大 阪 府 立 大 学 大 学 院 工 学 研 究 科 経 営 工 学 専 攻 博 士 後 期 課 程 修 了
平 成6年6月30日
階 層 シ ン プ レ ック ス ・アル ゴ リズム は2階 層 シ ンプ レッ クス ・ アル ゴ リズム に 多 目的 最 適 化 の判 定 基 準 を組 み込 ん だ もの で あ り、従 来 の解 法 で は困 難 で あ っ た多 目的問 題 へ の拡 張 が2階 層 シ ンプ レッ クス ・ア ル ゴ リズ ム で は容 易 に行 え る こ とが 明 らか に され て い る。
(4)多 目的2階 層 シン プ レ ック ス ・ア ル ゴ リズム を多 目的3階 層 分権 シ ス テム へ拡 張 す る方法 が示 され 、多 目的3階 層 最 適 化 ア ル ゴ リズム が提 案 され て い る。 さ らに 、一 般 の 多 目的 多 階 層線 形計 画 問 題 の 分割 法 が 示 され、 これ を用 い た多 目 的多 階 層 最適 化 アル ゴ リズ ム が提 案 され て い る。
■プ ラ ズ マ 浸 炭 を利 用 した 炭 化 物 系 硬 質 皮 膜 の 作 製 に 関 す る研 究
金 山 信 幸 生年 月 日 最 終学 歴
勤 務 先
授 与 年 月 日
本 論 文 は、近 年 ガ ス浸 炭 や真 空 浸炭 に代 わ る新 し い浸 炭法 とし て各 種 鉄鋼 材 料 の浸 炭焼 入 れ に利 用 され てい る プ ラズ マ 浸炭 を取 り上 げ、新 た に炭 化物 系 硬 質 皮膜 の作 製 法 と して の用途 開発 を試 み た結 果 に つ い て ま とめ た もの で あ る。 主 にIVa〜Vla族 に属 す る高 融点 金 属 表 面 で の炭 化 物 形成 に関 す る基礎 的 知 見 を集積 す る と同 時 に、 プ ラズ マ 浸炭 が 金 属 お よびサ ー メ ッ ト溶 射 皮膜 の改 質 に有 効 で あ る こ と を見 出 し、 そ の工 業 的 利 用 に つ いて も検 討 した
もので あ り、 以 下 の成 果 を得 て い る。
(1)Wを プ ラズ マ 浸 炭 し、表 面 に はWCか らな る炭 化物 層 が 形 成 され る こ と を示 し た。 また 、炭 化 物 層 の成 長 は処 理 時 間 の1/2 乗 に比 例 し、 炭 化物 層 中 で のCの 拡 散速 度 に律 速 され る こ と を 明 らか に した 。
(2)Crを プラ ズ マ 浸 炭 し、表 面 にCr3C2か らな る炭 化物 層 が 形成 され る こ と を示 した 。 また 、炭 化 物 層 の成 長 は処 理 時 間 の1/2 乗 に比 例 し、拡 散 律 速 反 応 で あ る こ とを 明 らか に した。
(3)Tiお よびTi‑6Al‑4v合 金 を プ ラズ マ 浸 炭 し、 そ の 表 面 に は Ticが 生 成 す る こ と を明 らか に した 。 また、 スー テ ィン グが炭 化 物層 の成 長 に お よぼ す影 響 につ い て検 討 し、 炭 化物 層 の 成長 を著 し く阻 害 す る こ と を明 らか に した。
(4>WC‑Co系 溶 射 皮 膜 に お い て、 溶 射 時 にWCとCo相 が 分 解 し た 皮膜 をプ ラ ズ マ浸 炭 す る こ とに よ り、WCとCo相 の2相 か ら な る健 全 な超 硬 合 金 皮膜 に改 質 で きる こ とを明 らか に した 。 (5)Ni基 自溶 合 金 溶 射 皮膜 の プ ラズ マ 浸 炭 を試 み た 結 果 、皮 膜
表 層 にCr3C2か らな る炭化 物 系硬 質 皮膜 を 形 成 で き る こ とを 明 らか に した 。
⑥ プ ラ ズ マ 浸 炭 を利 用 し たNi基 自溶 合 金 溶 射 皮 膜 の改 質 技 術 を熱 間 鍛造 用 金 型 に適 用 し、 工 業 的 に も有 用 な技 術 で あ る こ と を明 らか に した。
昭和26年7月23日
大 阪 府 立 大 学 大 学 院 工 学 研 究 科 金 属 工 学 専 攻 博 士 前 期 課 程 修 了
