10 ( 57) 【要約】
【課題】
基板に設けられた溝に冷却流体輸送管を配設して対象物 を冷却する形の冷却構造において、本来の冷却対象では ない基板が冷却されることにより、本来の冷却対象物に 対する冷却効率が低下してしまうことを改善する。 【解決手段】
冷却流体輸送管と、冷却流体輸送管が配設される溝が設 けられた基板を備えた冷却構造とし、基板上において冷 却流体輸送管と溝が接しない部分における冷却流体輸送 管の肉厚の少なくとも一部を、冷却流体輸送管と該溝が 接する面における肉厚よりも薄くする。
10
20
30
40
50 【 特 許 請 求 の 範 囲 】
【 請 求 項 １ 】
冷 却 流 体 輸 送 管 と 、 該 冷 却 流 体 輸 送 管 が 配 設 さ れ る 溝 が 設 け ら れ た 基 板 と を 備 え 、 該 基 板 上 に お い て 該 冷 却 流 体 輸 送 管 と 該 溝 が 接 し な い 部 分 に お け る 該 冷 却 流 体 輸 送 管 の 肉 厚 の 少 な く と も 一 部 が 、 該 冷 却 流 体 輸 送 管 と 該 溝 が 接 す る 面 に お け る 肉 厚 よ り も 薄 い こ と を 特 徴 と す る 冷 却 構 造 。
【 請 求 項 ２ 】
該 冷 却 流 体 輸 送 管 の 断 面 形 状 は 略 円 径 で あ り 、 該 冷 却 流 体 輸 送 管 が 該 溝 に 配 設 さ れ た 領 域 の 少 な く と も 一 部 に お い て 、 該 基 板 上 に お い て 該 冷 却 流 体 輸 送 管 と 該 溝 が 接 し な い 部 分 が 扁 平 状 に 変 形 さ れ て い る こ と を 特 徴 と す る 、 請 求 項 １ に 記 載 の 冷 却 構 造 。
【 請 求 項 ３ 】
該 基 板 の 表 面 に 熱 伝 導 性 平 板 が 設 け ら れ 、 該 基 板 上 に お い て 該 冷 却 流 体 輸 送 管 と 該 溝 が 接 し な い 部 分 に お い て 、 該 冷 却 流 体 輸 送 管 が 該 熱 伝 導 性 平 板 と 密 着 す る よ う に 構 成 さ れ て い る こ と を 特 徴 と す る 、 請 求 項 １ ま た は ２ に 記 載 の 冷 却 構 造 。
【 請 求 項 ４ 】
該 熱 伝 導 性 平 板 上 に 冷 却 対 象 が 設 け ら れ て い る こ と を 特 徴 と す る 、 請 求 項 ３ に 記 載 の 冷 却 構 造 。
【 請 求 項 ５ 】
請 求 項 １ ∼ ４ い ず れ か に 記 載 の 冷 却 構 造 を 使 用 し た フ ァ イ バ レ ー ザ 装 置 。
【 発 明 の 詳 細 な 説 明 】 【 技 術 分 野 】
【 ０ ０ ０ １ 】
本 発 明 は 、 主 に フ ァ イ バ レ ー ザ 装 置 に 使 用 さ れ る 、 レ ー ザ 発 振 器 の 冷 却 構 造 に 関 す る 。 【 背 景 技 術 】
【 ０ ０ ０ ２ 】
レ ー ザ 加 工 や 医 療 用 途 な ど へ の 適 用 を 目 的 と し て 、 フ ァ イ バ レ ー ザ は 、 高 効 率 で し か も 高 ビ ー ム 品 質 の レ ー ザ 光 を 簡 単 に 取 り 出 せ る と い う 理 由 で 注 目 を 集 め て い る 。
一 般 的 な フ ァ イ バ レ ー ザ 装 置 は 、 図 １ に 示 す よ う な 構 成 を し て い る 。
す な わ ち 、 信 号 光 源 １ か ら 発 生 し た 信 号 光 ２ と 、 励 起 光 源 ３ か ら 発 生 す る 励 起 光 ４ を 、 光 結 合 器 ５ を 介 し て 希 土 類 元 素 を 添 加 し た コ ア を 有 す る 増 幅 用 光 フ ァ イ バ ７ へ 入 力 し 、 励 起 光 ４ が コ ア に 添 加 さ れ た 希 土 類 元 素 に 作 用 す る こ と で 、 増 幅 用 光 フ ァ イ バ ７ の コ ア を 伝 搬 す る 信 号 光 ２ を 増 幅 し 、 高 エ ネ ル ギ ー を 有 す る レ ー ザ 光 １ ０ を 得 る 。
【 ０ ０ ０ ３ 】
