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電気 泳動現 象利 用 に よる表面研磨* Field-assisted Fine Finishing (FFF) に 関 す る 研 究

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Academic year: 2022

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(1)547. JSPE‑52‑03 '. 研. 86‑03‑547. 究. 電気 泳動現 象利 用 に よる表面研磨* Field‑assisted. 黒. 部. Electric. 利. Fine. 次**. Field-assisted Toshiji. Finishing. (FFF). 中. 治***. 今. Fine Finishing. KUROBE,Osamu. に関 す る研 究. 坂. 谷. Using Electrophoresis. IMANAKAand Katsuaki. 勝. 明†. Phenomenon. SAKAYA. New finishing method has been developed by using the electrophoresis phenomenon of fine grain suspended in liquid, which yields the electrical double layer at the surface of the grain. When the electric power is supplied to electrode set into the polishing compound, the grain moves and causes the polishing action to the workpiece surface.- The developed polishing equipment consists of a rotary vessel containing the polishing agent. The experiments were conducted on silicon wafer and ferrous metal specimen using the distilled water or ethylalcohol mixed with fine abrasive grain (Al2O3, SiO2) at the 10-2% volume concentration. The experimental results on the silicon wafer which is placed apart from the electrode showed that the stock removal rate increases with increasing the applied potential. Examination of the surface profile of the polished specimen indicated that the surface roughness decreases with increasing the potential. It can be said that the surface finishing characteristics are controllable by varying the current to the electrode. Key words : fine finishing, electrophoresis phenomenon, stock removal, surface roughness, finishing characteristic control. 1.. 緒. 粒 は帯 電す る.こ の砥 粒混 合 液体 に電場 を か け る と,. 書. 砥 粒 は表 面 の 電荷 に よ り電場 か ら力 を受 け て 運 動 す. 密 機 器 や 情 報 機 器 が 高 性 能 化 す る に 伴 っ て,. る.こ の現 象 を電 気泳 動 とい う.本 研究 で は,砥 粒 の. そ れ ら を構 成 す る 機 械 部 品 の 加 工 精 度 が 著 し く高 い も. 帯 電に よる運 動状 態 を理論 的 に解 析 し,実 験 装 置 を試. の とな っ て き て い る.高 精 度 ・超 精 密 加 工 が 必 要 と さ. 作 して研磨 加工 の可否 につ いて検 討 した.研 磨 加工 の. れ,ま. 評価 は,加 工量 お よび表 面粗 さ等 を測定 す るこ とに よ り行 った.そ の結 果,2,3の 興 味 あ る現 象 が観 察 され. 近 年,精. た 複 雑 形 状 表 面 の 研 磨 が 望 ま れ る.こ. 状 況 の 下 に,研. の よ うな. 磨 技 術 も新 しい 構 想 に 基 づ く加 工 法 が. 種 々展 開 され て き て い る.例. え ば,EEM加. た ので報 告 す る.. 工1)2),イ. オ ン ビ ー ム加 工3)4),メ カ ノ ケ ミ カ ル 加 工5),磁 気 研 磨. 2.. 加 工6)等 で あ る.. 砥 粒 の運 動 の理 論的 考察. 微 粉砥 粒 を 液 中 に懸 濁 させ て表 面研 磨 を行 う場 合,. 現 今 の研 磨 加 工 の 多 様 な ニ ー ズ に こた え る に は, 新. 砥粒 は加工 物表 面 にで き るだ け平 行 に近 い角 度 で衝 突. し い 発 想 に 基 づ く新 研 磨 法 の 開 発 が 従 前 に も増 し て 必 気 泳 動 現 象7)を 利. させ て研磨 作 用 を営 ませ るこ とが表 面創 成 の観 点 か ら. 用 し て 加 工 物 の 表 面 研 磨 が 行 え る か ど うか を 検 討 した. 望 ま しい1).した が って その場 合,液 体 の流動 状 態 とし. も の で あ る.一 般 に 砥 粒 を 液 体 中 に 分 散 さ せ る と, 何. ては乱 流 を避 け て層流 を利 用 す る こ とが必要 で あ る. 一 方,加 工 能 率 の向上 を 図 る上 か らは,微 粉 砥粒 にで. 要 とな っ て きて い る.本. 研 究 は,電. らかの原 因で砥 粒 の表 面 に は電 気二 重 層 が発 生 して砥. き るだ け大 きな運動 エネ ル ギ ーを与 え る こ とも必要 で *. * * * * *. †. 原稿受付 昭和58年12月15日. 昭 和56年 度精機学 会春 季大会学 術講演会 (昭和56年3月28日) にて発表 正 会 員. 金沢大学工学部. あ る. 流体 を利 用 して微 粉砥 粒 を 加速 す る場 合 には,上 述 の よ うに層 流 を利用 す る ことが望 ま しいが,流 路幅 が 一定 で あれ ば流 速 の増 速 には お のず と一 定 の限度 があ. (金 沢 市 小 立 野 2‑40‑20 ). 正 会 員 金沢大学 工学 部 (現,富 山職業 訓練 短 期大 学 校:魚 津市川縁 1289‑1) 金 沢大学大学院 (現,石 川県工業 試験場1金 沢市戸水 町 ロ 1). る ことに な る.そ こで 以下 に 電気 泳動 現 象 を利 用 して 151.

