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4-5  電極デバイスの作製および評価・測定方法

  本章では、大きく分けて次の2種類の検証評価を行う。

検証1  DMAMF プラズマ重合膜に GOD を共有結合固定させたグルコースバイオセンサデ

バイスの評価

検証2  DMAMFプラズマ重合膜にGODを埋め込み固定させたグルコースバイオセンサデバ

イスの評価

上記の 2種類で電極デバイスの作製方法および測定方法に差異があるため、それぞれを記載す る。

4-5-1-1:  検証1で用いる電極デバイスの作製の流れ

電極デバイスの作製の流れと、作製する電極デバイスの構造概念図を図4-3に示す。

(1)  基板となるマイクロスライドガラスを混合溶液(蒸留水、アンモニア水、過酸化水素水)

で70℃、10分程度ボイリングした後、ガラスを取り出して、蒸留水でリンスし、アルゴン ガスで水垢を除去する。

(2)  洗浄後のガラス基板をスパッタ用チャンバーに入れ、密着層としてクロムを 40nmにスパ

ッタリングで成膜する。

(3)  その後クロム上部に電極層として、金を200nmにスパッタリングして成膜する。

(4)  ガラスカッターでガラス基板を適当な大きさに切り出し、カプトンテープで不要な金を覆 うことにより絶縁し、センサ面積(0.5×0.5cm2)の調整を行う。

(5)  ガラス基板をプラズマ重合用のチャンバーに入れ、金電極上部に、GODを共有結合させる

ための基盤となる DMAMF プラズマ重合膜を成膜する。RF13.56MHz、外部電源方式、誘 電結合方式のプラズマ重合装置を使用する。DMAMF の重合条件は、電力:50W、圧力:

5.0Pa、放電時間:1min(膜厚:約20nm)とする。

(6)  プラズマ重合用のチャンバーからガラス基板を取り出し、DMAMFプラズマ重合膜とGOD

を共有結合させるため、DMAMFプラズマ重合膜上に2.5%グルタルアルデヒド溶液を滴下 し、その後に、余剰のグルタルアルデヒドを蒸留水で洗い流す。

(7)  最後に、DMAMFプラズマ重合膜上に、酵素溶液(GOD)を滴下し、自然乾燥させ、その

約10分後に非吸着のGODを蒸留水で洗い流す。

(8)  電極デバイス作成後は、冷蔵庫(4℃)にて使用まで冷蔵保管し、使用時にはリン酸緩衝溶 液にて洗浄して使用する。

4-5-1-2:  検証1で用いる評価・測定方法

本研究では、測定方法にリン酸緩衝液(pH7.4)を用いた3電極方式による電気化学測定を用 いる。Ag/AgCl を参照電極、Pt を対極とし、作製した電極デバイスは作用電極とする。測定系 に関しては、第2章の2-4-3(1)と同じとする。測定種類は次の2種類である。

(1)  サイクリックボルタンメトリー:

    グルコース溶液を所定量追加していき、各濃度での電圧―電流特性を評価する。

(2)  定電位時間電流測定:

    所定の電位を設定し、測定開始から所定時間ごとに、グルコース溶液を所定量ずつ滴下し ていき、各濃度での時間―電流特性を評価して、電極の感度やセンサの検出濃度範囲・応 答性を確認する。

4-5-2-1:  検証2で用いる電極デバイスの作製の流れ

電極デバイスの作製の流れと、作製する電極デバイスの構造概念図を図4-4に示す。

(1)  基板となるマイクロスライドガラスを混合溶液(蒸留水、アンモニア水、過酸化水素水)