島根 県 立 工 業 技 術 セ ンタ ー 平 成6年7月30日
吐Slプ ロ セ ス シ ミ ュ レ ー シ ョ ン技 術 に 関 す る 研 究
田 沢 聰
生 年 月 日 昭 和30年2月23日
最 終 学 歴 大 阪 府 立 大 学 工 学 部 電 子 工 学 科 卒 業 勤 務 先 日 本 電 信 電 話 ㈱
授 与 年 月 日 平 成6年7月30日
本 論文 は、 プ ロセ ス評 価 ・解析 分 野 にお ける プ ロセ ス シ ミー レ ー シ ョン の基 礎技 術 の研 究 と、その実プ ロセスへ の応用の研究 を
ま とめ た もので あ り、次 の よ うな成 果 を得 て い る。
(1)評 価 用 素 子 か ら得 られ る測定 デ ー タベ ー ス とシ ミュ レー タ を 用 いたMOSLSI製 造 プ ロ セ ス の 評 価 シ ス テ ム を確 立 し、 プ ロ セ ス の異 常 原 因 を汚 染 、 ダ メ ー ジ、 パ タ ン形 成 不 良 等 に識 別 す
る こ と を可能 に した 。 さ らに、 この シス テ ム を実 際 の 素 子 に適 用 し、 そ の実 用 性 を示 した。
(2)シ ミユ レ ー シ ョ ンか ら求 め たMOSFETの1‑V特 性 曲線 を 実 測 値 に合 わせ る こ とに よっ て プ ロセ ス パ ラ メー タの 導 出 が行 え る プ ロセ ス/デ バ イ ス統 合 ・最 適 化 シ ミュ レー タ を開 発 した。
さ ら に、 これ を用 い て 、 プ ロセ ス 異 常箇 所 を分 類 す る方 法及 び 異 常 箇所 に関 連 す るプ ロ セス パ ラメ ー タ の推 定 とそ の 変動 値 を 求 め る方 法 を提 案 し、 シ ミュ レー タ の有 効 性 を実 例 に よっ て示 し た。
(3)デ ポ ジ シ ョン とエ ッチ ン グ を統一 的 に扱 う こ とが 出来 る モ デ ル と移 動 面 の ベ ク トル計 算 が 出 来 る モ デル を提 案 し、 これ を用 い て2次 元 形 状 シ ミュ レ ー タ を開発 した。 さ らに 、 この シ ミュ レー タ を スパ ッタ デ ポ ジ シ ョ ン、 イ オ ンエ ッチ ング等 に適 用 し、
実 測形 状 との比 較 か ら、 モ デ ル の妥 当性 を確 認 した。
(4)前 項(3)の2次 元 形 状 シ ミ ュ レー シ ョン を3次 元 へ 拡 張 した 。 この た め に、 飛来 粒 子 が ウェ ハ表 面 の凹 凸 に よっ て遮 蔽 され る 効 果 を計 算 す る手 法 や 任 意 の3次 元 形 状 が 高精 度 に扱 え る移動
ベ ク トル の計 算 方法 を考 案 した。 さ ら に、本 手 法 を用 いて 、 コ ンタ ク トホー ル の エ ッチ ング とホー ル 部 へ の メ タル デ ポジ シ ョ ンの シ ミュ レー シ ョン を行 い、 得 られ た 結果 が実 測 形 状 と よ く 一 致 す る こ とを確 認 した 。
(5)前 項(4)に基 づ い てLSI素 子 の 断 面 構 造 を簡 便 に、 か つ 高速(1
〜2分)に 表 示 す る技術 を開発 した。 コ ン ピュー タ画 面 上 の ピク セ ル を物 質 に応 じ て色識 別 す る こ と に よっ て、 境 界 線 に対 して 折 れ線 を持 た な い画 面表 示が 出来 る よ うに な っ た。 本 プ ロ グ ラ ム を用 い て、3層 配 線BiCMOSLSI等 の 断面 形 状 を生 成 し、 実 測 形 状 との比 較 に基 づ い て、 高 精 度 な 形状 予 測 が 可 能 で あ る こ
とを示 した 。
■高 精 細 カ ラ ー静 止 画 像 入 力技 術 の 研 究 上 平 員 丈
生年 月 日 最 終学 歴
勤 務 先
授 与 年 月 日
本 論 文 は、静 止 画 像 入 力 シ ス テム の動 向 に対 応 し、 完全 密 着 型 入 力 方 式 お よび マル チ セ ンサ型 入 力 方 式 に 関 し、 理論 的 、実 験 的 研 究 を ま とめ た も ので あ り、次 の よ うな成 果 を得 て い る。