(2) 精 密 工 学 会 誌 52 /3 / 1986. 548. (2). と な る.た ま た,重. だ し,μ. は 溶 媒 の 粘 性 率 で あ る。. 力 に よ って砥 粒 が運 動 す る と きの速 度 砺. は,. Fig. 1. Schematics. of polishing method. (type I). (3) 砥 粒 の運 動 を制 御す る方 法 を検 討 す る.先 に記 した よ と な る.こ. うに,液 体 中 の微粉 砥粒 は何 らか の形 で 帯電 して い る ので,微 粉砥 粒 を懸 濁 した 液体 に電場 を 与 えれ ばそ の. こ で,fは. 粒 に 働 く力,ρ0は. 重力 の作 用 に よって液体 中の砥. 媒 液 の 密 度,ρ. 微 粉砥 粒 に 力(運 動 エ ネ ルギ ー)を 与 え る ことが で き る.電 場 の大 き さ(強 さ)及 び 印加方 向(極 性)を 変. 重 力 加 速 度 で あ る.. え る こ とに よ り砥 粒 の運 動 を制 御 で き る と考 え られ. 速 度 の は,. した が っ て,式(2),(3)か. ら,y軸. は 砥 粒 の 密 度, g は. 方 向 の砥粒 の 運動. る.こ こで 当然 な ことで はあ るが,液 体 中 に懸濁 した 砥 粒 に は液体 の流 れ方 向 に力 を受 け る.し か し,こ こ. (4). で は式 の扱 い の簡単 化 の ため 流速 の効 果 は考 慮 の外 に お き,解 析 を進 め る こ とにす る. と な る.. 液 体 中 に分散 して い る粒 子 は,. 次 に,x軸. (1). 方 向 に つ い て 考 え る.い ま,砥 粒 を 含 む 流. 体 が 加 工 面 に 平 行 に 相 対 速 度nで. 流 れ て い る とす る.. な る電荷 を もつ こ とがわ か っ てい る.こ こで,ε は媒. 砥 粒 の 加 工 面 に 対 す るx軸. 液 の誘電 率,ζ は砥粒 のゼ ー タ電 位,ο は砥 粒 を 球 と. お け る 流 体 の 速 度 に 一 致 す る も の とす る と,砥 粒 の x. 仮定 した ときの半径,1/xは したが って,一 様 な電場Eの. 軸 方 向 の 速 度Vxは,Vx=n.ま. 電 気 二重 層 厚 さで あ る. 中 に置 かれ て い る粒 子 に. 作用 す る静電気 力fは,fE=QEと. Vx=A1yと. 方 向 の 速 度 は,砥 粒 中 心 に. た,n=んlyと. お く と,. な る.. 加 工 面 に 対 す る砥 粒 の 相 対 速 度vは, v. な る.. で あ る か ら,式(4)か. 流 体 を利 用 して表 面 研磨 を行 う場 合,加 工面 との間 にわ ず か のす きまを有 す る対 向面 が 必要 とな る。 した. = √vx2 + vｙ2. ら,. が って,砥 粒 を電 気的 に制 御 して加工 能 率 の 向上 を図 るに は次 の2つ の方法 が考 え られ る.1つ. は 加工 面 に. (5). 砥粒 を引 き付 け て能率 向 上 を図 る方 法,他 の1つ は対 向面 に砥 粒 を集 中 させ る こ とに よって能 率 向上 を 図 る 方法 で あ る. 2.1 加 工面 に砥 粒 を引 き付 け る場 合. と な る.ま. す よ うに 加工 面 に平行 にx軸,そ. 粒 の 加 工 面 に 対 す る運 動 方 向 は, 砥. 粒 の 運 動 方 向 と加 工 面 の な す 角 を θ とす る と,. ここで は,加 工 面 と対 向面 が す き まkを 保 って と も に水平 に置 か れ てい るもの とす る。 