高周波インピーダンスの標準と計測方法に関する調査研究

1 章　序論

 電気や磁気が関わる現象は不思議な現象としてその 存在は紀元前から知られてきた．18 世紀頃にはキャベン ディッシュやクーロン等によりこれらの現象は定量化さ れた研究対象となり，以降は多くの発見や研究成果が続 いた．1820 年にはエルステッドにより電気的現象と磁気 的現象の関係が発見され，ファラデーによる誘導法則の 発見，電磁気現象の基礎となるマクスウェル方程式とヘ ルツによる電磁波の発見へと繋がり，古典電磁気学の理 論体系がまとめられた^1）．他方では，電磁気学理論の構 築と並行して，その有用性も注目された．マルコーニに よる無線通信はその一例で，1896 年には世界初の無線 通信方式の特許を取得し，大西洋横断通信を成功させた．

第 1 次世界大戦の勃発により，通信手段としての電磁波 の重要性は増し，より安定で高い周波数の電磁波を発生・

増幅させる技術の開発に繋がった．その後も電磁波の利 用は拡大し，現在では様々な分野で用いられている．先

端科学技術分野においては天体からの電磁波を観測する 電波天文学等に用いられ，個人生活においてはテレビ等 の放送受像機，携帯電話や無線

LAN

 電磁波を利用する先端科学技術において物理量の計測 に正確さが要求されることは言うまでもなく，産業にお いても電磁波を利用する機器の生産量および輸出量が増 加すると，その品質が重要となる．電磁波を積極的に利 用する高クロック周波数のコンピュータ等以外にも，電 気製品からは電磁波が放射されているため，電磁環境適 合性（ElectroMagnetic Compatibility, EMC）の対象とな る不要電磁波放射が各国で規制されている．この状況に 取り組む際に重要なことは，電磁波に関連する各種の物 理量を正確に計測することである．さらに，全世界的に 計測結果の整合性を確保するためには，電磁波計測の結 果を保証する仕組みの構築が不可欠である．この仕組み に必要な要素は，次の 4 点に大別することができる^2）．   1 ：国家標準の確立

高周波インピーダンスの標準と計測方法に関する調査研究

岸川諒子^＊

（平成22年12月 1 日受理）

A survey on impedance standards and measurements in the range of microwave and millimeter wave frequencies

Ryoko KISHIKAWA

Abstract

The activity of the development of the metrology standards and the measurement technique for microwave and millimeter wave impedance was investigated. NMIJ had developed metrology standards for the microwave impedance of coaxial transmission lines of 7 mm, Type N50, Type N75 and 3.5 mm in the frequency range from

is necessary to develop the impedance standards in the range of millimeter and sub-millimeter wave frequen- cies due to the increasing demands from the Japanese industrial society. This report reviews the study on the technology for the millimeter ware impedance of waveguides mainly in NMIJ and in other national metrology research institutes.

＊計測標準研究部門 電磁波計測科高周波標準研究室

  2 ：トレーサビリティ体系の確立   3 ：国際比較の実施

  4 ：ユーザーによる適切な計測管理

こ れ ら の 手 順 は 国 際 標 準 化 機 構（International

Organization for Standardization, ISO）および国際電気

IEC）による ISO/IEC 17025 の品質システム等の国際規

des Poids et Mesures, CIPM）を中心として推進されて

and Technology, AIST）計量標準総合センター（National Metrology Institute of Japan, NMIJ）の役割は産業，先

 本調査研究の目的は，高周波インピーダンス標準の意 義およびニーズ調査を行い，NMIJにおけるこれまでの 成果も検証した上で，今後取り組むべき研究開発の方向 を検討することである．まず 1 章では概論として電磁波 に関する人類の理解と利用の歴史および社会基盤として の現状を記述した．また，計測結果の品質保証に重要な 国家標準の開発，トレーサビリティ体系の確立，国際比 較の実施およびユーザーによる適切な計測管理の 4 要素 を円滑に遂行することが

