ZR22G, ZR802G ジルコニア式酸素濃度計/高温湿度計

■ 概説

ジルコニア式酸素濃度計 / 高温湿度計は、直接挿入形 の ZR22G 検出器と ZR802G 変換器で構成します。ア プリケーションにより、酸素濃度計または高温湿度 計として使用できます。測定にはサンプリング装置 を全く必要としないで酸素濃度または高温空気中の 湿度を連続測定できます。 ZR22G 検出器は、高信頼性ジルコニアセンサを採用 し、700℃までの測定ガスに対してダイレクトに測定 できます。 ZR802G 変換器は、対話型の LCD タッチパネルで操 作でき、各種設定画面、測定値のトレンド表示、校 正画面などの表示機能を備えています。校正は、自 動校正ユニット ZR40H を使用しようすることで、完 全自動化も可能です。

■ 特長

■サンプリング装置が不要 ダクトに直接設置して測定することができるため、 サンプリング装置が不要です。 ■現場で簡単メンテナンス 検出器のセンサアセンブリを現場で一式交換可能で す。 ■センサの劣化診断 校正ガスを使用せずにセンサの劣化を診断できる機 能を搭載しています。 ■データログ機能 エラー、アラーム、校正、簡易セル抵抗値などの履 歴をデータログすることができます。

GS 11M12G01-01JA

本文中に使われている会社名・商品名は、各社の登録商標または商標です。TM、® マークは表示しておりません。 ■各種通信機能

HART7 および Modbus TCP、Modbus RTU のデジタ ル通信機能を搭載しています。

アプリケーション例

■ジルコニア式酸素濃度計 ・ 大型および中小型ボイラ ( 電力用ボイラ他：重油、 ガス、石炭等 ) ・ 各種工業炉 ( 石油・製鉄用加熱炉、石炭キルン等 ) ■ジルコニア式高温湿度計 ・ 繊維工場の発色工程 ・ コンクリート製品の蒸気養生工程 ・ 建材、木材、食品などの各種製造乾燥工程 ・ 食品などの各種製造加湿工程 その他アプリケーションについてはご相談ください。

■ 基本システム構成例

システム構成例1 ● 自動校正付きシステム。比較ガスに計装空気を使用。 　校正ガスは標準ガスボンベを使用し、高精度に測定。 ● 用途例： 大型ボイラ（自家発電・事業用）、加熱炉などの酸素濃度監視・制御。 高温湿度計：乾燥炉や加湿機などの湿度監視・制御。 計装空気 ゼロガス 封入ボンベ 減圧弁 エアセット ニードル弁 流量計 比較ガス 校正ガス チェックバルブ ～ 校正ガス ユニット ケース 自動校正ユニット　ZR40H 検出器　ZR22G 変換器　ZR802G *1 *2 *3 100～240 V AC 接点入力 アナログ出力 デジタル通信(HART7通信、Modbus通信) 接点出力 信号（6芯シールド） ヒータ電源（2芯） *1 シールドケーブルについて 信号ケーブルはシールドケーブルを使用し、シールドは変換器の FG 端子へ接続してください。 *2 検出器は、検出器構成表（P.3）より選択してください。 *3 100%N₂ガスをゼロガスとして使用することができません。通常は約 1vol%O₂（N₂バランス）を使用します。 ZR22G ZR802G

Specifications

■ システム構成例

● 比較ガスに計装空気を使用。 校正ガスは標準ガスボンベを使用し、高精度に測定で きます。 ● 用途例： 大型ボイラ（自家発電・事業用）、加熱炉などの 酸素濃度監視・制御。 高温湿度計：乾燥炉や加湿機などの湿度監視・制御。 システム構成例2 計装空気 ゼロガス 封入ボンベ 減圧弁 エアセット ニードル弁 流量計 比較ガス 校正ガス ストップバルブ または　 チェックバルブ ～ 校正ガスユニット ケース 流量設定器　ZA8F 検出器　ZR22G 100～240V AC スパンガス（ゼロガスと同等の 　　　　　　　校正ガスユニット） 接点入力 アナログ出力、 デジタル通信(HART7通信、Modbus通信) 接点出力 信号（6芯シールド） ヒータ電源（2芯）

構成機器例

形名または部品番号 機器 システム_{例 1} システム_{例 2} システム_{例 3} 1 ZR22G ジルコニア式酸素濃度計 / 高温湿度計　検出器 ● ● ● 2 ZR802G ジルコニア式酸素濃度計 / 高温湿度計　変換器 ● ● ● 3 ZO21P-H 酸素濃度計高温用プローブアダプタ ○ ○ ○ 4 E7046EC/E7046EN 酸素濃度計高温用エゼクタアセンブリ ○ ○ ○ 5 ZO21R-L 酸素濃度計用プローブプロテクタ ○ ○ ○ 6 K9471UA 酸素濃度計用ダスト除去フィルタ ○ ○ ○ 7 K9471UC 酸素濃度計用ダストガードプロテクタ ○ ○ ○ 8 ZH21B 高温湿度計用ダストプロテクタ ○ ○ ○ 9 ZO21S スタンダードガスユニット ● 10 ZA8F 手動校正用流量設定器 ● 11 ZR40H 自動校正ユニット ● 12 L9852CB/G7016XH ストップバルブ ( ● ) ● 13 K9292DN/K9292DS チェックバルブ ● ( ● ) 14 G7003XF/K9473XK、 G7004XF/K9473XG エアセット ● ● 15 G7001ZC ゼロガス封入ボンベ ● ● 16 G7013XF/G7014XF ボンベ用減圧弁 ● ● 17 E7044KF 校正ガスユニットケース ● ● 18 ZR22A ヒータアセンブリ ( 交換用部品 ) ●： システム例で必須な項目です。 ○： 各アプリケーションにより選択します。詳細は■オプションを参照ください。 ( ● )： どちらかを選択します。 (*1)： ZR22G の付加コードで、チェックバルブ付（/CV) またはストップバルブ付 (/SV) を選択すると、本体に組み込まれてい ます。 ● 比較ガスに大気空気を使用。 校正ガスは携帯形のスタンダードガスユニット （ZO21S）を使用し、常時校正ガス配管はしません。 ● 用途例： パッケージボイラの酸素濃度監視など、 比較的簡単な用途。 高温湿度計：乾燥炉や加湿機などの湿度監視・制御。 システム構成例3 ストップバルブ ～ ～ 検出器　ZR22G スタンダードガスユニット ZO21S 校正ガス 100～240V AC 接点入力 アナログ出力 デジタル通信(HART7通信、Modbus通信) 接点出力 信号（6芯シールド） ヒータ電源（2芯）

検出器構成表

■ 酸素濃度計 ・微粉炭ボイラで ガス流速10m/s 以上の場合 ・セメントキルン 温　度：プローブ材質 SUS310S 800℃, SiC 1400℃ 取　付：垂直下方 挿入長：1.0 m，1.5 m ダクト圧力が大気圧または負圧のと きは高温用エゼクタアセンブリを付 加する。 ・ボイラ ・加熱炉 0.15 2 m 水平 垂直 3 m 以下 ・黒液回収ボイラ ・セメントキルン アプリケーション ・加熱炉 アプリケーション 挿入長 検出器 検出器 吸引機構＊ 　検出器 （ZR22G） 検出器 （ZR22G） 検出器（ZR22G） プローブプロテクタ （Z021R） 取付 ガスフロー 測定ガス入口 〜 水平 垂直 〜 0.15 2 m 〜 水平 垂直 2.5 m 以上 垂直 2.5 m 以上 垂直 〜 〜 プロセスガス温度　0-700℃ プロセスガス温度　700-1400℃ 測定ガス 出口 検出器 測定ガス入口 圧力計 ニードル弁 ＊高温用エゼクタアセンブリ （E7046EC／E7046EN） 高温用プローブ アダプタ （Z021P - H） ブロー 計装空 気入口 エゼクタ ダスト除去 フィルタ （K9471UA） ダストガード プロテクタ （K9471UC） + または ■ 高温湿度計 標準タイプ検出器 使用機器の形名 一般用検出器　（使用温度：　0～700℃） ZR22G ・乾燥炉 ・加湿機 取付け姿勢 挿入長：0.4～2mのとき 垂直～水平 挿入長：2.5～3mのとき 垂直 ダストプロテクタ付き検出器 使用機器の形名 取付け姿勢 垂直～水平 （挿入長：0.4mのみ） ZR22G-040 および ZH21Ｂ アプリケーション ・微粒子がある 乾燥炉

■ 標準仕様（酸素濃度計）

総合仕様

測定対象： 燃焼排ガスおよび混合ガス（可燃性 ガスを除く）中の酸素濃度 測定原理： ジルコニア式 測定範囲： 0.01–100 vol%O₂ 出力信号： 4–20 mA DC（最大負荷抵抗 550 Ω） 測定レンジ： 酸素濃度 0–5 〜 0–100 vol%O₂の範 囲で任意設定可（1 vol%O₂単位）ま たはパーシャルレンジ デジタル通信： HART7 通信； AO1、負荷抵抗 250 〜 550 Ω Ethernet（Modbus TCP）； 10/100 Mbps、 ケーブル長 最大 100 ｍ、 シールド接地 RS-485（Modbus RTU）； 115200/38400/9600 bps、 ケーブル長 最大 600 ｍ (115200 bps) 最大 1200 ｍ (38400/9600 bps) シールド接地 表示範囲： 酸素濃度 0 〜 100 vol%O₂ 暖機時間： 20 分 繰返し性： （比較ガスが自然対流の場合を除く） ± 0.5%FS (0-5 以上、0–25 vol%O₂未 満のレンジ） ± 1%FS (0-25 以上、0–100 vol%O₂ までのレンジ） 直線性： ( 基準ガス誤差および比較ガスが自然 対流の場合を除く） ( ゼロ・スパンの校正ガスは測定レン ジに対応した酸素濃度であること） ± 1%FS (0-5 以上、0–25 vol%O₂ 未満の レンジ、かつ測定ガス圧力± 4.9 kPa 以内） ± 3%FS (0-25 以上、0–50 vol%O₂未満の レンジ、かつ測定ガス圧力± 0.49 kPa以内） ± 5%FS (0-50 以上、0–100 vol%O₂のレ ンジ、かつ測定ガス圧力± 0.49 kPa 以内） ドリフト： （最初の 2 週間および比較ガスが自然 対流の場合を除く） ゼロ、スパン共に± 2%FS/ 月 応答時間： （検出器入口からガスを導入し、アナ ログ出力が変化をし始めてから測定） 90% 応答 5 秒以内