そ して,図1に. た,砥. (6). 示 と な る.し. れ と垂 直 に 下方 を正. た が っ て,砥. 粒 が加工 面 に接 触す る ときの. としてy軸 を とる.い ま,砥 粒 が 負 に帯電 して い る も. 速 度 は,式(5)でy=aと. の と して,加 工 面 が 正,対 向面 が 負 に帯電 す るよ うに. とが で き る.式(5)お. 直 流電 圧 γ を印加 す る。その 場合,加 工 面 と対 向面 の. れ ぽ 電 場Eす. 間 にはE=V/hな る竃 場 が 生 じて い る の で,砥 粒 に は加工 面 の方 向 に力 が作 用 す る.こ の力 に よ って砥粒. 粒 の 運 動 を 制 御 で き る と考 え られ る 。. が運動 す る とき,そ の運 動 速度 砺 は,. エ ネ ル ギ ー に 比 例 す る も の と仮 定 す る と,砥 粒 の 運 動. い ま,加. な わ ち 電 圧Vを. ら,hが. 一定であ. 変 える こ とに よって砥. 工 層 は 加 工 面 に砥 粒 が 衝 突 す る と き の 運 動. エ ネ ル ギ ーKは, 152. お くこ とに よ って 求め る こ よ び 式(6)か.

(3) 黒部 ・今中 ・坂 谷:電 気泳動現 象利用 による表 面研磨. Fig. 2. Schematics. of polishing method. (Type. 549. II). Fig. 3. Polishing. setup (Type. I). (7). とな る.式(7)か ち 電 圧Vが. ら,加 工 量 は 電 場 の 強 さE,す. 大 き くな る に 従 っ て 増 大 す る.ま. (7)か ら,運 動 エ ネ ル ギ ーKは に 依 存 し,か. つ,ゼ. なわ た, 式. 砥 粒 の粒 径 お よび材 質. ー タ 電 位 に も関 係 す る こ とが わ か. る. 2.2. 砥 粒 が 対 向 面 に集 中 す る 場 合. 液 体 中 の 砥 粒 が 負 に 帯 電 し て い る も の と し て, 図 2 に 示 す よ うに 対 向 面 が 正,加. た 電 極 が 負 の 電 荷 を も つ よ うに 距 離hを 電 圧Vを. 印 加 す る と,そ. 場 が 生ず る.し. setup (Type II). る電. 全 に結合 して い るので は な く,静 電気 力 と重 力の 働 き. 粒 は対 向面 上 に引 っぱ ら. れ る こ とに な る. い ま,対. Polishing. おいて直流. の 間 に は,E=V/hな. た が っ て,砥. Fig. 4. 工面 また はほ か に設置 し. のみ で結 合 してい る と考 え られ るので,砥 粒 が加 工面. 向 面 が 水 平 に 置 か れ て い る もの とす る と,. と接 触 して そ れか ら力 を受 け る と,そ の結 合 は簡 単 に. 砥 粒 に 作 用 す る 力fは,. 解 け る. 砥 粒 が加 工面 に与 え るエ ネルギ ー は この結 合力 に比 例 す る とす る と,結 合 力 はfに 比 例 す るので,式 (8) か ら加 工 量 は電 場 の 強 さ,す なわ ち電圧 γ に 比 例 す. (8). る.し たが って,電 圧1Vを 変化 させ る こ とに よ って 加 とな る.こ の力 に よって砥 粒 は対 向面 上 に集 中す る.. 工 を制 御 で きる と考 え られ る.ま た,こ の とき砥 粒 が. そ の結果,砥 粒 と対 向 面 との 間 に摩擦 力 が生 じ,砥 粒 は対 向面 とともに運 動 す る と考 え られ る.