九州大学学術情報リポジトリ
Kyushu University Institutional Repository
DCマグネトロンスパッタ法による有機ELデバイスへ の陰極形成とメカニズムの解析に関する研究
藤本, 弘
https://doi.org/10.15017/1500673
出版情報：Kyushu University, 2014, 博士（工学）, 課程博士 バージョン：
権利関係：Fulltext available.
（様式６－２）
氏 名 藤本 弘
論 文 名 Development and Analysis of Al Cathodes Fabricated by Direct-Current Magnetron Sputtering for Organic Light -Emitting Diodes
（DCマ グ ネ ト ロ ン ス パ ッ タ 法 に よ る 有 機ELデ バ イ ス へ の 陰 極 形 成 と メ カ ニ ズ ム の 解 析 に 関す る 研 究 ）
論文調査委員 主 査 九州大学 教授 安達 千波矢 副 査 九州大学 教授 林 克郎 副 査 九州大学 教授 興 雄司
論 文 審 査 の 結 果 の 要 旨
本論文では、Liをドープした電子輸送層(ETL)を用いることで、スパッタ法による陰極形成にお いても耐久性に富む有機EL素子のデバイス構造を提案している。特に、プラズマダメージとして、
ETLの電子輸送性の低下と発光効率の低下に焦点を当て、デバイス特性と表面分析によりダメージ の原因を特定し、ダメージの少ないデバイス構造を提案している。その結果、スパッタによる陰極 形成の実現とダメージのメカニズムの解明を進め、有機ELの劣化機構を明らかにしている。これ らの研究成果は、今後の有機デバイス科学に関する研究に関して極めて重要な知見を得たものとし て価値ある業績であると認める。
