液 晶 デ ィ ス プ レイ表 示 (STN 方 式) 用 基 板 ガ ラ ス の YAG レー ザ に よ る割 断 *
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(2) 黒部.松 本:液 晶デ ィスプレイ表 示(STN方. Table. 1. Physical. properties. 式)用 基板が ラス のYAGレ. of STN glass panel. Fig. 2. Fig. 1. Specimen. ーザによ る割断. hold. setup. Notch. Tabel. 2. Effect. of. making. apparatus. Experimental. condition. in air. て行 った. 被割 断 試 験 片 は,図1に. 示 す ジ グ の 上 に 載 置 さ れ,空. 浮か され た 形 で 保 持 され る.試. 験 片 の 直 下 に は,レ. 反射 させ る ア ル ミ ナ 板 が 敷 か れ,反 するよ う に 配 慮 して い る.ア 34mmであ る.レ. 2.3. 射 レー ザ 光 の 影 響 を 少 な く. ル ミナ板 か ら試験 片 まで の高 さは. ー ザ は 試 験 片 中 央 部 に 照 射 し,往. の照 射 と した.き. 気中に. ーザ光 を乱. 路 の1回. のみ. 裂 は レー ザ 光 に 追 尾 す る 形 で 伝 播 す る.. ノ ッチ 導 入 装 置. 割断 試 験 は,平. 滑 試 験 片 と ノ ッ チ 付 き試 験 片 の2種. につ い て 行 った.こ. こで,平. 類 の試 料. 滑 試 験 片 と は 幅 広 板 よ り所 定 の 寸. 法に切 り出 した ま ま の 試 験 片 を い う.一 方,ノ とは試 験 片 長 手 方 向 の 試 験 片 端 部(レ. ッチ 付 き試 験 片. ー ザ 照 射 面 側)の. 片側に. ノッチ を 付 与 し た 試 験 片 を 指 す. ノ ッチ の 導 入 は 図2に. 示 す 装 置 を 用 い て 行 っ た.本. 試験 片 を 載 置 す る ス テ ー ジ,ス. 装 置 は,. テ ー ジ を 駆 動 す る 駆 動 部,ノ. チを付 与 す る 天 び ん 形 荷 重 負 荷 装 置 か ら 成 っ て い る.ス. ッ. Fig. 3. focal. length. of lens on. 上には ス ト ッパ が 設 け ら れ て お り,試 験 片 長 手 方 向 の ノ ッチ の. て い る.直. 長さが 同 一(1mm)に. り上 め 条 件 の 下 で は 割 断 は で き な い.図3か. な る よ う に 配 慮 さ れ て い る.負. える こ と に よ って,試. 荷荷 重 を変. 験 片 厚 さ 方 向 の ノ ッチ 深 さ を 制 御 す る.. ノ ッチ を 付 与 す る 超 硬 合 金 製 回 転 ロ ー ラ 形 チ ゼ ル に は,ダ ヤコ ンパ ク トホ イー ル チ ップ(三 いた.ホ. 星 ダ イヤ モ ン ド工 業 製)を. イ ー ル チ ップ の 直 径 は2.6mm,厚. 端の チ ップ ア ン グル は130。. で あ る.ノ. み は0.65mm,刃. breaking. テージ 線 右 下 の 条 件 下 で は 常 に 割 断 が 可 能 で あ り,そ. 大 き く な る に つ れ て,割. イ. す る こ と が わ か る.ま. 用. 径 が 小 さ い)方. の先. ッチ 付 与 に際 して, 図. ンズ の 焦 点 距 離 が 短 い(ス. ポ ット. が 割 断 能 率 は 高 く な る 様 子 が わ か る.こ. た,レ. れ は次. の 理 由 に よ る と 考 え ら れ る. ス ポ ッ ト径dは,d=2fθ(θ:ビ ワ ー 密 度Fは,. ー ム の 開 き角)で. れ,ま. た,パ. 