安全、EMC、RoHS、その他適合規格

IEC61010 に基づく設置高度：標高 2000 m 以下 IEC61010 に基づくカテゴリー：II（注） IEC61010 に基づく汚染度：2（注） （注） 設置カテゴリーとは、過電圧カテゴリーとも呼ば れ、インパルス耐電圧を表します。 汚染度とは絶縁耐圧の低下を引き起こす可能性の ある固体、液体、気体状物質の存在の程度を示し ます。 安全適合規格： 　ZR22G CE EN 61010-1 EN 61010-2-030 UL UL61010-1:2nd Edition CSA CAN/CSA-C22.2 No. 61010-1 GB GB30439 Part 1

　ZR802G

CE EN 61010-1/A1 EN 61010-2-030

UL UL61010-1:3rd Edition, AMD1 UL61010-2-030:1st Edition CSA C A N / C S A - C22.2 N o . 61010-1+Amd1 CAN/CSA-C22.2 No. 61010-2-030 GB GB30439 Part 1 EMC 適合規格： CE EN 61326-1 Class A Table 2 EN 61326-2-3 EN 61000-3-2 RCM EN 55011 Class A, Group 1 KC KN11 Class A Group1, KN61000-6-2 注： • 本計器は Class A 製品であり、工業環境用に設計さ れています。工業環境以外でのご使用はできません。 • イミュニティ試験環境における影響度 ( 判定 A 条件 ) は、± 20% of F.S. 以内です。 RoHS 適合規格： ZR22G： EN 50581 ZR802G： EN IEC 63000 その他： REACH Regulation(EC) 1907/2006

1. ZR22G ジルコニア式酸素濃度計　検出器

測定ガス温度： 一般用； 0 〜 700℃（検出器単体） 高温用； 700 〜 1400℃（高温用プローブアダプ タ使用時） ＊ 測定ガス温度が高い場合は、プローブ長 0.15 m と高温 用プローブアダプタ ZO21P-H を使用してください。 ＊ 600℃以上では、セルの取付にインコネル製ボルトを 使用します。 測定ガス圧力：－ 5 〜＋ 250 kPa ( 炉内圧力に変動 がないこと ) ＊ 炉内 3 kPa 以上の場合、圧力補正推奨 ＊ 炉内 5 kPa 以上の場合、圧力補正必須 ＊ プローブ長 0.15 ｍの場合は－ 0.5 〜＋ 5 kPa （注） 付加コードで（/CV：チェックバルブ付き）を選択 し、かつ、流量設定器 ZA8F を組合せて使用する場 合、測定ガス圧力は 150 kPa が上限となります。また、 チェックバルブ付き自動校正ユニット ZR40H を使用 する場合、測定ガス圧力は200 kPaが上限となります。 これらの圧力を超える場合は、ご相談ください。 プローブ長：0.15､0.4､0.7､1.0､1.5､2.0､2.5､3.0 m プローブの材質：SUS316 周囲温度： － 20 〜＋ 150℃ 比較ガス方式：自然対流、計装空気、圧力補正（プ ローブ長 0.15 m の場合を除く） 比較ガス（自然対流を除く）：露点温度 -20℃以下 まで除湿され、ダスト・オイルミス ト等を除去した空気を推奨 供給圧力； 測定ガス圧力 + 約 50 kPa 測定ガス圧力＋約 150 kPa(/CV：チェックバル ブ付きの場合 ) 消費量； 約 1NL/min

接ガス部材質：SUS316、ジルコニア、SUS304 また は ASTM grade 304（フランジ）、ハス テロイ B、（インコネル 600、601） 構造： ヒータ・熱電対交換可能構造、非防爆、 NEMA4X ／ IP66 相当（炉内返送圧力 補正型で配線口にはケーブルグラン ドを取付け完全に密閉した場合） IP44D（比較ガス方式が自然対流また は計装空気） 端子箱ケース材質：アルミニウム合金 端子箱塗色： ケースおよびカバー；ミントグリーン（マンセ ル 5.6BG3.3 ／ 2.9） 塗装： ポリウレタン耐食塗装 ガス接続継手：Rc1/4 または 1/4NPT(Female) 配 線 接 続 口：G1/2、Pg13.5、M20 × 1.5mm、 1/2NPT 取付方法： フランジ取付 プローブ取付角度； プローブ挿入長が 2 m 以下の場合 水平〜垂直下方取付可能 プローブ挿入長が 2.5 〜 3 m の場合 垂直下方（± 5°以内）取付　ただし プローブプロテクタを使用の場合は水 平〜垂直下方（± 5°以内）取付可能 挿入長と質量： 0.15 m； 約 5 kg（JIS 5K 65）、 約 10 kg（ANSI 150 4） 0.4 m； 約 6 kg（JIS 5K 65）、 約 11 kg（ANSI 150 4） 1.0 m； 約 8 kg（JIS 5K 65）、 約 13 kg（ANSI 150 4） 1.5 m； 約 10 kg（JIS 5K 65）、 約 15 kg（ANSI 150 4） 2.0 m； 約 12 kg（JIS 5K 65）、 約 17 kg（ANSI 150 4） 3.0 m； 約 15 kg（JIS 5K 65）、 約 20 kg（ANSI 150 4）

2. ZR802G ジルコニア式酸素濃度計　変換器

表示部： 320 × 240 ドットサイズの LCD カラー タッチパネル アナログ出力： 出力点数；2 点（入出力絶縁） 出力信号； ・ 4–20 mA DC リニアまたは対数出力 を選択可（最大負荷抵抗 550 Ω） ・ HART7 通信（大負荷抵抗 550 Ω） ・ NAMUR NE43 準拠のバーンアウト 出力 出力レンジ； 酸素濃度；0–5 〜 0–100 vol%O₂ の 範囲で任意設定可（1 vol%O₂単位） またはパーシャルレンジ、対数出 力の場合はレンジ最小値 0.1vol%O₂ 固定 出力ダンピング；0–255 秒、ホールドまたはノ ンホールド選択可、ホールド時プ リセット値設定可 アナログ入力： 入力点数； 1 点（圧力補正用） 入力信号； 4–20mA DC（Max 40 mA）

入力抵抗； 250 Ω 伝送器電源供給（標準）供給電圧；16.6–25.2 V 供給電源無し（オプション） 接点出力： 接点出力点数；4 点（内１点はフェールセイフ） DO-1 〜 3 は常時励磁（常時閉）/ 常時非励磁（常 時開）を選択可（電源 OFF 時、開） DO-4 はフェールセイフ（Fault、または NE107

設定の Failure で ON）、常時励磁 固定（常時開、電源 OFF 時、閉） 接点容量；30 VDC 3A または 250 VAC 3 A（抵抗 負荷） 接点動作；Fault、上上限警報、上限警報、下下 限警報 ( 注 )、下限警報、保守中、 校正中、レンジ切換アンサーバッ ク、暖機中、校正ガス圧力低下（接 点入力のアンサーバック）、温度上 限警報、温度下限警報、圧力上限 警報、圧力下限警報、簡易セル抵 抗測定中、簡易セル抵抗警報、ブ ローバック、未燃ガス検知（接点 入力のアンサーバック）、校正係数 警報、起電力安定時間オーバー 接点入力： 接点入力点数；2 点　無電圧または電圧接点入力 オン / オフ判定； 無電圧接点入力 抵抗値 200 Ω以下；閉 抵抗値 100k Ω以上；開 電圧接点入力 電圧 － 1 〜＋ 1 V DC；閉、 電圧値 4.5 〜＋ 25 V DC；開 接点容量； OFF 時漏洩電流 3 mA 以下 接点動作；校正ガス圧力低下、レンジ切換、外 部校正開始、未燃ガス検知（ON 時、 ヒーター電源、かつスパン校正ガ ス流入）、ブローバックスタート、 リブート 自動校正出力：２点（自動校正ユニット ZR40H 専用） 自動校正、および未燃ガス検知時の 安全パージ 環境条件： 周囲温度； － 20 〜＋ 55℃ 保存温度； － 30 〜＋ 70℃ 湿度範囲； 10 〜 90%RH（40℃のとき、結露な きこと） 電源電圧： 定格 100 〜 240 V AC 許容範囲； 85 〜 264 V AC 電源周波数： 定格 50/60 Hz 許容範囲； 47 〜 63 Hz 消費電力： 最大 800 VA、通常約 330 VA 100 VAC電源使用時　最大160 VA（160 W）、 通常約 120 VA（約 100 W） 230 VAC電源使用時　最大550 VA（370 W）、 通常約 260 VA（約 100 W） 検出器－変換器間最長距離： 導体往復抵抗 10 Ω以内（1.25 mm2 相当品で 300 m 以内） 構造： 屋 外 設 置 形、NEMA/CSA TYPE 4X （ただし、配線接続穴はケーブルグラ ンドを取り付け完全密封した場合） 配線接続口： 8 個 タイプ； G1/2、M20 × 1.5 mm、Pg13.5、 1/2NPT