レ ー ザ 発 振 器 で あ る 、 信 号 光 源 １ 、 及 び 信 号 光 ２ は 、 レ ー ザ を 出 力 す る 際 、 発 熱 が 起 き る 。 発 熱 量 が 大 き く な る と 、 温 度 上 昇 に 伴 う 膨 張 に よ る 光 軸 の ズ レ や 、 光 学 部 品 の 損 傷 な ど に よ っ て 、 発 振 器 の 出 力 が 低 下 し 、 場 合 に よ っ て は 発 振 器 の 破 壊 に 至 る 。 こ れ を 防 ぐ た め に 、 何 ら か の 手 段 に よ っ て 、 発 振 器 を 冷 却 す る こ と が 多 い 。
【 ０ ０ ０ ４ 】
こ の よ う な レ ー ザ 発 振 器 を 冷 却 す る 手 段 の １ つ と し て 、 ペ ル チ ェ 素 子 を 使 用 す る 方 法 が 知 ら れ て い る （ 特 許 文 献 １ ） 。 レ ー ザ 発 振 器 を 基 板 な ど を 介 し て ペ ル チ ェ 素 子 上 に 設 け 、 ペ ル チ ェ 効 果 に よ っ て レ ー ザ 発 振 器 を 冷 却 す る 。
【 ０ ０ ０ ５ 】
レ ー ザ 発 振 器 を 冷 却 す る 他 の 方 法 と し て 、 冷 却 流 体 を 輸 送 す る パ イ プ を 挟 み 込 ん だ プ レ ー ト 上 に 、 レ ー ザ 発 振 器 を 使 用 す る モ ジ ュ ー ル を 設 け る 方 法 が 知 ら れ て い る 。 （ 特 許 文 献 ２ ）
【 ０ ０ ０ ６ 】
10
20
30
40
50 フ ァ イ バ レ ー ザ 装 置 全 体 で の 電 力 消 費 量 が 大 き く な っ て し ま う の が 問 題 視 さ れ て い る 。
【 ０ ０ ０ ７ 】
一 方 、 冷 却 流 体 を 輸 送 す る パ イ プ を 挟 み 込 ん だ プ レ ー ト を 使 用 す る 方 法 で は 、 ペ ル チ ェ 素 子 を 使 用 す る 方 法 ほ ど 電 力 は 消 費 し な い が 、 そ の 構 造 上 、 プ レ ー ト の 発 振 器 が 設 け ら れ た 面 の み で な く 、 発 振 器 が 設 け ら れ て い な い 面 も 冷 却 さ れ る た め 、 レ ー ザ 発 振 器 に 対 す る 冷 却 効 率 は 必 ず し も 高 い と は 言 え な い 。 こ の た め 、 レ ー ザ 発 振 器 を 十 分 に 冷 却 す る に は 、 冷 却 流 体 の 流 量 を 高 く す る 必 要 が あ り 、 流 体 を 供 給 す る ポ ン プ 等 の 消 費 電 力 が 大 き く な っ て し ま う 。
【 先 行 技 術 文 献 】 【 特 許 文 献 】 【 ０ ０ ０ ８ 】
【 特 許 文 献 １ 】 特 開 ２ ０ ０ ０ − ２ ９ ９ ５ ２ ４ 【 特 許 文 献 ２ 】 特 開 ２ ０ ０ ８ − ２ ４ ４ ２ ７ ５ 【 発 明 の 開 示 】
【 発 明 が 解 決 し よ う と す る 課 題 】 【 ０ ０ ０ ９ 】
本 発 明 の 課 題 は 、 パ イ プ に 冷 却 流 体 を 流 す 形 の 冷 却 構 造 に お い て 、 冷 却 対 象 に 対 す る 冷 却 効 率 を 改 善 す る こ と で 、 よ り 少 な い 冷 却 流 体 で 所 望 す る 冷 却 能 力 を 得 る こ と が で き る 、 冷 却 構 造 を 提 供 す る こ と に あ る 。
【 課 題 を 解 決 す る た め の 手 段 】 【 ０ ０ １ ０ 】
本 発 明 者 は 、 基 板 に 設 け た 溝 に 冷 却 流 体 輸 送 管 （ パ イ プ ） を 配 設 す る 際 、 冷 却 対 象 が 設 け ら れ る 側 に お け る 冷 却 流 体 輸 送 管 の 肉 厚 を 、 冷 却 流 体 輸 送 管 が 溝 と 接 す る 部 分 の 肉 厚 よ り 薄 く す る こ と で 、 従 来 の 問 題 を 解 消 で き る こ と を 究 明 し た 。
【 ０ ０ １ １ 】
本 発 明 に よ っ て 提 供 さ れ る 冷 却 構 造 は 、 冷 却 流 体 輸 送 管 と 、 該 冷 却 流 体 輸 送 管 が 配 設 さ れ る 溝 が 設 け ら れ た 基 板 と を 備 え 、 該 基 板 上 に お い て 該 冷 却 流 体 輸 送 管 と 該 溝 が 接 し な い 部 分 に お け る 該 冷 却 流 体 輸 送 管 の 肉 厚 の 少 な く と も 一 部 が 、 該 冷 却 流 体 輸 送 管 と 該 溝 が 接 す る 面 に お け る 肉 厚 よ り も 薄 い こ と を 特 徴 と す る 。
