光学機器 測定顕微鏡 Catalog No.4273

光学機器

Catalog No.4273

⑳

測定顕微鏡

顕 微 鏡 で あ り 、 測 定 機 で あ る

測定顕微鏡への期待

測定顕微鏡は観察機能に測定機能が付加された顕微鏡です。 半導体・電子電気部品・精密自動車部品・樹脂成型・工具・医療品などその被検物 はさまざまであり、接触測定できないようなやわらかい被検物や測定プローブで 接触できないほど小さい穴径などの測定シーンに応えてくれます。 測定顕微鏡に求められる重要な要素は光学性能・トータル精度・操作性のバランス です。今まで見えなかったもの見にくかったものが観察でき、さらに測定もできる。 測定顕微鏡への期待は今後もますます大きくなり、同時に求められるのは人に やさしいこと、測定データの高スループット、地球環境にやさしいことだと考え ています。産業のマザーテクノロジーを支える責任を果たすべく、こだわりと信念 を持ち続け、高品質・高品位の測定顕微鏡をお届けしていきたいと考えています。

開発・設計から納入後のサポートまで

レンズ・鏡筒（光学系）を含めた顕微鏡ボディから本体内蔵の高精度デジタル スケールまで、すべて自社で開発設計製造しています。自社開発設計だからこそ できる特別仕様のご相談や特注製作等の対応に積極的にお応えしてまいります。 顕微鏡本体は、生産工場からご希望の最終場所までの運送・設置・調整まで責任を 持って対応させていただきます※_{。また、顕微鏡本体の梱包箱はリサイクル方式を} 採用しておりますので、納入先のお客様で可能な限り廃棄物を出さないように考え ております。調整後は、ご要望に応じて保守契約等の万全のアフターサービス体制 をとっておりますので、長く安心してお使いいただけます。 ※専用便で運送した場合。

0 測定範囲 規格 X軸測定精度

光学性能の追求

～

顕微鏡の本質

測定精度の追求

～

JIS0

級にせまる測定精度

安心してお使いいただくために

～

国際規格のトレーサビリティ

前

B

シリーズから継承された光学設計の顕微鏡鏡筒と対物レンズによって、光学系内 に発生するフレアを極力抑え、被検物の微細なディテールを明るくすっきり表現しま す。黒色樹脂の表面も高コントラストでクリアに観察できます。

MF-U

シリーズは定評 ある

FS

光学系金属顕微鏡ヘッドを搭載しており、

3

原色を補正した色再現性の高い 鮮やかな像を表現します（対物レンズはプランアポクロマート仕様※_）。 本

C

シリーズは照明系を

LED

とハロゲンから選択でき、光学系内で照明効率を一段 と高め十分な照度を確保していますので、効率的で疲労感の少ない高倍率測定・ 暗視野観察環境を提供できます。 測定顕微鏡は光学性能だけでなく総合的な測定精度も高いレベルでなければなりません。 本

C

シリーズは全ステージサイズにおいて上記規格の測定精度を実現しています※_。 ロングストローク測定と高精度を同時に実現していますのであらゆる測定シーンでお役に立てると考えています。 ※JIS B 7153のXY軸各軸の測定方法に準拠しています。上記測定精度グラフはサンプルであり、全ての本体精度を表しているものではありません。 顕微鏡本体に内蔵するデジタルスケールは光電式透過型リニアエンコーダ（最大応答速度

50m/min

）で世界最高水準のスケール精度 評価技術をもつ地下研究棟で開発された高精度仕様です。 弊社は線度器（長さ

500mm

までの標準尺）の校正で国内初の認定を取得しています。 （

MF C

・

MF-U C

共通）

X

・

Y

軸：

(2.2+0.02L)µm

以下

※像面全域における湾曲収差および3原色（青・黄・赤）の波長域における色収差を補正した仕様 線度器校正機 地下での温度変化グラフ ガラススケール 参考）

JIS B 7153

測定顕微鏡　各軸の測定精度（

20

℃）

0

級

(2+0.01L)µm

以下

1

級

(4+0.02L)µm

以下　

L=

測定長

mm

特定 標準器 産業技術 総合研究所 計量標準 総合センター 【NMIJ/AIST】 ミツトヨ計量標準 キャリブレーション センタ 【JCSS認定事業者 No.0031】 特定2次 標準器 常用参照 標準 ミツトヨ広島 キャリブレーション センタ 【JCSS認定事業者 No.0109】 ミツトヨ計量標準 キャリブレーション センタ 【JCSS認定事業者 No.0031】 ミツトヨ テクノサービス事業本部 ミツトヨ宇都宮 キャリブレーション センタ 【JCSS認定事業者 No.0078】 ミツトヨ 宮崎工場 【JCSS認定事業者 No.0030】 ミツトヨでは日本の国家標準に直接つながった長さ標準器を 保有し、測定機器の校正に使用する標準器の校正を行うことにより、 お客様がご使用になる各種測定機器のトレーサビリティ確立と維持 を行っています。更に高精度な長さ測定に必要不可欠な温度の校 正事業も実施しております。 サンプル

測定顕微鏡によるソリューション

顕微鏡ベースの高解像測定

誰でも簡単に顕微鏡撮影

微小エリアの観察検査

測定顕微鏡に画像測定オプション【画像ユニット】を搭載すれば、マニュアル画像 測定システムを構築できます。ステージの移動量を常にソフト側で通信している為、 カメラの撮像範囲内（画面内）だけでなく画面に入りきらない広範囲測定にも対応 しています。また、自動エッジ検出機能が効率的でスループットが早い測定環境を提 供します。 しかし一方では、カメラによる解像力よりも接眼レンズ越しに見る解像力が勝るケ ースもあります。例えば、黒色の樹脂成型品の表面状態はカメラ（モニタ観察）よ りも肉眼で直接見た方がクリアに見えることがあり、表面状態等の確認もできる 測定顕微鏡は非常に付加価値が高いシステムと言えます。この場合の寸法測定では、 測定顕微鏡本体に二次元データ処理装置【

QM-Data200

】（専用電装）を接続してお 使いいただくことをお奨めします。 顕微鏡用デジタルカメラを装着すれば誰でも簡単に顕微鏡撮影ができます。汎用性 が高い

C

マウントアダプタを採用していますので、

C

マウント対応のデジタルカメラ であればどの機種でも装着することができます。また、モニタに表示された顕微鏡 画像を多人数で同時に解析評価したり、画像を添付した検査表作成をシステム化 できます。 顕微鏡用デジタルカメラシステム【

ImageX PRO 3000

】は、撮影印刷機能はもとより 画像解析機能やメール送信機能などを備えています。

MF

シリーズは、豊富な照明を併用することによって被検物の色再現性やリアリティ をより高めた観察検査を可能とします。

MF-U

シリーズは、暗視野（明視野では見えにくい表面の傷や微小段差の観察）・簡易 偏光（ポラライザ・アナライザを通して偏光特性に応じた色合いやコントラストの 観察）・微分干渉（偏光フィルタと微分干渉プリズムを併用し、表面の微細な段差な どを色のコントラストで観察）等の金属顕微観察に測定機能がついた高付加価値 顕微鏡です。 明視野観察 暗視野観察 偏光観察 微分干渉観察

MF-UB1010C＋ImageX PRO 3000

高い合焦再現性による高さ測定

顕微鏡で段差などの高さ方向を測定する場合は、合焦の再現性が重要なポイントになります。特に対物 レンズの焦点深度による測定誤差は避けられません。 測定顕微鏡

MF/MF-U

シリーズには合焦再現性を高めるフォーカスパイロットを用意しています。 フォーカスパイロットは顕微鏡本体の

TV

カメラポート部にアドオン装着※_{し、高精度かつ再現性の高い} 合焦位置検出を可能とします。 目視に比べ再現性が向上し、個人誤差による測定値の変動が小さくなります。 合焦したい部分の大きさや被検物の表面状態や材質等に応じて選べるフォーカスパターンは