こ の場 合,. 加工 面 に作 用す る角 度 は ほぼ 水平 とな るので,加 工 面 に垂 直 な方 向 の力 は非 常 に小 さい と考 え られ る.こ の こ とは加工 変質 層 の低減 に もつ なが る と推 考 され る.. 対 向面 と流 体 は等速 で運 動 して い るので,砥 粒 は流 体 か らの 力 をみ かけ上 うけ ない.ま た,砥 粒 間 に も力 が. 3.. 作 用す るので,そ の運動 の一部 は砥 粒 の堆 積 方 向 に砥 粒 の 堆 積 して い る範 囲 まで 伝 達 され る もの と思 わ れ る.し た が って,加 工 面 と対 向面 との相対 速 度 を 編 と. 3.1. 実. 験. 方. 法. 実験 装 置. 実 験 に使用 した装 置 の概 略 図 を図3,図4に. 示 す. 図. す る と,加 工面 と砥粒 の相 対 速度 は ほぼ 協 に等 し く. 3の 装 置 を 加 工 装 置(1),図4の. な る.こ の場合,砥 粒 と砥 粒 お よび砥 粒 と対 向 面 は完. と称 す る こ とにす る.加 工 装置(1)は 加 工物 に直 接 直 153. 装 置 を加 工 装 置 (ID.

(4) 550. 精 密 工 学 会 誌 52 / 3/ 1986. 流 電 圧 を 印 加 す る方 式 で あ り,一 方,加. 工 装 置(II). は. Table. 1. 電 極 を 加 工 物 とは 切 り離 し て設 置 し,電 極 と対 向 工 具 面 の 間 に 直 流 電 圧 を 印 加 す る方 式 で あ る.両 対 向 工 具 面 の 外 径 は80mm,上 は22mmで. Dimension specimen. and pre-machining. condition. of. 装置 とも. 下 の 回 転 軸 の偏 心 距 離. あ る.対 向 工 具 面 の 材 質 は黄 銅 で あ る. 加. 工 面 と対 向工 具 面 の 間 の す き ま の 調 整 は 上 側 回 転 軸 の 上 下 動 に よ り行 った.そ. の 際,す. き ま の検 出 ・調 整 は. ダ イ ヤ ル ゲ ー ジ を 用 い て 行 っ た. 図3に. 示 す 加 工 装 置(1)で. は,試 料 ホ ル ダ の 材 質 を. 黄 銅 と し,上 側 回 転 軸 に 直 接 取 り付 け た.実 工 具 面 側 が 正,加. 験 は対向. 工 物 側 が 負 の場 合 とそ の 逆 の 場 合 の. 2通 りに つ い て 行 った.図4に. 示 す 加 工 装 置(II)で. 試 料(1)は ア ク リル 製 ホ ル ダ(2)に 固 定 さ れ,ホ 溶 媒 中 に 完 全 に 浮 い た 状 態 に し て,回. は,. ル ダは. 転軸 に よ って下. 方 に 押 し付 け ら れ て い る.ホ ル ダは 回 転 軸 と試 料 の 摩 擦 に よ って 回 転 軸 と 同 じ速 度 で 回 転 す る.こ 場 合,対. 向 工 具 面 が 正,電. 設 定 し た.本. の実験 の. 極 が 負 に な る よ うに 電 圧 を. 研 究 で は 生 産 性 の 観 点 か ら,電 気 泳 動 現. 象 の 効 果 が よ り多 く期 待 さ れ る と 思 わ れ る 装 置 (II) を 主 に 使 用 し て 実 験 を 行 っ た. 3.2. 加 工 条 件. 研 磨 用 砥 粒 と し て は ア ル ミナA1203(粒 μm)と. シ リ カSiO2(粒. 径 20 〜 0.2. 径10〜0.02μm)を. 用 い た.. こ. れ は,砥 粒 材 質 に よ る帯 電 量 の 違 い の 影 響 を み る た め で あ る.