NMIJ

標準供給が行われている同軸線路を例にして，1 章で指 摘した国家標準，トレーサビリティ体系，国際比較の現 状を述べ，その波及効果についても言及する．さらに

4 章では，現在進められている導波管線路の高周波イン ピーダンス標準開発における現状と課題を述べ，最後の 5 章では本調査研究をまとめる．

2 章　高周波インピーダンス

2. 1　伝送線路

 定常状態における直流回路では，電圧と電流は回路中 のどの位置でも時間的に一定の状態が保たれる．低周波 回路では，例えば周波数が 10

Hz

km

km

km

 一方，高周波の電気信号は波長が短くなり，例えば 100

GHz

mm

回路上で約 3

mm

 伝送線路の重要な特徴は，電気的不連続が存在すると，

その面で電磁波が反射するという現象である．つまり，

伝播した電磁波エネルギーが，不連続面からは反射と透 過の電磁波エネルギーに分離されて伝播することにな る．伝送線路の電気的不連続は伝送線路の構造および材 料の不連続に起因する．そのため，伝送線路は電気特性 が変化しないよう，均一な構造と材料で作成されている．

このように幾何的構造（寸法）および材料（物性値）か ら高周波電気特性が決定される伝送線路には，一般的に 同軸線路と導波管線路がある．図 1（a）および（b）に それらの写真と簡略化した構造を示す．伝送線路は接続 をして回路に組み込むため，接続および切り離しの機能 を有する．そのような機能を持った個所でも構造的不連 続が生じないように工夫されており，同軸線路にはネジ 構造のコネクタが，導波管線路にはつき合わせてネジを 締めるフランジが採用されている．

 同軸線路と導波管線路の周波数帯域を図 2 に示す．同 軸線路には伝播原理による下限周波数はない．しかし，

周波数が高い領域では径が小さくなり，内部導体の強度 を確保できないため実用的ではない．他方，導波管線路 は伝播原理による下限周波数があるものの，内部導体が

ない単純な構造であるため，50

GHz

2. 2　伝送線路の特性^3）

 高周波インピーダンスとは，電磁波が伝播する際の応 答を表わす物理量である．特に，伝送線路の電磁波応答 を表す場合は，特性インピーダンスが用いられる．以下，

同軸線路の場合を例にして高周波電磁波応答の記述方法 についてまとめる．

 同軸線路における特性インピーダンス

Z

（1）

 Er：電場の動径方向成分

 Hθ：磁場の回転方向成分

であり，単位はΩである．また，伝送線路の電気的不連 続により電磁波の反射が起きることは前述したが，伝送 線路の特性インピーダンス

Z

Γ

（2）

ここに，

　Z：伝送線路に接続された素子のインピーダンス

S（scattering，散乱）パラメータが用い

S

（3）

と表わされる．ここに，

 ai：入射波振幅  bi：反射波振幅  Sii：反射特性  Sij

(i

j)：透過特性

である．

S

j

i

波振幅は絶対値が電力の平方根に，位相は電場の横方向 成分に等しいと定義される．伝送線路の特性インピーダ ンス

Z

S

 高周波インピーダンスの評価を行うことで高周波回路 内における電磁波の伝播経路が把握可能になるため，高 周波電力や減衰量等の高周波物理量計測に高周波イン ピーダンスは不可欠である．具体的な例として，高周波 電力の計測を挙げる．電力計に接続した伝送線路の特性 インピーダンスと電力計のインピーダンスが異なると，

式（2）が表わすように電磁波の反射が生じる．この場合，

計測対象の電力は伝送線路から電力計に入射する電磁波 の電力である．しかし，電力計の指示値は反射電磁波の 電力を差し引いた透過電磁波の電力値となり，高周波イ 図 1 伝送線路の写真と模式図：（a）同軸線路，（b）

導波管線路

図 2 同軸および導波管線路の使用周波数帯域：名称 は伝送線路の特徴的な長さによって決められて いる．同軸線路 7

mm

mm

WR-

（WM-0864）は開口長辺の規格長さが 864

µm

図 3 2 ポート素子の

S

ンピーダンスを評価しなければ正確な入射および反射電 力がわからないという問題が生じる．つまり，高周波計 測においては，高周波インピーダンスの評価を行い，計 測すべき電磁波の伝播状態を明らかにすることが重要で ある．実際に，NMIJ電磁波計測科では高周波電力，減 衰量，雑音，アンテナ係数等の高周波物理量標準を開発 するために高周波インピーダンス標準の供給が行われて おり，インフラとして利用されている．