2

種類 あり、クリアで明るい高輝度

LED

（緑色または赤色）を光源に採用しています。無段階で明るさを調整 できる合焦パターンは接眼レンズ上および

TV

モニタ上で確認することができますので、測定スルー プットが大幅に短縮します。 新設計 ※：MF-UCシリーズは工場オプションになります。

①

②

①

②

詳細はP22を参照ください。

more Details

広視野観察

透過・反射照明は

LED

照明・ハロゲン照明から選択

クラス最大の視野数※

_24mm

_（

_WF10

_{×の場合）の接眼レンズで覗く} 実視野は広く、長時間にわたる観察・測定でも眼への負担が小さく 疲労感もほとんどありません。本

C

シリーズと同時に新しく設計 された

WF10

×接眼レンズは、左右個別の視度調整範囲が従来品に 比べ広くなっています。 ※対物レンズ1×時に視野全体で確認できる被検物上の範囲 顕微鏡本体の同軸照明は

LED

照明とハロゲン照明から選択することができます。こ れまでのハロゲン照明による観察測定をご希望される場合はハロゲン照明を、ラン プ切れ時の交換時間のロスを低減して高輝度で調光反応が早い照明をご希望され る場合は

LED

照明を選択することができます。

LED

照明は寿命が長く※1_{、突然点灯しなくなることはありません。} また、蛍光灯のようなチラツキがなく色温度の変化もないので、見え方・明るさ・ 色合いが変わりません。長時間観察での目の疲れを軽減します。消費電力も少なく 可視光以外の放射がほとんどありませんので、発熱も少なく経済的かつ被検物への 熱影響を抑えた測定が可能です※2_{。衝撃にも強く、環境に有害な物質を含んでいま} せんので長く安心してお使いいただける照明光源といえます。

MF/MF-U

シリーズは全機種に透過・反射照明絞り機構を標準で搭載していますので、 光の回折を抑えた観察測定が可能です。 ※1：常に最大照度でご使用になると寿命が短くなります。 ※2：MF C/MF-U C用LED照明装置にはさらなる熱影響対策として、冷却ファン（静音仕様）を内蔵しています。 MF （

MF C

・

MF-U C

共通） （

MF C

・

MF-U C

）

高剛性コラムベース

低倍率から高倍率まで任意の総合倍率で観察・ 測定するには鏡筒を保持するコラムおよび顕微鏡 全体を支えるベースの剛性がしっかりしていな ければなりません。 本シリーズは落下試験※_{・輸送試験}※_{・スムージン} グ試験などさまざまな角度から評価を繰返し、 フルストロークにおいてブレのない見えと安定 した精度を実現しています。 コラム内部には横リブを追加し剛性を高め、 ベース部の剛性向上および高精度測定を実現 するために、電源部をベース内部から外に出し 熱影響を抑えています。 ※専用梱包状態での弊社独自試験 （

MF C

・

MF-U C

共通） カウンタ前面

LED透過照明部（MF C/MF-U C共通） LED反射照明部（MF C用） LED反射照明部（MF-U C用）

LED照明イメージ カウンタ裏面 ハロゲン照明イメージ

視認性の高いデジタル表示

全機種標準付属のデジタルカウンタ（

2

軸・

3

軸）の最小表示量は

1µm / 0.5µm / 0.1µm

の切換ができ、高分解能測定を可能にします。また、ゼロセット・ディレクション切換・ スムージングが標準機能となります（ゼロセットは

XY

ハンドル近くのスイッチでも可能 です）。 また、データ出力は汎用性の高い

RS-232C

を採用しておりますので汎用プリンタや パソコンへのデータ出力に対応しています。カウンタ表示のみの表計算ソフトへの 出力も可能です。デジタルカウンタはコラムの左右どちらにも取付が可能です（工場 オプション）。 （

MF C

・

MF-U C

共通） コラム 新設計 新設計

クイックリリース ハンドル クイックリリース ハンドル ゼロセット スイッチ MF C MF-U C

両側

Z

軸ハンドル標準

ティルティング鏡筒標準搭載

操作する方の体格に合わせた位置にアイポイント調整 が可能なため快適に観察できます。 附視角は

0

～

30˚

で任意の位置で固定できます。 また、鏡筒内部のレチクルは交換可能です。

Z

軸ハンドルはコラムの両側に標準化していますので 操作する方の利き手を選びません。 また、デジタルカウンタはコラムの左右どちらにも取付 が可能ですので利き手に合わせた操作環境を実現でき ます。 人間工学を考慮し、ハンドル位置は女性の方でも快適 に操作できる設計になっています。 （

MF C

・

MF-U C

） （

MF-U C

） （

MF C

工場オプション）

クイックリリース機構

※1

＆ゼロセットスイッチ内蔵

※2

XY

ハンドル内側のクイックリリースハンドルでステージ送りを大粗動

/

微動（

FREE/

LOCK

）に切換できます。 ステージが完全フリー状態になりますので測定位置の距離が長い場合や基準位置 に早く戻る際などにとても便利です。 本機構はツイストローラー方式を採用していますので切替時にほとんど衝撃がなく、 滑らかな送りを体感できます。また、ハンドル近くにカウンタのゼロセットスイッチ を内蔵※2_{していますので、ピント合わせ以外はほとんどハンドル周辺から手を離す} ことなく接眼部に意識を集中して測定ができます。 ※1特許出願中（出願国：日本） ※2ゼロセットスイッチの内蔵はXY軸のみとなります。Z軸ゼロセットスイッチは内蔵ではありません。

MF

（有限補正光学系）は通常対物レンズは

1

本しか装着 できませんので、倍率変換時には外して付け換えなく てはなりません。 スライド式ノーズピースは

2

本まで対物レンズの装着 が可能なため、瞬時に倍率変換ができます。 注）外部照明は装着できません。 （

MF C

・

MF-U C

共通）

ロングストロークまで網羅したステージバリエーション

被検物は微細なものから大きなものまでその寸法はさまざまです。 業種を問わず広くご使用いただいている測定顕微鏡だからこそ測定ストロークに は多くのバリエーションをもたせています。 本シリーズでは、基板やシャフト、刃工具等の測定に有効な

400mm

（

X

軸）×

200mm

（

Y

軸）×

220mm

（

Z

軸）のロングストローク測定を可能にするステージをご 用意しています。標準機は

Z

軸

220mm

になりますが、コラムアップ仕様の

Z

軸拡張に も対応させていただきます。 また、被検物をテーブル移動方向に平行に定置させる際に便利なスイベル回転機構※ も標準装備しています。 ※Y軸170mmサイズ以上のみ （

MF C

・

MF-U C

共通）

スライド式ノーズピース

300mm

220mm

220mm

Z

軸

220mm

300mm 220mm 220mm

Y

軸

200mm

300mm 220mm 220mm

X

軸

400mm

MF-B4020C

測定顕微鏡

MF

シリーズ

■

フレアを抑えた鮮やかな正立像広視野観察

■

このクラス最高レベルの測定精度を実現（

JIS B 7153

準拠）

■

MF

専用の高

NA

対物レンズ

ML

シリーズを使用（長作動距離仕様）

■

照明部（反射・透過）は高輝度

LED

照明またはハロゲン照明から選択可能（必須）

■

可変開口絞り（反射・透過）機構により光の回折を抑えた観察測定が可能

■

豊富なステージラインアップで最大

400

×

200mm

を標準化

■

大形サイズや多数個測定時のロングストローク摺動に便利なクイックリリース機構

■

利き手を選ばない両側標準装備の粗微動ハンドルでジャストフォーカス＆観察測定

■

最大

2000

×の高倍率接眼観察が可能

■

画像ユニットや各種顕微鏡用デジタルカメラなど多彩なオプションも魅力的な測定顕微鏡の標準機

■

静音設計

特長

MF-B505C

※双眼装置（接眼レンズ）とLED照明装置は オプションです。

MF-B1010C

※双眼装置（接眼レンズ）とLED照明装置は オプションです。

MF-B2010C

※双眼装置（接眼レンズ）とLED照明装置は オプションです。

MF-B2017C

※双眼装置（接眼レンズ）とLED照明装置は オプションです。

MF-B3017C

※双眼装置（接眼レンズ）とLED照明装置は オプションです。

MF-B4020C

※双眼装置（接眼レンズ）とLED照明装置は オプションです。

仕様

※1：国内特許登録済 ※2：測定方法は、JIS B 7153に準拠します。

Z

軸測長無 符号_コード

_No.

