泳動電着により形成したX線イメージング用SrGa2S4:Euシンチレータ
3
0
0
全文
(2) Vol. 72, №6, 2021. 泳動電着により形成した X 線イメージング用 SrGa2S4:Eu シンチレータ. 365. 59.3 keV である。X 線照射によるシンチレータの可視光発光. 3 ．結 果. 画像，I0（直接光の画像）と，X 線源とシンチレータ間に分解. 図 1 に，SrGa2S4:Eu 層の断面 FE-SEM 像，光励起スペクト. 能チャート（Au ラインを形成した Si ウエファ）を入れたとき. ルならびに発光スペクトルを示す。エタノール溶液中の. の可視光発光画像，I（チャートの画像）から ln（I/I0）を求め，. SrGa2S4:Eu 粒子は泳動電着により陰極基板側のみに堆積した. その最小値と最大値をそれぞれ 16 bit 諧調として一義的に求. ことから，ζ- 電位は正と考えられる。電着した SrGa2S4:Eu. めた輝度値（任意単位）を用いて，ラインプロファイルを示し. 層は，GZO/SLG 基板上に固定され，Ag 蒸着操作を含むシン. た。作製した SrGa2S4:Eu シンチレータのガラス基板側の外. チレータ作製過程での脱落などは観察されなかった。基板の. 観は黄緑色であり，均一に形成されていることが確認できる。. GZO（Ga:ZnO）は n 型半導体であり，多数キャリアが電子で. また，逆側は蒸着 Ag 層により灰色外観を示す。9 μm から. あることから，正に帯電した SrGa2S4 粒子との間の静電引力. 50 μm L/S のチャートイメージは，いずれも明瞭に判別でき. も固定に影響していると推察される。SrGa2S4:Eu 層は粒子径. ていることから，ラインプロファイルは示していない。. が 1.7 μm から 3.1 μm の粒子から構成されており，粒子間に. 6 μm から 8 μm L/S のチャートイメージは明瞭に判別できる. 隙間は認められるが，密な層が形成されていた。また，膜厚. が，5 μm L/S はやや不明瞭である。6 μm から 8 μm L/S の. は約 13 μm で場所によらずほぼ一定であり，粒子の脱落によ. 白実線（a），（b）上でのラインプロファイルでは，3 本の Line. る陥没などもほとんど認められず，表面はほぼ平滑である。. に 相 当 す る ピ ー ク が 認 め ら れ る が，5 μm L/S で は 3 本 の. SrGa2S4:Eu 層について，300 nm から 900 nm の範囲で測定. Line に相当するピークは認められない。ZnO シンチレータ. した吸収曲線には吸収端は認められず，SrGa2S4:Eu のバンド. において，最大輝度値（Lmax）と最小輝度値（Lmin）から求め. 7）. ギャップエネルギーが 4.2 eV と報告されている ことと矛盾. た Michelson Contrast（ MC）＝（Lmax ＋ Lmin）/（ Lmax－. しない。また，SrGa2S4:Eu 層は，533 nm にピークを有する. Lmin）によりコントラストを評価した 9）ことから，本研究に. 可視光（励起波長 320 nm）のみを発光し，すでに報告されて. おいても，ラインプロファイルの輝度値を用いて MC を求. 2＋. 6. 7. いる SrGa2S4:Eu に含まれる Eu イオンの 4f 5d→4f 遷移に. めた。6 μm，7 μm，8 μm L/S において，それぞれ MC は 0.53，. よる発光波長 7,8）と一致している。また，350 nm ならびに. 0.71，0.88 となり，ZnO シンチレータにおいて閾値とした 0.2. 395 nm にピークを有するブロードな励起スペクトル（発光波. よ り も 大 き い こ と か ら，L/S は 判 別 で き お り， 解 像 度 は. 長 533 nm）が得られている。2 mol%Eu を含有する SrGa2S4:Eu. 6 μm L/S と考えた。また，この測定における発光強度は，. では 278 nm にピークを有し，313 nm と 391 nm ショルダー. 2D 検出器の総カウント数で 54,084（a.u.）（露光時間 10 s）で. を有する励起スペクトル（発光波長 532 nm）7）が，また Sr1-. あった。同一条件で測定した LuAG シンチレータの解像度. Ga2S4:Eu0.03 では 464 nm にピークを有するブロードな励起. 0.03. は 2 μm L/S で あ り， 発 光 強 度 は 33,382（a.u.）（ 露 光 時 間. スペクトル（発光波長 538 nm）が報告 8）されており，発光ス. 10 s）であったことから，13-μm-SrGa2S4:Eu シンチレータでは，. ペクトルのピーク波長と形状はほぼ同じであるが，励起スペ. 解像度は 50-μm-LuAG よりも劣るが，発光強度は 162% と大. クトルのピーク波長と形状は報告により大きく異なっている。. きいことが明らかとなった。. これらの励起スペクトルの形状などの差は，測定方法ならび. 本研究では，SrGa2S4:Eu 粒子を懸濁させたエタノール溶液. に測定条件の違い，Eu 含有率を含む組成ならびにそれに伴. か ら 泳 動 電 着 に よ り SrGa2S4:Eu シ ン チ レ ー タ を 作 製 し，. うバンド構造の差によると推察される。. 533 nm の可視光を発光すること，X 線イメージ測定におい. 図 2 に，SrGa2S4:Eu シンチレータの外観，チャートの X 線. て解像度 6 μm L/S と大きな発光強度を示すことを明らかに. イ メ ー ジ と 5 μm か ら 8 μm L/S（Line/Space）の ラ イ ン プ ロ. した。. ファイルを示す。照射 X 線は WKα線であり，エネルギーは. . Fig. 1 Cross sectional FE-SEM image（a）, excitation（b）, and photoluminescence spectra（c）for SrGa2S4:Eu scintillator prepared by electrophoresis deposition. — 57 —.