取付方法： 壁、パネルまたは 2B パイプ取付 材質： 筐体； アルミニウム合金 窓部； ポリカーボネート 塗色： シルバーグレイ（マンセル 3.2PB7.4/1.2 相当） 塗装： ポリウレタン耐食塗装 質量： 約 5 kg 機能： 表示機能： 数値表示； 酸素濃度等を数値で表示 グラフ表示； 酸素濃度、簡易セル抵抗測定値（劣 化状況）のトレンドを表示 詳細表示； セル温度、冷接点温度、酸素濃度 最大／最小等の各種データを表示 状態表示； アラーム発生中、暖機中、校正中 等の状態をマークで表示 アラーム表示； アラーム名称、アラームの説明 および対応方法を発生時に表示、 また NE107 準拠した 4 分類表示可 能 校正機能： 校正方法；スパン点、ゼロ点の 2 点（スパンま たはゼロの 1 点のみの校正も可能） 校正モード； 自動校正；自動校正ユニットが必要です。設 定された周期で自動的に校正を 行います。 半自動校正；自動校正ユニットが必要です。 校正指令をタッチパネル、また は接点入力、または通信で行い ます。後は自動的に校正を行い ます。 手動校正；LCD 画面との対話形式で、校正ガ スバルブを開閉しながら校正を 行います。 校正ガス設定； ゼロ校正ガス濃度設定範囲；0.3–100 vol%O₂ （最小設定単位；0.01 vol%O₂） ス パ ン 校 正 ガ ス 濃 度 設 定 範 囲；4.5–100 vol%O₂（ 最 小 設 定 単 位；0.01 vol%O₂） ゼロ、スパンの校正ガスは測定 レンジの 0–10%FS、80–100%FS の酸素を含む窒素バランスの混 合ガスを推奨 校正周期；日・時の設定（最長 255 日） パージング機能： 検出器を暖機する前に、スパン校正 ガスを一定時間流し、校正ガス配管 内の凝縮水を排除する機能です。パー ジングの設定時間経過後、検出器の 暖機を開始することができます。 ブローバック機能： 定期的なパージ等をするために、自 動または半自動で設定された周期、 時間に従い、接点出力を開閉するこ とができます。 アラーム機能： Fault； 動作； 発生時はヒータへの電源供給を 停止し、電源遮断までアラーム は解除しません。 種類； セル起電力異常、ヒータ温度異常、 A/D コンバータ異常、メモリ書き 込み異常、ハードウェア故障、メ モリ二重化不整合 アラーム； 動作； 発生要因が取り除かれた時点で、 アラームを解除します。 種類； 酸素濃度警報、ゼロ校正係数警 報、スパン校正係数警報、起電 力安定時間オーバー、冷接点温 度警報、熱電対起電力警報、入 力電流警報、バッテリー切れ警 報、圧力入力警報、簡易セル抵 抗値警報

NAMUR NE107 アラーム表示機能：NAMUR NE 107 に基づき Warining アラームを以下の 4 つに分類して表示することができま す。 ・F；Failure（Fault 相当、ヒータへの電源供給停止） ・C；Function Check ・S；Out of Specification ・M；Maintenance Required データログ機能：データログを本体画面表示およ び SD カードに出力することができま す。SD カードは推奨品を手配、また は同等品をお客様で用意ください。 イベント表示；アラーム履歴、校正履歴、電源 オン履歴を本体表示にて確認する ことができます。 トレンド表示；簡易セル抵抗履歴を本体表示に てトレンドグラフで確認すること ができます。 SD カード出力；測定値ログ ( 日時、酸素濃度、 セル起電力、簡易セル抵抗値、機 器状態、NE107 状態等 )、保守レポー ト ( 設定値、校正値等 ) を CSV ファ イル形式にて SD カードに出力する ことができます。また、ユーザ設 定パラメータを SD カードに出力 し、別の変換器へコピーすること ができます。 測定値ログ周期、期間；1 秒周期× 8 日、2 秒周 期× 16 日、5 秒周期× 40 日を選択 可能です。 センサ自己診断機能： 校正時診断；スパン点 / ゼロ点補正率、セル応 答時間、セル抵抗、セル健康度を 測定 簡易セル抵抗測定；校正ガスを流さずにセル抵 抗値を測定 測定モード；自動簡易セル抵抗測定、半自動 簡易セル抵抗測定 簡易セル抵抗測定設定；安定時間 ( 分・秒 )、 測定開始時間 ( 年・月・日 / 時・分 )、 測定周期 ( 日・時 )

表示・設定内容： 測定関連項目：酸素濃度（vol%O2）、出力電流値 （mA） 表示項目： 酸素濃度（vol%O₂）、セル温度（℃）、 熱電対冷接点温度（℃）、酸素濃度最 大・最小・平均値（vol%O2）、セル起 電力（mV）、セル内部抵抗値（Ω）、 セル健康度（４段階）、ヒータ ON 時 間率（%）、校正履歴（20 回）、時刻（年・ 月・日／時・分） 校正用設定項目：スパンガス濃度（vol%O₂）、ゼロ ガス濃度（vol%O₂）、校正モード（自 動、半自動、手動）、校正の種類手順 （ゼロ・スパン校正、ゼロ校正のみ、 スパン校正のみ）、安定時間（分 ･ 秒）、 校正時間（分 ･ 秒）、校正周期（日・時）、 校正開始時間（年・月・日／時・分） 出力関連項目：アナログ出力・出力モードの選択、 暖機中・保守中・校正中（ブローバッ ク中）・簡易セル抵抗測定中・アラー ム時の出力状態、酸素濃度 4 mA 点・ 20 mA 点（vol%O₂）、時定数 警報関連項目：酸素濃度値上限・上上限警報値 （vol%O₂）、酸素濃度値下限・下下限 警報値（vol%O2）、酸素濃度警報ヒス テリシス（vol%O₂）、酸素濃度警報の 検知、警報の動作遅れ（秒） 接点関連項目：接点入力 1・2 の選択、接点出力 1 〜 3 の選択（Fault、上上限警報、上 限警報、下限警報、下下限警報、保 守中、校正中、レンジ切換、暖機中、 校正ガス圧力低下、温度上限警報、 温度下限警報、圧力上限警報、圧力 下限警報、簡易セル抵抗測定中、簡 易セル抵抗警報、校正係数警報、起 電力安定時間オーバー、ブローバッ ク、未燃ガス検知）

■標準仕様 ( 高温湿度計 )

総合仕様

測定対象： 混合ガス（空気 + 水蒸気）中の水蒸 気 vol% 測定原理： ジルコニア式 測定範囲： 酸素濃度； 0.01–100 vol%O₂ 水分量； 0–100 vol%H2O 混合比； 0–1.000 kg/kg 出力信号： 4–20 mA DC（最大負荷抵抗 550 Ω） 測定レンジ： 酸素濃度；0–5 〜 0–100 vol%O2の範 囲で任意設定可（1 vol%O₂単位）ま たはパーシャルレンジ 水分量；0–25 〜 0–100 vol%H₂O の範囲で任意 設定可（1 vol%H₂O 単位）または パーシャルレンジ 混合比；0–0.2 〜 0–1.000 kg/kg の範囲で任意設 定可（0.001 kg/kg 単位）またはパー シャルレンジ デジタル通信： HART7 通信； AO1、負荷抵抗 250 〜 550 Ω Ethernet（Modbus TCP）； 10/100 Mbps、 ケーブル長 最大 100 ｍ、 シールド接地 RS-485（Modbus RTU）； 115200/38400/9600 bps、 ケーブル長 最大 600 ｍ (115200 bps) 最大 1200 ｍ (38400/9600 bps) シールド接地 表示範囲： 酸素濃度； 0 〜 100 vol%O₂ 水分量； 0 〜 100 vol%H₂O 混合比； 0 〜 1 kg/kg 相対湿度； 0 〜 100%RH 露点； － 40 〜 164℃ 暖機時間： 20 分 繰返し性： （比較ガスが自然対流の場合を除く） ± 1 vol%H₂O（測定ガス圧力 2 kPa 以 下） 直線性： （基準ガス誤差および比較ガスが自然 対流の場合を除く） （ゼロ・スパンの校正ガスは測定レン ジに対応した酸素濃度であること） ± 2 vol%H₂O（測定ガス圧力± 0.49 kPa 以内）

± 3 vol%H₂O（測定ガス圧力＋ 2 kPa 以下） ドリフト： （最初の 2 週間および比較ガスが自然 対流の場合を除く） ゼロ、スパン共に± 3 vol%H₂O/ 月 応答時間： （検出器入口からガスを導入し、アナ ログ出力が変化をし始めてから測定） 90% 応答 5 秒以内

安全、EMC、RoHS、その他適合規格

IEC61010 に基づく設置高度：標高 2000 m 以下 IEC61010 に基づくカテゴリー：II（注） IEC61010 に基づく汚染度：2（注） （注） 設置カテゴリーとは、過電圧カテゴリーとも呼ば れ、インパルス耐電圧を表します。 汚染度とは絶縁耐圧の低下を引き起こす可能性の ある固体、液体、気体状物質の存在の程度を示し ます。 安全適合規格： 　ZR22G CE EN 61010-1 EN 61010-2-030 UL UL61010-1:2nd Edition CSA CAN/CSA-C22.2 No. 61010-1 GB GB30439 Part 1

　ZR802G

CE EN 61010-1/A1 EN 61010-2-030

UL UL61010-1:3rd Edition, AMD1 UL61010-2-030:1st Edition CSA C A N / C S A - C22.2 N o .