【 発 明 の 効 果 】 【 ０ ０ １ ２ 】
本 発 明 の 冷 却 構 造 に あ っ て は 、 以 下 に 記 載 し た 優 れ た 効 果 が 期 待 で き る 。
（ １ ） 冷 却 流 体 輸 送 管 と 基 板 と の 間 の 熱 抵 抗 が 相 対 的 に 上 昇 す る た め 、 冷 却 流 体 輸 送 管 と 基 板 と の 間 で の 熱 伝 導 が 抑 制 さ れ る 。
（ ２ ） こ の た め 、 本 来 の 冷 却 対 象 で は な い 基 板 に 対 す る 冷 却 効 果 が 下 が る 一 方 、 そ の 分 を 本 来 の 冷 却 対 象 の 冷 却 に 使 用 で き る た め 、 冷 却 効 率 が 上 昇 す る 。
（ ３ ） 冷 却 効 率 が 上 昇 す る た め 、 冷 却 流 体 の 流 量 を 減 ら す こ と が で き 、 流 体 を 流 す た め の ポ ン プ 出 力 （ 消 費 電 力 ） 、 及 び 流 体 の 使 用 量 が 低 減 で き る 。
【 図 面 の 簡 単 な 説 明 】 【 ０ ０ １ ３ 】
【 図 １ 】 一 般 的 な フ ァ イ バ レ ー ザ 装 置 の 一 例 で あ る 。 【 図 ２ 】 本 発 明 の 基 本 的 構 造 を 示 す 。
【 図 ３ 】 本 発 明 の 一 例 で あ り 、 冷 却 流 体 輸 送 管 の 一 部 を 扁 平 状 に 変 形 し た も の で あ る 。 【 図 ４ 】 本 発 明 の 一 例 で あ り 、 冷 却 流 体 輸 送 管 の 一 部 を 扁 平 状 に 変 形 し 、 さ ら に 基 板 表 面 に 熱 伝 導 性 平 板 を 設 け た も の で あ る 。
10
20
30
40
50 。
【 発 明 を 実 施 す る た め の 形 態 】 【 ０ ０ １ ４ 】
以 下 、 本 発 明 の 基 本 的 構 成 を 、 添 付 図 面 を 参 照 し な が ら 説 明 す る 。
図 ２ に お い て 、 １ １ は 冷 却 流 体 輸 送 管 、 １ ２ は 基 板 、 １ ３ は 溝 、 １ ４ は 冷 却 流 体 輸 送 管 の 肉 薄 部 、 １ ５ は 冷 却 対 象 で あ る 。
本 発 明 で 特 徴 的 な こ と は 、 基 板 １ ２ 上 に お い て 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ と 溝 １ ３ が 接 し な い 部 分 に お け る 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ の 肉 厚 の 少 な く と も 一 部 を 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ と 溝 １ ３ が 接 す る 面 に お け る 肉 厚 よ り も 薄 く し て い る こ と で あ る 。
【 ０ ０ １ ５ 】
一 般 的 に ２ つ の 物 体 が 接 触 し て い る 際 の 熱 伝 導 の 大 き さ は 、 ２ つ の 物 体 間 の 熱 抵 抗 の 大 小 に 反 比 例 し て 増 減 す る 。 本 発 明 は 、 こ の 熱 伝 導 の 特 徴 に 着 目 し て 得 ら れ た も の で あ る 。 【 ０ ０ １ ６ 】
す な わ ち 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ と 溝 １ ３ が 接 し な い 部 分 、 言 い 換 え る と 本 来 の 冷 却 対 象 １ ５ が 設 け ら れ る 側 に お け る 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ の 肉 厚 を 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ と 溝 １ ３ が 接 す る 面 に お け る 肉 厚 よ り 薄 く す る こ と に よ り 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ と 基 板 １ ２ と の 間 の 熱 抵 抗 が 相 対 的 に 高 く な り 、 そ の 結 果 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ と 基 板 １ ２ と の 間 で の 熱 伝 導 が 抑 制 さ れ る こ と と な る 。
