( 주 ) 세화하이테크

(1)

総合カタログ

圧力調整器・流量計・ガス供給装置

http://www.yutaka-crown.com

総

合

カ

タ

ロ

グ

　　 圧力調整器 ・ 流量計 ・ ガス供給装置 www.gasplus.com (주)세화하이테크

(2)

圧力調整器の選択の指針

………

用途別圧力調整器選定表

………

2 流量計選定表

………

6 半導体製造プロセス用圧力調整器

… ………

7 一般産業用圧力調整器・加温器・節約器

………

9 流量計

… ………

65 ガス供給装置

… ………

85 理化学・標準ガス用圧力調整器

… ………

99 医療ガス用圧力調整器

… ………

23 参考資料

………

35 圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、

また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、

あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、

ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器を

ISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、

設計・製造・販売しています。

先駆けるユタカ… 産業界の発展を支える

圧力調整器・流量計・ガス供給装置

www.gasplus.com (주)세화하이테크

(3)

流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

一般産業用

選定表

圧力調整器の選択の指針

選定には、次の点を考慮していただきますようお願い申し上げます。

①容器（ボンベ）内圧計

通常圧縮ガスは、最大

14.8MPa

（

35

℃ ）の圧力で容器に充填されています。この圧力を確認するための圧縮ガス用圧力調整器は容器内圧力計（高圧側圧力計）を必要とします。液化ガスの場合は、圧力で残ガス量が判断できないため、通常高圧側圧力計を装備しませんが、用途によっては容器内圧力計を備える必要があります。この場合の圧力計のスケールは

143

頁の『ガス別データ表』を参考にしてください。ご使用中にガスが少なくなった場合、電気信号でこれを知らせることができる接点付圧力計があります。

②低圧側圧力計

圧力調整器の使用圧力範囲は、低圧側圧力計の最高目盛の

60%

以下、または、

2/3

と以下の範囲です。それを超えると使用禁止範囲（安全弁作動範囲）です。従って低圧側圧力計のフルスケールは、最大使用圧力の

1.5

倍以上のものを選択してください。また、圧力調整器の内部を真空排気する場合、必ず低圧側圧力計は、真空目盛を表示した連成計をご使用ください。

③安全弁

圧力調整器には、異常圧力から本体を守るため安全弁が備えられています。安全弁の作動範囲は通常、圧力計付の場合、最大目盛値の

80%

以上、圧力計無しの場合、最大使用圧力の

110%

以上となっています。毒性ガス、可燃性ガス等に使用する圧力調整器には、そのガスが吹出した場合の事故を防止するため、吹出しガスを除害装置や、危険の無い場所へ排出する措置が必要です。

④性　能

圧力調整器の性能を決める要素は次の

4

点です。

1

）圧力調整範囲 ……… 二次圧力を調整できる範囲

2

）元圧変動率 ………… 一次圧力の変化に対する二次圧力の変化する割合

3

）瞬時圧力低下率 …… 吐出流量の変化に対する二次圧力の低下する割合

4

）ガス放出量……… ガスの最大放出量これら性能はカタログ中の仕様、流量曲線図、元圧変動曲線図によって知ることができます。

⑤一段式圧力調整器と二段式圧力調整器

圧力調整器は、内部のスプリングの力とガスの圧力のバランスによって作動しますので、容器内圧が高圧から低圧に減少してくるとその内圧から受ける弁の力が減ってバランスが崩れ、その分、二次圧力が変動してバランスを保つ特性があります。これは一段式圧力調整器の性能特性で、圧力変動を少なくしたい場合は、容器内圧力を一旦中圧に減圧し、さらに低圧の吐出圧力に減圧する構造を持った二段式圧力調整器にするか、一段式圧力調整器を

2

台連結したものが必要です。また、一段式でありながら特殊減圧機構により、圧力変動を小さく抑えた無変動式圧力調整器も一部のシリーズで用意しています。

⑥使用流量

本カタログ中には、各シリーズ毎の流量曲線を載せておりますが、これは窒素ガスを大気放出する値です。出口に抵抗体が接続されたり、窒素ガスより分子量の大きいガスを放出する場合は放出量が減少しますので、これらを考慮し、選定の際は放出能力が使用流量より余裕のあるものをお選びください。炭酸ガスの放出流量は、ヒーター付の圧力調整器をご使用する場合、付属の流量計または、圧力調整器の最大流量まで放出することができます。また、ヒーター無しの圧力調整器でご使用する場合は、製品の凍結を防止するため放出流量は約

3L/min

までとなります。但し、入口圧力（

P

1）

0.99MPa

以下でご使用する場合に限り、付属の流量計または、圧力調整器の最大流量まで放出することが可能です。

⑦入口継手（ボンベへの接続継手）

ボンベの接続継手は、支燃性、可燃性、不活性等、ガスの性質または、種類によって分けられています。また、輸入品ボンベや輸出の場合、規格が変わりますのでネジ寸法をご確認の上ご指定願います。尚、ガス別の継手サイズは

143

頁の「ガス別データ表」に記載しております。

⑧材質記号

本カタログ内に記載している主な材質は、下記のとおりです。

C3604BD

・

C3604BE

・

C3771BE

…銅合金、

SUS316

・

SUS304

…ステンレス鋼、

A2011BD

・

ADC

…アルミニウム合金、

ZDC

…亜鉛合金、

PCTFE

…三フッ化塩化エチレン樹脂、

PTFE

…四フッ化エチレン樹脂、

PC

…ポリカーボネイト、

PE

…ポリエチレン、

PI

…ポリイミド、

NBR

…ニトリルゴム、

FKM

…フッ素ゴム、

CR

…クロロプレンゴム、

U

…ウレタンゴム

⑨RoHS指令対応製品

RoHS

指令対応製品は、各製品の頁に RoHS指令対応製品 マークを表記しています。また、マークを表記していない製品でも対応可能な製品がございますのでお問い合わせください。 www.gasplus.com (주)세화하이테크

(4)

