サブマイクロ周期構造

各加工条件がサブマイクロ周期構造の形態に与える影響を調べた．ここでは，調べたい加 工条件以外の加工条件は固定して加工を行った．Fig.3-16及びFig.3-17にPETフィルムに形 成されたサブマイクロ周期構造の構造周期（Lsub-μm）の加工荷重依存性と，構造深さ（D sub-μm）の加工荷重依存性を示す．Fig.3-16が示すように，サブマイクロ周期構造の構造周期は，

加工荷重が大きくなるに従って長くなる．同様に，Fig.3-17に示すように，サブマイクロ周 期構造の構造深さも加工荷重が大きくなるに従って深くなる．

Fig.3-16 Processing load dependency of structure period of submicrometer periodic structure of PET film. Processing conditions: θ=150 deg., L=1.0 mm, V=100 mm/min.

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Fig.3-18 及び Fig.3-19に PET フィルムに形成されたサブマイクロ周期構造の構造周期の

加工角度依存性と，構造深さの加工角度依存性を示す． Fig.3-18 が示すように，マイクロ 周期構造の構造周期は，加工角度に関わらずほぼ一定となった．同様に，Fig.3-19が示すよ うに，マイクロ周期構造の構造深さも，加工角度に関わらずほぼ一定となった．

Fig.3-17 Processing load dependency of structure depth of submicrometer periodic structure of PET film. Processing conditions: θ=150 deg., L=1.0 mm, V=100 mm/min.

Fig.3-18 Processing angle dependency of structure period of submicrometer periodic structure of PET film. Processing conditions: T=3.924N, L=1.0 mm, V=100 mm/min.

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Fig.3-20 及び Fig.3-21に PET フィルムに形成されたサブマイクロ周期構造の構造周期の

加工速度依存性と，構造深さの加工速度依存性を示す．Fig.3-20が示すように，サブマイク ロ周期構造の構造周期は，加工速度が 10 mm/min の場合に長くなった．加工速度が 50

mm/min以上の場合，加工速度に関わらずサブマイクロ周期構造の構造周期はほぼ一定とな

った．同様に，Fig.3-21が示すように，サブマイクロ周期構造の構造深さも，加工速度が10

mm/minの場合に深くなった．加工速度が50 mm/min以上の場合，加工速度に関わらずサブ

マイクロ周期構造の構造深さもほぼ一定となった．加工速度が300 mm/min，500 mm/minの 時，マイクロ周期構造の形成はほとんど確認されなかったが（3.1.3項参照），サブマイクロ 周期構造の形成は加工面全体に確認された．

Fig.3-19 Processing angle dependency of structure depth of submicrometer periodic structure of PET film. Processing conditions: T=3.924N, L=1.0 mm, V=100 mm/min.

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Fig.3-22 及び Fig.3-23に PET フィルムに形成されたサブマイクロ周期構造の構造周期と

刃の自由端長さの関係と，構造深さと刃の自由端長さの関係を示す． Fig.3-22 が示すよう に，マイクロ周期構造の構造周期は，刃の自由端長さに関わらずほぼ一定となった．同様に，

Fig.3-23が示すように，サブマイクロ周期構造の構造深さも，刃の自由端長さに関わらずほ

ぼ一定となった．

Fig.3-20 Processing speed dependency of structure period of submicrometer periodic structure of PET film. Processing conditions: T=7.848 N, θ=150 deg., L=1.0 mm.

Fig.3-21 Processing speed dependency of structure depth of submicrometer periodic structure of PET film. Processing conditions: T=7.848 N, θ=150 deg., L=1.0 mm.

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Fig.3-22 Free end length dependency of structure period of submicrometer periodic structure of PET film. Processing conditions: T=7.848 N, θ=150 deg., V=100 mm/min.

Fig.3-23 Free end length dependency of structure depth of submicrometer periodic structure of PET film. Processing conditions: T=7.848 N, θ=150 deg., V=100 mm/min.

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