(3) 366. 表面技術. ノ ー ト. Fig. 2 Appearance of the SrGa2S4:Eu scintillator（A）, captured X-ray images of the chart with 5 μm to 50 μm L/S（B） （C） , , and line profiles（D）for 5 μm to 8 μm L/S along the two white solid lines（a） （b） , . Fkabori, A. Yoshikawa ; Cryst. Growth Des., 11, 4484（2011）.. 謝 辞. 4 ）M. Kobayashi, J. Komori, K. Shimizu, M. Izaki, K. Uesugi, A.. 本研究の一部は，経済産業省・戦略的基盤技術高度化支援. Takeuchi, Y. Suzuki ; Appl. Phys. Lett., 106, 081909（2015）.. 事業により行われたことを記し，謝意を表します。. 5 ）R. Yasuda, M. Katagiri, M. Matsubayashi ; Nucl. Instr. Meth. Phys.. （Received March 22, 2021 ; Accepted March 29, 2021）. 文 献. Res. A, 680, 139（2012）. 6 ）P. Benalloui, C. Barthou, J. Benoit ; J. Alloys Compd., 275-277, 709 （1998）. 7 ）C. Chartier, C. Barthou, P. Benalloul, J. M. Frigerio ; Electrochem.. 1 ）P. Lecoq ; Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. A, 809, 130（2016）.. Solid State Lett., 9, G53（2006）.. 2 ）M. Nikl, A. Yoshikawa, K. Kamada, K. Nejezchleb, C. R. Stanek, J. A.. 8 ）T. E. Peters, J. A. Baglio ; J. Electrochem. Soc., 119, 230（1972）.. Mares, K. Blazek ; Prog. Cryst Growth Charact. Mater., 59, 47. 9 ）M. Izaki, M. Kobayashi, T. Shinagawa, T. Koyama, K. Uesugi, A.. （2013）.. Takeuchi ; Phys. Status Solidi A, 214, 1700285（2017）.. 3 ）K. Kamada, T. Endo, K. Tsutumi, T. Yanagida, Y. Fujimoto, A.. — 58 —.
(4)
図
関連したドキュメント
The answer, I think, must be, the principle or law, called usually the Law of Least Action; suggested by questionable views, but established on the widest induction, and embracing
Since locally closed functions with all point inverses closed have closed graphs [2], (c) implies
In [1, 2, 17], following the same strategy of [12], the authors showed a direct Carleman estimate for the backward adjoint system of the population model (1.1) and deduced its
A line bundle as in the right hand side of the definition of Cliff(X ) is said to contribute to the Clifford index and, among them, those L with Cliff(L) = Cliff(X) are said to
More general problem of evaluation of higher derivatives of Bessel and Macdonald functions of arbitrary order has been solved by Brychkov in [7].. However, much more
Global transformations of the kind (1) may serve for investigation of oscilatory behavior of solutions from certain classes of linear differential equations because each of
In section 4, we consider another boundary controllability problem for the higher order linear Schr¨ odinger equation, in which only the value of the first spatial derivative (at x =
Gabriel [Gab62] showed that for a noetherian scheme X , the localizing subcategories of QCoh X bijectively correspond to the specialization-closed subsets of the underlying space of