砥. 粒 と媒 液 の 混 合 率 は 体 積 比 で,砥. 5%の3通. りに選 び実 験 を 行 っ た.媒. 粒 が 2, 4,. 液 と し て は,電. 離 度 の 影 響 を み るた め に,蒸 留 水,エ チ ル ア ル コ ー ル, メ チ ル ア ル コ ー ル を 使 用 した.加 場 合,構 造 用 炭 素 鋼S45Cを φ7.7mm,厚. さ7mmの. (II)の 場 合 は,シ mm)を. リ コ ン単 結 晶 ウ エ ハ(4"径,厚. 工 に 供 した 面 は(001)面. Fig. 5. 逆 の場 合 で あ る.図5に カ(10μm以. 置. 間 に 比 例 して 大 き くな る こ と が わ か る.ま. 工. られ た の は,先. 用 い て 測 定 し た.そ. 除 去 効 果 の ほ か,次. 定 力4mNで. の測 定条 件 あ る.表 面 の. 互 作 用 効 果(砥. 観 察 に は ノ マ ル ス キ ー型 干 渉 顕 微 鏡 を 用 い た.. 図5に. 装 置(I)の. 験. 装 置(1)を. の 理 論 解 析 で 示 した 砥 粒 の 衡 突 に よる 々 と加 工 面 に や っ て くる砥 粒 の相. 粒 径 は ク リア ラ ン ス の1/2程. 砥 粒 の 相 互 作 用 が 大 きい)も. 度 なので. 大 き く加 工(量)に. 影響. し て い る も の と考 え られ る. 果. 4.2. 場合. 図6に. 場合. 装 置(II)を. 用 い た 場 合 の 実 験 結 果 を示 す. 加. ル ミナ 砥 粒(粒 径8μm,濃. 度 5%). を エ チ ル ア ル コ ー ル に 懸 濁 させ た もの を 使 用 した.. 変 え て 行 っ た.. は 試 料 側 が 正,対 向 工 具 面 側 が 負 に な. る よ うに 電 圧 を 印 加 し た 場 合 で あ り,‑1.5Vは. 装 置(II)の. 工 液 と して は,ア. 用 い た 場 合 の 実 験 結 果 を 示 す. 実. 験 は 印 加 電 圧 を1.5V,OV,‑1.5Vと こ こ で,1.5Vと. 結. た,直 線 の. 場 合 が 最 も大 き くな って. い る.電 圧 を 印 加 す る こ とに よ って 加 工 量 が 大 き く得. 面 粗 さ は連 続 指 示 形 表 面 粗 さ測. 実. は加 工 時間 と. 加 工 量 の 関 係 を 示 し て い る 。 図 か ら,加 工 量 は 加工 時. で あ る.加. ん を 用 い て 求 め た.表. は,触 針 先 端 半 径5μm,測. 入 した エ チ ル ア. お よ び(111)面. 定 機(東. 4.1. 示 す 実 験 は 加 工 液 と して シ リ. 下)を 体 積 濃 度 で4%混. 傾 き は 印 加 電 圧 が1.5Vの. 京 精 密 製)を. and machin-. に 切 り出 し て 試 料 と した. 加. 工 実験 前後 の試料 の質 量減 を化 学天 び. 4.. stock removal. ル コ ー ル を 用 い た 場 合 の もの で あ る.図. さ 0.8. 示 す.. 加 工 量 は,加. Relation between ing time (silica). の. 使 用 し,そ の 形 状 寸 法 は 円 筒 状 の も の で あ る.装. 用 い,20mm角. 条 件 を 表1に. 工 試 料 は 装 置(I). 図6は. その. 電 圧 と加 工 量 の 関 係 を 示 して い る.図 か ら,. 加 工 量 は 電 圧 が 増 加 す る につ れ て 次 第 に増 えて い くの 154.