【 ０ ０ １ ７ 】
冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ と 基 板 １ ２ と の 間 で の 熱 伝 導 が 抑 制 さ れ る こ と に よ り 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ を 介 し た 冷 却 流 体 に よ る 基 板 １ ２ の 冷 却 効 果 が 下 が る が 、 基 板 １ ２ は 必 ず し も 積 極 的 に 冷 却 す る 必 要 は な い た め 、 基 板 １ ２ に 対 す る 冷 却 効 果 の 低 下 は 問 題 と な り に く い 。 そ の 分 、 冷 却 流 体 の 温 度 上 昇 が 抑 制 さ れ る た め 、 本 来 の 冷 却 対 象 １ ５ に 対 す る 冷 却 効 果 が 上 昇 す る 。
【 ０ ０ １ ８ 】
な お 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ と 溝 １ ３ が 接 し な い 部 分 の 肉 厚 が 全 て 溝 １ ３ と 接 す る 部 分 の 肉 厚 よ り 薄 い 必 要 は な く 、 ま た 、 溝 １ ３ と 接 す る 部 分 の 一 部 が 薄 肉 と な っ て も 構 わ な い 。 本 発 明 が 意 図 す る と こ ろ は 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ に 薄 肉 部 １ ４ を 設 け る こ と に よ る 冷 却 効 率 の 改 善 で あ り 、 こ の 意 図 か ら 外 れ な い 範 囲 に お い て は 、 薄 肉 部 １ ４ が 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ と 溝 １ ３ が 接 し な い 部 分 の 一 部 だ け に 存 在 し て も 良 い し 、 あ る い は 溝 １ ３ と 接 す る 部 分 の 一 部 に 存 在 し て も 良 い 。
【 ０ ０ １ ９ 】
冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ に 薄 肉 部 １ ４ を 設 け る 方 法 と し て は 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ の 表 面 を 削 っ て も 良 い し 、 予 め 偏 肉 し た も の を 使 用 し て も 良 い 。
【 ０ ０ ２ ０ 】
冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ の 断 面 形 状 は 特 に 限 定 さ れ ず 、 入 手 可 能 な も の を 適 宜 選 択 し て 使 用 す れ ば 良 い 。
入 手 性 や コ ス ト を 考 慮 す る と 、 一 般 的 な 略 円 形 の 断 面 形 状 を 有 す る も の を 使 用 す る こ と が 多 い が 、 こ の 時 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ と 溝 １ ３ が 接 し な い 部 分 を 、 図 ３ に 示 す よ う に 扁 平 状 に 変 形 す る こ と が 好 ま し い 。
冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ と 溝 １ ３ が 接 し な い 部 分 を 扁 平 状 と す る こ と で 、 冷 却 対 象 １ ５ を 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ 上 に 設 置 し や す く な る 。
【 ０ ０ ２ １ 】
