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FIS-1形 日立遠赤外分光光度計

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(1)

U.D.C.535.243

FIS-1形

日立遠赤外分光光度計

Type

FIS-1HitachiFarInfrared

Spectrophotometer

勲*

一* IsaoIwabasbi K6icbiMatsumoto

夫*

MasaoInaba

500cm▼1(20′∠)∼60cm ̄1(157/∫)の波数領域をカバーするFIS-1形日立遠赤外分光光度計について報告 する。 本分光光度計は,その測光方式として遠赤外領域では最初の試みである複光東光学的零位法を採用し,また 光源として炭化ケイ素棒(グローバー)と高圧水銀灯を併用してそのエネルギー効率を高めている。500cm ̄1 ∼60cm ̄1の披数領域はリトロー形にマウントされた30J/mm,20J/mmおよび8Jノmmの3種の回折格子でカ バーされ,すべて一次光が利用されている。不要の高次の短波長光を取り除くためにレストストラーレンフィ ルタ,透過フィルタおよび粗面反射鏡が用いられている。阿折格子,フィルタなどの波数域別の交換はあらか じめプログラムされたカムにより日勤交換されるようになっている。検知器はダイヤモンド窓を有する(Golay pneumatic cell)が用いられるり全光学系統は水蒸気の吸収を除くために排気され,約10▲2mmHgの真空度 を保持するようにされてある。木装托ほまたツマミの切り換えによりギリ己火用に容易に変換でき,種々の測定 に似利となるようにされている。-ぎil光リミおよび投光束によって得られた水葬気の吸収データ,100%(1ine)お よびテフロソの吸収データなどが示されるnlOOcm ̄1近辺の水蒸気の吸収から0.5cm ̄1の分解能を示すこと が認められる。

1.緒

口 遠赤外領域の研究はかなり古く,1900年前後から始められて缶 り,各地の大学,研究所などですでに自尊婆の分光器による研究がか なり行なわjlてきている。これらの研究ほ,遠赤外韻域に現われる 軽い分子の回転スペクトルや重い原子を含む分子の振動スペクトル の測定による分子構造の解明,定性分析および化学反応の研究を含 み,かつ格子振動の測定,半噂体のfree carrierの測定,また浅い 不純物準位の測定,起電増体の測定,サイクロトロン共鳴吸収の測 定,反鶴磁性共鳴吸収の測定,光ゴア定数の決疋など種々の物性研究 を含んでいる(1)(2)。これらの研究は装古記の発展とともにさらに進 歩,発展することが期待されるが,これまでに用いられてきている 遠赤外分光器は(3卜(23)そのほとんどが自製のもので,かつその測光 方式が申光束であるため測定に不便なものが多い。そこで,われわ れは大阪大学工学部1こ永研究室との共同研究により,主として化学 分野で便利に利用されることを口約とLた全自動式,夜光束,光学 的零位法によるFIS-1形遠赤外分光光度計の試作を完成した。 よく知られているように,遠戎モ外領域では波長が長くなればなる ほど光源エネルギーが低下していくために,分光器設計上種々の難 点がはいってくる。光て了:的零位法は種々の複光束測光法のなかでほ その検知測光するS/N比を考慮する限りでほ瓜もよい方法の一つ である。 われわれは遠赤外領域ではもっとも重大視せねばならないと考え られるこのエネルギーの有効利J-11のノrJヱを考慮して光学的零位法を採 用した。しかしこの場令,たとえば試料を冷却または加熱したとき に記録の縦スケールに難ノさ三を±Lじることが予想される〔このように 遠赤外分光器としては一機種であらゆる要求性能を満たすことほほ とんど不可能といえるかもしれない。分子の振動および回転スペク トルは一般的にその大部分が常温で測定されるとみてよいから,大 部分の測定が夜光カミ光学的等位法で便利に行なわれよう。木器はま た上述の艶点に対してはiil光火としての測定も可能なように一没.汁し てある。 木器の正面外観囲を弟】図に示す。示されてあるように,デスク 形でその大きさほ幅120cm,奥行80cm,高さ120cmであり,コ 日立製作所那珂工場 笥1図 FIS-1形日立遠赤外分光光度計正面 ノバクトでかつ操作の容易な隅造である。

2.光

木器の光学系統図を弟2図に示す。遠赤外分光器の光源としては (1)連続放射でかつできるだけ長波長の放射エネルギーの大な ること (2)放射エネルギーの長波長対短波長比ができるだけ大きいこ と