(1)完 全 密 着型 セ ンサ の 導光 系 で あ る導光 窓 ア レー の光 学 性 能 を 評 価 し、 カ ラ ー化 で 重 要 とな る光 量 伝 達 率お よび色 収 差 に優 れ て い る こ とか ら、 カ ラー セ ンサ に適 した 導光 系 で あ る こ とを明 らか に した 。
② 人 間 の視 覚 特 性 を考慮 した場 合 、 完 全 密着 型 セ ンサ で用 い ら れ る光 導 電 型 薄 膜 受 光 素子 は そ の低 γ特 性 に よ り フル カ ラー 画 像 入 力 で 重 要 とな る階 調再 現 性 に有利 で 高品 質 なフ ル カ ラー 画 像 入 力 用 受光 素 子 と して の可 能 性 を もっ こ とを示 した。
〔3)時 間 分割 型 と空 間 分割 型 の色 分 解 方 式 につ い て色 再 現 性 をシ ミュ レー シ ョン し、 前者 が後 者 に比 ベ パ タ ンエ ッジ で の色 再 現 性 に優 れ て い る こ と を示 した。 そ して 、 時間 分 解型 で あ り、 か つ1回 の走 査 で カ ラー 画像 が 入 力 で き る3ラ イ ン方 式 の色 分解 が 最 適 色分 解 方 式 で あ る こ とを明 らか に した。
(4)上 記 色 分 解 方 式 を採 用 し、 解 像 度200DPI、 読 み取 り幅 をA4 サ イ ズ と した セ ンサ ユ ニ ッ トの試 作 に よ りデバ イ ス の 実現 性 を 評 価 した。 基 本 特 性 お よび テ ス ト画 像 の読 み取 り評 価 か ら、 レ ン ズ系 を 用 い る従 来 セ ンサ と遜 色 の な い 特性 が 得 られ 、十 分 満 足 で き る品質 で カ ラー画 像 を読 み とれ る こ と、 また コ ンパ ク ト
なセ ンサ ユ ニ ッ トを実現 で き る こ とを確 認 した 。
⑤ マ ル チ チ ッ プ型2次 元 セ ンサ につ い て、 合 成 画像 の シー ム レ ス化 の条 件 を、 視 覚特 性 との 関係 か ら定 量 的 に 明確 化 した。 さ ら に加 重 平 均 平 滑化 法 に よ る合 成 処 理 に よ り継 ぎ目 の知 覚 限 界 を引 き上 げ られ シー ム レス 化 を容 易 化 で き る こ とを示 した 。
昭和29年5月17日
大 阪府 立大 学大 学院 工学研 究 科電子 工 学専攻博 士前期 課程修 了
日本電信電話 ㈱
平 成6年9月20日
㈲ 光 学 系 の コ ンパ ク ト化 をね らい、 ピ ラ ミッ ド状 ミラ ー を分割 光 学 系 と して用 い る方 式 を提案 した。 さ らに、 この方 式 で問題 に な る と予 想 され る シ ェー デ ィン グに っ い て理 論 的 に解 析 し、
シエー デ ィ ング を最 小 に押 さ え る最適 光 学 系構 成 を明 らか に し た。 ま た、Fナ ンバ ー の小 さ い レ ンズ を使 用 す る際、 光 の利 用 効 率 を高 め 、か つ シェ ー デ ィ ング を小 さ くで き る光 学 系 構成 を 明 らか に した。
(7)4つ の反 射 面 を持 つ ピラ ミッ ド状 ミラー と撮 像 素 子 に4つ の PAL用CCDを 用 い た試 作 機 に よ り、 シ ー ム レ ス性 と画 品 質 を 評 価 した。 シー ム レス性 の評 価 か ら、画 像 接続 部 で の不 連 続性 を、加重 平 均 平 滑 化 法 を用 い た場 合 の知 覚 限界 以下 とで き る こ とがわ か り、 シー ム レス な画 像 合成 が 可 能 で あ る こ とを確 認 し た。 さ らに 、画 像 評 価 か ら水 平 、 垂直 の解 像 度 を と もに使 用 す る撮 像素 子 に比 べ 倍 増 で き高 解 像 度化 が 可 能 で あ る こ とを確認 した 。 この 結 果 、 今 後HDTV用 のCCDセ ンサ を使 用 し、 ラ イ ンセ ンサ 並 の解 像 度 で の入 力 が 実 現 で きる可 能 性 を示 した。