図 ２ 、 ３ に 示 し た よ う に 冷 却 対 象 １ ５ を 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ 上 に 直 接 設 置 し て も 良 い が 、 冷 却 対 象 １ ５ が 多 数 あ る な ど し て 直 接 設 置 が 煩 雑 な 場 合 は 、 図 ４ に 示 し た よ う に 基 板 １ ２ の 表 面 に 熱 伝 導 性 平 板 １ ６ を 設 け 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ と 溝 １ ３ が 接 し な い 部 分 に お い て 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ が 熱 伝 導 性 平 板 １ ６ と 密 着 す る よ う に 構 成 し て も 良 い 。 熱 伝 導 性 平 板 １ ６ を 冷 却 対 象 １ ５ の 設 置 に 好 適 な も の と す る こ と で 、 種 々 の 冷 却 対 象 に 対 し て 容 易 に 本 発 明 の 冷 却 構 造 を 適 用 で き る 。
10
20
30
40
50 ま た 、 熱 伝 導 性 平 板 １ ６ を 設 け る 際 、 必 ず し も 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ と 溝 １ ３ が 接 し な い 部
分 を 扁 平 状 に 変 形 す る 必 要 は な い が 、 扁 平 状 に し て 熱 伝 導 性 平 板 １ ６ と 密 着 さ せ る 場 合 は 、 熱 伝 導 性 平 板 １ ６ の 厚 さ を 薄 く す る こ と が で き 、 冷 却 対 象 １ ５ の 冷 却 効 率 を 高 め る こ と が で き る た め 、 よ り 好 ま し い 。
【 ０ ０ ２ ３ 】
冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ が 熱 伝 導 性 平 板 １ ６ と 密 着 す る 面 を 扁 平 状 と す る 場 合 は 、 基 板 １ ２ の 溝 に 冷 却 流 体 輸 送 管 １ ３ を 配 設 し 、 そ の 表 面 を プ レ ス し て 扁 平 状 に 加 工 し た 後 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ の 扁 平 状 と な っ た 面 を 削 っ て 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ が 熱 伝 導 性 平 板 １ ６ と 密 着 す る 面 の 肉 厚 を 薄 く す る の が 好 ま し い 。
こ の 工 程 を 踏 む こ と に よ っ て 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ が 溝 １ ３ と 接 す る 部 分 の 肉 厚 を 不 用 意 に 薄 く し て し ま う こ と を 防 止 で き る 。
【 実 施 例 】 【 ０ ０ ２ ４ 】
以 下 、 本 発 明 の 冷 却 構 造 の 実 施 例 と し て 、 フ ァ イ バ レ ー ザ 装 置 に 使 用 す る 際 の 一 例 を 示 す 。
【 ０ ０ ２ ５ 】
図 ５ に 示 す よ う に 、 ス テ ン レ ス 製 の 基 板 １ ２ に 、 最 大 深 さ ４ ｍ ｍ 、 幅 ９ ． ５ ｍ ｍ の 半 円 状 の 溝 １ ３ を １ ０ ｍ ｍ 間 隔 で ２ 本 設 け 、 そ れ ぞ れ に 内 径 ８ ｍ ｍ 、 肉 厚 １ ｍ ｍ で あ る 銅 製 の 断 面 円 形 状 の 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ を 配 置 し た 。
冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ を 配 置 後 、 厚 さ ３ ｍ ｍ の ア ル ミ ニ ウ ム 製 の 熱 伝 導 性 平 板 １ ６ を 基 板 １ ２ の 表 面 に 押 し 当 て 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ の 表 面 を 扁 平 状 に 変 形 さ せ た 。
【 ０ ０ ２ ６ 】
冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ を 変 形 さ せ た 後 、 熱 伝 導 性 平 板 １ ６ を 外 す と 、 扁 平 状 に な っ た 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ の 表 面 が 基 板 １ ２ の 表 面 か ら ０ ． ３ ｍ ｍ ほ ど 飛 び 出 た 状 態 と な っ た 。