流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

一般産業用

選定表

用途別圧力調整器選定表

用途型式高圧側圧力計低圧側圧力計流量計主要部材質標準流量（

L /min

）入口圧力（

MPa

）調整圧力（

MPa

）設置場所認定品製作備考掲載頁ボンベ配管装置 一般産業 ガス用 高圧一段式

FR-

Ⅰ ● − ●

C3604BD

25

14.8

0.15

又は

0.2

（固定） ● ● ● ● ● ● ●

10 FR-

Ⅰ

A

● − ●

C3771BE

25

14.8

0.25

（固定） ● ● ● ● ● ● ● 無変動型

13 FR-

Ⅰ

S-OP

● ● −

C3604BD

25

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

15 FR-

Ⅰ

S-P

● ● ●

C3604BD

25

14.8

0

∼

0.4

● ● ● ● ● ● ● ●

16 FR-

Ⅰ

O

● − −

C3604BD

25

14.8

0.15

又は

0.2

（固定） ● ● ● ● ● ● ● ●

19 FR-

Ⅰ

LS-OP

● ● −

C3771BE

100

14.8

0

∼

3.5

● ● ● ● ● ● ● ●

24 SR-

Ⅰ

LS-OP

● ● −

SUS316

100

14.8

0

∼

3.5

● ● ● ● ● ● ● ●

25 NR-

Ⅰ

HM

● ● −

C3604BE

1000

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ●

26

二段式

FR-

Ⅱ ● − ●

C3604BD

25

14.8

0.25

（固定） ● ● ● ● ● ● ●

11 FR-

Ⅱ

W

● − ●

C3604BD

25

14.8

0.25

（固定） ● ● ● ● ● ● ● 二連流量計付

12 FR-

Ⅱ

S-OP

● ● −

C3604BD

25

14.8

0

∼

0.8

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

17 FR-

Ⅱ

S-P

● ● ●

C3604BD

25

14.8

0

∼

0.4

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

18 FR-

Ⅱ

O

● − −

C3604BD

25

14.8

0.15

又は

0.2

（固定） ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

20 FR-

Ⅱ

L

● ● ●

C3771BE

100

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ●

22 FR-

Ⅲ

L

● ● −

C3771BE

100

14.8

0

∼

0.8

● ● ● ● ● ● ●

23

低圧

FR-

Ⅰ

P

− ● ●

C3604BD

25

0.99

0

∼

0.4

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

14 FR-

Ⅰ

O-P

− ● −

C3604BD

25

0.99

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

21 FR-

Ⅰ

H-P

− ● ●

C3771BE

200

3

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ●

27 FR-

Ⅰ

H-OP

− ● −

C3771BE

500

3

0

∼

0.99

● ● ● ● ● ● ● ● ●

28

超高圧

HBR2

● ● −

C3604BD

200

30

0

∼

0.99

● ● ● ● ● ● ●

29 HBH1

● ● −

C3604BD

400

30

0

∼

14.8

● ● ● ● ● ● ● ● ●

30 HSH1

● ● −

SUS316

400

30

0

∼

14.8

● ● ● ● ● ● ● ● ●

31 HBRH

● ● −

C3604BD

1000

30

0

∼

0.99

● ● ● ● ● ● ● ●

32 HPR

− − −

SUS316

6000

70

3

∼

70

● ● ● ● ● ● ● ● ●

33

低圧大流量

FR-

Ⅰ

LL

− ● −

C3604BE

2000

0.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ●

34 FR-

Ⅰ

LL-D

− ● −

C3604BE

8000

0.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● パイロット式

35 SR-

Ⅰ

LL

− ● −

SUS316

1500

2

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ●

36

微圧調整型

NR-

Ⅰ

L

− ● −

C3604BD

50

1.56

0

∼

0.1

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

37 NR-5000

− ● −

ADC

25

1.56

0.001

∼

0.03

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

38 NR-6000

− ● −

ADC

50

1.56

0.001

∼

0.03

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

39 NR-8000

− ● −

AC3A

300

1.56

0.001

∼

0.02

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

40 SNG-5000

− ● −

SUS316

50

2

0.001

∼

0.02

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

41 SNG-6000

− ● −

SUS316

100

2

0.001

∼

0.02

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

41 SNG-8000

− ● −

SUS316

200

0.4

0.001

∼

0.009

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

42

高圧調整型

FR-4L

● ● −

C3771BE

1000

14.8

0

∼

14.8

● ● ● ● ● ● ●

43

炭酸ガス用ヒーター内蔵型

FCR-801K

● ● ●

C3771BE

25

12

0.15

● ●

44 FCR-801K-A

● ● ●

C3771BE

25

12

0.15

● ● 下限接点付圧力計付

45 FCR-803K

− ● ●

C3771BE

25

12

0.15

● ●

46 FCR-805K

− ● −

C3771BE

30

12

0

∼

0.3

● ●

47 FCR-807K

● ● −

C3771BE

30

12

0

∼

0.3

● ●

48 C

2

H

2 アセチレン

Air

空気

Ar

アルゴン

CO

2 炭酸ガス

C

2

H

4 エチレン

He

ヘリウム

H

2 水素

CH

4 メタン

N

2 窒素

O

2 酸素

C

3

H

8 プロパン

SF

6 六フッ化硫黄

Ar

+C

O

2 ＭＡＧガス www.gasplus.com (주)세화하이테크

(5)

