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真空ポンプ106 キヤノンアネルバ株式会社真空機器総合カタログ Vol.8.9 フォンブリンオイル CF3 CF3 - (O-CF-CF2)n-(O - CF2)m O-CF3 フォンブリン Y n > m 概要 フォンブリン は 炭素 フッ素 酸素の 3 原子よりなる完全フッ素化油であり また安定

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真空





■種類と用途

■特長

フォンブリンは下記の優れた特長を有しています。

1. 耐酸化性

不燃性です。引火、発火の恐れはありません。したがって、

酸素・シラン・ホスフィン等の発火性ガスに耐えられます。

2. 耐薬品性

強酸、強アルカリ、ハロゲン等、ほとんどの化学薬品に

対して安定です。

3. 耐熱性

不活性雰囲気中(N

2

)で約 350℃まで、空気中でも約

300℃までは安定です。

4. 低蒸気圧

20℃で 10

-11

Pa 台のものもあります。

5. 潤滑性

合成油の中で最も優れた潤滑性を有しています。

6. 耐溶媒性

フッ素系溶剤

(GALDEN SV9、フロン 113 など)を除いて、

有機溶媒、油脂、水などにほとんど不溶です。

ただし、溶けなくてもコロイド状に分散することはあります。

7. 他の材料への影響

不活性ですので金属を腐食せず、ゴム、プラスチックを

膨潤、劣化、溶解させません。

8. 無毒性

無毒であると同時に、体内に蓄積しないことが確かめら

れています。

9. その他

高温または高エネルギー線にさらされても、フォンブリンは

重合を起こさず、炭化物のようなスラッジを生成しません。

■概要

〈フォンブリン〉は、炭素、フッ素、酸素の 3 原子よりなる

完全フッ素化油であり、また安定な炭素-フッ素結合を有す

ることから、化学的に極めて安定であり、不活性です。

この特長を評価され、半導体プロセス装置、宇宙船、人工

衛星、磁気媒体等の潤滑油など、高度な用途に使用されて

おります。

FOMBLIN

®

(フォンブリン)は Solvay Solexis S.p.A (イタリア)

の登録商標です。

フォンブリンオイル

CF

3  

       

│      

CF

3

- (O-CF-CF

2

n

-(O-CF

2

m

 O-CF

3

フォンブリン Y    n > m 

グレード 用途 真空用グレード 一般グレード YL-VAC 06/6 YL-VAC 14/6 YL-VAC 16/6 YL-VAC 25/6 YH-VAC 18/8 YH-VAC 25/9 YH-VAC 40/11 YH-VAC 140/13 Y 04 Y 06 Y 25 Y 45 Y R 油回転ポンプ ○ ○ ○ メカニカルブースター ○ ○ ○ 拡散ポンプ ○ ○ ターボモレキュラポンプ ○ ドライポンプ ○ ○ ○ ○ ○ 潤滑シーリング ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ (注)オイルは大別して真空用と一般用に分かれます。    一般用グレードは蒸気圧等の品質は保証しておりません。

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キヤノンアネルバ株式会社 真空機器総合カタログ Vol.8.9

真空

動粘度-温度特性

■ FOMBLIN の品質規格と諸特性の実測例

蒸気圧-温度特性

0 20 50 70 100 150 0 20 50 100 150 200 2.0 3.0 4.0 5.0 6.0 10.0 15.0 20.0 30 40 50 75 100 150 200 300 500 1000 2000 3000 5000 10000 温度/℃ 温度/℃ 動粘度/cSt. 蒸気圧/Pa L-VAC 14/6 L-VAC 25/6 L-VAC 06/6 L-VAC14/6 H-VAC 140/13 H-VAC 40/11 H-VAC 25/9 H-VAC 18/8 L-VAC 06/6 H-VAC 140/13 H-VAC 18/8 L-VAC 25/6 H-VAC 40/11 10−12 10−11 10−10 10−9 10−8 10−7 10−6 10−5 10−4 10−3 10−2 10−1 1 10 性  質 品 質 規 格 諸特性の実測例(ロータリーベーンポンプによる) 動粘度 (20℃) 全酸価 蒸発損失 (22 時間149℃) 蒸気圧(20℃)    (100℃) ライト フラクション 到達圧力 オイル 消費量 バックミグ レイション率 ポンプ内 油温 単  位 cSt mg KOH/g w/w%損失 Pa w/w% Pa mL/h μ g/cm2sec min℃・max℃

