3D-スタンダード タイプ
527
真空パッド スタンダードタイプ
真空 パ ッ ド
真空ポンプ対応ユニット真空発生器 真空ポ ン プ
●パッド径：ø1mm、ø2mm、ø3mm、ø4mm
ワンタッチ継手VPA VPB
ワンタッチ継手 VPC
ワンタッチ継手 VPD
ワンタッチ継手
バーブ継手VPA VPB
バーブ継手 VPC
バーブ継手 VPD
バーブ継手
VPE VPF
●パッド径：ø6mm、ø8mm
ワンタッチ継手VPA VPB
ワンタッチ継手 VPC
ワンタッチ継手 VPD
ワンタッチ継手 VPE VPF パッド形式
VP 1R□
VP 2R□
VP 3R□
VP 4R□
パッド径 ø1mm ø2mm ø3mm ø4mm パッド
パッド取付部
（差し込み部）形状 PC4-M3M
PC6-M5M LC-0425-M3
LC-0640-M5
PC4-M5M
POC6-M5M LC-0425-M3
LC-0640-M3
PC4-M5M
PC6-M5M LC-0425-M5
LC-0640-M5
落下防止弁
（オプション）落下防止弁
（オプション）
落下防止弁
（オプション）落下防止弁
（オプション）
528
スタンダード タイプ スポンジタイプ
ベローズタイプ
多段ベローズ タイプ
ソフトタイプ
ソフトベローズ タイプ 滑り止めタイプ
薄物用タイプ
フラットタイプ 長 円タイプ
真空パッド
真空関連機器技術資料
●パッド径：ø10mm、ø15mm
ワンタッチ継手VPA VPB
ワンタッチ継手 VPC
ワンタッチ継手 VPD
ワンタッチ継手
バーブ継手VPA VPB
バーブ継手 VPC
バーブ継手 VPD
バーブ継手
VPF
パッド形式 VP 10R□
VP 15R(A)□
パッド径 ø10mm ø15mm
パッドネジ形式 VPM 46-6
パッド径 ø10mm ø15mm パッド
パッドネジ
PC6-M6M
LC-0640-M6
POC6-M6M
LC-0640-M6
PC6-M6M
LC-0640-M6
（オプション）
（オプション）
落下防止弁 フリーホルダ
パッド直付タイプフィルタ
落下防止弁 フリーホルダ
パッド直付タイプフィルタ
※VPBには、「銅系金属不使用」 ・ 「低濃度オゾン対策」分野向けの–S3仕様を用意しております。
その場合の継手形式は上記と異なります。–S3仕様時の継手形式が必要なお客様は、最寄りの営業所へお問い合わせください。
スタンダード タイプ
529
真空 パ ッ ド
真空ポンプ対応ユニット真空発生器 真空ポ ン プ
●パッド径：ø20mm、ø25mm、ø30mm、ø40mm、ø50mm
ワンタッチ継手VPA VPB
ワンタッチ継手 VPC
ワンタッチ継手 VPD
ワンタッチ継手
バーブ継手VPA VPB
バーブ継手 VPC
バーブ継手 VPD
バーブ継手
VPF
平ワッシャー形式 HW10.5×18×1.6 HW10.5×22×1.6
パッド径 ø20, 25, 30mm ø40, 50mm
パッド形式 VP 20R(A)□
VP 25R(A)□
VP 30R(A)□
パッド径 ø20mm ø25mm ø30mm 平ワッシャー
パッド
PC6-M6M
LC-0640-M6 LC-0640-M6
LC-0640-M6 POC6-M6M
PC6-M6M
LC-0640-M6
（オプション）
（オプション）
フリーホルダ 落下防止弁
パッド直付タイプフィルタ
フリーホルダ 落下防止弁
パッド直付タイプフィルタ
※
VPA, VPBには、「銅系金属不使用」・ 「低濃度オゾン対策」分野向けの
–S3仕様を用意しております。その場合の継手形式は上記と異なります。–S3仕様時の継手形式が必要なお客様は、最寄りの営業 所へお問い合わせください。
※ ホルダのみをご希望の場合の注文形式は、下記の通りとなります。
価格につきましては、最寄りの営業所へお問い合わせください。
注文形式：VP①②R()6J／6B
①：ホルダ形式、②：パッドサイズをそれぞれご記入ください。
530
スタンダード タイプ スポンジタイプ