が要求される。この要求に適合するものとして,一般に短波長側に

熱放射光源が,長波長側に高圧水銀灯が用いられている(24)(25)。 木器でも2種板の光源を使用し,500cm▲1∼117.5cm ̄1の波数範 L捌こ炭化ケイ素棒(グローバー)を,125cm ̄1∼60cm▼1の波教範 閃に高圧水銀灯を用いる。炭化ケイ素停(Ll)と高圧水銀灯(L2) の選択ほ平面鏡(Ml)をスライドさせることによって行なわれる。

(2)

FIS

-1形

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\\ ヽ、 【1J 〃 〃 ぷ .仰// /Vβ けU 〃\ヽ )、、\ド 第2図 光 学 系 統 図 ン〟8\

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立 日 っこ 吼 節3図 レ スト スト ー レ ン機構 光源LlまたはL2から放射される光は球面鋭M2,1P血統M3 およびM4を経てレストストラーレンフィルタにはいる。 レスト ストラーレン(Reststrahlen)は舞3図に示すように,6種類の結晶 を使用し,2偶の保持坂上に保持されている〔2仰の=坂上の析■打Ⅰ はそれぞれ同種炸のものが対になって光終に入り,各右t捕一面への人 身=由がIlご-】二女しかつ偏光角(Brewsterangle)で入射する謀体的光′?r 糸を採川してフィルタリングの効火をより一桝高〆)ている。このJ石‡ 理を弟4図によって説明する。第4図(a)において,レストストラ ーレン結姑Cへ入射角〝で光線が入射し矢印の方向に反射(R)およ び透過(T)したものとする。今入射′烏より結晶頂紬こ立てた垂線Nと 入射光線Eを含む入射面l勺で振動する成分をP成分,これと鉛由方 向の振動成分をS成分とする。反射ヰミと入射′亡Jの関係ほ,フレネル (Fresnel)の式によって求められ,S成分およびⅠ〕成分のJ丈射率ほ弟 4図(b)のように示される。図からわかるようにS成分の反射率は 0となることほないが,P成分はある入別-fり〝でその反射率が0と なる。このときの入射角を偏光角またはブリユースター(Brewster) の角と呼び,次の関係が成立する。すなわち,今ごて空[l一切ゝら屈折率 邦jの結晶に入射した場合とすれば 々

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(3)

-29-1262

昭和38年8月

第45巻 第8号 第1表 波 数 域 別 仕 様 波数 領域 (cm-1) 500∼410 410∼260 267.5∼193 193′}142.5 142.5∼117.5 125∼80 80ノ∼60 仰 〃 〃 卯 .(詫) 樹 呵叩 憫 〃U っ∠ 回折格子 (J/mm) 30 30 20 20 20 8 8 レストストラーレこ/ フィルタ LiF NaF BaF2 KCI KBr TICI TICl / / k斗.′ く小判ソ′ / / / ■ ′\、ソ/ ㌔や ト.← 〃 〃 ∧=リ ノり 〃U 【イU /ββ 透 過 イ ル 〔BeO+ZnO〕粉末透過フィルタ(Powder filter) 石英板(Ouartz Plate) 〔LiF+SrF2〕粉末透過フィルタ 石英板+ススフィルタ(Sooted Polyethylene) 石英板+〔BeO+ZnO+NaF+Kcl〕粉末透過フィルタ ごJJ Jん7JJβ♂ ∫JJ ニ丁し.7 〔リ 波 長 (/∠) 第5図 粉末透過フィルタ(powder別ter)の分光透過率 条件をみたす組み合わせが最も望ましい訳で,これを見出すには数 多くの実験検討が必要であり,筆者らの最も苦心を要したところで ある。現状で最善と考えられる波数域別仕様は弟1表に示すとおり である。透過フィルタのうち粉末透過フィルタ(Powder別ter)(2B) はポリエチレンに種々のレストストラーレン結晶を混合して板状に 成形したもので,その分光透過率の一例を弟5図に示す。 レストストラーレンを経た光は球面鏡M5,粗面反射鏡Flを経 てチョッ/ミミラーCH-1にはいる。チョッパミラーCH-1および CH-2は機構的に連結されており,完全に同期して10C.P.S.で 回転する。CH-1で試料光束と標準光束の夜光束に分離された光 ほそれぞれ平面鏡M6およぴトリマと,くし形絞りおよび平面鏡 M7を経てCH-2で合体し,以後の光路に両光束を交互に伝達す る。種々の測定に便利となるように,試料光来内に光束焦点を配置 する設計にしてある。次に平面鏡M8,球面鏡M9,粗面反射鏡 F2を経て入射スリットSlにはいる。入射スリット前方に透過フ ィルタ保持台Tがあり,レストストラーレンに対応して6種顆の透 過フィルタが保持できるようになっている。スリットは入射および 出射とも両開きで高さは12mm,最高約10mmまで開けるように なっている。 入射スリットを経た光は平面鏡MlOを経てコリメータMllに はいり,ここでコリメートされた光が回折格子Gに入射する。