流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

一般産業用

選定表

L /min

）入口圧力（

MPa

）調整圧力（

MPa

）設置場所認定品製作備考掲載頁ボンベ配管装置 一般産業 ガス用 高圧一段式

FR-

Ⅰ ● − ●

C3604BD

25

14.8

0.15

又は

0.2

（固定） ● ● ● ● ● ● ●

10 FR-

Ⅰ

A

● − ●

C3771BE

25

14.8

0.25

（固定） ● ● ● ● ● ● ● 無変動型

13 FR-

Ⅰ

S-OP

● ● −

C3604BD

25

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

15 FR-

Ⅰ

S-P

● ● ●

C3604BD

25

14.8

0

∼

0.4

● ● ● ● ● ● ● ●

16 FR-

Ⅰ

O

● − −

C3604BD

25

14.8

0.15

又は

0.2

（固定） ● ● ● ● ● ● ● ●

19 FR-

Ⅰ

LS-OP

● ● −

C3771BE

100

14.8

0

∼

3.5

● ● ● ● ● ● ● ●

24 SR-

Ⅰ

LS-OP

● ● −

SUS316

100

14.8

0

∼

3.5

● ● ● ● ● ● ● ●

25 NR-

Ⅰ

HM

● ● −

C3604BE

1000

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ●

26

二段式

FR-

Ⅱ ● − ●

C3604BD

25

14.8

0.25

（固定） ● ● ● ● ● ● ●

11 FR-

Ⅱ

W

● − ●

C3604BD

25

14.8

0.25

（固定） ● ● ● ● ● ● ● 二連流量計付

12 FR-

Ⅱ

S-OP

● ● −

C3604BD

25

14.8

0

∼

0.8

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

17 FR-

Ⅱ

S-P

● ● ●

C3604BD

25

14.8

0

∼

0.4

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

18 FR-

Ⅱ

O

● − −

C3604BD

25

14.8

0.15

又は

0.2

（固定） ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

20 FR-

Ⅱ

L

● ● ●

C3771BE

100

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ●

22 FR-

Ⅲ

L

● ● −

C3771BE

100

14.8

0

∼

0.8

● ● ● ● ● ● ●

23

低圧

FR-

Ⅰ

P

− ● ●

C3604BD

25

0.99

0

∼

0.4

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

14 FR-

Ⅰ

O-P

− ● −

C3604BD

25

0.99

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

21 FR-

Ⅰ

H-P

− ● ●

C3771BE

200

3

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ●

27 FR-

Ⅰ

H-OP

− ● −

C3771BE

500

3

0

∼

0.99

● ● ● ● ● ● ● ● ●

28

超高圧

HBR2

● ● −

C3604BD

200

30

0

∼

0.99

● ● ● ● ● ● ●

29 HBH1

● ● −

C3604BD

400

30

0

∼

14.8

● ● ● ● ● ● ● ● ●

30 HSH1

● ● −

SUS316

400

30

0

∼

14.8

● ● ● ● ● ● ● ● ●

31 HBRH

● ● −

C3604BD

1000

30

0

∼

0.99

● ● ● ● ● ● ● ●

32 HPR

− − −

SUS316

6000

70

3

∼

70

● ● ● ● ● ● ● ● ●

33

低圧大流量

FR-

Ⅰ

LL

− ● −

C3604BE

2000

0.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ●

34 FR-

Ⅰ

LL-D

− ● −

C3604BE

8000

0.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● パイロット式

35 SR-

Ⅰ

LL

− ● −

SUS316

1500

2

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ●

36

微圧調整型

NR-

Ⅰ

L

− ● −

C3604BD

50

1.56

0

∼

0.1

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

37 NR-5000

− ● −

ADC

25

1.56

0.001

∼

0.03

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

38 NR-6000

− ● −

ADC

50

1.56

0.001

∼

0.03

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

39 NR-8000

− ● −

AC3A

300

1.56

0.001

∼

0.02

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

40 SNG-5000

− ● −

SUS316

50

2

0.001

∼

0.02

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

41 SNG-6000

− ● −

SUS316

100

2

0.001

∼

0.02

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

41 SNG-8000

− ● −

SUS316

200

0.4

0.001

∼

0.009

● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

42

高圧調整型

FR-4L

● ● −

C3771BE

1000

14.8

0

∼

14.8

● ● ● ● ● ● ●

43

炭酸ガス用ヒーター内蔵型

FCR-801K

● ● ●

C3771BE

25

12

0.15

● ●

44 FCR-801K-A

● ● ●

C3771BE

25

12

0.15

● ● 下限接点付圧力計付

45 FCR-803K

− ● ●

C3771BE

25

12

0.15

● ●

46 FCR-805K

− ● −

C3771BE

30

12

0

∼

0.3

● ●

47 FCR-807K

● ● −

C3771BE

30

12

0

∼

0.3

● ●

48 C

2

H

2 アセチレン

Air

空気

Ar

アルゴン

CO

2 炭酸ガス

C

2

H

4 エチレン

He

ヘリウム

H

2 水素

CH

4 メタン

N

2 窒素

O

2 酸素

C

3

H

8 プロパン

SF

Ar

+C

O

(6)

流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

一般産業用

選定表

L /min

）入口圧力（

MPa

）調整圧力（

MPa

）設置場所認定品製作備考掲載頁ボンベ配管装置 一般産業 ガス用 炭酸ガス用ヒーター内蔵型

FCR-2501

● ● ●

C3771BE

25

12

0

∼

0.4

● ●

49 FCR-2507

● ● −

C3771BE

25

12

0

∼

0.4

● ●

50 FCR-50N

● ● ●

C3771BE

50

12

0.3

● ●

51 FCR-100N

● ● ●

C3771BE

100

12

0.5

● ●

51 FCR-150N

● ● ●

C3771BE

150

12

0.5

● ●

51 FCR-200N

● ● ●

C3771BE

200

12

0.6

● ●

51 FCR-500N

● ● ●

C3771BE

500

12

0.6

● ●

51

ノーヒーター型

NP-PF

− ● ●

C3771BE

25

12

0.15

● ● ●

53 MAG

ガス用

FR-

Ⅱ

S-MAG

● ● ●

C3604BD

25

14.8

0.25

（固定） ● ●

54 FCR-226

● − ●

C3771BE

25

14.8

0.25

（固定） ● ● ● ● ヒーター付

55 NP-201

− ● ●

C3771BE

20

14.8

0.2

● ● ● ブルドン管式流量計付

56

ガス節約器

ECORE

− − −

C3604BD

25

0.15

∼

0.3

− ● ● ● ●

57

炭酸ガス用

GP-1

− ● −

C3604BD

3

12

0

∼

0.4

● ● 飲料水用

58 HR-1600

● ● −

C3771BE

3

12

0

∼

0.6

59

理化学用 ハイグレード

GF1-3

− ● −

C3604BD

25

0.99

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 一段式

100 GF1-4-V

● ● −

C3604BD

25

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 出口バルブ付一段式

101 GF1-4-VPV

● ● −

C3604BD

25

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● パージバルブ付一段式、高純度ガスに推奨

102 GF2-4-V

● ● −

C3604BD

25

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 出口バルブ付二段式

103 GF2-4-VPV

● ● −

C3604BD

25

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● パージバルブ付二段式、高純度ガスに推奨

104 GF2-4-F

● ● ●

C3604BD

25

14.8

0

∼

0.4

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 二段式

105 GSN1-3

− ● −

SUS316

25

0.99

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 一段式

106 GSN1-4-V

● ● −

SUS316

25

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 出口バルブ付一段式

107 GSN1-4-VP

● ● −

SUS316

25

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● パージバルブ付一段式、高純度ガスに推奨

108 GSN2-4-V

● ● −

SUS316

25

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 出口バルブ付二段式

109 GSN2-4-VP

● ● −

SUS316

25

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● パージバルブ付二段式、高純度ガスに推奨

110 GSN2-4-F

● ● ●

SUS316

25

14.8

0

∼

0.4

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 二段式

111

小型二段式

MBR2

● − −

C3604BD

1

14.8

0.05

（固定） ● ● ● ● ● ● ●

114

角型配管用

BF1

− ● −

C3604BD

25

0.99

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

115 BS1

− ● −

SUS316

25

0.99

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

116 BFM

− ● −

C3604BD

10

0.99

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 小型タイプ

117 BSM

− ● −

SUS316

10

0.99

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 小型タイプ

118

超小型

GFM

− ● −

C3604BD

20

0.99

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

119 GSM

− ● −

SUS316

20

0.99

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

120

プッシュ缶用

CR-10-2

● − −

C3604BD

0.4

0.8

0.1

（固定） ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

121

医療用 呼吸用

FR-

Ⅰ

K

● − ●

C3604BD

10

14.8

0.15

（固定） ● ●

124 FR-

Ⅰ

AK

● − ●

C3771BE

10

14.8

0.15

（固定） ● ● 無変動型

125 MOR

− − ●

A2011BD

5

21

0.13

（固定） ● ● ヨーク弁取付用、ダイヤル式流量計

126 MORG

● − ●

A2011BD

5

21

0.13

127 MORH

● − ●

C3771BE

10

21

0.13

（固定） ● ● ダイヤル式流量計

128

呼吸・麻酔器用

FR-

Ⅰ

O

● − −

C3604BD

25

14.8

0.4

（固定） ● ●

129 FR-

Ⅰ

A-O

● − −

C3604BD

25

14.8

0.4

130 C

2

H

2 アセチレン

Air

空気

Ar

アルゴン

CO

2 炭酸ガス

C

2

H

4 エチレン

He

ヘリウム

H

2 水素

CH

4 メタン

N

2 窒素

O

2 酸素

C

3

H

8 プロパン

SF

Ar

+C

O

2 ＭＡＧガス

用途別圧力調整器選定表

(7)