MF-A505C

_176-661

MF-A1010C

_176-662

MF-A2010C

_176-663

MF-A2017C

_176-664

MF-A3017C

_176-665

MF-A4020C

_176-666

Z

軸測長有 符号_コード

_No.

MF-B505C

_176-681

MF-B1010C

_176-682

MF-B2010C

_176-683

MF-B2017C

_176-684

MF-B3017C

_176-685

MF-B4020C

_176-686

鏡筒（接眼装置は必須選択オプション） _TV 単眼装置/双眼装置(附視角25°) カメラポート全機種標準装備、レチクル（鎖線十字線　線幅5µm）、光路切換(観察/TVカメラ＝50/50) 観察像 正立像 観察方法 明視野観察 接眼レンズ（オプション）　視度調節可 10×（視野数24）、15×、20×　　　注）単眼装置：10×レンズ1個標準付属、双眼装置：10×レンズ2個標準付属 対物レンズ（オプション） ML対物レンズ　3×(標準付属)、1×、5×、10×、20×、50×、100× Z軸 最大被検物高さ_送り機構 150mm _{1軸粗微動・左右両ハンドル(粗動:30mm/回転、微動0.2mm/回転)}220mm 照明装置 （必須選択 オプション） LED照明装置 透過：テレセントリック照明 ･ 開口絞り内蔵 ･ 白色LED光源 ･ 無段階調光・冷却ファン付き 反射：ケーラー照明 ･ 可変開口絞り機構付 ･ 白色LED光源 ･ 無段階調光 コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）･AC電源入力コネクタ100V～240V ハロゲン照明装置 透過：テレセントリック照明 ･ 開口絞り内蔵 ･12V50Wハロゲンランプ ･ 無段階調光・冷却ファン付き 反射：ケーラー照明 ･ 可変開口絞り機構付 ･12V50Wハロゲンランプ ･ 無段階調光・冷却ファン付き コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）･AC電源入力コネクタ100V～240V 照明フィルタ GIFフィルタ　1個標準付属（透過、反射ともに装着可能） ステージ 測定範囲 50×50mm 100×100mm 200×100mm 200×170mm 300×170mm 400×200mm 上面寸法 280×280mm 280×280mm 350×280mm 410×342mm 510×342mm 610×342mm 載物ガラス有効寸法 180×180mm 180×180mm 250×150mm 270×240mm 370×240mm 440×240mm スイベル量 ー ±5°(左) ±3°(左) 最大積載質量(ガラス上面) 10kg 20kg 15kg クイックリリース機構 XY軸標準 ゼロセットスイッチ XY軸標準（MF-BタイプのみZ軸も標準） 測長系 高精度デジタルスケール※１ 測定精度※2　_{(XY軸：無負荷時) (2.2+0.02L)µm　　　L：測定長(mm)} デジタルカウンタ 最小表示量 1 / 0.5 / 0.1µm切換 表示軸 X・Y軸（MF-BタイプのみX・Y・Z軸） 機能 ゼロセット、ディレクション切換、RS232C出力 本体外観寸法(W×D×H) 562×730×667mm 562×730×667mm 624×745×667mm 632×892×782mm 682×892×782mm 757×907×782mm 本体質量 65.5kg 69.5kg 130kg 138kg 144kg コントロールユニット　外観寸法　質量 114（W）×330（D）×90.5（H） mm　　2.0kg 最大消費電力（顕微鏡本体と照明装置） LED照明装置：65W　　ハロゲン照明装置：120W ハロゲンランプ交換 反射・透過用 標準：No.513667（12V50W） ロングライフ：No.12BAB345（12V50W）

ユニバーサル測定顕微鏡

MF-U

シリーズ

■

新フレアを抑えた鮮やかな正立像広視野観察

■

このクラス最高レベルの測定精度を実現（

JIS B 7153

準拠）

■

定評のある

FS

光学系高

NA

対物レンズ

M Plan Apo / BD Plan Apo / G Plan Apo

シリーズを使用（長作動距離仕様）

■

金属顕微鏡と測定顕微鏡の機能を

1

台に集約し、高解像観察＋高精度測定ソリューションを提供

■

照明部（反射・透過）は高輝度

LED

照明またはハロゲン照明から選択可能（必須）

※ハロゲン照明は透過用に1個のみとなりますので、反射用に別光源仕様をお求めください

■

可変開口絞り（反射・透過）機構により光の回折を抑えた観察測定が可能

■

豊富なステージラインアップで最大

400

×

200mm

を標準化

■

大形サイズや多数個測定時のロングストローク摺動に便利なクイックリリース機構

■

利き手を選ばない両側標準装備の粗微動ハンドルでジャストフォーカス＆観察測定

■

最大

4000

×の高倍率接眼観察が可能（

M Plan Apo SL200

×使用時）

■

画像ユニットや各種顕微鏡用デジタルカメラなど多彩なオプションも魅力的な測定顕微鏡の標準機

■

静音設計

特長

MF-UB505C

※レボルバ・対物レンズ・LED照明装置はオプションです。

MF-UB1010C

※レボルバ・対物レンズ・LED照明装置はオプションです。

MF-UB2010C

※レボルバ・対物レンズ・LED照明装置はオプションです。

MF-UB2017C

※レボルバ・対物レンズ・LED照明装置はオプションです。

MF-UB3017C

※レボルバ・対物レンズ・LED照明装置はオプションです。

MF-UB4020C

※レボルバ・対物レンズ・LED照明装置はオプションです。

仕様

BF(

明視野）

Z軸測長無 符号_コードNo.

MF-UA505C

MF-UA1010C

MF-UA2010C

MF-UA2017C

MF-UA3017C

MF-UA4020C

176-667

176-668

176-669

176-670

176-671

176-672

Z軸測長有 符号

MF-UB505C

MF-UB1010C

MF-UB2010C

MF-UB2017C

MF-UB3017C

MF-UB4020C

コードNo.

176-687

176-688

176-689

176-690

176-691

176-692

BD

（明暗視野）

Z軸測長無 符号

MF-UC505C

MF-UC1010C

MF-UC2010C

MF-UC2017C

MF-UC3017C

MF-UC4020C

コードNo.

176-673

176-674

176-675

176-676

176-677

176-678

Z軸測長有 符号

MF-UD505C

MF-UD1010C

MF-UD2010C

MF-UD2017C

MF-UD3017C

MF-UD4020C

コードNo.