験片端 部 が 欠 け な い よ う に 配 慮 し た.ノ. ー)で. 表 記 さ れ る5) .し た が って,こ. とした.. れよ. ーザ 出 力が. 断 可 能 な 最 大 送 り速 度 が 直 線 的 に増 加. 2に 示 す よ う に ダ ミー の 板 ガ ラ ス を 試 験 片 と接 して 配 置 し, 試 ッチ 付 与 速 度 は 1mm/s. ら,レ. F=4P/πd2. (P:レ. 表 さ. ーザ パ ワ. れ らの 関係 式 か ら焦点距. 離 の 短 い レ ンズ を 使 用 した 場 合 の 方 が パ ワ ー 密 度 も大 き くな り, 割 断 能 率 が 高 く な っ た も の と考 え られ る. 3.. 実験 結 果及 び 考察. ガ ラ ス パ ネ ル の 光(波 う に92%以. 3.1. 割 断 に 及 ぼ す レ ンズ 焦 点 距 離 の 影 響. レ ン ズ 焦 点 距 離 を 変 化 させ た 場 合,割 のよ う に 変 化 す る か 調 べ た.加. 工 条 件 を 表2に. 示 す.実. 験 は,. なる と 考 え ら れ る.加. 験 で は,レ. 30, 40,. 50, 80 mm. た の は,こ. と変 え て,レ. ー ザ 出 力 と 割 断 可 能 な 最 大 送 り速 度(テ. ーブ ル送. 関 係 を 求 め た. 示 す.図3は,割. 焦点の. 工 能 率 が 焦 点 距 離 の 短 い レ ンズ で 向 上 し. の こ と が 原 因 し て い る も の と思 わ れ る.. レ ン ズ の 焦 点 距 離 を 変 え た 場 合,割 す る か 調 べ た.多. 断 可能 な 臨 界条件 を示 し. 点 距 離 の短 い レ ン. レ ン ズ に 比 べ て 熱 応 力 が 大 き くな り,応 力 勾 配 も 急 峻 な も の に. て行 っ た.実. 実 験 結 果 を 図3に. 記すよ. の た め, 低. ズ で は ス ポ ッ ト径 が 小 さ くパ ワ ー 密 度 も大 き い た め,長. 特に断 ら な い 限 り試 験 片 端 部 に ノ ッチ を 付 与 しな い 試 料 に つ い. り速 度)の. 過 率 は,表1に. ー ザ の 吸 収 率 が 低 い.こ. い パ ワ ー 密 度 で は 熱 膨 張 は 起 こ り に く い.焦. 断 能率 や割 断 品位 が ど. ン ズ の 焦 点 距 離fを. 長1.06μm)透. 上 と 大 き く,レ. く の 観 察 か ら,割. 図 で 表 さ れ る と考 え られ る.割. 精 密 工学 会 誌. 断 様 態が どの よ うに変化. 断 の 様 態 は 図4に. 断 品 位 は,図. Vo1.. 63,. No.. 中 の WL,. 7,. 1997. 示す 模 式 WD,. 1019.
(3) 黒部 ・松 本:液 晶デ ィスプ レイ表示(STN方. (a) Fig. 4. 式)用 基板が ラスのYAGレ. Surface. ー ザによる割 断. (b) Cross section. Schematic. view. of crack. growth. mode. Table 3 Measurement results of breaking mode (60W, Maximum feed rate). Fig. 5 Relationship. Raの. 諸 量 で 主 と し て 表 され る.こ. と主 き裂(割. こ で,WLは. 断 に 至 ら し め る き 裂)の. こ で,ず. breaking. propability. and table feed rate. レーザ 掃 引線. ず れ 量 を,WDは. 貫通 し. た 主 き裂 線 と レー ザ 掃 引 線 と の ず れ 量 を 表 し て い る.Raは 断 面 の 表 面 粗 さ を表 す.こ. between. 