61010-1+Amd1

CAN/CSA-C22.2 No. 61010-2-030 GB GB30439 Part 1

EMC 適合規格： CE EN 61326-1 Class A Table 2 EN 61326-2-3 EN 61000-3-2 RCM EN 55011 Class A, Group 1 KC KN11 Class A Group1, KN61000-6-2 注： • 本計器は Class A 製品であり、工業環境用に設計さ れています。工業環境以外でのご使用はできません。 • イミュニティ試験環境における影響度 ( 判定 A 条 件 ) は、± 20% of F.S. 以内です。 RoHS 適合規格： ZR22G： EN 50581 ZR802G： EN IEC 63000 その他： REACH Regulation(EC) 1907/2006

1. ZR22G ジルコニア式高温湿度計　検出器

測定ガス温度：0 〜 700℃（検出器単体） ＊ 600℃以上では、セルの取付にインコネル製ボルトを 使用します。 測定ガス圧力：－ 5 〜＋ 20 kPa（炉内圧力に変動 がないこと） ＊ 炉内 3 kPa 以上の場合、圧力補正推奨 ＊ 炉内 5 kPa 以上の場合、圧力補正必須 プローブ長：0.4､0.7､1.0､1.5､2.0､2.5､3.0 m プローブの材質：SUS316 周囲温度： － 20 〜＋ 150℃ 比較ガス方式：自然対流、計装空気、圧力補正 比較ガス（自然対流を除く）：露点温度－ 20℃以下 まで除湿され、ダスト・オイルミス ト等を除去した空気を推奨 供 給 圧 力； 測 定 ガ ス 圧 力 ＋ 約 50 kPa 測定ガス圧力＋約 150 kPa（チェッ クバルブ付きの場合） 消費量；約 1 Nl/min 接ガス部材質：SUS316、ジルコニア、SUS304 また は ASTM grade 304（フランジ）、ハス テロイ B、（インコネル 600、601） 構造： ヒータ・熱電対交換可能構造、非防爆、 NEMA4X ／ IP66 相当（炉内返送圧力 補正型で配線口にはケーブルグラン ドを取付け完全に密閉した場合） IP44D（ 比較ガス方式が自然対流また は計装空気） 端子箱ケース材質：アルミニウム合金 端子箱塗色：ケースおよびカバー；ミントグリー ン（マンセル 5.6BG3.3 ／ 2.9） 塗装： ポリウレタン耐食塗装 ガス接続継手：Rc1/4 または 1/4NPT(Female) 配 線 接 続 口：G1/2、Pg13.5、M20 × 1.5mm、 1/2NPT 取付方法： フランジ取付 プローブ取付角度 プローブ挿入長が 2 m 以下の場合 水平〜垂直下方取付可能 プローブ挿入長が 2.5 〜 3 m の場合 垂直下方（± 5°以内）取付　ただし プローブプロテクタを使用の場合は水 平〜垂直下方（± 5°以内）取付可能 挿入長と質量： 0.4 m； 約 6 kg（JIS 5K 65）、 約 11 kg（ANSI 150 4） 1.0 m； 約 8 kg（JIS 5K 65）、 約 13 kg（ANSI 150 4） 1.5 m； 約 10 kg（JIS 5K 65）、 約 15 kg（ANSI 150 4） 2.0 m； 約 12 kg（JIS 5K 65）、 約 17 kg（ANSI 150 4） 3.0 m； 約 15 kg（JIS 5K 65）、 約 20 kg（ANSI 150 4）

2. ZR802G ジルコニア式高温湿度計　変換器

表示部： 320 × 240 ドットサイズの LCD カラー タッチパネル アナログ出力： 出力点数；2 点（入出力絶縁） 出力信号； ・ 4–20mA DC リニアまたは対数出 力を選択可（最大負荷抵抗 550 Ω） ・ HART7 通信（最大負荷抵抗 550 Ω） ・ NAMUR NE43 準拠のバーンアウト 出力 出力レンジ； 酸素濃度；0–5 〜 0–100 vol%O₂ の範囲で任意 設定可（1 vol%O₂ 単位）または パーシャルレンジ 水分量；0–25 〜 0–100 vol%H₂O の範囲で任 意設定可（1 vol%H₂O 単位）ま たはパーシャルレンジ 混合比；0–0.200 〜 0–1.000 kg/kg の範囲で任 意設定可（0.001 kg/kg 単位）ま たはパーシャルレンジ 相対湿度；0–5 〜 0–100%RH の範囲で任意設 定可（1%RH 単位）またはパーシャ ルレンジ 対数出力の場合は、レンジ最小値 0.1 vol%O₂、 0.1%H₂O、0.01 kg/kg、0.1%RH 固定 出力ダンピング；0–255 秒、ホールドまたはノ ンホールド選択可、ホールド時プ リセット値設定可 アナログ入力： 入力点数；1 点（温度補正用） 入力信号；4–20 mA DC（Max 40 mA） 入力抵抗；250 Ω 伝送器電源供給（標準）供給電圧；16.6–25.2 V 供給電源無し ( オプション ) 接点出力： 接点出力点数；4 点（内１点はフェールセイフ） DO-1 〜 3 は常時励磁（常時閉）/ 常時非励磁（常 時開）を選択可（電源 OFF 時、開） DO-4 はフェールセイフ（Fault、または NE107

設定の Failure で ON）、常時励磁 固定（常時開、電源 OFF 時、閉） 接点容量；30 VDC 3A または 250 VAC 3 A（抵抗負荷）

接点動作；Fault、上上限警報、上限警報、下下 限警報、下限警報、保守中、校正中、 レンジ切換アンサーバック、暖機中、 校正ガス圧力低下（接点入力のアン サーバック）、温度上限警報、温度 下限警報、圧力上限警報、圧力下限 警報、簡易セル抵抗測定中、簡易セ ル抵抗警報、ブローバック、未燃ガ ス検知（接点入力のアンサーバッ ク）、校正係数警報、起電力安定時 間オーバー 接点入力： 接点入力点数；2 点　無電圧または電圧接点入力 オン / オフ判定； 無電圧接点入力 抵抗値 200 Ω以下； 閉 抵抗値 100k Ω以上； 開 電圧接点入力 電圧 － 1 〜＋ 1 V DC；閉、 電圧値 4.5 〜＋ 25 V DC；開 接点容量； OFF 時漏洩電流 3 mA 以下 接点動作； 校正ガス圧力低下、レンジ切換、 外部校正開始、未燃ガス検知（ON 時、ヒータ電源断、かつスパン校 正ガス流入）、ブローバックスター ト、リブート 自動校正出力：２点（自動校正ユニット ZR40H 専用） 環境条件： 周囲温度； － 20 〜＋ 55℃ 保存温度； － 30 〜＋ 70℃ 湿度範囲； 10 〜 90%RH（40℃のとき、結露な きこと） 電源電圧： 定格 100 〜 240 V AC 許容範囲； 85 〜 264 V AC 電源周波数： 定格 50/60 Hz 許容範囲； 47 〜 63 Hz 消費電力： 最大 800 VA、通常約 330 VA 100 VAC電源使用時　最大160 VA（160 W）、 通常約 120 VA（約 100 W） 230 VAC電源使用時　最大550 VA（370 W）、 通常約 260 VA（約 100 W） 検出器－変換器間最長距離： 導体往復抵抗 10 Ω 以内（1.25 mm2 相当品で 300 m 以内） 構造： 屋外設置形、NEMA/CSA TYPE 4X （ただし、配線接続穴はケーブルグラ ンドを取り付け完全密封した場合） 配線接続口： 8 個 タイプ； G1/2、M20 × 1.5 mm、Pg13.5、 1/2NPT 取付方法： 壁、パネルまたは 2B パイプ取付 材質： 筐体； アルミニウム合金 窓部； ポリカーボネート 塗色： シルバーグレイ（マンセル 3.2PB7.4/1.2 相当） 塗装： ポリウレタン耐食塗装 質量： 約 5 kg 機能： 表示機能： 数値表示； 酸素濃度、水分量、混合比等を数 値で表示 グラフ表示； 酸素濃度、水分量、混合比、簡易 セル抵抗測定値 ( 劣化状況 ) のトレ ンドを表示 詳細表示； セル温度、冷接点温度、水分量最大 ／最小等の各種データを表示 状態表示； アラーム発生中、暖機中、校正中 等の状態をマークで表示 アラーム表示； アラーム名称、アラームの説明 および対応方法を発生時に表示、 また NE107 準拠した 4 分類表示可 能 校正機能： 校正方法； スパン点、ゼロ点の 2 点（スパン またはゼロの 1 点のみの校正も可 能） 校正モード； ・自動校正； 自動校正ユニットが必要です。 設定された周期で自動的に校正 を行います。 ・半自動校正；自動校正ユニットが必要です。 校正指令をタッチパネル、また は接点入力、または通信で行い ます。あとは自動的に校正を行 います。 ・手動校正； LCD 画面との対話形式で、校正 ガスバルブを開閉しながら校正 を行います。 校正ガス設定； ・ゼロ校正ガス濃度設定範囲；0.3–100 vol%O₂ （最小設定単位；0.01 vol%O₂） ・ ス パ ン 校 正 ガ ス 濃 度 設 定 範 囲；4.5–100 vol%O₂（ 最 小 設 定 単 位；0.01 vol%O₂） ゼロ、スパンの校正ガスはそれぞれ 0 〜 10 vol%O₂、80 〜 100 vol%O₂ の酸素を含む窒素バランスの混合ガ スを推奨 ・校正周期； 日・時の設定（最長 255 日） パージング機能： 検出器を暖機する前に、ス パン校正ガスを一定時間流し、校正 ガス配管内の凝縮水を排除する機能 です。パージングの設定時間経過後、 検出器の暖機を開始することができ ます。 ブローバック機能： 定期的なパージ等をするた めに、自動または半自動で設定され た周期、時間に従い、接点出力を開 閉することができます。 アラーム機能： Fault； 動作； 発生時はヒータへの電源供給を 停止し、電源遮断までアラーム は解除しません。

種類； セル起電力異常、ヒータ温度異 常、A/D コンバータ異常、メモ リ書き込み異常、ハードウェア 故障、メモリ二重化不整合 アラーム； 動作； 発生要因が取り除かれた時点で、 アラームを解除します。 種類； 酸素濃度警報、ゼロ校正係数警 報、スパン校正係数警報、起電 力安定時間オーバー、温度入力 警報、冷接点温度警報、熱電対 起電力警報、入力電流警報、バッ テリー切れ警報、簡易セル抵抗 値警報