176-693

176-694

176-695

176-696

176-697

176-698

鏡筒 三眼ティルティング鏡筒（附視角0～30°）、ジーデントップ型眼幅調整_{光路切換(観察/TV}51～_カメラ＝76mm、_50/50) 1×チューブレンズ内蔵、レチクル（鎖線十字線/線幅5µm）、 観察像 正立像 観察方法 明視野・暗視野（MF-UC・UDタイプのみ）・簡易偏光・微分干渉 接眼レンズ（オプション）　視度調節可 10×（視野数24　2個標準付属）、15×、20× レボルバ（必須選択 オプション） 明視野（BF） 調心同焦マニュアルレボルバ/調心電動レボルバ（どちらかを選択） 明暗視野（BD） マニュアルレボルバ/電動レボルバ（どちらかを選択） 対物レンズ （オプション）

明視野（BF） M Plan Apo、M Plan Apo SL、G Plan Apo全レンズ

明暗視野（BD） BD Plan Apo、BD plan Apo L全レンズ

Z軸 最大被検物高さ_送り機構 150mm_{1軸粗微動・左右両ハンドル(粗動:10mm/回転、微動0.1mm/回転)}220mm 照明装置（必須選択 オプション） LED照明装置 透過：テレセントリック照明 ･ 開口絞り内蔵 ･ 白色LED光源 ･ 無段階調光・冷却ファン付き 反射：明視野又は明暗視野ケーラ照明 ･ 可変開口絞り機構付 ･ 白色LED光源 ･ 無段階調光 コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）･AC電源入力コネクタ100V～240V ハロゲン照明装置 透過：テレセントリック照明 ･ 開口絞り内蔵 ･12V50Wハロゲンランプ ･ 無段階調光・冷却ファン付き 反射：明視野又は明暗視野ケーラ照明 ･ 可変開口絞り機構付 ･ 外部ファイバ照明（12V100W又は12V150Wハロゲンランプ）･ 無段階調光 コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）･AC電源入力コネクタ100V～240V 照明フィルタ GIFフィルタ　1個標準付属（透過、反射ともに装着可能） ステージ 測定範囲 50×50mm 100×100mm 200×100mm 200×170mm 300×170mm 400×200mm 上面寸法 280×280mm 280×280mm 350×280mm 410×342mm 510×342mm 610×342mm 載物ガラス有効寸法 180×180mm 180×180mm 250×150mm 270×240mm 370×240mm 440×240mm スイベル量 ー ±5°(左) ±3°(左) 最大積載質量(ガラス上面) 10kg 20kg 15kg クイックリリース機構 XY軸標準 ゼロセットスイッチ XY軸標準（MF-UB・UDタイプのみZ軸も標準） 測長系 高精度デジタルスケール※１ 測定精度※2 _{(XY軸：無負荷時) (2.2+0.02L)µm　　　L：測定長(mm)} デジタルカウンタ 最小表示量 1 / 0.5 / 0.1µm切換 表示軸 X・Y軸（MF-UC・UDタイプのみX・Y・Z軸） 機能 ゼロセット、ディレクション切換、RS232C出力 本体外観寸法(W×D×H) 562×730×667mm 562×730×667mm 624×745×667mm 632×892×782mm 682×892×782mm 757×907×782mm 本体質量 65.5kg 69.5kg 130kg 138kg 144kg コントロールユニット　外観寸法　質量 114（W）×330（D）×90.5（H） mm　　2.0kg 最大消費電力（顕微鏡本体と照明装置） LED照明装置：70W　　ハロゲン照明装置：70W※3 ※1：国内特許登録済　※2：測定方法は、JIS B 7153に準拠します。　※3：透過照明部のみでの数値 ハロゲンランプ交換 透過用 標準：No.513667（12V50W） ロングライフ：No.12BAB345（12V50W） ハロゲンランプ交換 反射用（別光源） 詳細はP.17をご覧下さい

オプション

ダイアグラム

単眼装置（接眼レンズ

10

×

1

個付）

176-392

双眼装置（接眼レンズ

10

×

2

個付）

176-393

接眼レンズ

10

×

378-866

（

2

個）

/378-866-5

（

1

個） 接眼レンズ

15

×

378-857

（

2

個）

/378-857-5

（

1

個） 接眼レンズ

20

×

378-858

（

2

個）

/378-858-5

（

1

個） 角度接眼レンズ

10

×

375-043

ImageX PRO 3000

00AAB008

C

マウント

970441

0.5

×

TV

375-054

アダプタユニット デジタル角度接眼レンズ

10

×

176-313

GIF

フィルタ

12AAA645

LB80

フィルタ

12AAA646

ND2

フィルタ

12AAA643

ND8

フィルタ

12AAA644

微動付回転テーブル（

A

）

176-305

2010

サイズ

2017

・

3017

・

4020

サイズ

505

・

1010

サイズ クランプ装置

176-107

V

ブロック台

172-378

傾斜センタ台

172-197

クランプ装置

176-107

V

ブロック台

172-378

傾斜センタ台

172-197

クランプ装置

176-107

※

V

ブロック台

172-378

※ 傾斜センタ台

172-197

ステージアダプタ

B

176-310

ステージアダプタ

176-304

微動付回転テーブル（

176-306

B

） 各種レチクル

ML

対物レンズ　

1

×

375-036-2

スライド式ノーズピース

176-314-1

（工場オプション） スライド式ノーズピース

176-314-2

（工場オプション）

ML

対物レンズ　

3

×

375-037-1

ML

対物レンズ　

5

×

375-034-1

ML

対物レンズ　

10

×

375-039

ML

対物レンズ　

20

×

375-051

ML

対物レンズ　

50

×

375-052

ML

対物レンズ　

100

×

375-053

防振台

176-308

設置台（顕微鏡本体＋

QM-Data200

）

176-309

縦型システムラック（画像ユニット）

998923

レンズクリーニングセット

12AAA165

ツインファイバ照明（

100W

）

176-343

リングファイバ照明（

100W

）

176-366

フットスイッチ

12AAA846

RS232C

ケーブル（クロス）

12AAA807

画像ユニット

9SB

（本体セット出荷用）

359-735

校正用チャート

02AKN020

校正用チャート（ホルダ付）

02ATN695

QS

補正用チャート（ホルダ付）

02AKW001

フットスイッチ（高剛性仕様）

12AAJ088

フォーカスパイロット

FP-05(LED

仕様）

375-057

（緑）

/375-058

（赤） 画像合成プログラム

VCPAK

ビジョンシステムエディション

02AUF680

電動フォーカスユニット

RS232C

ケーブル（クロス）

12AAA807 1

本

GIF

フィルタ（光源用）

12AAG806

RS-232C

ケーブル（クロス）

12AAA807

サーマルプリンタ

DPU-414

02AGD600A

（接続ケーブル付）

QM-Data200

264-145

サーマルプリンタ

DPU414

：

12AAD032

（接続ケーブル付）

FD

ユニット：

12AAA799

フットスイッチ（高剛性仕様）：

12AAJ088

外部プリンタ（

ESC/P

） 　

ケーブル：

12AAA804

パソコン転送プログラム

Optin

注）別途PCが必要です。

LB80

フィルタ（光源用）

12AAG807

外部光源コントロールケーブル

12AAD128

LED

照明装置

176-345

ハロゲン照明装置

176-347

注）画像ユニットのPCにインス トールします。 OSは、WinXPのみ動作に なります。 注）ツインファイバ照明およびリングファイバ 照明と併せてお使いください。 注）D-sub9pin両側メスになります。 注）D-sub9pin両側メスになります。 注）D-sub9pin両側メスになります。 注）10×以下のみ取付可 リアルタイム工程管理プログラム