流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

一般産業用

選定表

L /min

）入口圧力（

MPa

）調整圧力（

MPa

）設置場所認定品製作備考掲載頁ボンベ配管装置 一般産業 ガス用 炭酸ガス用ヒーター内蔵型

FCR-2501

● ● ●

C3771BE

25

12

0

∼

0.4

● ●

49 FCR-2507

● ● −

C3771BE

25

12

0

∼

0.4

● ●

50 FCR-50N

● ● ●

C3771BE

50

12

0.3

● ●

51 FCR-100N

● ● ●

C3771BE

100

12

0.5

● ●

51 FCR-150N

● ● ●

C3771BE

150

12

0.5

● ●

51 FCR-200N

● ● ●

C3771BE

200

12

0.6

● ●

51 FCR-500N

● ● ●

C3771BE

500

12

0.6

● ●

51

ノーヒーター型

NP-PF

− ● ●

C3771BE

25

12

0.15

● ● ●

53 MAG

ガス用

FR-

Ⅱ

S-MAG

● ● ●

C3604BD

25

14.8

0.25

（固定） ● ●

54 FCR-226

● − ●

C3771BE

25

14.8

0.25

（固定） ● ● ● ● ヒーター付

55 NP-201

− ● ●

C3771BE

20

14.8

0.2

● ● ● ブルドン管式流量計付

56

ガス節約器

ECORE

− − −

C3604BD

25

0.15

∼

0.3

− ● ● ● ●

57

炭酸ガス用

GP-1

− ● −

C3604BD

3

12

0

∼

0.4

58 HR-1600

● ● −

C3771BE

3

12

0

∼

0.6

59

理化学用 ハイグレード

GF1-3

− ● −

C3604BD

25

0.99

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 一段式

100 GF1-4-V

● ● −

C3604BD

25

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 出口バルブ付一段式

101 GF1-4-VPV

● ● −

C3604BD

25

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● パージバルブ付一段式、高純度ガスに推奨

102 GF2-4-V

● ● −

C3604BD

25

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 出口バルブ付二段式

103 GF2-4-VPV

● ● −

C3604BD

25

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● パージバルブ付二段式、高純度ガスに推奨

104 GF2-4-F

● ● ●

C3604BD

25

14.8

0

∼

0.4

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 二段式

105 GSN1-3

− ● −

SUS316

25

0.99

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 一段式

106 GSN1-4-V

● ● −

SUS316

25

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 出口バルブ付一段式

107 GSN1-4-VP

● ● −

SUS316

25

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● パージバルブ付一段式、高純度ガスに推奨

108 GSN2-4-V

● ● −

SUS316

25

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 出口バルブ付二段式

109 GSN2-4-VP

● ● −

SUS316

25

14.8

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● パージバルブ付二段式、高純度ガスに推奨

110 GSN2-4-F

● ● ●

SUS316

25

14.8

0

∼

0.4

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 二段式

111

小型二段式

MBR2

● − −

C3604BD

1

14.8

0.05

（固定） ● ● ● ● ● ● ●

114

角型配管用

BF1

− ● −

C3604BD

25

0.99

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

115 BS1

− ● −

SUS316

25

0.99

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

116 BFM

− ● −

C3604BD

10

0.99

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 小型タイプ

117 BSM

− ● −

SUS316

10

0.99

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 小型タイプ

118

超小型

GFM

− ● −

C3604BD

20

0.99

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

119 GSM

− ● −

SUS316

20

0.99

0

∼

0.6

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

120

プッシュ缶用

CR-10-2

● − −

C3604BD

0.4

0.8

0.1

（固定） ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

121

医療用 呼吸用

FR-

Ⅰ

K

● − ●

C3604BD

10

14.8

0.15

（固定） ● ●

124 FR-

Ⅰ

AK

● − ●

C3771BE

10

14.8

0.15

125 MOR

− − ●

A2011BD

5

21

0.13

126 MORG

● − ●

A2011BD

5

21

0.13

127 MORH

● − ●

C3771BE

10

21

0.13

（固定） ● ● ダイヤル式流量計

128

呼吸・麻酔器用

FR-

Ⅰ

O

● − −

C3604BD

25

14.8

0.4

（固定） ● ●

129 FR-

Ⅰ

A-O

● − −

C3604BD

25

14.8

0.4

130 C

2

H

2 アセチレン

Air

空気

Ar

アルゴン

CO

2 炭酸ガス

C

2

H

4 エチレン

He

ヘリウム

H

2 水素

CH

4 メタン

N

2 窒素

O

2 酸素

C

3

H

8 プロパン

SF

Ar

+C

O

(8)

流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

一般産業用

選定表

流量計選定表

※１. 流量計は、（独）産業技術総合研究所にて校正された基準測定器を使用し製作されています。

※2. 流量計の標準単位は、流量L/min、圧力MPaですが、この他NL/min、mL/min、m3_/h、SCFH（以上流量単位）、abs、atm、kPa（以上圧力単位）等の目盛でも

製作致します。 ※3. 推奨流量範囲欄にアルファベットが記載された製品の流量範囲は、上記『流量範囲一覧表』を参照してください。尚、一覧表に表記されていない範囲及び、 100mL/min以下の製作については、別途ご相談ください。用途シリーズ方式設計圧力標準（

MPa

）標準流量（

L /min

）最大設計圧力（

MPa

）推奨流量範囲（

L /min

）掲載頁小流量圧力調整器取付用

NF

_IN

又は

OUT

0.15

25

0.7

Ａ

66

配管取付用

NF-B

0.15

25

0.7

Ａ

67

パネル取付用

NF-P

0.15

25

0.7

Ａ

68

中流量圧力調整器取付用

LF

OUT

0.5

100

0.6

Ｂ

69

配管取付用

LF-B

0.5

100

0.6

Ｂ

70

パネル取付用

LF-P

0.5

100

0.6

Ｂ

71

大流量配管取付用

LF-L

0.5

300

0.6

Ｃ

72

小流量卓上計測用

TF-

Ⅰ

IN

又は

OUT

0.15

25

0.7

Ａ

73

中流量

TF-

Ⅱ

OUT

0.3

50

0.6

Ｂ

74

小流量比較検査用

TF-30-P

IN

0

30

0

3

∼

30

75

中流量

TF-60-P

0

60

0

5

∼

60

76 TF-110-P

0

110

0

10

∼

110

77

小流量計装用

PF-4

OUT

0.15

25

0.7

Ａ

78 PF-6

0.15

25

0.7

Ａ

79

中流量

PF-7

0.2

100

0.7

Ｂ

80

小流量

PF-8N

0.15

25

0.7

Ａ

81

小流量パール円形流量計

DS

IN

0.2

25

0.2

3

∼

10

5

∼

25

82

中流量

DL

0.3

50

0.5 ₂₀

10

_∼∼

₁₀₀

50

83

円形流量計

DN

OUT

0.3 30, 50

0.3 ₁₀

5

∼_∼

30 ₅₀

84 DN-L

0.35

∼

1 流量計選定表

グループ流量範囲Ａ（小流量）

10

∼

100mL/min

20

∼

200mL/min

30

∼

300mL/min

50

∼

500mL/min

0.1

∼

1L/min

0.2

∼

2L/min

0.3

∼

3L/min

0.5

∼

5L/min

1

∼

10L/min

1

∼

15L/min

1

∼

25L/min

3

∼

30L/min

Ｂ（中流量）

5

∼

50L/min

10

∼

100L/min

10

∼

150L/min

20

∼

200L/min

Ｃ（大流量）

30

∼

300L/min

50

∼

500L/min

200

∼

1000L/min

流量範囲一覧表

※3

(9)