コリメータほ軸はずし20度の放物申鏡でその焦点距離は約300mm

である。回折格子ほ有効面積飢mmx64mm,プレーズ角26度45 分格子常数がそれぞれ30J/mm,20J/mm,およぴ8J/mmの3種煩 を三角形状の保持台に保持する。回折格子のマウソティソグはよく 知られたリトロー形で500cm ̄1∼60cm ̄1の全波数域にわたってす べて一次の回折光が利用される。回折格子によって回折された光は 出射スリットから取り出され,約60度の軸はずしだ円面鏡によって 出射スリットのガ縮尺像を検知器上に結ばせる。検知器は3mm¢ のダイヤモンド窓を有するゴーレイ ニュウマチック セルを用い る。弟る図に光学系の上面写真を示す。 風 面 反 射 金魚 2枚の800メッシュの准1面反射題烹

(Two800mesh roughened plate)

2枚の800メッシュの粗面反射鏡

(Two800mesb rougbened plate) 2枚の800メッシュの粗面反射鏡

(Two釧O mesbrougbened plate) 2枚の800メッシュの粗面反射鏡

(Tvo800mesb rougllened plate)

2枚の800メッシュの粗而反射鏡

(Two800mesb rougllened plate)

2枚の800メッシュの粗而反射鏡

(Two800mesh roughened plate) 2枚の800メッシュの粗面反射鏡

(Two800mesh rolユgbened plate)

第6図 FIS-1形口立通崩七外分光光度計光学系 q野 嘗

¥窒≡喜闇 ⊃_三冠; =簑、 草笛⊆ 〕紘一亭 払_: j箋;蓼= ̄窃 ̄ノ ̄弓  ̄亀駕〈:

蜜淵

第7図 FIS-1形日立遠赤外分光光度計機構部

3.機

全光学系および駆動機偶の一部ほ‡盲空タンク内に保持され,測定 中は妨岩となる水蒸気の吸収を除去するために約10-2mmHgまで 排気される。この排気は100Jノmin.の油回転ポンプで約20分でこの 真空度に達する。水蒸気の除去法としてほ乾燥窒素を流す方法もあ るが時間的にもまた利用するエネルギーの点からも排気する方が望 ましいと考えられる。 回折格子切換モータ以外のすべてのモータは真空タソク外にあっ て"0”ィingでシールされた光学系ベースを通してタンク内機構 部に連結されている。光源ほ炭化ケイ素揮および高圧水銀灯のいず れも,かなり高温となるために水冷されるが,これも完全にシール された水導管により外部水導管に連結されるようになっている。断 水時の保護のた捌こ断水リレーが設けられてあり,水が通らない限 り光源は点灯しないようになっている。 披数駆動部,スリット駆動部,レストストラーレン駆動部および ペソ駆励部などは光学系ベース下側に取り付けられてあり,増幅器, 制御系および電源などはその ̄F部に配置されてある。光学系ベース より上部は約45度持ち上げることが可能であり,枚構部の調整お よぴチェックに便なるようにしてある。内部枚構の見えやすいこの

(4)