(5) 黒部 ・今中 ・坂谷:電 気泳動現象利用 による表 面研磨. Fig. Fig.. 6. Influence (alumina). of potential. on stock. 8. Surface. 551. roughness. of silicon. removal. (a) 0V. Fig. 7. Influence of potential (silica). (b) 60V. on stock removal. が わ か る. 図7に. wafer. シ リカ(粒 径2μm,濃. 度5%)を. (c) 100V. (d). (e) 200V. (f) 350V. 150V. 蒸. 留 水 中 に 懸 濁 させ た 場 合 の 実 験 結 果 を 示 す. 図 か ら,加 工 量 は 電 圧 の低 い と こ ろ で い った ん 低 下 し,そ れ 以 後 電 圧 が 増 え る に 伴 っ て 次 第 に増 加 し て い く こ とが わ か る.し か し, 100 Vを 過 ぎ る あ た りで 飽 和 す る 傾 向 が み ら れ る.こ れ は,加. 工 面 と対 向 面 の 間 の す き ま が. 砥 粒 径 に 比 べ て 大 きい の で,電. 圧が低 い とこ. ろで は 対 向 工 具 面 に 集 ま る砥 粒 数 が 少 な い こ とが原 因 し て 加 工 量 が 減 少 した も の と思 わ れ る.一 方,電 (量)が. 多 く な るた め 加 工 量 が 増 え た も の と考 え ら れ. る.図8に 示 す.図. Fig.. 9. Photographs. 表 面 粗 さRmaxの. 測 定 結 果(図7の. specimen. た.. 試 料) を 5.. か ら,表 面 粗 さ は 電 圧 が 増 す に つ れ て い っ た. ん大 き くな り,極 値 に 達 した 後 次 第 に 減 少 す る こ とが わ か る.図9に. of polished. 圧が高 い場 合 には砥粒 の集積 数. 考. 察. 以 上 の 実 験 結 果 か ら,砥 粒 の 電 気 泳 動 現 象 を 利 用 し. そ の 場 合 の 加 工 面 の 顕 微 鏡 写 真 を 示 す.. て,砥. 粒 を 加 工 面 に 引 き 付 け るか あ る い は 対 向 工 具 面. 図 か ら,加 工 面 は 電 圧 の 小 さい 範 囲 で は ラ ッピ ン グ を. 上 に 集 中 させ る こ とに よ っ て 加 工 能 率 を 向 上 で き る と. 施 した よ うな面 に な っ て い るが,電. 考 え られ る.砥. 圧 が 大 き くな る と. 粒 と し て シ リ カを 用 い た 場 合,そ. 次 第 に ポ リシ ン グ し た 面 の よ うに な る こ と が わ か る.. 負 に 帯 電 す る の で,非. なお,前 加 工 面 の表 面 粗 さ はRm。xで 約1.2μmで. は 砥 粒 を 加 工 面 に 引 き付 け る方 が 有 利 で あ る.水. あっ 155. れは. 水 系 媒 液 を 加 工 液 とす る場 合 に を加.

(6) 精 密工 学 会 誌 52 / 3/ 1986. 552. 工 液 に 用 い る場 合 に は,砥. 粒 が イ オ ン化 し て 次 第 に 電. 実 験 結 果 か ら,加. 工 量 は 電 圧 が 増 す に つ れ て 基本. 解 質 溶 液 とな り,電 極 反 応 が 起 こ り加 工 物 に 電 圧 を 印. 的 に は 増 加 す る 傾 向 に あ る が,そ. 加 す る こ とが 困 難 とな る が,加. 使 用 砥 粒 の 材 種 と 溶 媒 に よ っ て 変 わ る.. 大 に よ っ て 増 加 す る.水. 工 量 と して は 電 圧 の 増. にSiO2砥. 合 に は 電 離 度 が 大 き い の で,電. 粒 を 分 散 させ た 場. (5). 圧 が 大 き くな る と砥 粒. の 多 くは 対 向 工 具 面 上 に 付 着 す る.そ. ま り,電 圧. る.触. ま れ る)す. る が,電. こ と が 観 察 さ れ た.. 圧 が 大 き く な る と,加 工 面 上 の 山. 6.. 結. 終 わ り に 本 研 究 を 進 め る に 当 た り協 力 い た だ い た 金 沢 大 学 工 学 部 尾 西 隆 氏 に あ つ く お 礼 申 し 上 げ ま す.. 