3 章　同軸線路の高周波インピーダンス標準と計測

 これまでの標準開発の成果として，NMIJでは同軸線 路の高周波インピーダンス標準供給が行われている．こ こでは，1 章で述べた 4 要素のうち特に計量標準確立の 過程として，同軸線路の 1：国家標準の確立，2：トレー サビリティ体系の確立，3：国際比較の実施について記 す．但し，最後の要素である 4：ユーザーによる適切な 計測管理の要素が確保されることにより，計量標準の体 系が整い，以下の 3 章で記す全内容の効果が発揮される．

3. 1　同軸線路高周波インピーダンス標準の開発  日本における高周波インピーダンス標準の開発は以前 にも旧電子技術総合研究所において行われていたが，当 時はトレーサビリティの概念が普及しておらず，実際に 利用されることは少なかった．その後，20 世紀の終わ り頃にトレーサビリティの概念や適合性試験等が欧米を 中心にして拡大すると，貿易を重要視する日本において も計測値の国家標準へのトレーサビリティが注目される ようになった．そこで，産業技術総合研究所の発足前後 から，標準供給を目標にした研究開発が開始された^4）． 社会で必要とされる標準の供給体制が整備されるまでの 過渡期には，校正事業者を含むユーザーは海外の標準研 究機関や校正事業者による校正に依存していた．しかし，

海外での校正にかかる長い時間とその間を埋める代替機 器の準備，高額な校正費や輸送費等の負担が大きく，さ らに手続きが煩雑で使用言語が異なることなどにより，

国際競争力の観点から日本企業の障害となることが大き な問題となっていた^5）．このような状況を打開するため に，日本における高周波インピーダンス標準開発の要望 が強くなっていたことが背景にある．標準の開発にあた り，校正事業者の校正実績，産業界からの要望，NMIJ における他の高周波物理量標準の開発状況および海外標 準研究機関の標準整備状況を総合的に考慮し，まず同軸 線路 7

mm， Type N50，3．5 mm

いられている．パイプ状の外部導体と細い内部導体で構 成されており，同軸状に組み合わせることで内部導体と 外部導体が空気によって絶縁される構造になっている．

その特性インピーダンスは同軸構造の境界条件を設定し てマクスウェル方程式を解くことで得られ，次式で表わ される^7）．

（4）

ここに，

 Z0：特性インピーダンス（Ω）

 a：外部導体内径（m）

 b：内部導体外径（m）

μ：導体の透磁率（H/m）

ε：空気の誘電率（F/m）

ρ：導体の電気抵抗率（Ω m）

ω：角振動数（rad/s）

である．外部導体の内径

a

b

 NMIJで行われている同軸線路における高周波イン ピーダンス標準の開発には次のような過程が踏まれてい

図 4 同軸線路 7

mm

る．まず，国家標準器としてふさわしい安定性，再現性，

堅牢性および利便性等を併せ持つエアラインを開発また は選定する．次に，エアライン寸法と微小伝送損失を評 価するための装置を開発した上で，計測を行う．最後に，

得られた計測結果から式（4）を用いて特性インピーダ ンス等の値と不確かさの評価を行っている．

3. 2 同軸線路高周波インピーダンス標準のトレーサビ リティ

 VIM（International vocabulary of metrology −

Basic and general concepts and associated terms） に よ る と，

トレーサビリティは “Property of a measurement result

whereby the result can be related to a reference through a documented unbroken chain of calibrations, each contributing to the measurement uncertainty” と定義され