■プ ラ ズ マ 粉 体 肉 盛 溶 接 法 に よ る金 属 表 面 の 複 合 合 金 化 に 関 す る研 究
富 田 友 生年 月 日 最終 学 歴
勤 務 先 樹
授 与 年 月 日
本研 究 は、鉄 鋼 材 料 の表 面 に耐 摩 耗性 、耐 食 性 な らび に耐 酸化 性 な どの諸 機 能 を付 与 す る こ とを 目的 と して、 プ ラズ マ粉 体 肉盛 溶 接 法 に よ り炭 化 物 粒 子 を分 散 させ た複 合 合 金 層 を形成 し、 そ の 特性 改 善 の た め の方 策 を検 討 した もの で 、 そ の研 究 成果 を以 下 に 示 す。
(1)分 散粒 子 と して使 用 す る 際 の最 適 炭化 物(IVa〜IVa族 元 素 の 炭化 物)を 選 択 す る た め に、 得 られ た 肉盛 合 金 の金 属 組 織 、硬 さ、 すべ り摩 耗 特 性 な らび にNaCl水 溶 液 中 に お ける分 極 挙 動 を比 較検 討 した 結 果 、 使 用 す る炭 化 物 と してNbCが 最適 で あ
る ことを見 い だ し た。
(2)NbC粒 子 を分 散 さ せ たNi‑Cr‑Fe肉 盛 合 金 の 硬 さ と金 属組 織 に お よ ぼ すNbC配 合 比 とマ ト リ ッ クス組 成 の 影 響 を検 討 した 結 果 、 マ トリッ クス の硬 さ は共 晶 炭化 物 の量 に依 存 し、 肉盛 合 金全体 の平 均 硬 さ は未溶 融 炭 化 物 粒子 の量 に依 存 して上 昇 す る こ とを明 らか に した 。 また、 プ ラズ マ粉 体 肉盛 溶接 時 にお け る 溶 融 金 属 の凝 固 過 程 は マ ト リ ック ス 中 のFe含 有 量 が20mass%
を境 に大 き く異 な る こ とを見 いだ した。
(3)NbC粒 子 を分 散 させ たNi‑Cr‑Fe肉 盛 合 金 がNaCI水 溶 液 中 にお い て優 れ た 耐 孔食 性 を示 す こ とが分 か り、 そ の原 因 を解 明
した。
(4)NbC粒 子 を分 散 させ たNi‑Cr‑Fe肉 盛 合 金 の 高温 酸 化 特性 に お よ ぼ す マ ト リ ック ス 組 成 とNbC配 合 比 の影 響 を検 討 した結 果 、 マ ト リ ッ ク ス 中 のCr含 有 量 を25mass%以 上 に す る と、
NbC配 合 比 が 高 い場 合 で も優 れ た耐 酸 化 性 を発 揮 す る こ とが 分 か っ た。
(5)NbC粒 子 を分 散 させ たNi‑Cr‑Fe肉 盛 合 金 の す べ り摩耗 特 性 にお よ ぼ すNbC粒 子 分 散 の影 響 を検 討 した 結 果 、NbC配 合 比 が50vo1%以 上 で は摩 耗 量 はNbC無 添 加 肉 盛 合 金 の1/10〜
1/100ま で減 少 し、 相 手 材 もほ とん ど摩 耗 しな い こ とを 明 らか に した。
(6)NbC粒 子 を 分 散 させ たNi‑Cr‑Fe肉 盛 合 金 の耐 摩耗 性 を向上 させ る た め に、 熱処 理 に よ るマ トリッ クス の強 靭 化 お よび分 散 粒 子 の微 細 化 を検 討 した。 そ の 結 果 、NbC粒 子 を分 散 させ た 肉盛 合 金 の耐 摩耗 性 は時 効 析 出 に よ って 著 し く向上 す る こ とな らび に微 細NbC粒 子 を 均 一 分 散 させ た肉 盛 合 金 が 従 来 の粗 大 NbC粉 末 を使 用 し た 肉盛 合 金 に比 べ、 耐 摩 耗 性 が 著 し く優 れ る こ とを見 いだ した 。
昭和27年3月12日
大 阪 府立大 学大 学院工 学研 究科 金属 工 学専攻博 士前期 課程 修了
兵 庫県立工 業技術 セ ンター 平成6年9月20日
■誘 電 体 格 子 に よ る光 波 の 散 乱 ・導 波 問 題 に 関 す る研 究
松 本 恵 治 生 年月 日 最 終学 歴
勤 務 先
授 与 年 月 日
本 論 文 は、 電磁 界 理 論 の観 点 か ら無 限長 の周 期 構 造 を有 す る等 方性 及 び異 方性 の誘 電 体媒 質 中 にお ける光 波 の伝 搬 特性 を空 間 高 調波 展 開 法 に基 づ い て解 析 した もの で あ り、次 の よ うな成 果 を得 て い る。