で70℃、10分程度ボイリングした後、ガラスを取り出して、蒸留水でリンスし、アルゴン 図4-3  検証1に用いる電極デバイスの構造概念図

ガラス基板

GOD

クロム密着層 金電極層 面積調整用絶縁層 GOD

DMAMFプラズマ重合膜層

GOD

グルタルアルデヒド

ガスで水垢を除去する。

(2)  洗浄後のガラス基板をスパッタ用チャンバーに入れ、密着層としてクロムを 40nmにスパ

ッタリングで成膜する。

(3)  その後クロム上部に電極層として、金を200nmにスパッタリングして成膜する。

(4)  ガラス基板をプラズマ重合用のチャンバーに入れ替え、金電極上に GOD が2次元均一的

に物理吸着できるよう、金電極上に第一層となる HMDS プラズマ重合膜を成膜する。

RF13.56MHz、外部電源方式、誘電結合方式のプラズマ重合装置を使用する。第一層HMDS

プラズマ重合膜の重合条件は、電力:100W、圧力:0.6Pa、放電時間:28sec(膜厚:約2nm)

とする。(なお、AFM像観察に用いるデバイスでは、HMDS をモノマーとして重合条件、

電力:200W、圧力:0.6Pa、成膜速度:22.2±2.8nm/min、放電時間:60sec(膜厚:約20nm)

で、シリコン基板上に直接成膜する。)その後、GODとHMDSプラズマ重合膜の親和性を 高めるため、窒素プラズマ処理を行い膜表面へのアミノ基の導入を行う。窒素プラズマ処 理条件は、電力:100W、圧力:3Pa、放電時間:20secとする。

(5)  作製途中のデバイスをプラズマ重合用のチャンバーから一度取り出し、ガラスカッターで ガラス基板を適当な大きさに切り出し、カプトンテープで不要な金を覆うことにより絶縁 し、センサ面積(0.5×0.5cm2)の調整を行う。

(6)  第一層プラズマ重合膜上に GODを物理吸着させるため、重合膜上に酵素溶液(GOD)を

滴下し、約1時間の自然乾燥させた後、非吸着の酵素を蒸留水で洗い流す。

(7)  GODを埋め込み固定するための、そしてメディエータ機能を持たせるための、第二層とな

るDMAMFプラズマ重合膜をGOD上に成膜する。RF13.56MHz、外部電源方式、誘電結合

方式のプラズマ重合装置を使用する。DMAMF の重合条件は、電力:50W、圧力:20Pa、

放電時間:1min(膜厚:約20nm)とする。

(8)  電極デバイス作成後は、冷蔵庫(4℃)にて使用まで冷蔵保管し、使用時にはリン酸緩衝溶 液にて洗浄して使用する。

図4-4  検証2に用いる電極デバイスの構造概念図

ガラス基板

GOD

クロム密着層 金電極層 GOD

GOD

第二層DMAMFプラズマ重合膜

面積調整用絶縁層

第一層HMDSプラズマ重合膜

(窒素プラズマ処理あり)

4-5-2-2:  検証2で用いる評価・測定方法

本研究では、AFMを用いて、GODがDMAMFプラズマ重合膜に埋め込まれた状態の観察を 行う。また、測定方法にリン酸緩衝液(pH7.4)を用いた3電極方式による電気化学測定を用い る。Ag/AgClを参照電極、Ptを対極とし、作製した電極デバイスは作用電極とする。測定系に 関しては、第2 章の2-4-3(1)と同じとする。測定種類はサイクリックボルタンメトリーと定電 位時間電流測定の2種類である。

(1)  AFM観察:

      第一層プラズマ重合膜の表面や GOD が物理吸着した表面状態、そして GOD を DMAMF プラズマ重合膜に埋め込んだ複合体の表面状態を、AFM画像およびその断片プロファイル で観測する。AFM観察は、大気中測定にてタッピングモードで行い、走査速度は0.6Hzに 設定する。

(2)  サイクリックボルタンメトリー:

  電極デバイスのクリーニングのためにサイクリックボルタンメトリーを行う。また、グル コース溶液を所定量追加してサイクリックボルタンメトリーを行い、各濃度での電圧―電 流特性を評価する。

(3)  定電位時間電流測定法:

      所定の電位(+300mV)を設定し、測定開始から所定時間ごとに、グルコース溶液や他の電 極活性物質(妨害物質)を所定量ずつ滴下していき、各濃度での時間―電流特性を評価し て、電極の感度やセンサの検出濃度範囲・応答性を確認する。