-1形 日 立

光 度 計 恐首二やり・・ \ ミも フ∴一ソト拝ししj巾∵_マ レフト:ろト三 「 う アロー+ 麓正木規灯 フィルタ切損モーメ

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4.轢

系 統 舞8図に本器の機能系統図を力こす〔GolayI)neumatic cellから の出力は,前置増幅器,10C.P.S.工脚】宙器で増幅され,剛削喋 流後変調されて駆動増幅器でさらに矧卜由され,そのHリノによってペ ソサーボモータを駆動する。光一 ̄、州勺1;位は適′.i;i'のくし形絞りによっ て行なわれ,ペソおよびくし形絞りはペソモータに過払■iして山臥テ亡 録を行なう。印光火による測定の場付は,掛1r主糾+光火を閉じるとと もに,剛馴整流後の出力を時定数選択器を通しで- ̄丘=三記孟鼠汁にj任カ、 れるようになっている。この場分を考上古して増晰掛こ高蛙の山線性 をもたせてある。スリット幅は手動によってもまた自動的にも可変 であり,自動の場合は出射スリットから取り出されて検知器にはい るエネルギーが常㌢こ一定となるように自動制御されている。 波数の駆動は,等波数駆動させるためのカムによって行なわれる が3種叛の回折格子に対して波数カムは3枚羽根形状となってお り,回折格子の切換部の波数が両回折格子によって重なるように設 計されてあるため,回折格子の切換部においても断点のない記録が 得られる。また3種叛の回折格子および6種類のレストストラーレ ンによる100%(1ine)の不整を補うために光路にあるレストストラ ーレソに対応してトリマを調整するトリマカムがあり,100%(1ine) の段付を自動的に補正している。 操作は完全自動であり,スタートボタンを押せば測定終了まで自 動的に行なわれる。回折格子,レストストラーレソフィルタなどの 交換は波数カムと同軸に設けられた制御カムによってあらかじめプ

ログラムされた波数位置で自動交換されるようになっている。波数

カムおよびスリットカムの段付部のスライダ接点の転移をスムース に行なわしめるために補助カムが設けられてあり,回折格子の切換 部において自動的に動作するようになっている。 遠赤外簡域では利用できるエネルギーがきわめて少ないた捌こ, 走査速度ほかなりおそくせぎるを得ないが,木器では火桶パネルの l = 二;ニ! l スリット幅=Z.J〝〝 レストストラーレン:八J/ ト

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遠赤外厭域では前述のように,大気巾の水蒸気の吸収が全域にわ たって瑚.われるために本分光器では仝光学系を兵空タソク内に納め

(5)

-31-1264 昭和38年8月 i主圭 二⊥1 /♂′冴仰仲 那 得‥2 時定 数=/♂∫ 走査速度:/Jβr庶物/わ チャート速度ニJ〝仰/加/カ とii圭1盟i妻_榊り 利 鴇 二2 上 コ土 スリット幅:J♂加〝 レストストラーレン=〝α 陪「走数り♂∫ 走査速度:/Jβご〆クあ/カ チャート速度:.ケ爪仰/仏/わ スリット幅:♂JJ〝〝 レストストラーレン:〟∂f ‡モt;丁†` 1 】 第9図(c)FIS-1形日立遠赤外分光光度計のタンク「勺 の水蒸気と兵空度の関係 イJc加

立 伽 /仇柏 利 得ニ2 時宜・数り♂∫ 走査速度:/批肋/わ スリット幅:1&ア伊仰 チャート速度:J爪瓜勿カ レストストラーレン:舵J 託ユ 利 得:2 鳴定数ニ〝∫ 走査速度:/J♂√払方 チャート速度二Jβ仇勿/わ スリット幅:肘Z仰〝 レストストラーレン:ル♂F 第9図(d)FIS-1形日立遠山ミ外分光光度計のタンク巾 の水蒸気と真空度のl渕係 茄 卜+十 二:1 こヒ1 〝J√虎′ 臼二 ∵‥-い 利 得:Z 時定数:〝∫ 走査速套 ニ/∂βc加わ/わ スリット幅:αイ伽仰 チャート速度:∫〝仇′あノカ 〟∂′ ロ‥ 椙 二2 定数:〟J /納わ スリット幅:/〟〝仰 ヤート速度 十ト 佗 什小山「ぃい ‡口 三土t Ⅰ た: 第9図(e)FIS-1形日立遠赤外分光光度計のタンク内 の水蒸気と主!壬窄度の関係 てその妨害を除去しているが,一力全域にわたってこのような吸収 が存在するのほほとんど水蒸気が唯一と考えられるので分光器の性

第45巻 第8号 1 三⊥ 単光束操侭

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(6)