MeasurLink

検査表作成プログラム

MeasureReport

注）別途PCが必要です。 鏡筒 外部反射照明 電動合焦 本体照明 （反射＋透過） 本体 透過・反射照明 ステージ 周辺 レンズ対物

TV

観察

/

画像保存 合焦検出 データ演算処理カウンタデータ転送 カウンタデータ印字

MF C

微動付回転テーブル（目盛付）

172-198

デジタル回転ヘッド（

ø20

対応）

176-954

外部光源コントロールケーブル

12AAG888

LED

リング照明（白色）

176-367-2

（外部調光機能） 注）10×以下のみ取付可 ※ステージアダプタ(176-304)と併用可 電動フォーカスユニット

ImageX PRO 3000

00AAB008

本体ハロゲン照明 接眼レンズ

10

×

378-866

（

2

個組） 接眼レンズ

15

×

378-857

（

2

個組） 接眼レンズ

20

×

378-858

（

2

個組）

C

マウント

970441

0.5

×

TV

375-054

アダプタユニット 偏光装置（

BF/BD

）

378-092

GIF

フィルタ

12AAA645

LB80

フィルタ

12AAA646

ND2

フィルタ

12AAA643

ND8

フィルタ

12AAA644

微動付回転テーブル（

A

）

176-305

2010

サイズ

2017

・

3017

・

4020

サイズ

505

・

1010

サイズ クランプ装置

176-107

V

ブロック台

172-378

傾斜センタ台

172-197

クランプ装置

176-107

V

ブロック台

172-378

傾斜センタ台

172-197

クランプ装置

176-107

※

V

ブロック台

172-378

※ 傾斜センタ台

172-197

微動付回転テーブル（目盛付）

172-198

ステージアダプタ

B

176-310

ステージアダプタ

176-304

微動付回転テーブル（

176-306

B

） 各種レチクル

FS

対物レンズ用

LED

リング照明 注）10×以下のみ取付可 調心電動レボルバ（

BF

）

5

穴

378-116

調心同焦マニュアルレボルバ（

BF

）

4

穴

378-018

電動レボルバ（

BD

）

4

穴

176-210

マニュアルレボルバ（

BD

）

4

穴

176-211

FS

対物レンズ

M plan apo

シリーズ

FS

対物レンズ

M plan apo SL

シリーズ

FS

対物レンズ

G plan apo

シリーズ

FS

対物レンズ

セット

B1

378-911

FS

対物レンズ

セット

B2

378-912

FS

対物レンズ

セット

B3

378-913

FS

対物レンズ

BD plan apo

シリーズ

FS

対物レンズ変換アダプタ （BDレボルバにBFレンズ装着）

378-026-1

FS

対物レンズ

BD plan apo SL

シリーズ

FS

対物レンズ

セット

D1

378-931

FS

対物レンズ

セット

D2

378-932

ハロゲンランプ

12V50W

（透過）

513667

FS

対物レンズ

セット

D3

378-933

ロングライフハロゲンランプ

12V50W

（透過）

12BAB345

ツインファイバ照明（

100W

）

176-343

ファイバ照明（

100W

）

176-315

LED

照明装置

176-346

フットスイッチ

12AAA846

電動フォーカスユニット

GIF

フィルタ（光源用）

12AAG806

RS-232C

ケーブル（クロス）

12AAA807

サーマルプリンタ

DPU-414

02AGD600A

（接続ケーブル付） サーマルプリンタ

DPU414

：

12AAD032

（接続ケーブル付）

FD

ユニット：

12AAA799

フットスイッチ：

12AAJ088

外部プリンタ（

ESC/P

） 　

ケーブル：

12AAA804

LB80

フィルタ（光源用）

12AAG807

外部光源コントロールケーブル

12AAG888

外部光源コントロールケーブル

12AAD128

ハロゲン照明装置

176-348

注）ファイバ照明（100W）と併せてお使いくだ さい。 注）D-sub9pin両側メスになります。 鏡筒 外部反射照明 電動合焦 本体透過照明 ステージ 周辺 レボルバ

/

対物レンズ 明視野 BF 反射 透過 明暗視野 BD

TV

観察

/

画像保存 データ演算処理カウンタデータ転送 カウンタデータ印字

MF-U C

防振台

176-308

設置台（顕微鏡本体＋

QM-Data200

）

176-309

縦型システムラック（画像ユニット）

998923

レンズクリーニングセット

12AAA165

対物ミクロメータ

375-056

微分干渉ユニット

378-080

…

5

×・

10

×用

378-079

…

20

×用

378-078

…

50

×・

SL20

×用

378-076

…

100

×・

SL50

×・

SL80

×用 ※ステージアダプタ(176-304)と併用可 詳細はカタログ

No.4374

を参照ください。 標準付属品 必須選択品 詳細はカタログ

No.4298

を参照ください。 詳細はカタログ

No.4324

を参照ください。 デジタル回転ヘッド（

ø20

対応）

176-954

調心電動レボルバ（

BF

）

4

穴

378-016

合焦検出 ファイバ照明（

150W

）

176-316

本体

LED

照明 （反射＋透過）

RS232C

ケーブル（クロス）

12AAA807

画像ユニット

9SB

（本体セット出荷用）

359-735

校正用チャート

02AKN020

校正用チャート（ホルダ付）

02ATN695

QS

補正用チャート（ホルダ付）

02AKW001

フットスイッチ（高剛性仕様）

12AAJ088

フォーカスパイロット

FP-05U

375-067

※_（緑）

_/375-068

_（赤） 画像合成プログラム

VCPAK

ビジョンシステムエディション

02AUF680

電動フォーカスユニット

RS232C

ケーブル（クロス）

12AAA807 1

本

QM-Data200

264-145

パソコン転送プログラム

Optin

注）別途PCが必要です。 注）画像ユニットのPCにインス トールします。 OSは、WinXPのみ動作に なります。 注）D-sub9pin両側メスになります。 注）D-sub9pin両側メスになります。 ※工場オプションになります。 リアルタイム工程管理プログラム

MeasurLink

検査表作成プログラム

MeasureReport

注）別途PCが必要です。

オプション

レンズ

接眼レンズ

鏡筒

覗いた時に視野全体にひろがりを感じながら、ゆとりある観察測定をしていただくために接眼レンズは視野数

24

（

10

×の場合）の広視野仕様です。対物レンズは作 動距離が長くフレアの少ない明るいシリーズを標準としており、

FS

対物レンズは明視野・明暗視野用共にプランアポクロマート仕様となります。長時間の観察測定 でも疲れにくいことが大切なことと考えています。 接眼レンズ

WF10

×

/24 WF15

×

/16 WF20

×

/12

コードNo. （1個）

378-866-5

378-857-5

378-858-5

コードNo. （2個組）

378-866

378-857

378-858

倍率 10× 15× 20× 視野数 24 16 12 適用機種 MF C/MF-U C デジタル角度接眼レンズ コードNo.

176-313

接眼検出部 倍率 10× 視野数 22 レチクル 90°実線、45°鎖線　共に線幅5µm 測定範囲 度：_分：0.00_0°00°～±_′～±369.99_369°59°_′ 検出方式 静電容量式エンコーダ 外観寸法（mm）外径ø120×140（D） デジタル カウンタ （標準付属） CE対応 最小表示量 0.01°（度）または1′（分） 機能 ゼロセット・ABS ※_{/INC切替・度分} 切替・方向切替　データ出力（フット スイッチ12AAJ088併用） 外部出力 RS-232C 外観寸法（mm）143（W）×112（D）×57（H） 電源 AC100～120V 適用機種 MF C（カウンタ上面部に固定可能） 角度接眼レンズ コードNo.

375-043

倍率 10× 視野数 21 目盛 360°5′ 適用機種 MF C 単眼装置 コードNo.

176-392

倍率 10× 視野数 24 適用機種 MF Cの必須選択オプション 双眼装置 コードNo.