NAMUR NE107 アラーム表示機能：NAMUR NE 107 に基づき Warining アラームを以下の 4 つに分類して表示することができま す。 ・F；Failure（Fault 相当、ヒータへの電源供給停止） ・C；Function Check ・S；Out of Specification ・M；Maintenance Required データログ機能：データログを本体画面表示およ び SD カードに出力することができま す。SD カードは推奨品を手配、また は同等品をお客様で用意ください。 イベント表示；アラーム履歴、校正履歴、電源 オン履歴を本体表示にて確認する ことができます。 トレンド表示；簡易セル抵抗履歴を本体表示に てトレンドグラフで確認すること ができます。 SD カード出力；測定値ログ ( 日時、酸素濃度、 セル起電力、簡易セル抵抗値、機 器状態、NE107 状態等 )、保守レポー ト ( 設定値、校正値等 ) を CSV ファ イル形式にて SD カードに出力する ことができます。また、ユーザ設 定パラメータを SD カードに出力 し、別の変換器へコピーすること ができます。 測定値ログ周期、期間；1 秒周期× 8 日、2 秒周 期× 16 日、5 秒周期× 40 日を選択 可能です。 センサ自己診断機能： 校正時診断；スパン点 / ゼロ点補正率、セル応 答時間、セル抵抗、セル健康度を 測定 簡易セル抵抗測定；校正ガスを流さずにセル抵 抗値を測定 測定モード；自動簡易セル抵抗測定、半自動 簡易セル抵抗測定 簡易セル抵抗測定設定；安定時間 ( 分・秒 )、 測定開始時間 ( 年・月・日 / 時・分 )、 測定周期 ( 日・時 ) 表示・設定内容： 測 定 関 連 項 目： 酸 素 濃 度（vol%O₂）、 出 力 電 流 値（mA）、 水 分 量（ 燃 焼 ガ ス 中 ） （vol%H₂O）、混合比（kg/kg）、相対 湿度（%RH） 表示項目： 酸 素 濃 度（vol%O₂）、 水 分 量 (vol%H₂O）、混合比（kg/kg）、相対 湿度（%RH）、露点（℃）、セル温度（℃）、 熱電対冷接点温度（℃）、酸素濃度最 大・最小・平均値（vol%O₂）、水分量 最大・最小・平均（vol%H₂O）、混合 比最大・最小・平均（kg/kg）、セル 起電力（mV）、出力 1、2 電流値（mA）、 セル応答時間（秒）、セル内部抵抗値 （Ω）、セル健康度（4 段階）、ヒータ ON 時間率（%）、校正履歴（20 回）、 時刻（年・月・日／時・分） 校正用設定項目：スパンガス濃度（vol%O₂）、ゼロ ガス濃度（vol%O2）、校正モード（自 動、半自動、手動）、校正の種類手順 （ゼロ・スパン校正、ゼロ校正のみ、 スパン校正のみ）、安定時間（分 ･ 秒）、 校正時間（分 ･ 秒）、校正周期（日・時）、 校正開始時間（年・月・日／時・分） 出力関連項目：アナログ出力・出力モードの選択、 暖機中・保守中・校正中（ブローバッ ク中）・簡易セル抵抗測定中・アラー ム時の出力状態、酸素濃度 4 mA 点・ 20 mA 点（vol%O₂）、水分量 4 mA 点・ 20 mA 点（vol%H₂O）、混合比 4 mA 点・ 20 mA 点（kg/kg）、時定数 警報関連項目：酸素濃度値上限・上上限警報値 （vol%O₂）、酸素濃度値下限・下下限 警報値（vol%O₂）、水分量上限・上上 限警報値（vol%H₂O）、水分量下限・ 下下限警報値（vol%H₂O）、混合比上 限・上上限警報値（kg/kg）、混合比 下限・下下限警報値（kg/kg）、酸素 濃度警報ヒステリシス（vol%O₂）、水 分量警報ヒステリシス（vol%H₂O）、 混合比警報ヒステリシス（kg/kg）、 酸素濃度警報・水分量・混合比警報 の検知、警報の動作遅れ（秒） 接点関連項目：接点入力 1・2 の選択、接点出力 1 〜 3 の選択（Fault、上上限警報、上 限警報、下限警報、下下限警報、保守 中、校正中、レンジ切換、暖機中、校 正ガス圧力低下、温度上限警報、温度 下限警報、圧力上限警報、圧力下限警 報、簡易セル抵抗測定中、簡易セル抵 抗警報、校正係数警報、起電力安定時 間オーバー、ブローバック、未燃ガス 検知）

■ オプション

3. ZO21P-H 酸素濃度計高温用プローブアダプタ

高温ガス（700℃以上）の O₂測定には、0.15 m の 一般用検出器 ZR22G と高温用プローブアダプタが 必要です。 測定ガス温度： 0 〜 1400℃（SiC 製プローブアダプ タ使用時） 0 〜 800℃（SUS310S 製プローブア ダプタ使用時）

材質： SUS316、SUS304 または ASTM grade 304（フランジ） 挿入長と質量： 1.05 m； 約 6 kg（JIS 5K-65）、 約 10 kg（ANSI 150-4） 1.55 m； 約 9 kg（JIS 5K-65）、 約 13 kg（ANSI 150-4） 2.05 m； 約 12 kg（JIS 5K-65）、 約 16 kg（ANSI 150-4） 取付： 検出器、プロセス側フランジとの取 付用ボルト、ナット、ワッシャ付

6. K9471UA 酸素濃度計用ダスト除去フィルタ

回収ボイラまたはセメントキルンなどで、腐蝕性 ダスト成分または高ダストからセルを保護するた めに使用します。（使用する場合は、センサ内の ガスの置換を行わせるために、測定ガスの流速が 1 m/Sec 以上必要です。） 孔径： 30 µm 材質： SiC、SUS316 質量： 約 0.2 kg

7. K9471UC 酸素濃度計用ダストガードプロ

テクタ

煙道等でガスの流れ方向により直接セルにガスが 流れ込む可能性がある場合、および可燃性ダスト の混入を防止する場合に使用を推奨致します。ま た、運転停止時等に取付け位置により、水滴がセ ンサに落下滞留する可能性がある場合に使用を推 奨致します。 材質： SUS316 質量： 約 0.3 kg

ZH21B 高温湿度計用ダストプロテクタ

可燃物、高ダスト雰囲気下で湿度測定を行う場合、 ダストによる検出器出力の撹乱（可燃物が検出器 セル内に侵入するなど）を避けるために使用しま す。 挿入長： 0.440m フランジ： JIS5K-80A-FF 相当または ANSI CLASS150-4B-FF 相当（ただしフラン ジ厚は異なります。）

材質： SUS316、SUS304 または ASTM grade 304（フランジ） 質量： 約 6 kg（JIS）、約 8.5 kg（ANSI） 取付： 検出器、プロセス用フランジとの取 付用ボルト、ナット、ワッシャ付

9. ZO21S スタンダードガスユニット

機能： 校正ガスを供給するポータブル形の 装置で、スパンガス（空気）用ポンプ、 ゼロガス封入缶ボンベ、流量チェッ カ、流量調節弁から構成されます。 ゼロガス封入缶ボンベ（6 本付）：E7050BA 容器；1 L 充填圧力；約 686 kPa G（35℃時） 組成；0.95 〜 1.0 vol%O₂＋ N₂バランス 測定ガス圧力：－ 0.5 〜＋ 5 kPa。ただし、0 － 25 vol％ O₂以上のレンジでご使用の時 は、測定ガス圧力を－ 0.5 〜＋ 0.5kPa にしてください。（負圧の場合は、補 助エジェクタが必要です。） 挿入長： 0.5、0.6、0.7、0.8、0.9、1.0、1.5 m 接 ガ ス 部 材 質：SUS316、SiC ま た は SUS310S、

SUS304 または ASTM grade 304（フ ランジ） プローブ材質：SiC、SUS310S 取付方法： フランジ取付（FF 形または RF 形） プローブ取付角度；垂直下方± 5°以内 SUS310S は水平取付可 構造： 非防爆、防雨構造 質量 ( 例 )：挿入長 1.0 m； 約 5.3 kg（JIS 5K-50）、 約 11.3 kg（ANSI 150-4） 1.5 m； 約 5.8 kg（JIS 5K-50）、 約 11.8 kg（ANSI 150-4）

4. E7046EC/E7046EN 酸素濃度計高温用エゼ

クタアセンブリ

高温用検出器において測定ガス圧力が負圧の場合 に使用します。ニードル弁、圧力計アセンブリ、 エゼクタから構成されています。 4.1 ニードル弁 接続： Rc1/4 または 1/4NPT 材質： SUS316 4.2 圧力計アセンブリ 圧力計： 接ガス部材質； SUS316 ケース材質； アルミニウム合金（塗色黒） 目盛； 0 〜 100 kPa G 配管接続口； G3/8 × Rc1/4 または 1/4NPT おねじ 4.3 エゼクタ 入口空気圧：29 〜 69 kPa G（エジェクタ駆動圧力 および測定ガス圧力により変わります） 空気消費量：約 30 〜 40 L/min 吸引ガス流量：3 〜 7 L/min（エジェ クタ駆動圧力および測定ガス圧力に より変わります） 接続： Rc1/4 または 1/4NPT、SUS304 チュー ブ接続（∅6/∅4 または 1/4 インチ銅 管、ステンレス管）

5. ZO21R-L 酸素濃度計用プローブプロテクタ

測定ガス流速が約 10 m/Sec 以上の場合で、微粉 炭ボイラおよび流動床ファーネス（またはボイラ） のようにダスト粒子による検出器の磨耗が発生す る危険性のある場合に、検出器をダスト粒子から 守るために使用します。 なお、挿入長が 2.5 m、3 m で水平取付の場合、強 度補強のため Z021R-L-200- □ *B をご指定ください。 挿入長： 1.05 m、1.55 m、2.05 m

フランジ： JIS 5K 65 FF または ANSI Class 150 4 FF（セレーションなし）、ただしフラ ンジ厚は異なります。

電源： 100、110、115、200、220、240 V AC ± 10%、50/60 Hz 消費電力： 最大 5 VA 塗色： 本体；マンセル 2.0GY3.1 ／ 0.5 相当 カバー；マンセル 2.8GY6.4 ／ 0.9 相当 質量： 約 3 kg

10. ZA8F 手動校正用流量設定器

計装空気が用意されている場合使用します。 校正ガスおよび比較ガスの流量を調節する装置で、 フローメータおよび流量調節弁から構成されます。 フローメータ目盛： 校正ガス；0.1 〜 1.0 L/min 比較ガス；0.1 〜 1.0 L/min 構造： 防じん、防雨構造 取付方法： 壁、パイプ取付 ケース材質：SPCC 塗装： エポキシ樹脂焼付、ダークグリーン （マンセル 2.0GY3.1 ／ 0.5 相当） 配管接続： Rc1/4 または 1/4NPT 空気消費量：約 1.5 L/min 質量： 約 2 kg