こ の 飛 び 出 た 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ の 表 面 を 削 り 、 基 板 １ ２ の 表 面 と 面 一 と す る こ と で 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ が 熱 伝 導 性 平 板 １ ６ と 密 着 す る 面 を 、 溝 １ ３ と 接 す る 面 よ り 薄 く な る よ う に し た 。
【 ０ ０ ２ ７ 】
再 び 基 板 の 表 面 に 熱 伝 導 性 平 板 １ ６ を 押 し 当 て 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ の 表 面 と 密 着 す る よ う に 固 定 し た 。
そ し て フ ァ イ バ レ ー ザ 装 置 に お い て 励 起 光 源 と な る １ ０ Ｗ の レ ー ザ 発 振 器 １ ５ を 、 図 ５ に 示 し た よ う に 、 そ の 中 心 軸 が 基 板 １ ２ に 設 け た ２ 本 の 溝 １ ３ の 中 心 上 に 位 置 す る よ う 、 熱 伝 導 性 基 板 １ ６ 上 に 計 ６ 個 配 置 し た 。
【 ０ ０ ２ ８ 】
レ ー ザ 発 振 器 １ ５ を 所 定 の 出 力 で 動 作 さ せ る と と も に 、 熱 伝 導 性 平 板 １ ６ の 表 面 温 度 が ２ ５ ℃ と な る よ う 、 温 度 ２ ０ ℃ の 水 を ２ 本 存 在 す る 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ の そ れ ぞ れ に 流 し た 。 こ の 時 、 そ れ ぞ れ の 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ に 流 れ る 水 量 が 毎 分 ３ ． ５ リ ッ ト ル で 熱 伝 導 性 平 板 １ ６ の 表 面 温 度 が ２ ５ ℃ と な り 、 所 望 す る 冷 却 効 果 が 得 ら れ た 。
【 ０ ０ ２ ９ 】
比 較 例 と し て 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ の 表 面 を 削 ら ず に 、 図 ５ と 同 様 の サ ン プ ル を 作 成 し 、 同 等 の 冷 却 効 果 を 得 る た め に 必 要 な 水 量 を 調 べ た と こ ろ 、 そ れ ぞ れ の 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ に 流 れ る 水 量 が 毎 分 ４ ． ５ リ ッ ト ル で あ り 、 冷 却 流 体 輸 送 管 １ １ に 薄 肉 部 １ ４ を 設 け る こ と に よ る 冷 却 効 果 の 改 善 を 確 認 で き た 。
【 ０ ０ ３ ０ 】
以 上 の 例 は 、 本 発 明 の 一 例 に 過 ぎ ず 、 本 発 明 の 思 想 の 範 囲 内 で あ れ ば 、 種 々 の 変 更 お よ び 応 用 が 可 能 で あ る こ と は 言 う ま で も な い 。 例 え ば 、 本 発 明 の 冷 却 構 造 は 、 必 要 な 冷 却 能 力 に 応 じ て 、 冷 却 流 体 輸 送 管 を よ り 密 集 し て 並 列 さ せ た り 、 あ る い は 溝 を 基 板 上 に 蛇 行 し て 設 け た り す る な ど 、 種 々 変 形 さ れ て 供 さ れ る こ と は 言 う ま で も な い 。
10 【 符 号 の 説 明 】
【 ０ ０ ３ １ 】
１ 信 号 光 源 ２ 信 号 光 ３ 励 起 光 源 ４ 励 起 光 ５ 光 結 合 器
６ 光 結 合 器 と 増 幅 用 光 フ ァ イ バ の 接 続 部 ７ 増 幅 用 光 フ ァ イ バ
８ 増 幅 用 光 フ ァ イ バ と レ ー ザ 出 射 用 光 フ ァ イ バ の 接 続 部 ９ レ ー ザ 出 射 用 光 フ ァ イ バ
１ ０ レ ー ザ 光
１ １ 冷 却 流 体 輸 送 管 １ ２ 基 板
１ ３ 溝
１ ４ 冷 却 流 体 輸 送 管 の 肉 薄 部 １ ５ 冷 却 対 象 （ レ ー ザ 発 振 器 ） １ ６ 熱 伝 導 性 平 板
【 図 １ 】
【 図 ２ 】
【 図 ３ 】
【 図 ４ 】
10 フロントページの続き
( 72) 発明者 齋藤 和也