流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

一般産業用

選定表

半導体製造プロセス用圧力調整器

　　　　シリーズ（

1 ）

高純度半導体製造プロセス用

シリーズ名仕様入口圧力_（

_MPa

_）調整圧力最大（

MPa

）標準流量（

L /min

）備考

L20

高圧標準流量

14.8

0.99

60 L25

低圧標準流量

6

0.99

20 N

2

0

、

C

ℓ2、

NH

3仕様有り

L35

低圧中流量

6

0.9

100 N

2

0

、

C

ℓ2、

NH

3仕様有り

L61

高圧大流量

14.8

0.8

300 L81

2

段式標準流量

14.8

0.6

25 N

2

0

、

C

ℓ2、

NH

3仕様有り

L88

2

段式標準流量

14.8

0.99

25 B

2

H

6、

NF

3用

L96

絶対圧仕様

0.99 −

₀

_∼

0.1 _0.2

∼

5 LH1

低圧大流量

6

0.8

500 LH2

低圧大流量

6

0.8

500 N

2

0

、

C

ℓ2、

NH

3仕様有り

LM1

低圧大流量

2

0.8

700 LL1

低圧大流量

2

0.8 1000

L18

小型標準流量

0.99

0.6

20 C

_1.5

ℓ2_”仕様有り

_IGS

_{仕様の製作可}

LS2

低圧標準流量

2

0.6

20 N

2

0

、

C

ℓ2、

NH

3仕様有り

L

シリーズ www.gasplus.com (주)세화하이테크

(10)

流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

一般産業用

選定表

半導体製造プロセス用圧力調整器

　　　　シリーズ（

2 ）

半導体製造プロセス用

シリーズ名仕様 _（入口圧力

_MPa

MPa

）標準流量（

L /min

）備考

R20

高圧標準流量

14.8

1.2

60 R25

低圧標準流量

6

1.2

20 N

2

0

、

C

ℓ2仕様有り

R35

低圧中流量

6

0.99

100 N

2

0

、

C

ℓ2仕様有り

R61

高圧大流量

14.8

0.99

300 R71

出口高圧仕様

14.8

12

25 R81

２段式標準流量

14.8

0.6

25 N

2

0

仕様有り

RH1

低圧大流量

6

0.99

500 RLD

パイロット式_大流量

2

0.8 6000

シリーズ名仕様 _（入口圧力

_MPa

MPa

）標準流量（

L /min

）備考

U20

高圧標準流量

14.8

0.99

60 U25

低圧標準流量

6

0.99

20 N

2

0

、

C

ℓ2、

NH

3仕様有り

U31

低圧中流量

6

0.99

100 UDM

電子制御小型_標準流量

0.99

0.6

50

1.5

”

IGS

仕様の製作可

UDL

電子制御小型_大流量

0.99

0.6

150

1.5

”

IGS

仕様の製作可

超高純度半導体製造プロセス用

R

シリーズ

U

シリーズ www.gasplus.com (주)세화하이테크

(11)

圧力調整器

… ………

10〜43

FR-

Ⅰ

F R-

Ⅱ

FR-

Ⅱ

W FR-

Ⅰ

A FR-

Ⅰ

P FR-

Ⅰ

S-OP FR-

Ⅰ

S-P

FR-

Ⅱ

S-OP FR-

Ⅱ

S-P FR-

Ⅰ

O FR-

Ⅱ

O FR-

Ⅰ

O-P FR-

Ⅱ

L

FR-

Ⅲ

L FR-

Ⅰ

LS-OP SR-

Ⅰ

LS-OP NR-

Ⅰ

HM FR-

Ⅰ

H-P

FR-

Ⅰ

H-OP HBR2 HBH1 HSH1 HBRH HPR FR-

Ⅰ

LL

FR-

Ⅰ

LL-D SR-

Ⅰ

LL NR-

Ⅰ

L NR-5000 NR-6000

NR-8000 SNG-5000 SNG-6000 SNG-8000 FR-4L

炭酸ガス用ヒーター内蔵

圧力調整器・ガス加温器

………

44〜52

FCR-

801K FCR-801K-A FCR-803K FCR-805K

FCR-

807K FCR-2501 FCR-2507 FCR-N SCH

炭酸ガス用ノーヒーター型圧力調整器

… …………

53 NP-PF

MAGガス用圧力調整器

………

54〜56

FR-

Ⅱ

S-MAG FCR-226 NP-201

溶接機用ガス節約器

………

57 ECORE

炭酸ガス用圧力調整器

………

58、5

GP-1 HR-1600

元圧計・バルブ類

………

60〜63

391 392-P 392 SPMV

ガスセイバー

… ………

64 YGS

圧力調整器・

加温器・節約器

一般産業用

(12)

流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

選定表

一般産業用

FR-

Ⅰ

シリーズ

流量計付一段式圧力調整器

FR-

Ⅰ

シリーズ

流量計付一段式圧力調整器

調整器本体 C3604BD 調整器カバー ZDC 弁座 C3604BD 弁シート NBR ダイヤフラム NBR 安全弁シート NBR

外観図

約７８流量調整ハンドル約１７８約５５約１３９ φ８．５ホース継手約６７安全弁高圧側圧力計 IN Ｗ２２−１４山（右）流量計 OUT ［備考］ ■上記以外の仕様につきましては、別途ご相談ください。 ■『※ 』の付いている製品は、標準在庫品です（但し、数量に限りがありますので、弊社営業部までお問い合わせください）。 15 10 5 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1.0 入口圧力 P1 ［MPa］調整圧力 P 2 ［ M P a ］

元圧変動曲線図

［備考］ ■単位：mm ■各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。シリーズ高圧側圧力計 MPa 流量計入口継手出口継手ガス名 _L/min流量方式設計圧力_MPa FR-I 25 Ar 25 IN 0.15 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 ※ 25 N2 25 IN 0.15 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 ※ 25 O2 25 IN 0.15 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 H2 30 IN 0.15 W22（左）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 He 30 IN 0.15 W21（左）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 Ar 25 IN 0.2 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手高圧側圧力計 25MPa計入口圧力（P1） 14.8MPa以下調整圧力（P2） 0.15 又は 0.2MPa 流量目盛範囲 1∼25L/min 流量計方式 IN式

標準仕様

流量計設計圧力 0.15又は0.2MPa 入口継手 W22-14山（右）袋ナット出口継手 φ_8.5mmホース継手付属品ボンベパッキン（ファイバー）×2枚質量 1.4kg