-1形

日 立

糾 得:β.β-J 時宜数:/∫∫ 走査速度:dβ〃抑プ勿/力

▼/V∂′--J∫β --- -Jββ -J♂伽--一古こ〟β一---・冊 ̄ J=α7 J=/2 2J♂ 波 レストストラーレン NaF,BaF2 回 折 格 子 30J/mm,20J/mm 第12図 夜光束による水蒸気の吸収(その1) 27(7 ブJ〟 】 β∂占 ̄ ̄ ーーl?♂J血〝トー十---∫=/J ∫=/∠ gβケ加仰 事∼β 利 得 時定数 走査速度 J=ヱZ ∫=J∫J'=1∫ レスト1トラーーーレン BaF2,KCl,Klうr,TICl 卜l 折 柄 r・ 3りJ/mm,20J/mm,8J/mm 打‡13亡父】復光火による水力筆立もの吸収(その2)

利 得:戊♂-〃 鴫 定 数:/jL† 走査速度:/J鮎爪 ̄クあノわ

円丑駈抑‡即Mq圧

スリット幅 利 得 特 定 数 走査速度 数(cノ肝/) 2♂β "r-β∂ろ--- -ご♂タカノ〝-∫ごJJ仰乃 ♂.β-∫ /∫J /♂β β♂ βケ方7〝-∫=2.♂ ∫=2.J仰の β〃.9β ββ 7〝 J♂ JJ

仁一‖_;㌫ユニ]

しF=イ.β ∫=〃.J爪〝 レスト1トラ【レソ TICl l・仰了・柄7・ 8J/mm 祁14団 粒氾 ̄如こ上ろ水ン:】駕て式のl吸収(その3) 借り戎において弟12\′14図に小すように、石臼氾小1孝介北㍑汁で迎統し た水蒸気の吸収が得られたのは,これが以紳のものとノl出われる。ま 屯恥.\崇一 叫q. αイ♂仰の 仇β一J /、仁一 αイ訟仇 ̄ル/カ \h.N\へ 屯句.モN ≠も.き、へ スリット幅:α∫♂仰〃 利 椙:β.β-4 時 虚 数=/、r∫ 走査速度:α♂Zc仰ナ加ゎ 第15図 水蒸気の高分解スペクトル (その1) Nh.、hく 勺「勺-で 勺句べ聖 町勺に叫べ スリット幅 利 得 Ⅰ持 ̄定 数 走査速度 :dJ∫仰仰 :A♂-J :/∫∫ :α〃2c/万ニクわム・/ h叫.勺空 也屯二\モ h勺."も\ 屯b叫き、 スリット幅:J2仰〝 利 得:αβ一J 特 定 歎=〃1 走査速度 二戊♂gど伊7あ/わ 第16凶 水蒸気の高分解スペクトル (その2) た第15∼1d図に示される高分解能から本器によるこの分野での高 性能測定(High Performance)が大いに爛待できよう。 次に500∼80cm ̄1領域の100%ライン(1ine)と厚さ3mmのポ リエチレンの透過率を弟17図に示す。100%ラインは従来のプリ ズム赤外分光器に比べてドリフトは大きいがエネルギー限界におけ る址11二】と,1朋子格Jヤ種々のフィルタの交換を考えればこの程度で ヤむを柑ないのではないかとJ出っれる。、舞18図に厚さ約0・451ユー111 のポリエチレンによる十渉じまを示す「、このようなしまのピッチか ら分光器の波数精度のチェックができよう。第19図に厚さ0・21川-1 のテフロソの吸収を示す。204cm【1近辺に非常に強い吸収が認め られる。

6.結

投光火光学「1勺婿ナゝ上法および中光火としても測定・1相巨なl+_\ヒFIS-1

(7)