11. ZR40H 自動校正ユニット

計装空気が用意されかつ自動校正機器を利用の場 合に使用します。また、未燃ガス検知時の安全パー ジにも使用できます。電磁弁が標準装備されます。 構造： 防じん、防雨構造；NEMA4X ／ P67（電 磁弁収納ケースのみ、流量計は除く） 取付方法： 2B パイプ取付および壁取付（振動の 無い場所） 材質： 本体材質；アルミニウム合金 配管；SUS316、SUS304 流量計材質；MA（メタクリル樹脂） ブラケット；SUS304 塗装： ポリウレタン耐食塗装；ミントグリー ン（マンセル 5.6BG3.3 ／ 2.9） 配管接続： 形名コード参照 電源： 24 V DC（ZR802G から供給）、 消費電力；約 1.3 W 比較ガス圧力：測定ガス圧力＋約 50 kPa、チェッ クバルブ付きの場合は測定ガス圧力 ＋約 150 kPa 空気消費量：約 1.5 L/min 質量： 約 3.5 kg 周囲温度： － 20 〜 55℃（ただし、結露・凍結 の無いこと） 周囲湿度： 0 〜 95%RH 保管温度： － 30 〜＋ 65℃

12. L9852CB/G7016XH ストップバルブ

校正ガスラインに取付けます。 ZR22G の付加コードで（/SV）を選択すると付属さ れます。。(/SV) には取り付けに必要なニップルが付 属しています。 接続： Rc1/4 または 1/4NPT(Female) 材質： SUS316 質量： 約 150 g

13. K9292DN/K9292DS チェックバルブ

プロセスガスが校正ガスラインに入るのを防ぐた めに使います。ストップバルブと同じ用途ですが、 ストップバルブの開閉を行うのが不便な場所に設 置した場合に使用します。 ストップバルブの代わりに検出器の校正ガス入口 に直接ねじ込みます。 ただし元圧が 150 kPa 以上必要なので、スタンダー ドガスユニットは使えません。 ZR22G の付加コードで（/CV）を選択すると付属さ れます。 接続： Rc1/4 または 1/4NPT（Female） 材質： SUS304 供給圧力： 150 kPa G 以上、350 kPa G 以下 質量： 約 90 g

14. G7003XF/K9473XK、 G7004XF/K9473XG

エアセット

G7003XF ／ K9473XK 一次圧力： 最大 1 MPa G 二次圧力： 0.02 〜 0.2 MPa G 接続： Rc1/4 または 1/4NPT(Female) （1/4NPT は変換アダプタ付） G7004XF ／ K9473XG 一次圧力： 最大 1 MPa G 二次圧力： 0.02 〜 0.5 MPa G 接続： Rc1/4 ま た は 1/4NPT(Female) （1/4NPT は変換アダプタ付）

15. G7001ZC ゼロガス封入ボンベ

3.4 L 容器 充填圧力： 9.8 〜 12 MPa ガス組成： 0.95 〜 1.0 vol%O₂、N₂バランス （注）ガス封入ボンベは輸出規制の対象品です。

16. G7013XF/G7014XF ボンベ用減圧弁

圧力計： 1 次圧：最大 14.8 MPa G 2 次圧：0 〜 0.4 MPa G 接続口： 入口側 W22 14 山ねじ、右ねじ 出口側 Rc1/4 または 1/4NPT(Female) 材質： 本体　黄銅

17. E7044KF 校正ガスユニットケース

ケースの塗装：メラミン樹脂焼付塗装 シェードグリーン （マンセル 7.5BG4 ／ 1.5） 取付方式： 2B パイプ取付 質量： 約 10 kg（ボンベ含む）

18. ZR22A ヒータアセンブリ ( 交換用部品 )

ヒータユニット部の一式交換用部品です。

■ 形名コード

1. ZR22G ジルコニア式酸素濃度計 / 高温湿度計　検出器

スタイル：S2 形名 基本コード 付加コード 仕様 ZR22G - - - - - - 分離型ジルコニア式酸素濃度計検出器 挿入長 -015 -040 -070 -100 -150 -200 -250 -300 - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 0.15 m　　(*1) 0.4 m 0.7 m 1.0 m 1.5 m 2.0 m 2.5 m　(*2) 3.0 m　(*2) プローブ材質 -S -C - - - - - - SUS316校正ガス管インコネル製　(*7) フランジ (*3) -A -B -C -E -F -G -K -L -M -P -Q -R -S - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - ANSI Class 150 2 RF ANSI Class 150 3 RF ANSI Class 150 4 RF DIN PN10 DN50 A DIN PN10 DN80 A DIN PN10 DN100 A JIS 5K 65 FF JIS 10K 65 FF JIS 10K 80 FF JIS 10K 100 FF JIS 5K 32 FF（高温用）　(*4) JPI Class 150 4 RF JPI Class 150 3 RF 比較ガス -C -E -P - - - - - - - - - 自然対流 計装空気　(*8) 圧力補正　(*8) 配管接続口 -R -T - - - - - - Rc1/41/4NPT (Female) 配線接続口 -P -G -M -T - - - - - - - - - - - - G1/2 Pg13.5 M20 × 1.5 mm 1/2NPT 取扱説明書 -J -E - - - - - - 日本語英語 － -A - - - 常に -A 付加仕様　(*9) /C インコネル製ボルト　(*5) /CV /SV チェックバルブ付　(*6)ストップバルブ付　(*6) /F1 /F2 ダスト除去フィルタダストガードプロテクタ /SCT /PT ステンレス製タグプレート　(*10)印刷タグプレート　(*10) *1 高温用プローブアダプタ ZO21P と組み合わせてご使用になる場合、フランジは -Q を選択してください。 *2 挿入長 2.5 m、3.0 m の検出器を水平取付で使用の場合、検出器の強度補強のため、プローブプロテクタ ZO21R-L-200- □ を必ずご指定ください。ただしフランジコードは、-C、-K のいずれかを指定してください。 *3 フランジの寸法により厚さは異なります。 *4 比較ガスの -P（圧力補正）との組合せは不可。またフランジ厚さが JIS 規格と異なります。 *5 プローブ先端のボルトと、校正ガス用 U 字パイプをインコネル製で出荷します。高温（600 〜 700℃）で使用してください。 *6 付加コード /CV または /SV のいずれか一方を選択してください。 *7 測定ガス中に塩素ガスなどの腐食性ガスが含まれる場合に使用をお奨めします。 *8 必ず比較ガス配管を施し、常時規定流量の比較ガスを供給してください。 *9 EAC 認証マーク付きについては、GS 11M12G01-01E を参照ください。 *10 付加コード /SCT または /PT のいずれか一方を選択してください。 （注）ZR22G と従来の変換器（ZA8C、AV8C）を組み合わせて使用する場合、ROM の交換と冷接点温度補償ボードの取付が必要です。 日本語表示の各 ROM の部品番号は、K9290LF（ZA8C 用）、K9296CN（AV8C 用）です。

また、冷接点温度補償ボードの部品番号は、K9471JA（ZA8C、HA400 用）、K9471JB（AV8C 用）です。 ROM 抜き（部品番号：K9471JT）による ROM の交換と冷接点温度補償ボードの取付は、当社サービスに依頼することを お奨めします。 ● 標準付属品 名称 個数 備考 六角レンチ 1 ロックスクリュー用

2. ジルコニア式酸素濃度計 / 高温湿度計　変換

器

検出器との接続の場合にのみ使用します。 形名 基本コード 付加コード 仕様 ZR802G - - - - - - - 分離型ジルコニア式酸素濃度計変換器 配線口 -P -G -M -T - - - - - - - - - - - - G1/2 Pg13.5 M20 × 1.5 mm 1/2NPT デジタル通信 -H -M -E - - - - - - - - - HART 通信 HART 通 信 ＋ Modbus RS485 HART 通 信 ＋ Modbus Ethernet － -N - - - 常に -N － -N - - - 常に -N 付加仕様 /SCT /H /CJ /AI /RC /BR ステンレス製タグプレート 日除けフード 冷接点補償素子（PT1000）付 き (*1) 電源供給なしのアナログ入力 ( 圧力補正、温度入力 ) エポキシ + ウレタン塗装 ZR402G リプレース用壁取付 ブラケット (*1) 付加コード /CJ を選択したときは、CJ 端子に付属 の冷接点補償素子を接続します。ZR22G との CJ 端 子の接続は不要です。 < 注文時指定事項 > 1. 高温湿度計選択 注：指定のない場合は、酸素濃度計で出荷されます。 2. TAGNO.　( 必要ある場合のみ ) タグ No. は次表に示す半角文字の組み合わせで指 定可能です。最大文字数は 16 文字です。 TAGNO. が指定されると製品画面への表示と、タ グラベルまたはステンレス製タグプレートに印字 されます。 記号 - ハイフン . ピリオド スペース (*1) _ アンダーバー = イコール + プラス / スラッシュ : コロン ( 左パーレン ) 右パーレン # ハッシュマーク ! エ ク ス ク ラ メ ー ションマーク 数字 0, 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9 英大文字 A, B, C, D, E, F, G, H, I, J, K, L, M, N, O, P, Q, R, S, T, U, V, W, X, Y, Z 英小文字 a, b, c, d, e, f, g, h, i, j, k, l, m, n, o, p, q, r, s, t, u, v, w, x, y, z (*1) 先頭／末尾にスペースがある場合は、スペー スは削除され、左詰めで設定されます。 3. 表示言語選択 日本語、英語、中国語、ドイツ語、フランス語、 ポルトガル語から選択してください。 ● 標準付属品 名称 個数 部品番号 備考 ヒューズ 1 A1113EF -取付けブラケット（標準） 1 F9800AP -取付けブラケット用ボルト 4 - M6x10 mm 取付けブラケット用ワッシャ 4 - M6 用 パイプ取付用ボルト 4 - M6x70 mm パネル取付用ねじ 2 - M6x100 mm タグラベル（標準） 1 - ( 注 ) ( 注 ) 付 加 コ ー ド /SCT 指 定 時 以 外 に 付 属 さ れ ま す。 TAGNO. 未指定時はブランクのラベルとなります。 ● 付加仕様による取付けブラケット 付加仕様により取付けブラケットは次の表に示すよ うに変わります。 名称 個数 部品番号 備考 リプレースースブラケット 1 F9800ZA 付加コード /BR の場合 リプレースブラケット （重塗装） 1 F9800ZC 付 加 コ ー ド /BR、/RCの場合 取付けブラケット（重塗装） 1 F9800AR 付加コード /RC の場合 ● SD カード（製品添付されていませんので使用時 にはご準備願います。） 名称 個数 部品番号 備考 SD カード 1 773001 1 GB お客様にてご用意いただい てもかまいません。 　容量：128 MB 以上 　規格：SD、SDHC