主要部材質

仕様一覧表

［備考］ ■左記データは、標準品での測定値であり、保証値ではありません。また、ガス温度等により変化します。

RoHS指令対応製品

(13)

11 流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

選定表

一般産業用

FR-

Ⅱ

シリーズ

流量計付二段式圧力調整器

調整器本体 C3604BD 調整器カバー ZDC 弁座 C3604BD 弁シート NBR ダイヤフラム NBR 安全弁シート NBR シリーズ高圧側圧力計 MPa 流量計入口継手出口継手ガス名 _L/min流量方式設計圧力_MPa FR-Ⅱ 25 Ar 25 OUT 0.25 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 ※ 25 Ar 25 OUT 0.2 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 N2 25 OUT 0.2 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 O2 25 OUT 0.2 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手

FR-

Ⅱ

シリーズ

流量計付二段式圧力調整器

約５５約１３９約１３０低圧側安全弁約６７ φ８．５ホース継手高圧側安全弁 IN 約１７８流量調整ハンドル流量計高圧側圧力計Ｗ２２−１４山（右） OUT

外観図

［備考］ ■単位：mm ■各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。

元圧変動曲線図

15 10 5 0 0 0.05 0.1 0.15 0.2 入口圧力 P1 ［MPa］調整圧力 P 2 ［ M P a ］［備考］ ■上記以外の仕様につきましては、別途ご相談ください。 ■本製品の流量計は、Max.100mL/min∼30L/minの範囲で製作可能です。 ■『※ 』の付いている製品は、標準在庫品です（但し、数量に限りがありますので、弊社営業部までお問い合わせください）。高圧側圧力計 25MPa計入口圧力（P1） 14.8MPa以下調整圧力（P2） 0.25MPa 流量目盛範囲 1∼25L/min 流量計方式 OUT式

標準仕様

流量計設計圧力 0.25MPa 入口継手 W22-14山（右）袋ナット出口継手 φ_8.5mmホース継手付属品ボンベパッキン（ファイバー）×2枚質量 2.0kg

主要部材質

仕様一覧表

RoHS指令対応製品

(14)

流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

選定表

一般産業用

FR-

Ⅱ

W

シリーズ

二連流量計付二段式圧力調整器

FR-

Ⅱ

W

シリーズ

二連流量計付二段式圧力調整器

調整器本体 C3604BD 調整器カバー ZDC 弁座 C3604BD 弁シート NBR ダイヤフラム NBR 安全弁シート NBR シリーズ高圧側圧力計_MPa 流量計入口継手出口継手ガス名流量 L/min 方式設計圧力MPa FR-ⅡW 25 Ar 25 OUT 0.25 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 ※ 25 Ar 25 OUT 0.2 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 N2 25 OUT 0.2 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 O2 25 OUT 0.2 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手［備考］ ■上記以外の仕様につきましては、別途ご相談ください。 ■本製品の流量計は、Max.100mL/min∼30L/minの範囲で製作可能です。 ■『※ 』の付いている製品は、標準在庫品です（但し、数量に限りがありますので、弊社営業部までお問い合わせください）。

外観図

［備考］ ■単位：mm ■各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。約５５低圧側安全弁高圧側安全弁約２３０Ｗ２２−１４山（右）高圧側圧力計 φ８．５ホース継手 60 約８９約６６流量計流量調整ハンドル約１８５約１２３約６６約１７８約６２ OUT IN OUT

元圧変動曲線図

15 10 5 0 0 0.05 0.1 0.15 0.2 入口圧力 P1 ［MPa］調整圧力 P 2 ［ M P a ］高圧側圧力計 25MPa計入口圧力（P1） 14.8MPa以下調整圧力（P2） 0.25MPa 流量目盛範囲 1∼25L/min 流量計方式 OUT式

標準仕様

主要部材質

仕様一覧表

［備考］ ■左記データは、標準品での測定値であり、保証値ではありません。また、ガス温度等により変化します。 www.gasplus.com (주)세화하이테크

(15)

13 流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

選定表

一般産業用

FR-

Ⅰ

A

シリーズ

流量計付無変動型圧力調整器

調整器本体 C3771BE 調整器カバー ZDC 弁シート PTFE ダイヤフラム NBR 安全弁シート NBR シリーズ高圧側圧力計 MPa 流量計入口継手出口継手ガス名 _L/min流量方式設計圧力_MPa FR-IA 25 Ar 25 OUT 0.25 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 ※ 25 Ar 25 OUT 0.2 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 N2 25 OUT 0.2 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 O2 25 OUT 0.2 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手

FR-

Ⅰ

A

シリーズ

流量計付無変動型圧力調整器

外観図

［備考］ ■単位：mm ■各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。高圧側圧力計約１３９約６７ φ８．５ホース継手約５５約１７８約９２約３８Ｗ２２−１４山（右）流量計 IN OUT 流量調整ハンドル安全弁

元圧変動曲線図

入口圧力 P1 ［MPa］調整圧力 P 2 ［ M P a ］ 15 10 5 0 0 0. 1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1. 0 ［備考］ ■上記以外の仕様につきましては、別途ご相談ください。 ■本製品の流量計は、Max.100mL/min∼30L/minの範囲で製作可能です。 ■『※ 』の付いている製品は、標準在庫品です（但し、数量に限りがありますので、弊社営業部までお問い合わせください）。高圧側圧力計 25MPa計入口圧力（P1） 14.8MPa以下調整圧力（P2） 0.25MPa 流量目盛範囲 1∼25L/min 流量計方式 OUT式

標準仕様

仕様一覧表

主要部材質

RoHS指令対応製品

(16)

流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

選定表

一般産業用

FR-

Ⅰ

P

シリーズ

配管用流量計付圧力調整器

FR-

Ⅰ

P

シリーズ

配管用流量計付圧力調整器

調整器本体 C3604BD 調整器カバー ZDC 弁座 C3604BD 弁シート NBR ダイヤフラム NBR 安全弁シート NBR シリーズ低圧側圧力計_MPa 流量計入口継手出口継手ガス名 _L/min流量方式設計圧力_MPa FR-IP

0.6 MAG、Ar/CO（両目盛）2 25 OUT 0.2 3/4-16UNF袋ナット φ8.5mmホース継手 ※

0.6 Ar 25 OUT 0.25 3/4-16UNF袋ナット φ8.5mmホース継手 0.6 Ar 25 OUT 0.2 3/4-16UNF袋ナット φ8.5mmホース継手 0.6 N2 25 OUT 0.2 3/4-16UNF袋ナット φ8.5mmホース継手 0.6 O2 25 OUT 0.2 3/4-16UNF袋ナット φ8.5mmホース継手［備考］ ■上記以外の仕様につきましては、別途ご相談ください。 ■本製品の流量計は、Max.100mL/min∼30L/minの範囲で製作可能です。 ■『※ 』の付いている製品は、標準在庫品です（但し、数量に限りがありますので、弊社営業部までお問い合わせください）。