ー33-1266 昭和38年8月

第45巻 第8号 Jク♂ 〃♂β l材♂ ごβ♂ 第17図100%1ineとポリエチレンの透過率 /♂β β♂cガ/ JJ7∫ 第18図 ポリエチレンの干沙じま J汐♂ /ββ β♂c〝 α2ノ野仰 4β♂ Jββ 第19図 テ フ 2ββ /ββ 波 数 (C爪▲リ ソ 吸 収 形遠赤外分光光度計について述べた。遠赤外領域で生ずる種々の問 題点に対しては下記のような特長を有しているので,化学分野で便 利に利用されることが期待される。 (a)この分野でほ最初の試みである複光点光学的零位法の採川 によるエネルギー効率の高い光学系を用いていることっ (b)水蒸気の除去法として真空方式を採用していることて (c)光源として炭化ケイ素持と高汗水銀灯の2種類を交換使川 しエネルギー効果を高めていること〔 (d)回折格子,レストストラーレンフィルタなどは所要の披教 頭域で自動的に交換できること。 (e)レストストラーレンフィルタを2個対で用い,祁甜一面へ の光の入射面を互いに直交させて除去すべき短波長光に対して舶 光角で入射させる立体的光学系を採用し,フィルタリングの効果 を著しく高めていること。 (f)回折格丁の抑)換えによる波数のりJ換部ほ沌数が王/二いに弔 なるように設計されているため記掛こは晰点が生せす連続記£式が 行られること。 (g)スリット幅ほプログラムにしたがって自動開閉でき,かつ 手動によっても開閉できること。 (h)回折格子および各種フィルタの交換による透過 率100%ライソの各波数領域による差異は試料側光束 中にそう入したトリマ位置を自動的に出し入れするこ とにより補償できること。 (i)単光来用増幅器および時定数変換器をも併属し ているため,単光来としての測定およびエネルギー曲 線の測定が可能であること。 データに認められるように性能においても所期の目的 を達成したがまだ多くの問題点が残されている。たとえ ば,くし形絞りによる透過率両線性の問題,冷却または 加熱試料測定の口り題,種々の付属品の開発,長短内側へ の披長城拡大の問題,さらにまた測定の面からはいかな る試料にも吐こじ得る試料採取法の研究などがある。これ らの問題を今後さらに解決していかなければならない。 最後に,本分光器の試作に際して懇切なるご指導をい ただいた人阪大学+二学部吉永教授ならびに南氏に深甚な る謝意を表するとともに,終始ご指導いただいた牧野+二 場長,肥後課長ならびに現Hipe中村技術部長に厚く謝 意を表する次第である。 (1) (2) (3) (4) (5) (6) (7) (8) (9) (10) (11) 参 男 文 献 吉永 弘,他:赤外線吸収スペクトル現論と応 用,第11焦33(1962)南江堂 宮沢辰雄:分光研究 H.M.Randall& F. Inst.,9,404(1938) H.M.Randall:Rev C.Y,Liang,et al (1956) T.K.Mc Cubbin: (1950) T.K.Mc Cubbin, 42,113(1952) R.A.Oetjen,et al C.R.Bohn,et al (1953) Ⅰノ.Genzel (1954) Ⅰノ.Genzel (1956) (12)A.Hadni: (13)R.C.Lord 10,131(1962) A.Firestone:Rev.Sci. Mod.Phys.,10,72(1938) J.Chem.Pbysリ 25,543 J.Opt.S()C.Amer.,40,537 Jr.,&W.M.Sinton:ibid, :ibid,42,559(1952) J.Chem.Physリ 21,719 u.W.Eckhardt:Z.Physリ139,578 u.W.Eckbardt:ibid,144,311 Rev.d'Optリ33,576(1954) & T.K.Mc Cubbin,Jr.,:J.Opt. Soc.Alller.,47,689(1957) (14)N.G.Yaroslavski,et al:Optics&Spectroscopyl,507 (1956) (15)N.G.Yaroslavski&A,E.Stanevich:ibid5,384(1958) d,521(1959) 6 7 〔0 9 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 〇一1 2 1 1 1 1 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 3 3 3 H.Yoshinaga,et al:J.Opt.Soc.Amer.,48,315(1958) M.Sergeilt:Rev.d'Opt.,37,552(958) lノ.Genzel,et al:Z.Phys.,154,1(1959) Ⅰノ.A,Duncanson,et al:Spectrochim.Acta,15,64(1959) 1).W.Robinson:J.Opt,Soc.Amer.,49,966(1959) E.K.Plyler&N.Ac〔1uista:J.Res.Nat.Bur.Stand.,5る, 149(1956) E.K.Plyler&L.R.Blaine:ibid,占0,55(1958) A.Hadni:J.Phys.Radリ17,77(1956) E.K.Plyler:J.Opt.Soc.Amer.,52,859(1962) 末本好郎,他:応用物理31,299(1962) A.Mitsuishi,et al:J.Opt.Soc.Amer.,52,14(1962) E.D.Palik:ibid50,1329(1960) Y,Yamada,et al:ibid.52,17(1962) H.M.Randall,et al:PllyS.Ⅰ〈ev.,52,160(1937) I_一.1く.Blaine,et al:J.Res.Nat.Bt111Stand、るるA、223(1962) W.S.Be11edict,et al∴ibid,49,91(1952) K.N.Ra(),et al:J.0Ⅰ〕t.S()C.AlⅥer.,52,862(1962)

参照

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