176-393

倍率 10× 視野数 24 適用機種 MF Cの必須選択オプション ティルティング双眼装置 倍率 10× 視野数 24 附視角（ティルト角） 0～30° 適用機種 MF-U C標準付属 •アイシェードは10×のみ付属となります。 •MFBシリーズ以前の測定顕微鏡を双眼仕様でお使いの場合は No.378-866をお求めください。 ※常に電源を内蔵スケールに供給して絶対値を表示するシステムで はありません。任意に固定された原点から位置座標を測定する測 定系になります。

顕微鏡下での検査・観察測定において、使用する対物レンズの高分解能・長作動距離がその操作性に重要なファクタとなります。また、視野全域で鮮明な 像を得るためには可視光領域の広い範囲で色収差を補正したアポクロマート仕様（赤・青・黄の

3

波長補正）であること、像面湾曲・点収差などを補正し たプラン（

plan

）仕様であることも同様です。ミツトヨの

FS

対物レンズはこうしたファクタを兼ね備えた高性能対物レンズであり、顕微鏡の応用範囲を広げ 操作性を格段に向上させました。測定顕微鏡への装着でも大きく貢献しています。

M plan apo

シリーズは可視光での明視野観察、

BD plan apo

シリーズ は同じく明暗視野観察でご使用いただくレンズとなり、

SL

（

Super Long

）仕様はより長い作動距離が必要な場合に有効です。また、

G plan apo

シリーズは ガラス越しに観察できるレンズでガラス厚は

3.5mm

に補正設計されています（特注で

2

～

5mm

に対応いたします）。 符号 コード

No.

倍率

N.A.

作動距離_（

_mm

_）

ML 1

×

375-036-2

1

×

0.03

61.0

ML 3

×

375-037-1

3

×

0.09

77.0

ML 5

×

375-034-1

5

×

0.13

61.0

ML 10

×

375-039

10

×

0.21

51.0

ML 20

×

375-051

20

×

0.42

20.0

ML 50

×

375-052

50

×

0.55

13.0

ML 100

×

375-053

100

×

0.70

6.0

符号 コード

No.

倍率

N.A.

作動距離_（

_mm

_）

M Plan Apo 1

×

378-800-3

1

×

0.025

11.0

M Plan Apo 2

×

378-801-3

2

×

0.055

34.0

M Plan Apo 5

×

378-802-6

5

×

0.14

34.0

M Plan Apo 7.5

×

378-807-3

7.5

×

0.21

35.0

M Plan Apo 10

×

378-803-3

10

×

0.28

33.5

M Plan Apo 20

×

378-804-3

20

×

0.42

20.0

M Plan Apo 50

×

378-805-3

50

×

0.55

13.0

M Plan Apo 100

×

378-806-3

100

×

0.70

6.0

M Plan Apo SL 20

×

378-810-3

20

×

0.28

30.5

M Plan Apo SL 50

×

378-811-3

50

×

0.42

20.5

M Plan Apo SL 80

×

378-812-3

80

×

0.55

15.0

M Plan Apo SL 100

×

378-813-3

100

×

0.70

13.0

M Plan Apo SL 200

×

378-816-3

200

×

0.62

13.0

M Plan Apo HR 50

×

378-814-4

50

×

0.75

5.2

M Plan Apo HR 100

×

378-815-4

100

×

0.90

1.3

G Plan Apo 20

×（

t3.5

）

378-847

20

×

0.28

空気換算29.42

G Plan Apo 50

×（

t3.5

）

378-848-3

50

×

0.50

空気換算13.89 レンズセット

B1

378-911

M Plan Apo10×・20×・50×・100×のセット レンズセット

B2

378-912

M Plan Apo2×・5×・10×・SL20×のセット レンズセット

B3

378-913

M Plan Apo5×・10×・20×・50×のセット

FS

対物レンズ変換アダプタ

378-026-1

明暗視野BDレボルバに明視野BFレンズ装着時に使用

ML

対物レンズ

　

有限補正光学系…

MF C

用

FS

対物レンズ

　

無限補正光学系…

MF-U C

用 明視野（

BF

）観察測定用 明暗視野（

BD

）観察測定用 符号 コード

No.

倍率

N.A.

作動距離_（

_mm

_）

BD Plan Apo 2

×

378-831-7

2

×

0.055

34.0

BD Plan Apo 5

×

378-832-7

5

×

0.14

34.0

BD Plan Apo 7.5

×

378-830-7

7.5

×

0.21

34.0

BD Plan Apo 10

×

378-833-7

10

×

0.28

33.5

BD Plan Apo 20

×

378-834-7

20

×

0.42

20.0

BD Plan Apo 50

×

378-835-7

50

×

0.55

13.0

BD Plan Apo 100

×

378-836-7

100

×

0.70

6.0

BD Plan Apo SL 20

×

378-840-7

20

×

0.28

30.5

BD Plan Apo SL 50

×

378-841-7

50

×

0.42

20.0

BD Plan Apo SL 80

×

378-842-7

80

×

0.50

13.0

BD Plan Apo SL 100

×

378-843-7

100

×

0.55

13.0

BD Plan Apo HR 50

×

378-845

50

×

0.75

5.2

BD Plan Apo HR 100

×

378-846

100

×

0.90

1.3

レンズセット

D1

378-931

BD Plan Apo10×・20×・50×・100×のセット レンズセット

D2

378-932

BD Plan Apo2×・5×・10×・SL20×のセット レンズセット

D3

378-933

BD Plan Apo5×・10×・20×・50×のセット

オプション

照明

半導体・電子電気部品・精密自動車部品・樹脂成型・工具・医薬品・印刷物などさまざまな被検物をいかに高いコントラストで鮮やかに観察

/

測定できるか は照明（光）の使い方がポイントとなります。被検物の形状・表面状態・色・材質に合わせてベストな照明をお選びください。

MF C

シリーズ

MF-U C

シリーズ

透過照明用 反射照明用

LED

照明装置 コードNo．

176-345

ランプハウス（反射照明用・透過照明用）とLEDコントロー ルユニットで構成 LEDコントロールユニットは顕微鏡本体コラム背面に も固定可能 白色LED（低消費電力65W）　定格寿命約30,000時間　 無段階調光 冷却ファン内蔵（ファン停止アラーム機構搭載） 反射・透過照明部にカラーフィルタ装着可能 外形寸法 (mm) 反射照明部：ø33×86（最大突起部） 透過照明部：68×103（最大突起部） LEDコントロールユニット：118（W）×365（D）×96（H） 適用機種 MF C

100W

・

150W

ファイバ照明装置

(

外部光源仕様

)

コードNo．

176-315

（

100W

）・

176-316

（

150W

） 100W 12V100Wハロゲンランプ（No.517181） 定格寿命1000時間 12V100W高輝度ハロゲンランプ（No.12BAD602） 定格寿命50時間 無段階調光 外形寸法 (mm)76ガラスファイバケーブル長（W）×235（D）×120（H1500）、 150W 15V150Wハロゲンランプ（No.12BAJ076） 定格寿命500時間 15V150W高輝度ハロゲンランプ（No.12BAJ075） 定格寿命50時間 無段階調光 外形寸法 (mm)120ガラスファイバケーブル長（W）×273（D）×119（1500H）、 適用機種 MF-U C_{反射照明用}でハロゲン照明装置（No.176-348）選択時の

①

A

：反射及び透過照明（必須選択オプション）

①

①

②

透過照明用 反射照明用

LED

照明装置 コードNo．

176-346

ランプハウス（反射照明用・透過照明用）とLEDコント ロールユニットで構成 LEDコントロールユニットは顕微鏡本体コラム背面に も固定可能 白色LED（低消費電力70W）　定格寿命約30,000時間 無段階調光 冷却ファン内蔵（ファン停止アラーム機構搭載） 透過照明部にカラーフィルタ装着可能 外形寸法 (mm) 反射照明部：68×66（最大突起部） 透過照明部：68×103（最大突起部） LEDコントロールユニット：118（W）×365（D）×96（H） 適用機種 MF-U C