測定方法 ASTM D445 MAN29/1 ASTM D972 MAN PF29/2 MAN29/31 MAN29/27MAN29/31 MAN29/29 MAN29/29 MAN29/29

Y L ー V A C 25/6 270 ± 20 ≦ 0.05 ≦ 5 ≦2.7×10≦2.7×10-4-1 ≦ 0.01 ≦ 4 × 10- 2    ※  0.7 ※  12 ※  63 ※ 70 16/6 160 ± 15 ≦ 0.05 ≦ 7 ≦6.7×10≦9.3×10-4-1 ≦ 0.03 ≦9.3×10-2 0.5 12 58 65 14/6 140 ± 20 ≦ 0.05 ≦ 5 ≦2.7×10≦2.7×10-4-1 ≦ 0.03 ≦6.7×10-1 0.6 12 57 64 06/6 62 ± 6 ≦ 0.05   ※※≦ 5 ≦9.3×10≦5.3×10-4-1 ≦ 0.03 ≦6.7×10-1 0.4 12 53 60 Y H ー V A C 25/9 270 ± 20 ≦ 0.05 ≦ 1 ≦2.7×10≦2.7×10-7-3 ―  ※※※ ≦2.7×10-6 ― ― ― 18/8 180 ± 20 ≦ 0.05 ≦ 1 ≦2.7×10≦2.7×10-6-2 ―  ※※※ ≦2.7×10-6 ― ― ― 40/11 450 ± 50 ≦ 0.05 ≦1 ≦5×10≦5×10-10-6 ― ― ― ― ― 140/13 1400 ± 200 ≦ 0.05 ≦ 1 ≦6.7×10≦6.7×10-11-6 ― ― ― ― ― ※ ALCATEL-2012ARP による実測値 ※※ 120℃ ※※※ 油拡散ポンプによる実測値 注 1)記載される蒸気圧はクヌーセンエフュージョン(Knudsen-Effusion)法により測定されるため、20℃における実測ではありませんが、到達圧力に影響も及 ぼすと思われる低沸成分はライトフラクションの欄に濃度として規定してあります。 注 2)その他の特性…密度(20℃):1.87 ~ 1.92 g /mL、表面張力(20℃):18 ~ 22dyne/cm、比熱(38℃):1.01J/g・℃、蒸発潜熱(200℃、1.3× 103Pa):21 ~ 42J/g 輸出・移転・処分に関する注意 フォンブリンオイルは、外国為替および外国貿易法の規定により、輸出の許可が必要な貨物に該当し ますので、日本国外に輸出する際は、外国為替および外国貿易法に基づく判定が必要となりますので、 弊社営業部門にお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。

2

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真空

YES YES BAM酸素衝撃試験 での限界圧力 (200℃、BAR) グレード 70 60 70 60 OT-20 UT-18 OT-15 YVAC3 ○高圧酸素雰囲気下で使用する場合 BAM酸素衝撃 200℃ で 220BAR以上 要求しますか? ( ) NO NO AR555 AR855 CR861 CR261D 添加剤による 汚染の問題は ありますか? 高真空下で 使用しますか? 防 性が要求される場合 ■防 剤としてDA液体  添加剤を使用 ■潤滑性良好 潤滑性能が重視される場合 RT15 高温用 (−20∼200℃) UT18 中温用 (−30∼150℃) OT20 低温用 (−70∼100℃) CRM30 低高温用 (−60∼230℃) CRM30 低高温用 (−50∼240℃) NO YES Y-VAC2 やや軟らかめ ■稠度2号 ■蒸気圧6.7×10−11Pa     (20℃) Y-VAC1 軟らかい ■稠度1号 ■蒸気圧6.7×10−11Pa     (20℃) Y-VAC3 やや硬い ■稠度3号 ■蒸気圧6.7×10−11Pa     (20℃) ZNF 低トルクかつ 低蒸気圧が要 求される場合 ■稠度3号 ■蒸気圧3.9×10−10Pa     (20℃)     1.3×10−6Pa     (100℃) ZLHT YNX 特に低トルクが 要求される場合 ■稠度2号 ■蒸気圧2.1×10−4Pa     (20℃)     2.2×10−3Pa     (100℃)