of calibrations” によって，ユーザーによる高周波イン

SI

3. 2. 1　トレーサビリティ体系

 電気回路のインピーダンス計測にはいくつかの方法が 用いられている．最も原理的な計測方法は電圧と電流を 直接測定し，その比からインピーダンスを求める

I-V

その反射および透過電磁波の振幅と位相を測定すること により，DUTの

S

 VNAによる計測を行う際の問題点は，DUTの接続に 伝送線路を用いなければならないことである．VNAの 測定面から

DUT

S

DUT

VNA

S

 次に，エンドユーザーによる

VNA

S

SI

  1 ：エンドユーザーによる

VNA

VNA

S

S

器の

S

  3 ：国家標準器の

S

SI

SI

SI

S

VNA

S

NMIJ

S

VNA

S

SI

各段階が総合的に機能することで，エンドユーザーに よる計測結果の

SI

2 の段階としてエンドユーザーが直接

NMIJ

図 5 高周波インピーダンス標準のトレーサビリティ 体系

段階連ねても良い．SIトレーサビリティの確保には校 正値だけでなくその不確かさも重要かつ不可欠である．

以降は不確かさも含めて各段階の説明を行う．

3. 2. 2　エンドユーザーによる VNA の計測結果から VNA 校正用標準器の S パラメータへのトレー サビリティ^{3），9）-14）}

 この過程は前述のトレーサビリティ体系で 1 に相当す る．Sパラメータ計測器である

VNA

DUT

DUT

DUT

したがって，ポート 3 のセンサおよびポート 4 のセンサ における測定値と求めるべき

DUT

 理想的な方向性結合器では信号源から

DUT

他の経路を伝播する電磁波もセンサに入射する．例えば，

ポート 4 のセンサに信号源からの漏れ信号が取り出され ることがある．よって，センサにより測定可能な波振幅 の比 と

DUT

Γ

　b

S

a

S

a

S

a

S

a

　b

S

a

S

a

S

a

S

a

　b

S

a

S

a

S

a

S

a

　a

Γ

b

　a

Γ

b

　a

Γ b

　S

S

,2 ,3 ,4）

　a

i

,2 ,3 ,4）

　b

i

,2 ,3 ,4）

　 Γ

　 Γ

　 Γ

である．なお，信号源の反射係数はゼロとする．これら の式からセンサへの入射波振幅の比は，

（5）

とまとめることができる．ここに，e00，e01，e10，e11は

S

S

Γ

Γ

DUT

Γ

e

e

OSL

は，方向性結合器の不完全さを考慮して導出したが，図 6（b）のような理想的な方向性結合器と誤差回路を縦続 接続した回路におけるセンサの波振幅比と

DUT

 次に，VNAの校正について説明する．リフレクト

図 6 リフレクトメータの動作原理と誤差回路：（a）構 造と信号の定義，（b）誤差回路による等価回路

図 7 2 ポート

VNA

メータは 1 ポート素子の反射係数を計測する機能を持 つが，VNAはこの機能を複数で利用して多ポート素子 の

S

VNA

e

e

e

e

e

e

e

e

OSL

e

OSLT

 このように，VNAは

DUT

S

VNA

S

 不確かさについて簡単に述べる．VNAの校正に用い る校正用標準器は，トレーサビリティを確保するために 上位校正が必要であり，上位の高周波インピーダンス標 準が持つ不確かさや上位機関での校正による不確かさ が付随する．この不確かさは校正作業により

VNA

VNA

DUT

S

 ここまでで上位校正を受けた校正用標準器を用いた

VNA

VNA

VNA

3. 2. 3　VNA 校 正 用 標 準 器 の S パ ラ メ ー タ か ら 国 家標準器の S パラメータへのトレーサビリ ティ9），11），13），15）

 これは 2 の段階のトレーサビリティに相当し，例えば 開放，短絡および整合終端器のような

VNA

S

S

 エアラインを用いて

VNA

VNA

S

NMIJ

VNA

TRL

ポート間のエアライン接続（Line）を行う．この方法 は，エアラインの特性インピーダンスと計測システムの インピーダンスが一致し，エアラインの両ポートの反 射特性が等しい（S11＝

S

OSL

OSLT

DUT

S

VNA

S

 NMIJでは，上記の説明よりも誤差回路のパラメータ 数を多くして，より精密に実際の

VNA

3. 2. 4　国家標準器の S パラメータから SI 単位へのト レーサビリティ

 高周波インピーダンス標準は，3．1 節で述べたように 標準器であるエアラインの寸法を測定し，理論的に特性 インピーダンスおよび

S

SI

a

b

3. 3　同軸線路高周波インピーダンス標準の国際比較  各国で開発された国家標準同士の整合性をとること は，メートル条約により整備された国際的な度量衡制度 の統一にとって重要である．そのため，NMIJでは開発 を行った同軸線路の高周波インピーダンス標準について 国際比較に参加している．次に，関連する国際比較につ

いて公式コードまたは名称と内容を記す．

・終了した国際比較  CCEM.RF-K5

b.CL

 Type N50 の

S

 ANAMET （Automatic Network Analyzer Measurement

Club） comparison 052

 Type N50 スライディングロードの計測比較  NPLとの二国間比較^19）-22）

 3．5

mm

mm

・現在進行中の国際比較  ANAMET comparison 101

 3．5

mm

・計画中の国際比較  CCEM.RF-K5

c.CL

 3．5

mm

S

 APMP（Asia Pacific Metrology Programme，アジア太 平洋計量計画）

 7

mm

CCEM.RF-K5 b.CL

NMIJ

の 高 周 波

W.G.