外観図

流量調整ハンドル約５５約６６ φ８．５ホース継手安全弁約１３９約１１２約９６低圧側圧力計約１７８流量計圧力調整ハンドル 3/4-16 UNF OUT IN ［備考］ ■単位：mm ■各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。

元圧変動曲線図

15 10 5 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1.0 入口圧力 P1 ［MPa］調整圧力 P 2 ［ M P a ］低圧側圧力計 0.6MPa計入口圧力（P1） 0.99MPa以下調整圧力（P2） 0∼0.4MPa 流量目盛範囲 1∼25L/min 流量計方式 OUT式

標準仕様

流量計設計圧力 0.2MPa 入口継手 3/4-16UNF袋ナット出口継手 φ_8.5mmホース継手付属品なし質量 1.4kg

主要部材質

仕様一覧表

(17)

15 流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

選定表

一般産業用

FR-

Ⅰ

S-OP

シリーズ

ボンベ取付型一段式圧力調整器

調整器本体 C3604BD 調整器カバー ZDC 弁座 C3604BD 弁シート NBR ダイヤフラム NBR 安全弁シート NBR シリーズ高圧側圧力計 MPa 低圧側圧力計MPa 入口継手出口継手 FR-IS-OP 25 0.6 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 ※ 25 1 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 ※ 25 0.6 W22（左）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 1 W22（左）袋ナット φ8.5mmホース継手

FR-

Ⅰ

S-OP

シリーズ

ボンベ取付型一段式圧力調整器

［備考］ ■上記以外の仕様につきましては、別途ご相談ください。 ■『※ 』の付いている製品は、標準在庫品です（但し、数量に限りがありますので、弊社営業部までお問い合わせください）。

外観図

流量曲線図

流量［NL/min］窒素ガス［N₂］調整圧力 P 2 ［ M P a ］ 50 100 150 200 250 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 P₁＝１∼１５ＭＰａ 0 0 最大使用流量使用限界流量低圧側圧力計高圧側圧力計安全弁 φ８．５ホース継手ストップバルブストップバルブハンドル約８２約１６８Ｗ２２−１４山（右） OUT IN 約１２８圧力調整ハンドル約１２４約９６［備考］ ■単位：mm ■各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。高圧側圧力計 25MPa計低圧側圧力計 0.6，1，1.6MPa計入口圧力（P1） 14.8MPa以下調整圧力（P2）フルスケールの60%

標準仕様

入口継手 W22-14山（右）袋ナット出口継手 φ8.5mmホース継手付属品ボンベパッキン（ファイバー）×2枚質量 1.5kg

仕様一覧表

主要部材質

(18)

流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

選定表

一般産業用

FR-

Ⅰ

S-P

シリーズ

ボンベ取付型流量計付一段式圧力調整器

FR-

Ⅰ

S-P

シリーズ

ボンベ取付型流量計付一段式圧力調整器

調整器本体 C3604BD 調整器カバー ZDC 弁座 C3604BD 弁シート NBR ダイヤフラム NBR 安全弁シート NBR シリーズ高圧側圧力計_MPa 低圧側圧力計_MPa 流量計入口継手出口継手ガス名 _L/min流量方式設計圧力_MPa FR-IS-P 25 0.6 Ar 25 IN 0.15 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 0.6 N2 25 IN 0.15 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 0.6 O2 25 IN 0.15 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 0.6 H2 30 IN 0.15 W22（左）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 0.6 He 30 IN 0.15 W21（左）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 0.6 Ar 25 IN 0.2 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手［備考］ ■上記以外の仕様につきましては、別途ご相談ください。

外観図

低圧側圧力計高圧側圧力計Ｗ２２−１４山（右）安全弁約１７８約１７８約８２約１１２流量調整ハンドル φ８．５ホース継手約１７８約５５圧力調整ハンドル流量計 IN OUT ［備考］ ■単位：mm ■各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。

元圧変動曲線図

15 10 5 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1.0 入口圧力 P1 ［MPa］調整圧力 P 2 ［ M P a ］高圧側圧力計 25MPa計低圧側圧力計 0.6MPa計入口圧力（P1） 14.8MPa以下調整圧力（P2） 0∼0.4MPa 流量目盛範囲 1∼25L/min 流量計方式 IN式

標準仕様

流量計設計圧力 0.15又は0.2MPa 入口継手 W22-14山（右）袋ナット出口継手 φ_8.5mmホース継手付属品ボンベパッキン（ファイバー）×2枚質量 1.6kg

仕様一覧表

主要部材質

(19)

17 流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

選定表

一般産業用

FR-

Ⅱ

S-OP

シリーズ

ボンベ取付型二段式圧力調整器　

FR-

Ⅱ

S-OP

シリーズ

ボンベ取付型二段式圧力調整器

調整器本体 C3604BD 調整器カバー ZDC 弁座 C3604BD 弁シート NBR ダイヤフラム NBR 安全弁シート NBR シリーズ高圧側圧力計 MPa 低圧側圧力計MPa 入口継手出口継手 FR-ⅡS-OP 25 0.1 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 ※ 25 0.3 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 ※ 25 0.6 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 ※ 25 1 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 ※ 25 0.3 W22（左）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 0.6 W22（左）袋ナット φ8.5mmホース継手 ※ 25 1 W22（左）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 0.6 W21（左）袋ナット φ8.5mmホース継手 ※ ［備考］ ■上記以外の仕様につきましては、別途ご相談ください。 ■『※ 』の付いている製品は、標準在庫品です（但し、数量に限りがありますので、弊社営業部までお問い合わせください）。低圧側圧力計高圧側圧力計低圧側安全弁高圧側安全弁約８２ φ８．５ホース継手約１６８ストップバルブＷ２２−１４山（右）ストップバルブハンドル IN OUT 約１６４約６２約１２８圧力調整ハンドル

外観図

流量曲線図

流量［NL/min］窒素ガス［N₂］ 150 200 250 100 50 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 P₁=２∼１５ＭＰａ調整圧力 P 2 ［ M P a ］ 0 0 最大使用流量使用限界流量高圧側圧力計 25MPa計低圧側圧力計 0.1，0.3，0.6，1MPa計入口圧力（P1） 14.8MPa以下調整圧力（P2） 0∼0.4MPa

標準仕様

入口継手 W22-14山（右または左）袋ナット出口継手 φ8.5mmホース継手付属品ボンベパッキン（ファイバー）×2枚質量 1.9kg

仕様一覧表

主要部材質

(20)

流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

選定表

一般産業用

FR-

Ⅱ

S-P

シリーズ

ボンベ取付型流量計付二段式圧力調整器

FR-

Ⅱ

S-P

シリーズ

ボンベ取付型流量計付二段式圧力調整器　

調整器本体 C3604BD 調整器カバー ZDC 弁座 C3604BD 弁シート NBR ダイヤフラム NBR 安全弁シート NBR シリーズ高圧側圧力計 MPa 低圧側圧力計MPa 流量計入口継手出口継手ガス名 _L/min流量方式設計圧力_MPa FR-ⅡS-P 25 0.6 Ar 25 OUT 0.25 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 ※ 25 0.6 N2 25 OUT 0.2 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 ※ 25 0.6 O2 25 OUT 0.2 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手［備考］ ■上記以外の仕様につきましては、別途ご相談ください。 ■本製品の流量計は、Max.100mL/min∼30L/minの範囲で製作可能です。 ■『※ 』の付いている製品は、標準在庫品です（但し、数量に限りがありますので、弊社営業部までお問い合わせください）。