③

透過照明用 反射照明用 ハロゲン照明装置 コードNo．

176-347

（

MF C

）

/176-348

（

MF-U C

） ランプハウス（反射照明用・透過照明用）とハロゲンコ ントロールユニットで構成 ハロゲンコントロールユニットは顕微鏡本体コラム背面 にも固定可能 12V50Wハロゲンランプ　無段階調光 冷却ファン内蔵（ファン停止アラーム機構搭載） カラーフィルタ装着可能 外形寸法 (mm) 反射・透過照明部：ハロゲンコントロールユニット：91×106118（最大突起部）（W）×365（D）×96（H） 適用機種 MF C/MF-U C

②

②

③ ④

②

③

④

注）MF-U Cは透過照明用のみとなります。

C

：リングファイバ照明

D

：

LED

リング照明

対物レンズ周辺からリン グ状に照射する

LED

光 により、濃色樹脂・基板・ 小径円筒物の観察では 高いコントラストが得ら れ、画像測定にも適して います。明るさを変えて も色合いは変わりません。 対物レンズ周辺からリン グ状に照射するハロゲ ン光は凹凸による影の 影響が少ない観察を可 能とし、画像測定にも 適しています。

A

：反射及び透過照明

任意の

2

方向から斜め に照射するハロゲン光 は立体観察に最適で、 標準付属の集光レンズ により高 輝 度スポット 照射が可能となります。 光が対物レンズの中を 通り、被検物表面に垂直 に照射されます。照明 光源は

LED

とハロゲン から選択できます。

B

：ツインファイバ照明

◆４枚の画像は同じ部分を撮影したものです。 イメージ イメージ イメージ イメージ ツインファイバ照明装置

(

外部光源仕様

)

コードNo．

176-343

顕微鏡コラム背面に固定　無段階調光　集光レンズ付 画像ユニットシステム時に自動調光可能(外部光源コントロールケーブル No.12AAD128併用） 12V100Wハロゲンランプ（No.517181）定格寿命1000時間 12V100W高輝度ハロゲンランプ（No.12BAD602）定格寿命50時間 LB80フィルタ（No.12AAG807） 外形寸法 (mm) 76（W）×235（D）×120（H）：光源部のみ ファイバ長700：背面固定部から先端まで ファイバ最大曲げR：R60 適用機種 MF C/MF-U C

LED

リング照明装置（

FS

対物レンズ用） コードNo． お問い合わせください 対物レンズに固定し、リング状の白色LED光を照射。 無段階調光 画像ユニットシステム時に自動調光可能 (外部光源コントロールケーブルNo.12AAG888併用） 外形寸法 (mm) 75（W）×150（D）×90（H）：コントロール部のみ 外形ø70・全高65～80：リングLED部 LEDケーブル長1000

適用機種 MF-U C（FS対物レンズM Plan Apo10×以下）

リングファイバ照明装置

(

外部光源仕様

)

コードNo．

176-366

無段階調光 画像ユニットシステム時に自動調光可能(外部光源コントロールケーブル No.12AAD128併用） 12V100Wハロゲンランプ（No.517181）定格寿命1000時間 12V100W高輝度ハロゲンランプ（No.12BAD602）定格寿命50時間 LB80フィルタ（No.12AAG807） 外形寸法 (mm) 76（W）×235（D）×120（H）：光源部のみ 外形ø60・内径ø35：リング照明部 ファイバ長1000 適用機種 MF C（ML対物レンズ10×以下）

LED

リング照明装置 コードNo．

176-367-2

無段階調光 画像ユニットシステム時に自動調光可能 (外部光源コントロールケーブルNo.12AAG888併用） 外形寸法 (mm) 75（W）×150（D）×90（H）：コントロール部のみ 外形ø70・全高68～93：リングLED部 LEDケーブル長1500 適用機種 MF C（ML対物レンズ10×以下）

B

B

A

C

C

D

D

D

マニュアル画像計測

画像ユニット

顕微鏡本体から出力されるデジタルカウンタの座標値をもとに種類の豊富なコマンドを指定し、測定結果を瞬時に表示します。エッジ合わせを画像処理 で行う画像測定仕様と汎用性に優れた専用電装仕様をご用意しています。いずれも測定結果はプリントアウトおよび表計算ソフトや検査表へのアウト プットが可能となります。

■

一発測定を可能にした自動エッジ検出ツールと多彩なマクロアイコン

■

簡単操作をサポートするグラフィックス＆測定ナビゲーション機能

■

表計算ソフト【

MS-Excel

】

※1

_{へ測定結果出力し、同一パソコン内で検査表作成が可能}

■

測定演算結果の公差照合や項目毎の各種統計処理が可能

■

照明設定を忠実に再現する自動調光機能

（測定顕微鏡

MF C

・

MF-U C

併用時）

■

フォーカスパイロットを併用して高精度高さ測定が可能

■

一画面内測定が可能

■

画像の取込

/

保存機能（

BMP/JPEG)

※

1

：マイクロソフト社の商品です。

特長

特長

特長

CAD

インポート＆エクスポート（オプション）

FORMPAK

®

_-QV

_{（オプション）}

仕様

システム例 フットスイッチ　No.12AAJ088 詳細はカタログNo.4298をご覧ください 画像ユニット　

9SB

コードNo.

359-735

（顕微鏡本体セット出荷用） 光学系倍率 顕微鏡取付時　0.5×（0.5×TVアダプタ使用） 画像検出 高感度1/2インチCMOSカラーカメラ　　300万画素 モニタ表示倍率 約19倍（対物レンズ3×使用時：約57×、撮像範囲：4.5×3.3mm） 最小表示量 0.1µm 各軸の測定精度(測定環境20℃） 弊社製測定顕微鏡の精度に依存します。 精度（測定環境20℃） 弊社製測定顕微鏡の精度に依存します。 参考：ML3×対物レンズ使用時 （弊社基準サンプルによる検査において） 画面内の測定精度　　　　　　±2.5µm以下 画面内繰返し精度（±2σ）　 ±1µm以下 PCシステム Windows 7　19インチLCD

ソフトウエア QSPAK　Vision Unit　Edition　V4.0

最大消費電力 最大420W（モニタ含）

適用機種 MF C/MF-U C

FORMPAK

®

_-QV

_は

_QSPAK

®_{にて取得したデータから輪郭形状解析や設計値}

との照合ができます。 設 計 時 に 作 成 し た

CAD

デ ー タ（

DXF

、

IGES

フ ォ ー マ ット）を

QSPAK

に

インポートする事で大幅な操作性の向上とパートプログラム作成時間の 短縮が可能になりました。また、

QSPAK

の測定結果を

CAD

データとして変 換する事ができます。

■

各測定項目の設計値が自動的に入力されます。

■

グラフィックスデータを指定の

CAD

データ形式で出力できます。

■

輪郭照合機能

■

微細形状解析機能

■

報告書作成機能

二次元データ処理装置

QM-Data200

サーマルプリンタ

DPU-414

　

