかとなった。 0 100 200 300 φ(deg.) X-ray intensity ○ ● ○ ○ ● ● ● ○ Si(111) CeO (111)2 図1: CeO 2エピ膜の スキャン 図2: Si上に成長したCeO 2エピ膜の SEM像 keywords PLD法, バッファー層, 初期層, ヘテロエピタキシャル成長, CeO 2

参照

関連したドキュメント

Causation and effectuation processes: A validation study , Journal of Business Venturing, 26, pp.375-390. [4] McKelvie, Alexander & Chandler, Gaylen & Detienne, Dawn

Previous studies have reported phase separation of phospholipid membranes containing charged lipids by the addition of metal ions and phase separation induced by osmotic application

It is separated into several subsections, including introduction, research and development, open innovation, international R&D management, cross-cultural collaboration,

UBICOMM2008 BEST PAPER AWARD 丹   康 雄 情報科学研究科 教 授 平成20年11月. マルチメディア・仮想環境基礎研究会MVE賞

The purpose of this study is to investigate how festivals created based on traditional culture affect the inheritance of traditional culture when they are used for tourism, using

To investigate the synthesizability, we have performed electronic structure simulations based on density functional theory (DFT) and phonon simulations combined with DFT for the

During the implementation stage, we explored appropriate creative pedagogy in foreign language classrooms We conducted practical lectures using the creative teaching method

講演 1 「多様性の尊重とわたしたちにできること:LGBTQ+と無意識の 偏見」 (北陸先端科学技術大学院大学グローバルコミュニケーションセンター 講師 元山