外観図

高圧側圧力計低圧側圧力計約８２流量調整ハンドル高圧側安全弁低圧側安全弁 φ８．５ホース継手約１７８約１７８約５５約１６４約６２Ｗ２２−１４山（右）流量計圧力調整ハンドル IN OUT ［備考］ ■単位：mm ■各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。

元圧変動曲線図

15 10 5 0 0 0.05 0.1 0.15 0.2 入口圧力 P1 ［MPa］調整圧力 P 2 ［ M P a ］高圧側圧力計 25MPa計低圧側圧力計 0.6MPa計入口圧力（P1） 14.8MPa以下調整圧力（P2） 0∼0.4MPa 流量目盛範囲 1∼25L/min 流量計方式 OUT式

標準仕様

仕様一覧表

主要部材質

RoHS指令対応製品

(21)

1 流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

選定表

一般産業用

FR-

Ⅰ

0 シリーズ

一段式圧力調整器　

FR-

Ⅰ

0

シリーズ

一段式圧力調整器

［備考］ ■上記以外の仕様につきましては、別途ご相談ください。シリーズ高圧側圧力計_MPa 調整圧力（_MPa P2）入口継手出口継手 FR-IO 25 0.15 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 0.2 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 0.25 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 0.15 W21（左）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 0.2 W21（左）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 0.25 W21（左）袋ナット φ8.5mmホース継手高圧側圧力計安全弁ストップバルブストップバルブハンドル約１２７ IN Ｗ２２−１４山（右）約１５３約６７ OUT φ８．５ホース継手［備考］ ■単位：mm ■各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。

流量曲線図

流量［NL/min］窒素ガス［N₂］調整圧力 P 2 ［ M P a ］ 50 100 150 200 250 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 P₁＝１∼１５ＭＰａ 0 0 最大使用流量使用限界流量高圧側圧力計 25MPa計入口圧力（P1） 14.8MPa以下調整圧力（P2） 0.15 又は 0.2MPa 入口継手 W22-14山（右）袋ナット

標準仕様

出口継手 φ8.5mmホース継手付属品ボンベパッキン（ファイバー）×2枚質量 1.2kg

外観図

仕様一覧表

主要部材質

(22)

流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

選定表

一般産業用

FR-

Ⅱ

0

シリーズ

二段式圧力調整器

FR-

Ⅱ

0 シリーズ

二段式圧力調整器　

調整器本体 C3604BD 調整器カバー ZDC 弁座 C3604BD 弁シート NBR ダイヤフラム NBR 安全弁シート NBR ［備考］ ■上記以外の仕様につきましては、別途ご相談ください。シリーズ高圧側圧力計_MPa 調整圧力（_MPa P2）入口継手出口継手 FR-ⅡO 25 0.15 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 0.2 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 0.25 W22（右）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 0.15 W21（左）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 0.2 W21（左）袋ナット φ8.5mmホース継手 25 0.25 W21（左）袋ナット φ8.5mmホース継手

外観図

約６７ φ８．５ホース継手高圧側圧力計低圧側安全弁高圧側安全弁ストップバルブ約１５３Ｗ２２−１４山（右）ストップバルブハンドル IN OUT 約１３０約１２８約６２［備考］ ■単位：mm ■各寸法は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください。

流量曲線図

流量［NL/min］窒素ガス［N₂］ 150 200 250 100 50 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 P₁=２∼１５ＭＰａ調整圧力 P 2 ［ M P a ］ 0 0 最大使用流量使用限界流量高圧側圧力計 25MPa計入口圧力（P1） 14.8MPa以下調整圧力（P2） 0.15 又は 0.2MPa 入口継手 W22-14山（右）袋ナット

標準仕様

出口継手 φ8.5mmホース継手付属品ボンベパッキン（ファイバー）×2枚質量 1.8kg

仕様一覧表

主要部材質

(23)

21 流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

選定表

一般産業用

FR-

Ⅰ

0-P

シリーズ

配管用圧力調整器

FR-

Ⅰ

0-P

シリーズ

配管用圧力調整器

［備考］ ■上記以外の仕様につきましては、別途ご相談ください。シリーズ低圧側圧力計_MPa 入口継手出口継手 FR-IO-P 0.3 Rc1/4 Rc1/4 0.6 Rc1/4 Rc1/4 1 Rc1/4 Rc1/4 0.3 1/4SUSパイプ継手 1/4SUSパイプ継手 0.6 1/4SUSパイプ継手 1/4SUSパイプ継手 1 1/4SUSパイプ継手 1/4SUSパイプ継手パネル 30 ° 圧力調整ハンドルパネル取付穴（φ３０）約６３ IN OUT ２−Ｍ５×０．８（深さ７）低圧側圧力計 Rc1/4 安全弁Ｍ２９×１約４３ 9.5 ｍａｘ．約１０８ φ49 φ55 約１１８ Rc1/4 P.C.D₄₀ _OUT

外観図

流量曲線図

流量［NL/min］窒素ガス［N₂］調整圧力 P 2 ［ M P a ］ 50 100 150 200 250 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 P₁＝0.99ＭＰａ 0 0 最大使用流量使用限界流量低圧側圧力計 0.3，0.6，1MPa計入口圧力（P1） 0.99MPa以下調整圧力（P2） 0∼0.6MPa 入口継手 Rc1/4

標準仕様

出口継手 Rc1/4 付属品なし質量 1.2kg

( 주 ) 세화하이테크

総合カタログ

圧力調整器・流量計・ガス供給装置

http://www.yutaka-crown.com

総

合

カ

タ

ロ

グ

目 次

圧力調整器の選択の指針



用途別圧力調整器選定表

2

流量計選定表

6

半導体製造プロセス用圧力調整器

7

一般産業用圧力調整器・加温器・節約器

9

流量計

65

ガス供給装置

85

理化学・標準ガス用圧力調整器

99

医療ガス用圧力調整器

23

参考資料

35

圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、

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圧力調整器・流量計・ガス供給装置



流量計

装置関係

理化学用

医療用

参考資料

一般産業用

選定表

圧力調整器の選択の指針

選定には、次の点を考慮していただきますようお願い申し上げます。

①容器（ボンベ ）内圧計

14.8MPa

35

143

②低圧側圧力計

60%

2/3

1.5

③安全弁

80%

110%

④性 能

4

1

2

3

4

⑤一段式圧力調整器と二段式圧力調整器

2

⑥使用流量

3L/min

P

0.99MPa

⑦入口継手（ボンベへの接続継手 ）

143

⑧材質記号

C3604BD

C3604BE

C3771BE

SUS316

目次

23

35

①容器（ボンベ）内圧計

④性　能

⑦入口継手（ボンベへの接続継手）