割. れ 量 を以 後 う ね り幅 と呼 ぶ. こ と にす る. 表3に,割. 断 面 の 断 面 性 状 の 測 定 結 果 を 示 す.割. 断 試 験 は,. レー ザ 出 力60W,各. レ ン ズ の テ ー ブ ル 送 り速 度 を 最 大 に し て 行. った.表3か. ン ズ の 焦 点 距 離 が 長 く な る と,割. Raの. ら,レ. 値 が 大 き く な る こ とが わ か る.一. 断面 粗 さ. 方,WL,WDの. 値 は幾. (a). 分 ば らつ くが ほ ぼ 一 定 の 値 で あ る こ とが わ か る. Raの. 値 が,レ. Fig. 6. Surface Schematic. (b) Cross section view. of the. crack. growth. mode. ンズ の 焦 点 距 離 が 長 くな る に つ れ て 大 き くな. る の は 次 の 理 由 に よ る も の と 思 わ れ る.先. に 記 し た よ う に,. レ. ンズ の 焦 点 距 離 が 長 く な る と ス ポ ッ ト径 も大 き く な り,熱 応 力 場 の 広 が り も 大 き くな る.し 配 も緩 や か で あ る.こ. か し,熱 応 力 の 値 は 小 さ く応 力 勾. の た め,レ. ーザ 掃 引後 の 冷却 の 収縮 過程. で 生 じる 引 張 り応 力 の 分 布 状 態 も 広 が っ た も の と な る.ま レ ー ザ の 照 射 は 表 面 の み で あ る の で,熱 で 異 な っ た も の に な る.割. た,. 勾配 も試料 の厚 さ方 向. 断 面 の 創 成 プ ロ セ ス に こ れ らの 応 力. 状 態 が 密 接 に 関 係 し て,Raの 値 が 変 化 した も の と考 え られ る. 一方 ,WL,WDの 値 が レ ンズ の 焦 点 距 離 に よ っ て あ ま り 変 わ ら な い の は,次. の 理 由 に よ る も の と思 わ れ る.き. 裂 は,き. 裂に. 先 行 して 走 行 す る レ ー ザ 照 射 熱 源 が 作 る 応 力 場 の 大 き さ に規 定 され て 伝 播 す る.し. か し,ガ. ラ ス はYAGレ. さ く,見 か け 上 応 力 の 変 動(ゆ この た め,WL,WDの. ら ぎ)が. ーザ の 吸収 能が 小. 値 が ほ ぼ 一 定 に な っ た も の と推 察 れ る.. 以 上 の 実 験 か ら,焦. 点 距 離 の 短 い レ ンズ を 使 用 し た 方 が, 割. 断 能 率 ・割 断 品 位 と も に 良 くな る こ とが わ か る.こ 後 の 実 験 に お い て はf=30mmの. の た め, 以. レ ン ズ を 使 用 して 実 験 を 行 う こ. と に し た. 3.2. 送 り速度 の影 響. レ ー ザ 出 力 を60W一. 定 に し て 送 り速 度 を0〜5mm/sと. 割 断 確 率 の 変 動 と割 断 品 位 に つ い て 調 べ た.実 り速 度 ご と に10枚 の 試 験 片 を 供 した.実. 変 化 さ せ,. 験 に 際 し,各 送. 験 後,割. 断 した 試 験 片. 数 を 数 え 割 断 確 率 を 求 め た. 実 験 結 果 を 図5に. 示 す.図5か. ら,割 断 確 率 曲 線 は ほ ぼ 左 右. 値 は テ ー ブ ル 送 り速 度 が2.5〜3mm/sの. 断 確率 の 最大. 間 に 存 在 す る.こ. ー ブ ル 送 り速 度 を 最 適 に選 べ ば,割. の こと. 断 は確 実 に行 え る. こ と が わ か る. 割 断 確 率 が 二 次 曲 線 を 描 くの は 次 の 理 由 に よ る も の と 思 わ れ. 1020. 精 密 工 学 会 誌 Vol. 63,. る.