SII

社製

■

LCD

バックライト付大形液晶画面における高コントラスト白黒グラフィック表示

■

使用頻度の高い複合測定（

2

円の距離測定等）はワンキー操作で測定

■

測定手順のティーチング機能

リピートモードにおける測定位置ナビゲーション機能による効率測定

■

AI

測定機能（測定要素自動判別機能）の搭載により測定コマンドキーの切換操作が不要

■

測定コマンドやパートプログラムなどを個別に登録できるユーザーメニュー機能

■

測定演算結果の公差照合や項目毎の各種統計処理が可能

■

測定結果をパソコン用表計算ソフト【

MS-Excel

※1

_】へ

_CSV

_{形式で出力}

■

パートプログラム・測定結果を

USB

メモリ

※2

_や

_USB-FDD

_{（フロッピーディスク）に保存}

■

見やすい角度に調節できるチルト機構付スタンド仕様

■

プリンタ印字中でも測定可能

※

1

：

MS-Excel

はマイクロソフト社の商品です。 ※

2

：市販の

USB

メモリすべてで動作保証しておりません。

特長

外観寸法図

（単位：

mm

）

印字例

仕様

仕様

システム例 フットスイッチ　No.12AAJ088 サーマルプリンタ

DPU-414

コードNo.QM-Data200接続

12AAD032

カウンタ表示印字

02AGD600A

　注）フットスイッチNo.12AAA846併用 印字方式 感熱シリアルドット方式 印字桁数 40桁（普通文字9×7ドットマトリックス） 印字速度 最高52.5 character/sec（普通文字） 外観寸法 160（W）×170（D）×65.5（H）mm（プリンタ本体部） 標準付属 プリンタケーブル、記録紙（1巻）、ACアダプタ（100V用）

補用品 プリンタ用記録紙_{ESC/Pプリンタ用ケーブル}No.908353_No.12AAA804（5_（巻）_{2m）24pin カラー・モノクロ対応}

QM-Data200

（スタンドタイプ） コードNo.

264-145

表示言語 _チェコ11ケ国語切換表示（日_{/中国（繁体字）}/英_{/中国（簡体字）}/ドイツ/フランス_/韓国）/イタリア/スペイン/ポルトガル/ 測定値の単位 長さ：mm 角度：度/度分秒（切換可） 最小表示量 0.1µm プログラム機能 測定手順の作成・実行・編集 統計処理 測定項目、データ数、最大値、最小値、平均値、標準偏差、レンジ、ヒストグラム、_{測定機能別統計（コマンド別統計）} 表示部 モノクログラフィックLCD（LEDバックライト付） チルト機構 ○ 入出力コネクタ XYZ ：リニヤスケール入力用・・・最大3軸 RS-232C① ：外部PC接続用(測定結果） RS-232C② ：測定機本体カウンタ接続用 FS ：フットスイッチ接続用 PRINTER ：レシート/外部プリンタ接続用（測定結果） USB-FDD ：USB-FDD接続用（測定結果ファイル、測定手順ファイル） USB-MEMORY：USBメモリ接続用（測定結果ファイル、測定手順ファイル） 測定結果ファイル出力 RS-232C出力（CSV形式、MUX-10形式） 電源 AC100V～240V 最大消費電力 17W（オプションは含みません） 外観寸法（W×D×H） 約260×約242×約310mm（スタンド部含む） 質量 約2.9kg 適用機種 MF C/MF-U C

画像保存・画像解析

顕微鏡用デジタルカメラシステム

対物レンズを通した顕微鏡画像を誰でも簡単に撮影保存したいというお客様のご要望にお応えする顕微鏡用デジタルカメラシステムをご紹介します。高画質画像を マウスワンクリックで保存し、画面内計測も行えます。

■

200

万画素

CCD

カメラによる高い色再現性と立体感を実現

■

高い追従性（

15fps

）で顕微鏡操作を強力サポート

■

シームレスでしかも直感的に操作出来る高機能ソフト

■

ライブモード時の計測や動画撮影に対応

■

画像連結機能

ISS

■

全焦点画像合成機能

AIF

特長

I

イ メ ー ジ ク ロ ス

mageX PRO 3000

顕微鏡用デジタルカメラシステム

仕様

ImageX PRO 3000

（イメージクロスプロ

3000

） 製品名称 イメージクロスPRO 3000

コードNo. No.00AAB008 No.00AAB009

標準価格(税抜） 237,000円 258,000円 全体 標準構成 カラー_— CCDカメラ(USB2.0)・ソフトウエア（CD-ROM)・インストールガイド・校正用レチクル_{接眼鏡筒取付用アダプタ} カメラ 撮像素子 1/1.8インチ　　200万画素カラーCCD マウント Cマウント 外径寸法・質量 51（W）×51（H）×48.8（D）mm　約145g ライブ （動画） 画像調整 自動/マニュアル露光調整（シャッター、ゲイン、シャープ）,ホワイトバランス（自動/マニュアル（赤ゲイン、青ゲイン）・コントラスト 画像取込 通常取込・ハレーション除去取込・セルフタイマー取込・XY座標入力取込・Z座標入力取込 レチクル表示 中心線・ものさし（X・Y）・スケール（X・Y）・同心円・角度（クリック＆ドラッグで移動可、画像への書込可） 画像保存 静止画、動画（圧縮AVI形式） 画像サイズ 1600×1200 その他 照明ムラ補正・画像上下/左右反転・画像180°回転・現在設定の保存反映 計測 画面内計測 2点間距離・3点指定円・四角・多角形・楕円・中心・面積・周囲長・角度・3点円弧・垂直線距離・平行線間距離・円中心間距離・任意形状・点 自動エッジ検出 対応　　　　　※点・楕円・任意形状は対応していません。 ラベリング計数 ラベル数、始点、終点、中心、フェレ、面積、円相当径、重心、周囲長、包格、円形度、サイズ、流体直径、穴数、面積率　他 計測結果詳細表示 一覧詳細表示、_{出力形式：クリップボード（画像・計測線・テキスト・表）、}2図形選択による相対情報表示（角度・交点・中心間距離、平均距離等々）_{CSV保存・編集、Excel転送} 画像処理 画像補正 明るさ、コントラスト、色相、彩度、ホワイトバランス、色抽出、同色抽出、濃度変換、ネガポジ反転、2値化処理　他 画面表示 サムネイル表示（表示位置可変）、全体画面表示/ズーム表示、2画面表示　他 画像解析 濃度断面表示（処理範囲内・縦断面・横断面）、濃度投影表示（縦投影、横投影）、ヒストグラム表示、拡大ウィンドウ表示、3D表示　他 画像 編集

画像間演算 ABS、AVE、MAX、MIN、AND、OR、XOR、SUM、DIV

画像比較 自動フィッティング、微調整、差分表示 校正（キャリブレーション）円径または目盛（X・Y）による実値補正（自動エッジ検出）、手動入力 画像編集 ペン機能（サイズ・色選択、スポイト）、テキスト入力（フォント・サイズ・文字色・背景色選択）_{定型テキスト入力（現在／撮影日時、ファイル名、定型テキスト）、吹き出し入力　　他} 画像ファイル ロード/セーブ　：　BMP、JPEG、PNG、HTML 画像記録 計測線、テキストを画像に書込保存可能 印刷機能 指定倍率印刷（倍率設定、画像表示位置、コメント、タイトル入力可能） メール機能 任意・全画像添付送信、HTML形式保存・送信、JPEG変換、LZH圧縮 画像ビューワー ファイル・フォルダ内表示、転送 画像合成 画像連結　ISS 特徴点任意設定・回転補正による自動フィッティング 焦点合成　AIF 全焦点画像合成、高さ色別表示可能 動作環境

OS Windows 7、Windows Vista、Windows XP（いずれも日本語版で出荷時にメーカープリインストールされたもの）

CPU Pentium4-2GHz以上推奨（動画録画：Core2Duo-2GHz以上推奨） メモリ 512MB以上推奨（動画録画：1GB以上推奨）

ディスプレイ 解像度1024×768以上・True　Color（32bit）

USBポート USB2.0標準装備