3. ZO21P-H 酸素濃度計高温用プローブアダプタ

形名 基本コード 付加コード 仕様 ZO21P -H - - - 高温用プローブ_アダプタ 材質 -A -B - - - - - - SiCSUS310S 挿入長 -050 -060 -070 -080 -090 -100 -150 - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 0.5 m 0.6 m 0.7 m 0.8 m 0.9 m 1.0 ｍ 1.5 m フランジ -J -N -M -L -A -R -Q -T -S -E - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - JIS 5K 50 FF JIS 10K 65 FF JIS 10K 80 FF JIS 10K 100 FF ANSI Class 150 4 RF ANSI Class 150 2 1/2 RF ANSI Class 150 3 RF JPI Class 150 3 RF JPI Class 150 4 RF DIN PN10 DN50 A スタイルコード *B - - - スタイル B 付加仕様　　　 エジェクタ タグプレート /EJ1 /EJ2 /SCT エジェクタアセンブリ E7046EC 付き (Rc1/4) エジェクタアセンブリ E7046EN 付き (1/4NPT) ステンレス製タグプレート ( 注 ) 0.15 m の検出器 ZR22G を必ず一緒に手配してください。 高温用プローブ（補用品） 部品番号 仕様 K9292TP SiC 挿入長：0.5 m E7046CF SiC 挿入長：0.6 m K9292TQ SiC 挿入長：0.7 m E7046CG SiC 挿入長：0.8 m E7046CH SiC 挿入長：0.9 m E7046AL SiC 挿入長：1.0 m E7046BB SiC 挿入長：1.5 m K9292TV SUS310S 挿入長：0.5 m E7046CR SUS310S 挿入長：0.6 m K9292TW SUS310S 挿入長：0.7 m E7046CS SUS310S 挿入長：0.8 m E7046CT SUS310S 挿入長：0.9 m E7046AP SUS310S 挿入長：1.0 m E7046AQ SUS310S 挿入長：1.5 m 高温用プローブのみ必要な場合、この中から選定ください。

4. E7046EC/E7046EN 酸素濃度計高温用エゼ

クタアセンブリ

部品番号 仕様

E7046EC Rc1/4, ∅6/∅4TUBE 接続：SUS304 E7046EN 1/4NPT, 1/4TUBE 接続：SUS304

5. ZO21R-L 酸素濃度計用プローブプロテク

タ

形名 基本コード 付加コード 仕様 ZO21R -L - - - プローブプロテクタ (0 － 700℃ ) 挿入長 -100 -150 -200 - - - - - - - - - 1.05 m 1.55 m 2.05 m フランジ (*1) -J

-A - - - - - - JIS 5K 65 FFANSI Class 150 4 FF スタイルコード *B - - - スタイル B (*1) フランジの寸法により厚さは異なります。 コードに記載のない、挿入長、フランジのご要求 は当社にお問合わせください。

6. K9471UA 酸素濃度計用ダスト除去フィル

タ

部品番号 仕様 K9471UA フィルタ K9471UX フィルタ用工具

7. K9471UC 酸素濃度計用ダストガードプロ

テクタ

部品番号 仕様 K9471UC ダストガードプロテクタ

8. ZH21B 高温湿度計用ダストプロテクタ

形名 基本コード 付加コード 仕様 ZH21B - - - ダストプロテクタ (0 〜 600℃） 挿入長 -040 - - - 0.428 m フランジ (*1) -J

-A - - - -- - - JIS 5K 80 FF (1) ANSI Class 150 4B FF ※ (2) スタイルコード ＊ B - - - スタイル B ※フランジ厚は異なります。 ・以下の検出器をご指定ください。 (1) の場合：ZR22G-040- □ -K (2) の場合：ZR22G-040- □ -C

9. ZO21S スタンダードガスユニット

形名 基本コード 付加コード 仕様 ZO21S - - - - - - スタンダードガスユニット 電源 -2 -3 -4 -5 -7 -8 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 200 V AC 50/60 Hz 220 V AC 50/60 Hz 240 V AC 50/60 Hz 100 V AC 50/60 Hz 110 V AC 50/60 Hz 115 V AC 50/60 Hz パネル -J -E - - - - - - 和文英文 スタイルコード *A - - - スタイル A

10. ZA8F 手動校正用流量設定器

形名 基本コード 付加コード 仕様 ZA8F - - - - - - 流量設定器 継手 -J -A - - - - - - Rc1/41/4NPT アダプタ付 スタイルコード *C - - - スタイル C

11. ZR40H 自動校正ユニット

形名 基本コード 付加コード 仕様 ZR40H - - - - - - 自動校正ユニット （ZR802G 用） ガス接続口 -R -T - - - - - - Rc1/41/4NPT 配線接続口 -P -G -M -T - - - - - - - - - - - - パイプ接続 (G1/2) Pg13.5 20 mm (M20 × 1.5) NPT(1/2NPT) － -A - - - 常に -A

12. L9852CB/G7016XH ストップバルブ

部品番号 仕様 L9852CB 接続：Rc1/4　　材質：SUS316 G7016XH 接続：1/4NPT　材質：SUS316

13. K9292DN/K9292DS チェックバルブ

部品番号 仕様 K9292DN 配管接続口：Rc1/4　　材質：SUS304 K9292DS 配管接続口：1/4NPT　材質：SUS304

14. G7003XF/K9473XK、 G7004XF/K9473XG

エアセット

部品番号 仕様 G7003XF 接続：Rc1/4　　材質：Zn 合金 K9473XK 接続：1/4NPT　アダプタ付 材質：Zn 合金　アダプタ：SUS316 G7004XF 接続：Rc1/4　　材質：Zn 合金 K9473XG 接続：1/4NPT　アダプタ付 材質：Zn 合金　アダプタ：SUS316

15. G7001ZC ゼロガス封入ボンベ

部品番号 仕様 G7001ZC 3.4l 容器 0.95 〜 1.0 vol％ O2 N2 Bal

16. G7013XF/G7014XF ボンベ用減圧弁

部品番号 仕様 G7013XF 入口側：W22 14 山ねじ_{出口側：Rc1/4} G7014XF 入口側：W22 14 山ねじ_{出口側：1/4NPT(F)}

17. E7044KF 校正ガスユニットケース

部品番号 仕様 E7044KF 材質：SPCC

18. ZR22A ヒータアセンブリ ( 交換用部品 )

スタイル：S2 形名 基本コード 付加コード 仕様 ZR22A - - - - - - ヒ ー タ ア セ ン ブ リ （ZR22G 用 ) 挿入長 (*1) -015-040 -070 -100 -150 -200 -250 -300 - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 0.15m 0.4m 0.7m 1m 1.5m 2m 2.5m 3m 交換用治具 -A_-N - - - _{- - -} あり_なし 比較ガス (*2) -A -B -C - - - - - - - - - 自然対流、計装空気 圧力補正（ZR22G S2 用） 圧力補正（ZR22G S1 用） (*1) ご使用の検出器 ZR22G の挿入長に合わせて選択し てください。 (*2) 比較ガスの方式およびスタイル番号により「-A」、 「-B」、「-C」を選択してください。 （注） セラミックのヒータ炉心管等割れやすい部品があ りますので、振動や衝撃が加わらないよう取り扱 いに注意してください。

■外形寸法図

1. ZR22G ジルコニア式酸素濃度計 / 高温湿度計　検出器

単位：mm ø 50.8 25 t 283～292 ø 124 ± 3 85 L 48 155～163 69 øB øA C L=0.15、0.4、0.7、1.0、 　1.5、2.0、2.5、3.0（m） _{（比較ガス入口）}Rc1/4または1/4NPT 2-G1/2， 2-1/2NPT等 （配線接続口） Rc1/4または1/4NPT （校正ガス入口） フランジ フランジ øB øA C フランジ フランジ ANSI Class 150 2 RF ANSI Class 150 3 RF ANSI Class 150 4 RF DIN PN10 DN50 A DIN PN10 DN80 A DIN PN10 DN100 A JIS 5K 65 FF JIS 10K 65 FF JIS 10K 80 FF JIS 10K 100 FF JIS 5K 32 FF JPI Class 150 4 RF JPI Class 150 3 RF 152.4 190.5 228.6 165 200 220 155 175 185 210 115 229 190 120.6 152.4 190.5 125 160 180 130 140 150 175 90 190.5 152.4 4 ‒ ø19 4 ‒ ø19 8 ‒ ø19 4 ‒ ø18 8 ‒ ø18 8 ‒ ø18 4 ‒ ø15 4 ‒ ø19 8 ‒ ø19 8 ‒ ø19 4 ‒ ø15 8 ‒ ø19 4 ‒ ø19 A B C 19 24 24 18 20 20 14 18 18 18 5 24 24 t

ジルコニア式酸素濃度計検出器（ZR22G....-P　圧力補正付き）

øB øA C フランジ C フランジ øA øB PIPING フランジ ANSI Class 150 2 RF ANSI Class 150 3 RF ANSI Class 150 4 RF DIN PN10 DN50 A DIN PN10 DN80 A DIN PN10 DN100 A JIS 5K 65 FF JIS 10K 65 FF JIS 10K 80 FF JIS 10K 100 FF JPI Class 150 4 RF JPI Class 150 3 RF 152.4 190.5 228.6 165 200 220 155 175 185 210 229 190 120.6 152.4 190.5 125 160 180 130 140 150 175 190.5 152.4 4 ‒ ø19 4 ‒ ø19 8 ‒ ø19 4 ‒ ø18 8 ‒ ø18 8 ‒ ø18 4 ‒ ø15 4 ‒ ø19 8 ‒ ø19 8 ‒ ø19 8 ‒ ø19 4 ‒ ø19 A B C 19 24 24 18 20 20 14 18 18 18 24 24 A B B A B B A A B B B B t Ø50.8 25 t 303 ø 124 ± 3 85 L 48 156 87 Rc1/4 または1/4NPT （比較ガス入口） 2-G1/2、 2-1/2NPT等 （配線接続口） Rc1/4 または1/4NPT （校正ガス入口） フランジ PIPING:A 比較ガス出口 PIPING :B ストップバルブ L=0.15、0.4、0.7、1.0、 　1.5、2.0、2.5、3.0（m）