テ. ー ブ ル 送 り速 度 を ピ ー ク の 位 置 の 速 度 よ り も 大 き な速 度. にす る と,レ. ー ザ 掃 引 速 度 が 速 く な り過 ぎ る た め 表 面 で の熱 の. 蓄 積 が 十 分 伴 わ な く な り,割. 断 に 要 す る 熱 応 力 の 値 が 小 さ くな. る.こ. の た め,割. 断 能 率 が 次 第 に 小 さ く な っ た も の と考 え られ. る.一. 方,ピ. ー ク値 よ り 小 さ い 速 度 域 で は 入 熱 量 が 逆 に大 きく. な り 過 ぎ,ガ. ラ ス が 軟 化 ・溶 融 し,き 裂 の 発 生 が 難 し くな る こ. と が 原 因 し て い る と 思 わ れ る.実. 際,ガ. ラ ス は 軟 化 温 度 が 720. ℃ と 低 く高 温 度 域 で 軟 化 ・溶 融 が 比 較 的 起 こ りや す い と考 え ら れ る.. 対 称 な 上 に 凸 の 二 次 曲 線 を な す こ とが わ か る.割. か ら,テ. Fig. 7 Relationship between thermal damaged layer and table feed rate. 小 さ い と 考 え ら れ る.. No.. 7,. 1997. 図6に,レ. ー ザ 出 力60Wと. し,テ ー ブ ル 送 り速 度 を1mm/s. して 割 断 し た 試 験 片 の 光 学 顕 微 鏡 写 真 の 模 式 図 を 示 す.図6 ら,テ. ー ブ ル 送 り速 度 が1mm/sと. す ず み 部 分)が. 痕 と呼 ば れ る.ま. ブ き 裂(主. た,サ. 激 し く派 生 し,主. か. 極 め て 遅 い 場 合 に は,レ ーザ. 照 射 面 に は 熱 影 響 層(う. き裂)も. と. 残 る.こ. れ は トレース. き 裂 か ら枝 分 か れ して いる. き 裂 が 大 き く う ね る.割. 断 面 は非 常.
(4) 黒 部 ・松本:液 晶デ ィスプレイ表 示(STN方. Fig. 8. Effect. に荒れ た 面 と な る.ま. of. specimen. た,表. size. on. breaking. Fig. 9. 面 直 下 に は 熱 損 傷 域 が 残 る.し. しなが ら,テ. ー ブ ル 送 り速 度 を 約2mm/sと. 幅(図7)は. 全 く 見 ら れ な く な る.し. 式)用 基 板がラ スのYAGレ. ーザ による割断. Effect of notch on breaking. Table 4 Measurement results of breaking mode (60W, Maximum feed rate). か. 速 くす る と熱 影 響 層. か し,こ の 速 度 域 で は ま. だサブ き裂 は 幾 分 残 る. テー ブ ル 送 り速 度 を 約2.5mm/sと. さ ら に 速 くす る と,サ ブ き. 裂や深 さ方 向 に 形 成 さ れ る 熱 影 響 層 も全 く 見 ら れ な くな る. た,割 断 面 粗 さや 割 断 方 向 う ね り,深 は,テ ー ブ ル 送 り速 度 を 約3mm/s以 収束す る.例. え ば,深. 上 にす る とほ ぼ最 小 の値 に. さ 方 向 う ね り に 関 して は10μm程. にな る.テ ー ブ ル 送 り速 度 が3mm/s以 様態は,前. 節 の 図4に. ま. さ方 向 うね りに関す る値. 度 の値. 上 と速 い場 合 の割 断面 の. いる率.し. 発 生 を阻 止す る こ とはで きない といわ れて. か し,YAGレ. ー ザ に よ る 割 断 の 場 合 に は,割. 断条. 件を適 切 に 選 べ ば サ ブ き 裂 の 発 生 を 抑 止 す る こ と が で き,こ. の. これ ま で の 実 験 は,20mm×20mmの. 