■フォンブリングリース

●フッ素系グリース

フォンブリングリースは、フォンブリンを基油とし四フッ化エ

チレン樹脂低分子量品(YNX を除く)を増ちょう剤とする

耐熱・耐薬品・耐酸化・耐溶媒性に優れたグリースです。

フォンブリングリースはコピーマシン・塗装ライン軸受・ロボッ

ト・クリーンルーム内駆動装置・真空機器・宇宙航空機器・

化学プラントなどに使用されています。

●フォンブリングリースの選定例

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キヤノンアネルバ株式会社 真空機器総合カタログ Vol.8.9

真空

●フォンブリン用の溶剤について

フォンブリンの洗浄には、従来フロン 113 が一般的に用い

られていましたが、特定フロン化合物として規制の対象と

なっています。代替溶媒のひとつとしては、同じ完全フッ素

化液であるガルデン(GALDEN)SV90 または H- ガルデン

(H-GALDEN)ZV130 が推奨できます。弊社までお問い合

わせ下さい。

●ご使用上の注意

フォンブリン自身は無害ですが、分解物(ガス状)は、他

のハロゲン系製品と同様に有害ですので、300℃を越える場

合など、分解の恐れのある場合には、十分に換気してくだ

さい。またフォンブリンの付着したタバコの喫煙は避けてく

ださい(タバコの火は 700℃に達します。)

フォンブリンの優れた特長を活かすために、ご使用前にポ

ンプの構成部品を完全に洗浄してからご使用願います。

●ご注文に際して

フォンブリンオイルの最小ご注文単位は 1kgとなっています。

フォンブリングリースの最小ご注文単位は100gとなっています。

〔GALDEN SV90 の代表的な特性値〕

■ FOMBLIN グリースの諸特性

*1 グリースの軟らかさの基準で、数字が大きいほど軟らかくなります。 *2 連続使用温度範囲は、基油の流動点、各グリースの蒸発損失、油分離などを考慮して設定したものです。使用条件によっては上記温度範囲外でも使用可能です。尚、 フォンブリン油自身は約 300℃から分解が始まる恐れがあります。 物理的性質 グレード 一 般 用 高真空用 高 圧酸素用 特殊環境用汎 用 特殊環境用 (規格等)備 考 品 名 OT-20 UT-18 RT-15 Y-VAC1 Y-VAC2 Y-VAC3 YNX GRM30 GRM60 ZLHT ZNF

基油名 Y04 Y45 YR HVAC 140/13

HVAC 140/13

HVAC

140/13 Y25 M30 M60 Z15 Z25

NLGI No. 2 2 2 1 2 3 2 2 2 2 3 ASTMD217 かさ比重 2.1 2.1 2.1 2.1 2.1 2.1 2.1 2.0 2.0 2.0 2.0 色 白 白 白 白 白 白 灰色 白 白 白 白 稠度* 1 mm/10 未混和 280 280 276 335 268 240 280 277 275 280 240 ASTM D217 10,000 回混和 300 295 290 ― 277 260 300 ― ― 285 245 見掛け粘度 (20℃)P 100sec-1 90 130 190 ― 250 280 ― ― ― 150 240 300sec-1 40 80 100 ― 140 140 ― ― ― 60 100 蒸発損失(204℃ /22hr) (wt%) ― ― 0.5 0.3 ― 0.3 ― 0.5 0.3 2.8 0.2 D2595ASTM 油分離(204℃ /30hr) (wt%) ― ― 7.7 11 9 8 ― 10.7 6.1 6.6 8 FTMS 791-321 極圧限界荷重 (kg) ― 500 500 ― ― 500 ― ― ― 700 700 D2596ASTM 腐食テスト(1) ― ― 2 ― ― ― ― ― ― ― ― ASTM D1743 腐食テスト(2) ― ― ― ― ― ― ― ― ― ― ― 51802DIN 連続使用温度範囲* 2 (℃) -70 ~ 120 - 30 ~ 250 - 20 ~ 250 - 20 ~ 250 - 20 ~ 250 - 20 ~ 250 - 40 ~ 220 - 60 ~ 230 - 60 ~ 240 - 80 ~ 200 - 60 ~ 220 外観 無色透明、液体 沸点 ℃ 約 130 密度(25℃) g/mL 1.65 表面張力(25℃) dynes/cm 14.6

