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図3.13PTFEスバツタ膜の表面形状と投入電力との関係
（膜厚,0.9"m:作成圧力,1×10‑2Torr)
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図3.14PTFEスバツタ膜の表面形状と作成圧力との関係
（膜厚,0.9〃Ⅲ：投入電力,100M)
[ 2 ］ 真 空 蒸 着 膜
HDPE及び66‑Nylonの蒸着膜の表面形状をSEMで観察した。その 結果を、作成条件ごとに整理して図3.15,図3.16にまとめた。また、各々の膜 の表面形状を測定した結果を図3.17、に示した。
HDPEでは、高温高圧下で作成した膜と、低温低圧下で作成した膜とでは その表面形状がかなり違っていることがSEMの観察からわかり、これに対応 して表面形状測定によっても、表面粗さの違いが認められる。高温高圧下で作 成した膜の表面が荒れていることがわかる。高温高圧下で作成した膜の表面形 状は、細長い繊維形状のものが集合した構造をしている。逆に低温低圧下で作 成した膜の表面は非常に平滑で、繊密な膜であることがわかり諺微小な粒子が 基板上で凝集して成長していったものと考えられる。この違いは肉眼によって もはっきり認められ、先にも述べたがPT‑1/2=1×10‑6Torr/kl/2付近を境 に、それ以下では無色透明な膜であり、それ以上では白色な膜であり、これは 単に膜が厚いためではなく、表面の粗さによる光の散乱のためである。このよ うな表面形状の変化は、HDPEの場合には、高温高圧下ではかなり大きな分 子量の粒子が蒸発し、比較的低温低圧の条件下ではパラフィン程度の小さい分 子 量 の 粒 子 と な っ て 蒸 発 す る と さ れ て い る （ ） こ と と 対 応 す る 結 果 で あ る と 考 えられる。
66‑NylonについてはSEM観察及び、非接触変表面形状測定器による 表面形状の測定においても、作成条件によらず非常に平滑で繊密な膜である。
以上の様に、高分子材の種類によって、また作成条件によって膜の表面形状 は影響を受けるが、本実験の範囲では蒸着法よりもスバッタ法による方が、平 滑、繊密な膜の作成が容易のように思われる。
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