大 き さの試 験 片 につ い て行. 用 上 の 観 点 か らは 長 寸 法 の 試 験 片 に つ. いて検 討 を 行 う必 要 が あ る.こ として 長 手 方 向(レ. こで は,試. ー ザ 掃 引 方 向)の. 験 片 の 幅 を20mm一 定. 寸 法 を20,50,100mm. と. 実験 結 果 を 図8に. 示 す.図8は. 割 断 可 能 な 臨 界 条 件 を 示 す.. 断 能 率 は 割 断 寸 法 に ほ と ん ど 依 存 しな い こ とが わ. かる.こ れ は,レ. れ ま で,レ. ーザ 割 断が どの よ うな機 構 によ って営 まれ る. のか を知 る こ と に よ って 理 解 し得 る と 思 わ れ る.い. ー ザ 光の 強 度. 制 御 し て 初 期 き 裂 を 発 生 させ て い た が,. り ス ム ー ズ に 初 期 き 裂 を 発 生 さ せ る た め に は,試. 片 左 端 部 か ら 約1mmの. ま,レ. ーザ. の 後,そ. 伝播 し他 端 に 至 る.割. の き 裂 が レー ザ ビ ー ム に 追 従 す る 形 で. 断 は,こ. の 初 期 き裂 の 発 生 と 伝 播 よ って. こ こで,レ. ー ザ 光 に 数mmの 一 定 距 離 を 隔 て て 追 従 ・伝 播 す る. き裂 にっ い て 考 え る.そ. れ が 伝 播 す る 駆 動 力 は,レ. 収に よ って 生 じ る 誘 起 熱 応 力 で あ る.走. ーザ 光 の吸. 行 す る レー ザ 光 は 動 的. 与 す る 荷 重 は5,10,20,30Nの4通. り に変 え た.レ. ー ザ は,. 荷 重 で ノ ッチ を 入 れ た ノ ッチ 付 き 試 験 片 と ノ ッチ を 入. 臨 界 条 件 を 示 す.図9か. ら,ノ. 示 す.図9は. 割断可能な. ッ チ を 付 与 す る と ノ ッチ を 付 与. し な い 場 合 に 比 べ て 割 断 能 率 が 上 が る こ と が わ か る.こ は,初. 期 き 裂 を レー ザ 照 射 の み で 発 生 せ る よ り も,ノ. か し,レ ー ザ 出 力 が 高 くな る と ノ ッチ の 効 果 が 次 第 に 小. さ く な っ て い く.こ. れ は 次 の 理 由 に よ る も の と考 え られ る.. 初 期 き裂 の 発 生 と そ の 後 の 伝 播 の 様 態 は,力 大 係 数Kの 合,Kの. 値 に よ っ て 決 ま る6).モ. ー ド1(開. 学 的 に は応 力拡 口 型 き裂)の. (1) で 表 さ れ る.こ. こ で,aは. き裂 長 さ,σ. は熱 応力 の 大 き さであ. る. よ っ て 規 定 され る が,. 式(1)か ら そ れ は レ ー ザ 照 射 に よ っ て 生 じる 熱 応 力 の 大 き さ と, 試 験 片 表 面 に 先 在 す る き 裂 の 大 き さの か ね 合 い に よ って 決 ま る. 図9に. 見 られ る よ う に,レ. ー ザ 出 力 が 高 く な る に つ れ て ノ ッチ. き さ(レ. 裂 の 伝 播 は レー ザ 光 を 中 心 と す る. 数mmの応 力 域 の 状 態 に よ っ て 規 定 され,試 を受 け な い と考 え ら れ る.こ. 料 の大 き さには 影響. の こ とが 原 因 して 割 断 能 率 が 割 断. 寸法 に ほ と ん ど 依 存 し な か っ た も の と 推 察 さ れ る. 3.4. ー ザ パ ワ ー)が. き 裂 長 さ のK値. 増 す と,Kの. ら熱応 力 の大. 値 が大 き くな り見か け上. に寄 与す る効果 が 減 少す る よ うに 見え るた め と. 思 わ れ る. 