ベローズタイプ
多段ベローズ タイプ
ソフトタイプ
ソフトベローズ タイプ 滑り止めタイプ
薄物用タイプ
フラットタイプ 長 円タイプ
真空パッド
真空関連機器技術資料
●パッド径：
ø60mm、ø80mm、ø100mm平行メネジVPA VPB
平行メネジ VPC
平行メネジ VPD
平行メネジ
平ワッシャー形式 HW32×17×2.6
パッド径 ø60mm パッド形式 VP 60R(A)□
パッド径 ø60mm
パッド押え形式 VPW 60
パッド径 ø60mm
パッドネジ形式 VPM 1018
パッド径 ø60mm 平ワッシャー
平ワッシャー形式 HW10.5×22×1.6 パッド径
ø80, 100mm 平ワッシャー
パッド
パッドフレーム形式 VPH 80R VPH 100R
パッド径 ø80mm ø100mm ナベ小ネジ形式 M4×12 M5×12
パッド径 ø80mm ø100mm ナベ小ネジ
ガスケット形式 SG 10
パッド径 ø80, 100mm ガスケット
パッド押え
パッドネジ
パッドネジ形式 パッド径 パッドネジ
パッド形式 VP 80R(A)□
VP 100R(A)□
パッド径 ø80mm ø100mm パッド
パッド押え形式 VPW 80R VPW 100R
パッド径 ø80mm ø100mm パッド押え
パッドフレーム
※パッドフレーム付をご希望の場合は、
形式末尾に記号：Aをご記入ください。
またセット内容は、
・ガスケット×1個 ・パッドフレーム×1個 ・パッド×1個
・ナベ小ネジ×4本となります。
落下防止弁
（オプション）
（オプション）
フリーホルダ 落下防止弁 フリーホルダ
スタンダード タイプ
531
真空 パ ッ ド
真空ポンプ対応ユニット真空発生器 真空ポ ン プ
●パッド径：ø150mm、ø200mm
平行メネジVPA VPB
平行メネジ VPC
平行メネジ VPD
平行メネジ
平ワッシャー形式 HW21×34×3
パッド径 ø150, 200mm 平ワッシャー
パッドフレーム形式 VPH 150R
パッド径 ø150, 200mm
六角穴付ボルト形式 M5×20 M5×25
パッド径 ø150mm ø200mm 六角穴付ボルト
Oリング形式 22×1.5
パッド径 ø150, 200mm Oリング
パッド形式 VP 150R□
VP 200R□
パッド径 ø150mm ø200mm パッド
※パッドフレーム付をご希望の場合は、
形式末尾に記号：Aをご記入ください。
またセット内容は、
・Oリング×1個 ・パッドフレーム×1個 ・パッド×1個
・六角穴付ボルト×6本となります。
パッドフレーム
532
スタンダード タイプ スポンジタイプ
ベローズタイプ
多段ベローズ タイプ
ソフトタイプ
ソフトベローズ タイプ 滑り止めタイプ
薄物用タイプ
フラットタイプ
ロング 長 円タイプ
吸着痕防止 タイプ
真空パッド
真空関連機器技術資料
■ 構成図(小型真空パッドホルダと一般形、深形、小型パッドの組合せ)
●パッド径：ø0.7mm、ø1mm、ø1.5mm、ø2mm、ø3mm、ø4mm
ワンタッチ継手VPMA VPMB
ワンタッチ継手 VPMC
ワンタッチ継手 VPMD ワンタッチ継手
バーブ継手VPMA VPMB
バーブ継手 VPMC
バーブ継手 VPMD
バーブ継手
VPME
●パッド径：ø6mm、ø8mm
ワンタッチ継手VPMA VPMB
ワンタッチ継手 VPMC
ワンタッチ継手 VPMD ワンタッチ継手
バーブ継手VPMA VPMB
バーブ継手 VPMC
バーブ継手 VPMD
バーブ継手
VPME パッド形式
VP 0.7RM□
VP 1RM□
VP 1.5RM□
VP 2RM□
VP 3RM□
VP 4RM□
パッド径 ø0.7mm ø1mm ø1.5mm
ø2mm ø3mmø4mm パッド
パッド形式 パッド径 パッド
パッド取付部
（嵌め込み部）形状 PC180-M3M
PC3-M3M
PC180-M3M PC3-M3M
LC-0320-M3 LC-0425-M3