GT-RF（Group de Travail-Radio

Frequency）と APMP

おいて依頼を受け，CCEM.RF-K5

c.CL

APMP

NMIJ

3. 4　同軸線路高周波インピーダンス標準の波及効果  産業技術総合研究所の発足と共に始まった

NMIJ

mm

kHz−18 GHz，3．5 mm

kHz−33 GHz，Type N50 では 30 kHz−18 GHz，

Type N75 では 40 MHz−3 GHz

同軸線路高周波インピーダンス標準の技術基盤は確立し た．標準供給においては，2005 年度は依頼試験が 4 件 であったが，2009 年度には

jcss

EMC

  そ の 一 方， 新 た な 課 題 も 明 ら か に な っ て き た． 電 磁 波 利 用 に 対 し て は 国 際 電 気 通 信 連 合 無 線 通 信 部 門（International Telecommunication Union-

Radiocommunication sector, ITU-R） か ら の 勧 告，IEC

（International Special Committee on Radiointerference,

CISPR）の国際規則，規格および認証制度等が存在する

GHz

EMC

kHz

EMC

 50

GHz

2 章でも述べたように同軸線路は強度不足により実用的 ではない．よって，NMIJでは導波管線路の高周波イン ピーダンス標準を開発することにより，安定な標準供給 に対応する方針である．

4 章　導波管線路の高周波インピーダンス標準開発

 導波管線路は電磁波の伝播形態が同軸線路と異なるた め，新たな研究が必要である．本章では，導波管線路に おける高周波インピーダンス標準の調査報告を行う．

4. 1　導波管線路高周波インピーダンス標準開発の課題  導波管線路の概要は 2 章で既に述べた．導波管線路の 導波路形状には矩形や円形等があるが，高周波インピー ダンス標準開発において対象とするのは，最も一般的な 矩形導波管線路である．

 導波管線路内を伝播する電磁波の減衰定数を例とし て，標準開発の上での課題を述べる．導波管線路の高周 波電気特性も同軸線路と同様に伝送線路寸法と物性値に よって表わされることは 2 章で述べた．そこで，開口が 矩形かつ導体内壁の表面に粗さがなく均一とした理想的 な導波管線路内を伝播する電磁波の減衰定数

α

（6）

α

 a：開口の長辺長さ（m）

 b：開口の短辺長さ（m）

ρ：導体の電気抵抗率（Ω m）

μ：導体の透磁率（H/m）

 c：光速（m/s）

λ：自由空間での波長（m）

である．しかし，実際の導波管線路は図 8（b）のよう に断面形状が厳密な矩形ではなく，導体内壁の表面にも 細かい粗さがある．理想形状と実際の形状の違いにより，

減衰定数に影響が生じると予想される．減衰定数の理想 的な式（6）と実際の測定値の比較はすでに報告されて おり，その比はおおよそ^33），

（7）

である．ここで，式（7）は導波管線路の材質が

Cu，測

定周波数が 140

GHz

GHz−170 GHz

WR-

µm，短辺は

µm

mm

 導波管線路の高周波インピーダンス標準確立までの過 程を予測してまとめると図 9 のようになる．3 章で述べ たように，高周波インピーダンス標準は標準器となる 伝送線路の寸法を計測し，Sパラメータ等の高周波イン ピーダンスとこれに付随する不確かさを導くことが要と なっている．それにはまず，実際の伝送線路の幾何的寸 法を計測し，評価を行うことが重要である．その次に，