〔HGALDEN ZV100 の代表的な特性値〕

(注) SV90 は脱脂効果がないため、フォンブリン以外の洗浄には不適で すが、低い表面張力を有するため浸透性に優れ、ダスト・反応生成 物の除去に有効です。(注)ZV30 には脱脂効果が認められます。 外観 無色透明、液体 沸点 ℃ 約 90 密度(20℃) g/mL 1.7 表面張力(20℃) dynes/cm 16

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(5)

真空

■オーダリングインフォメーション

※ 5kg(プラスチック容器入)も承ります。 製品コード 型 名 商 品 名品 名 備 考 18200 953-7930 Y04 オイル 1kg(プラスチック瓶入) 18201 953-7931 Y06 オイル 1kg(プラスチック瓶入) 18202 953-7932 Y25 オイル 1kg(プラスチック瓶入)※ 18203 953-7933 Y45 オイル 1kg(プラスチック瓶入) 18204 953-7934 YR オイル 1kg(プラスチック瓶入) 18205 953-7935 YL-VAC 06/6 オイル 1kg(プラスチック瓶入)※ 18206 953-7936 YL-VAC 25/6 オイル 1kg(プラスチック瓶入)※ 18207 953-7937 YH-VAC 18/8 オイル 0.5kg(プラスチック瓶入)× 2 18208 953-7938 YH-VAC 25/9 オイル 0.5kg(プラスチック瓶入)× 2 18209 953-7939 YH-VAC 40/11オイル 0.5kg(プラスチック瓶入)× 2 18210 953-7940 YH-VAC 140/13 オイル 0.5kg(プラスチック瓶入)× 2 18213 953-7947 YL-VAC 14/6 オイル 1kg(プラスチック瓶入)※ 18214 953-7948 YL-VAC 16/6 オイル 1kg(プラスチック瓶入)※ 39750 953-7941 OT-20 グリース 100g(チューブ入)、低温用 39751 953-7942 RT-15 グリース 100g(チューブ入)、高温用 39752 953-7943 Y-VAC3 グリース 100g(チューブ入)、真空用 / 高温用 39753 953-7951 UT-18 グリース 100g(チューブ入)、中温用 39754 953-7952 Y-VAC2 グリース 100g(チューブ入)、真空用 / 高温用 39755 953-7953 YNX グリース 100g(チューブ入)、酸素工業用 39759 953-7957 ZLHTグリース 100g(チューブ入)、特殊用 39760 953-7958 ZNF グリース 100g(チューブ入)、特殊用 AR555 100g(チューブ入)、汎用中高温用 AR855 100g(チューブ入)、中高温用 CR861 100g(チューブ入)、低トルク・中高温用 CR2610 100g(チューブ入)、低トルク・高速回転 / 中高温用 GRM30 100g(チューブ入)、低高温用 GRM60 100g(チューブ入)、低高温用

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※ 輸出・移転・処分に関する注意 本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規定に基づく判定が必要となりますので、 弊社営業部門にお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。 ※ 本カタログに掲載してある、デサイン、仕様、寸法等は、性能向上等のため予告なく変更する場合があります。 ※ 写真は印刷のため実際の商品の色と多少異なる場合があります。 ※ 禁無断転載・複写 http://www.canon-anelva.co.jp/ 東日本エリア 〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1 ・エレクトロンデバイス製造装置 TEL 044-980-5155 FAX 044-986-4236 ・半導体製造装置および研究開発・小規模生産装置 TEL 044-980-5132 FAX 044-986-4236 ・パネルデバイス製造装置 TEL 044-980-5131 FAX 044-986-4236 ・真空コンポーネント TEL 044-980-3503 FAX 044-986-4236 西日本エリア 〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33 ・各種装置関係 TEL 06-6821-9701 FAX 06-6821-9702 ・真空コンポーネント TEL 06-6821-9708 FAX 06-6821-9702 九州エリア 〒862-0924 熊本県熊本市帯山3-3-10 キヤノンMJ TEL 096-385-3111 FAX 096-385-3061

本カタログは2011年9月発行の「Vacuum Components Vol.8.9」よりの抜粋となります。

掲載内容は発行(2011年9月)時のものですので、現在とは内容が異なっている場合があります。

参照

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