PC180-M3M PC3-M3M
LC-0320-M3 LC-0425-M3
LC-0320-M3 LC-0425-M3
PC180-M3M PC3-M3M LC-0320-M3 LC-0425-M3
LC-0320-M3 LC-0425-M3 PC180-M3M
PC3-M3M
PC180-M3M PC3-M3M
LC-0320-M3 LC-0425-M3
落下防止弁
（オプション）落下防止弁
（オプション）
落下防止弁
（オプション）落下防止弁
（オプション）
※ バーブ継手には、「銅系金属不使用」 ・ 「低濃度オゾン対策」分野向け の–S3仕様を用意しております。その場合の継手形式は上記と異 なります。–S3仕様時の継手形式が必要なお客様は、最寄りの営 業所へお問い合わせください。
※ ホルダのみをご希望の場合の注文形式は、下記の通りとなります。
価格につきましては、最寄りの営業所へお問い合わせください。
注文形式：VPM①②R()③J／③B
①：ホルダ形式、②：パッドサイズ、③：接続サイズをそれぞれ ご記入ください。
※ バーブ継手には、「銅系金属不使用」 ・ 「低濃度オゾン対
策」分野向けの–S3仕様を用意しております。その場合
スタンダード タイプ
533
真空 パ ッ ド
真空ポンプ対応ユニット真空発生器 真空ポ ン プ
●パッド径：ø10mm、ø15mm
ワンタッチ継手VPMA VPMB
ワンタッチ継手 VPMC
ワンタッチ継手 VPMD
ワンタッチ継手
バーブ継手VPMA VPMB
バーブ継手 VPMC
バーブ継手 VPMD
バーブ継手
パッド形式 VP 10R□
VP 15R(A)□
パッド径 ø10mm ø15mm
パッドネジ形式 VPM 46-6
パッド径 ø10mm ø15mm パッド
パッドネジ
POC3-M5M POC4-M5M
LC-0320-M5 LC-0425-M5
PC3-M5M PC4-M5M
LC-0320-M5 LC-0425-M5
POC3-M5M POC4-M5M
LC-0320-M5 LC-0425-M5
（オプション）
落下防止弁
パッド直付タイプフィルタ
（オプション）
落下防止弁
パッド直付タイプフィルタ
※ ワンタッチ継手（ø4mm）とバーブ継手には、「銅系金属不使用」 ・ 「低濃度オゾン対策」
分野向けの–S3仕様を用意しております。その場合の継手形式は上記と異なりま す。–S3仕様時の継手形式が必要なお客様は、最寄りの営業所へお問い合わせく
※ ホルダのみをご希望の場合の注文形式は、下記の通りとなります。価格につきま ださい。
しては、最寄りの営業所へお問い合わせください。
注文形式：VPM①②R()③J／③B
①：ホルダ形式、②：パッドサイズ、③：接続サイズをそれぞれご記入ください。
534
スタンダード タイプ スポンジタイプ
ベローズタイプ
多段ベローズ タイプ
ソフトタイプ
ソフトベローズ タイプ 滑り止めタイプ
薄物用タイプ
フラットタイプ 長 円タイプ
真空パッド
真空関連機器技術資料
●パッド径：ø20mm、ø25mm、ø30mm
ワンタッチ継手VPMA VPMB
ワンタッチ継手 VPMC
ワンタッチ継手 VPMD
ワンタッチ継手
バーブ継手VPMA VPMB
バーブ継手 VPMC
バーブ継手 VPMD
バーブ継手
パッド形式 VP 20R(A)□
VP 25R(A)□
VP 30R(A)□
パッド径 ø20mm ø25mm ø30mm
パッドネジ形式 VPM 610-8 VPM 612-10
パッド径 ø20, 25mm
ø30mm パッド
パッドネジ 平ワッシャー形式 HW8.4×15.5×1.6
パッド径 ø20, 25, 30mm 平ワッシャー
POC4-M5M
POC4-M5M
POC4-M5M
LC-0425-M5 LC-0640-M5 LC-0425-M5
LC-0640-M5
LC-0425-M5 LC-0640-M5
落下防止弁
パッド直付タイプフィルタ
（オプション）
落下防止弁
パッド直付タイプフィルタ
（オプション）