不確かさを含めた寸法の計測結果を高周波電気量に反映 させる数学モデルを用いて

S

S

図 8 導波管線路の開口形状：（a）理想的な開口形状，

（b）実測による開口形状の予想例（認識可能な ように誇張されている）

図 9 導波管線路高周波インピーダンス標準の研究開 発課題と確立までの過程

に加えて，実際の

VNA

4. 1. 1　寸法に関する課題^35）

 電磁波伝搬に用いる導波管線路内部は，断面が奥行方 向に均一な矩形で細かい凹凸がない平坦な導体内壁が理 想的である．そこで，以下では導波管線路の開口長辺・

短辺，開口コーナーおよび導体内壁表面粗さを測定し，

それらの具体的な課題を検討する．

（1）開口長辺・短辺

 導波管線路の内部形状として，均一な矩形が実現され ている程度を評価した．導波管線路

WR-

µm，短辺 432 µm）の開口をスタイラ

µm

µm

µm

µm

（2）開口コーナー

 導波管線路

WR-

レーザを用いてスキャンされた開口の隅の形がプロット されている．これより，実際の導波管線路は 10

µm

を導出した際の仮定で用いた理想的な長方形開口のコー ナー半径は 0

µm（直角）であるので，理想的な境界条

（3）導体内壁表面の粗さ

 導波管線路

WR-

µm

図 10 導波管線路

WR-

図 11 導波管線路

WR-

図 12 導波管線路

WR-

度の粗さがある（カラーで示した図は資料^35）を参考）．

Cu

GHz

µm

（4）寸法に関する課題への取り組み

 ここまでで，導波管線路における微細な形状の測定結 果を取り上げてきたが，その結果，導波管線路作成時の 技術的課題が見えてきた．（1）から（3）で示した幾何 形状に関する課題は，導波管線路を作成する際に，断面 が小さな矩形となる管状の穴を導体にあける加工が難し いことに起因する．加工法としては，電気鋳造，引き抜 き等の方法が採用されているが，NMIJでは通常とは異 なる方法を用いることで，より高い精度で導波管線路を 作成できないか検討を進めている．

4. 1. 2　接続に関する課題^35）

 この項では，導波管線路を接続する際の課題について 示す．具体的には，導波管線路フランジの突き合わせる 接続面での構造的不連続である．導波管線路を接続する 際に隙間が発生する等，不連続の原因となるフランジ形 状，開口エッジおよびアライメントについて課題点を述 べる．

（1）フランジ形状

 導波管線路を接続する際の締め付けに用いられるフ ランジ面には様々な形状の規格があり，現在でも新し い案が提案され，IEEE（The Institute of Electrical and

Electronics Engineers）

GHz

UG-

UG-

ンジが 300

GHz

UG-

UG-

UG-

UG-

UG-

mm

GHz

（2）開口エッジ

 接続用に導波管線路を切り落としたフランジ断面にお いて，その面と線路内壁が成す角度が直角であれば，接

図 13 導波管線路

WR-

UG-

UG-

図 14 導波管線路

WR-

UG-

改良

UG-

図 15 導波管線路

WR-

続を行う際に線路内部は構造的不連続が生じない．そこ で，実際に導波管線路

WR-

（3）アライメント

 導波管線路フランジには接続位置調整のためのアライ メント調整用穴が設けられており，ネジで固定する前に アライメント穴にアライメントピンを挿入することで開 口位置を一致させる．しかし，そのアライメントピン自 体の太さは均一でなく，ピンを挿入するアライメント穴 の径も均一ではない．また，アライメントピンの径とア ライメント穴の径も異なることがあるため，接続する導 波管線路の開口位置にずれが生じ，電気特性にばらつき が生じる．図 16 はフランジに設けられている 2 個のア ライメント穴の直径測定結果である．概ね，穴の端では 径が広がっている．これによる高周波電気量への影響を 定量化し，不確かさに含める必要がある．

4. 2　不確かさの推定

 これまで，実際の導波管線路における様々な幾何形状 を検証してきた．導波管線路の高周波インピーダンス標 準確立に向けての次の大きな課題は，幾何学的な導波管 線路寸法と電気的な高周波インピーダンスを結ぶ数学モ デルの開発と不確かさの評価である．しかし，後述する

海外動向の調査でも述べるが，300

GHz

GHz

GHz

 適用する情報は，前述した導波管線路

WR-

UG-

 不確かさの見積もりを表 1 に示す．開口短辺の寸法偏 差が大きいため，不確かさはこの寸法偏差と接続のばら つきが主要因である．しかし，導波管線路の作成方法が 改善されることによる寸法偏差の低減が図れれば，接続 再現性が主要な不確かさになる．この推測はモデルの厳 密性が検証されていないため，評価モデルの開発が今後 の課題である．

4. 3　海外標準研究機関による導波管線路高周波イン ピーダンス標準の開発状況

 代表的な 3 カ国について海外標準研究機関におけ る導波管線路

S

KCDB（Key Comparison database）の CMC

and Measurement Capabilities）リスト

図 16 導波管線路

WR-

表 1 主要な不確かさ要因と反射係数の不確かさ見積 もりの例