論. 参. 電 気 泳 動 現 象 利 用 の 表 面 研 磨 に つ い て,理 験 的 観 点 か ら そ の 可 能 性 を 検 討 し た.そ. 1). 論 的 ・実. 3). 4). て 加 工 を 行 う形 式 の もの とそ れ ら を 互 い に 切 り離 5). して 別 個 に 設 定 し て 行 う2形 態 の 装 置 を 試 作 し. 加 工 物 を 直 接 電 極 に取 り付 け た 実 験 に お い て. は,電. の現 象. は 使 用 砥 粒 の 材 種 に は よ らな い よ うで あ る. (4). 報)――Si単 結 晶 の イ オ ン ス パ ッタ 加工 に よ る格 子 不整, 精 密 機 械, 45, 3 (1979 )292. 宮 本 岩 男,谷 口紀 男:イ オ ン スパ ッ タ加 工 法 の 研 究 (第 2 報)―― ダ イ ヤ モ ン ドの 加 工,精 密 機 械, 46, 8 (1980) 102. 安 永暢 男,小 原 明,樽 見 昇,今 中 治:軟 質 粒 子 によ. 6). T. Kurobe, O. Imanaka and S. Tachibana : Magnetic Field-assisted Fine Finishing, Bull. JSPE, 17, 1, (1983) 49.. 7). 北 原 文 雄,渡 辺 共 立 出 版 (1972). 圧 を 試 料 側 が 正 に な る よ うに 印 加 した 方 が. 加 工 量 が 増 え る こ と が 明 らか とな っ た.こ. よ る超 精 密 数 値 制 御 加 工 法,精 1537. オ ンス パ ッタ加 工 法 の 研 究 (第 1. るSi単 結 晶 の メ カ ノ ケ ミカル ポ リシ ン グ,精 密 機 械, 44, 9 (1978) 1105.. た. (3). 献. Emission Machining)に 密 機 械, 46, 12 (1980) 宮 本 岩 男,谷 口紀 男:イ. 仕 方 の2形 式 が 可 能 な こ とが 明 ら か と な った. 実 験 装 置 と して,加 工 物 を 電 極 に 直 接 取 り付 け. 文. 2). 砥 粒 の 運 動 の 解 析 の 結 果,加 工 法 と して は砥 粒. を 加 工 面 に 引 き つ け る方 法 と対 向 面 に 集 中 さ せ る. 考. 森 勇 蔵,津 和 秀 夫,杉 山 和 久: EEM (elastic emission machining)の 基 礎 研 究―― 極 微 小量 弾 性 破 壊 の概 念 とそ の 可 能 性,精 密 機 械, 43, 5 (1977) 542. 森 勇 蔵,井 川 直 哉,奥 田 徹,杉 山和 久: EEM (Elastic. の結 果次 の よ. う な結 論 が 得 られ た.. (2). 面 粗 さは電. ッピングに似 たか たち の除去 作用 が営. の 部 分 を 完 全 に取 り去 っ て い くた め と思 わ れ る。. (1). 針 式 粗 さ 計 に よ る 測 定 か ら,表. 圧 が 大 き くな る に つ れ て 次 第 に 小 さ くな って い く. 圧 が 小 さ い と き は加 工 面 を ラ ッ ピ ン グ す る. よ うに 加 工(ラ. 圧 が 大 き くな る とポ. リシ ン グ し た 面 の よ うに 加 工 さ れ る こ とが わ か. の 増 大 に よ り,砥 粒 と対 向 工 具 面 の 結 合 力 が 大 き く な る た め,電. 圧 の 小 さ い範 囲 で は ラ ッピン. グ し た 面 の よ う に な る が,電. 面粗 さは次第. に 小 さ く な っ て い く も の と推 考 さ れ る.つ. 加 工 した 場 合 の 加 工 面 の 光 学 顕微. 鏡 写 真 観 察 か ら,電. のため 加工 量 は. 電 圧 が 大 き く な って も増 大 し な い が,表. 装 置(II)で. の増加 の程度は. 加 工 物 と電 極 を 互 い に 離 し て 設 置 し た 場 合 の. 156. 昌:界 11.. 面 電 気 現 象―― 基礎・測 定 ・応用,.

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