(1>3次 元 的 に任 意 の方 向 に周 期 構造 を有 す る等 方性 誘 電 体 にお い て、 光 波 の伝 搬 方 向及 び減 衰 方 向 が互 い に任 意 で あ る よ うな 場 合 の散乱 特 性 及 び導 波特 性 を解 析 す る と共 に 、空 間 高 調 波 展 開 に よ る統 一 的 な解 析手 法 を確 立 し、 この場 合 に特 に重 要 な 複 素 伝 搬定 数 の新 しい 決定 法 を見 い 出 した。
② 光 波 の格 子 ベ ク トル に対 し任 意 の角 度 で伝搬 す る場 合 の特 性 を解 析 し、洩 れ 波 の 方 向が 屈 折 率 を半 径 とす る球 面 を考 慮 す る こ とに よっ て容 易 に見 い 出 され る こ と、 その放 射 方向 が 伝搬 角 や格 子 ベ ク トル の 値 に よ っ て3次 元的 に変 化 す る こ と、 及 び誘 電 率 変 調 形 格 子 に関 す る斜 め伝 搬 波 の解 析 か らTE波 とTM波 の結 合 に よる特 異 な 禁止 帯 が 存 在 す る こ とを示 した。
(3)任 意形 状 の表 面 レ リー フ形格 子 に お け る光 波 の散 乱 及 び 導 波 問 題 の有 効 な新 しい 解析 法 の一 つ とし て、 従来 の微 分 法 を改 良 し た、 い わ ゆ る改 良微 分 法 を考 察 し、 常 に安定 した数 値 解 が 得 られ る こ と、 及 び 、本 手 法 が 導 波 問題 にお け る解 の探 索 に特 に 有 効 で あ る こと を示 した。
(4)任 意 の誘 電 率 テ ン ソル を有 す る一 般 的 な異 方性 誘 電 体 格 子 に お け る光 波 の特 性 を3次 元 的 に解 析 す る こ とが で きる よ うに 、 空 間 高調 波 展 開 法 によ る上 記(1)の手 法 を拡 張 し、等 方 性 の場 合 と同 様 に、 散 乱 及 び 導波 問 題 の 統一 的 解 析 の た め の定 式 化 に成 功 し た。
(5)一 軸 異方 性 結 晶誘 電 体 格 子 にお ける数 値 解析 の結 果 、 常 波 及 び異 常波 が結 合 した 導波 モ ー ドが入 射 波 と位相 整 合 す る こ と に よ って光 波 の異 常 回析 現 象 が 生 じ る こ と、 また 、常 波 及 び異 常 波 が 結合 す る こ とに よ っ て擬TEモ ー ド及 び 擬TEモ ー ドが 発 生 す る こ とを明 らか に し、 等 方性 の場 合 とは異 な る 、特 異 なバ ン
ド特 性 や放 射 特 性 が存 在 す る こ とを確 認 した 。
昭和39年4月19日
大 阪府立 大学 大学 院工学 研究 科電 気 工学専攻 博士前期 課程修 了
大阪産業 大学情報 システム工学 科 平成6年9月20日
■AFUNDAMENTALSTUDYONSEPARATIONAND REMOVALOFDILUTESOLUBLESUBSTANCES FROMANAQUEOUSSOLUTIONBYlONEX一
CHANGERESINS
(イ オ ン交 換 樹 脂 に よ る水 溶 液 中 の 希 薄 溶 存 物 質 の 分 離 ・除 去 に関 す る基 礎 研 究)
武 藤 明 生年 月 日 最終 学 歴
勤 務 先 徳
授 与 年 月 日
本 研 究 は、 イオ ン交 換樹 脂 を用 い た水 溶 液 中 の 希 薄溶 存 物 質 の 分 離 ・除 去 に関 す る基 礎研 究 を ま とめ た もので 、 その研 究 成 果 を 以 下 に示 す。
(1)OH型 強 塩 基 性 樹 脂 と希 薄 なCl一の イ オ ン交 換 平 衡 を実測 し、
イ ォ ン濃 度 が希 薄 なほ どイ オ ン交 換平 衡 定 数 が 減 少 す る こ とを 見 出 し、 そ の原 因 の 一部 として 溶 存酸 素 の影 響 を指 摘 した。
(2)合 理 的 な混 床 操 作 を 目 的 に、 混 合樹 脂 に よ る脱 塩 を陽 ・陰 イ