● ストップバルブ（付加コード /SV）、チェックバルブ（付加コード /CV）付きの場合の校正ガス入口 単位：ｍｍ 40 Ø48 58 19 校正ガス入口 Rc1/4または1/4NPT 約44 （検出器ケース） （検出器ケース） 約100 全開高さ 校正ガス入口 Rc1/4または1/4NPT ストップバルブ付（/SV) チェックバルブ付（/SV)

2. ZR802G ジルコニア式酸素濃度計 / 高温湿度計　変換器

単位：ｍｍ 280.6 6.5 227 10.5 14.8 (1/2 NPT) ステンレスタグプレート（付加仕様） 8 - G1/2, *8 - 1/2 NPT等 （配線接続口）（メス） *: 1/2 NPTプラグ付き 1 ～ 6（パネル厚） 2B パイプ 30 46.9 120.9 80.5 34.7 100 100 40 40 40 23 36 38 2414 38 4-R8～R10または、4-C5～C8 190 65 274 +2 183+2 0 0 4 - Ø6穴 壁取付穴 パネルカット 4 - Ø6穴 壁取付け用

● ZR402G リプレース用壁取付ブラケットの場合（付加コード /BR） 単位： mm 4 - Ø6穴 _{4 - Ø6穴} 190 126.5 30 壁取付け用 壁取付穴 ● 日除けフード付きの場合（付加コード /H） 186 76 212 単位：mm フード材質：アルミニウム

3. ZO21P-H 酸素濃度計高温用プローブアダプタ

単位：mm t øA 測定ガス出口 Rc1/2（注2） 約351 180 フランジ（厚さ5mm） JIS 5K 32 FF相当 ガスケット（厚さ1.5） 検出器（ZR22G） フランジ <1> 客先取付フランジ ø52以上 ø60.5 ø30 ø60.5 比較ガス入口 Rc1/4 、1/4 NPT 校正ガス入口 Rc1/4、1/4NPT 配線用（2-G1/2、2-1/2NPT等） 高温用プローブ SiC管 11 0 ø 11 5 48 25 170 約 215 （挿 入 長） （注 1） 約 100 69 約48 C øA øB （注1）L＝0.5、0.6、0.7、0.8、0.9、1.0、1.5（ｍ） （注2）測定ガス出口（測定ガス圧が負圧の場合は、 　　 高温用エゼクタアセンブリを接続します。） 客先取付寸法図 ●フランジ寸法例 ø124 ± 3 85 L フランジ<１> JIS 5K 50 FF JIS 10K 65 FF JIS 10K 80 FF JIS 10K 100 FF ANSI Class 150 4 RF ANSI Class 150 3 RF ANSI Class 150 2 1/2 RF JPI Class 150 RF JPI Class 150 4 RF DIN PN10 DN50 A A B C t 130 175 185 210 228.6 190.5 177.8 229 190 165 105 140 150 175 190.5 152.4 139.7 190.5 152.4 125 4-∅15 4-∅18 8-∅19 8-∅19 8-∅19 4-∅19 4-∅19 8-∅19 4-∅19 4-∅18 14 18 18 18 24 24 24 24 24 18

4. E7046EC/E7046EN 酸素濃度計高温用エゼクタアセンブリ

単位：ｍｍ ニードル弁 計装空気入口 ＜1＞ ＜2＞ 圧力計 圧力計アセンブリ ノズル (注1) R 1/2 エゼクタ 検出器 40 チー 20 ブロー＜3＞ ø43 約 67 約 88 39 約 70 38 （ 全開高 さ ） (注1) エゼクタの計装空気入口継手は、エゼクタノズルの 機能を持つ専用継手です。 _部品番号 E7046EC E7046EN ＜1＞ ＜1＞ ＜2＞* ＜3＞ Rc 1/4 1/4 NPT ø 6/ø4 1/4 インチ Rc 1/4 *：銅管またはステンレス鋼管 形名 配管接続口 A ZA8F-J*C 5 - Rc1/4 ZA8F-A*C 5 - 1/4NPT

5. ZO21R-L 酸素濃度計用プローブプロテクタ

ガスフロー D C 相手側穴の寸法 øA øB øB l（挿入長） l＝1050、1550、2050 フランジ＜1＞（ボルト、 ナット、ワッシャ付） ガスケット（厚さ3.0） SUS316取付ナット（M12） ワッシャ（M12） ø60.5 t フランジ＜ 1 ＞ A B C t D JIS 5K 65 FF 155 130 4 - ø15 5 40 ANSI Class 150 4 FF 228.6 190.5 8 - ø19 12 50

6. K9471UA 酸素濃度計用ダスト除去フィルタ

挿入長増加分 SiC フィルタ ø 51 32 10

7. K9471UC 酸素濃度計用ダストガードプロテクタ

単位：ｍｍ 4-

ø

6 122

ø

50.8 100 挿入長増加分

8. ZH21B 高温湿度計用ダストプロテクタ

t C C øB øB øA øB D 428（挿入長） 相手側穴の寸法 上に向けて 　　取付けてください。 JISフランジの場合 ANSIフランジの場合 ø72 _ø76.3 フランジ A B C t D JIS 5K 80 FF 180 145 4-ø19 14 40 ANSI Class 150 4B FF 228.5 190.5 8-ø19 12 50

9. ZO21S スタンダードガスユニット

92 228 253 1600 354 フローチェッカ スパンガスバルブ ゼロガスバルブ ガス出口 ゼロガス封入缶ボンベ（6本付）：E7050BA

10. ZA8F 手動校正用流量設定器

単位：ｍｍ CHECK OUT REF OUT 20 35 35 35 35 20 35 70 32

REFERENCE SPAN ZERO

140 180 7 Ø6穴 222.8 校正ガス出口 比較ガス出口 235.8 REFERENCE CHECK 8 AIR IN ZERO IN SPAN IN 配管接続口A 計装空気入口 ゼロガス入口 スパンガス入口 2Bパイプ 流量設定器内部配管図（ZA8F） CHECK OUT ZERO GAS IN AIR IN REF OUT フロー メータ フローメータ 計装空気 1～1.5 l/min SPAN GAS IN エアセット エアセット ｛2次側圧力：測定ガス圧力＋約50 kPa,チェックバルブ付きの場合は 測定ガス圧力＋約150 kPaに設定（最大300 kPa)｝

11. ZR40H 自動校正ユニット

単位：ｍｍ OCK ゼロガス入口 Rc1/4 または 1/4 NPT(Female) 比較ガス入口 Rc1/4 または 1/4 NPT(Female) 校正ガス出口 Rc1/4 または 1/4 NPT(Female) 比較ガス出口 Rc1/4 または 1/4 NPT(Female) 配線口：2-G1/2、Pg13.5、M20×1.5 または 1/2NPT(Female) 2Bパイプ取付例 140 250 42 26 41.2 41.2 54 71.5 26 49.5 12 223 46 16 30 40 47.5 25 102 MAX 58 90 116.5 4 -ø6.5 *1 M6ねじ4本で壁に 取り付けることもできます。 *1 (配線口は裏側の同位置にもあります) フロー メータ 配線口 端子箱 ニードル バルブ ２Bパイプ CHECK OUT

ZERO GAS IN AIR IN

計装空気 約1.5 L/min. *1: ニードルバルブはフローメータに付属しています。 フロー メータ フローメータ REF OUT *1 *1 EV1、2 ：電磁弁 EV1 EV2 内部配線図

12. L9852CB/G7016XH ストップバルブ

単位：ｍｍ

ø

48 58 40 Rc1/4または1/4NPT （ 全開高 さ ） L9852CB: Rc1/4 G7016XH: 1/4NPT

13. K9292DN/K9292DS チェックバルブ

K9292DN : Rc1/4(A部)，R1/4(B部) K9292DS : 1/4NPT(A部)，1/4NPT(Male)(B部) 約19 約54 A _B

14. G7003XF/K9473XK、 G7004XF/K9473XG エアセット

A

22 ø15 2-ø2.2＋0.5－0 2-ø6.5 40 2-M6 ネジ深さ8 40 ø74 一次側 二次側 88 最大 210 最大 55 約122 2次圧力指示計 パネル （横位置取付） パネル （縦位置取付） 横位置取付 縦位置取付 パネルカット A 矢視 単位：mm G7003XF, G7004XF: Rc 1/4 K9473XK, K9473XG: 1/4NPT コネクタ

15. G7001ZC ゼロガス封入ボンベ

単位：ｍｍ 485 325

ø

140

16. G7013XF/G7014XF ボンベ用減圧弁

閉 開 HI H_O C A K A_T ストップバルブ ハンドル 圧力調整ハンドル 注意銘板 Ｗ２２－１４山（右） ボンベパッキン（ナイロン） 高圧側圧力計 低圧側圧力計 ストップバルブ 高圧側調整器カバー 低圧側安全弁 高圧側安全弁 約８２ 低圧側調整器カバー 調整器本体 形式銘板 約１７４ 約１６３ 約１１２ 約５９ HI H AC AKT 閉開 O ガス出口 ＊ 部品番号 G7013XF G7014XF ＊ガス出口 Rc1/4 1/4 NPTめねじ(アダプタ付き） ガス入口

17. E7044KF 校正ガスユニットケース

324 496 225 180 ボンベ用減圧弁 ゼロガス封入ボンベ 2Bパイプ （ø60.5） （G7001ZC） G7013XF／ G7014XF （注）E7044KFには、ゼロガス封入ボンベ 　　およびボンベ用減圧弁は含まれていません。 斜線部分は開口部となっています。 (158.3) (160)