表4に,ノ. ッチ を 付 与 した 場 合 と しな い 場 合 の 試 料 の 割 断 様. 態 の 測 定 結 果 を 示 す.表4か. ら,ノ. ッチ を 付 与 す る と割 断 面 粗. ノ ッチ 付 与 試 験 片 の 割 断 特 性. 先 に も 記 し た よ う に,レ. ー ザ 照 射 に よ る ガ ラ ス の 割 断 は, 初. 場. 値 は,. の 効 果 が 次 第 に 小 さ く な っ て い く の は,式(1)か. な わ ち,き. のこと ッチ を 付. 与 し て 発 生 さ せ た 場 合 の 方 が よ り有 効 で あ る こ と を 物 語 っ て い. であ る.こ. と考 え られ る.す. ノ. ッ チ 上 を 通 る よ う に 制 御 し ジ ャス トフ ォ ー カ ス で 照 射 した.. な移動 熱 源 で あ り,レ ー ザ 光 が 作 り出 す 誘 起 熱 応 力 域 も 移 動 形 のた め照 射点 を中心 とす る応 力域 の広 が りも小 さい. 験. 距 離 に わ た る 範 囲 に 入 れ た 。 ノ ッチ を 付. き 裂 が 発 生 ・進 展 す る 条 件 は 式(1)に. 営まれ る.. こ で,. ッチ は,試. 光を試 験 片 長 手 方 向 に 掃 引 す る と,試 験 片 端 部 に まず 初 期 き 裂 が発生 す る.そ. よ. 験 片 に ノ ッチ. ノ ッチ 付 き試 験 片 に つ い て 割 断 実 験 を 行 った.ノ. る.し. 変化 させ て 割 断 実 験 を 行 っ た.. 図8か ら,割. (レ ー ザ パ ワ ー)を. か し,レ ー ザ 割 断. 期 き裂 を精 密 かつ 確 実 に. れ な い 平 滑 試 験 片 の 測 定 結 果 を 図9に. 試 験片 寸 法 の影響. った.し か しな が ら,実. 試 験 片 に 発 生 させ る 必 要 が あ る.こ. 20Nの. 点で機 械 式 割 断 法 の 場 合 よ り も 優 れ て い る と い え る. 3.3. を 安 定 的 か つ 正 確 に 行 う た め に は,初. を 付 与 す る の も効 果 が あ る の で は な い か と 期 待 さ れ る.そ. 示 す 模 式 図 の よ う に な る.. 現用 の 回 転 ロ ー ラ 形 チ ゼ ル に よ る ガ ラ ス の 割 断 の 場 合 に は, サブ き裂(図6)の. 期 き 裂 の 発 生 とそ の 伝 播 に よ っ て 起 こ る.し. * 複 数 メ ー カ か ら の 私 信 に よ る.. 精 密 工学 会 誌. Vol.. 63,. No.. 7,. 1997. 1021.
(5) 黒 部 ・松本:液 晶デ ィスプ レイ表示(STN方. 式)用 基板 がラス のYAGレ. ーザ による割断. 4.. 液 晶 表 示(STN方. 結. 式)用. 論. 基 板 ガ ラ ス をYAGレ. て 精 密 割 断 す る 実 験 的 検 討 を 行 っ た.そ. ーザ を用い. の 結 果,次. の よ う な結. 論 が 得 ら れ た. (1). レ ン ズ の 焦 点 距 離 が 短 く な る と,割. 断 能 率 ・割 断 品 位 と. も に 向 上 す る. (2) 割 断 確 率 曲 線 は 上 に 凸 の 二 次 曲 線 を 描 く.割 断 に は 最 適 な テ ー ブ ル 送 り速 度 が 存 在 す る. (3) 割 断 能 率 は 割 断 寸 法 に依 存 し な い 。 しか し,割 断 寸 法 が 大 き く な る と割 断 品 位 は 若 干 低 下 す る. (4) 試 験 片 に ノ ッチ を 付 与 す る と割 断 能 率 ・割 断 品 位 が 向上 Fig. 10 Effect. of applied. す る.ノ. load. ッチ 負 荷 荷 重 が 大 き い と 割 断 能 率 が 向 上 す る,. 参 さRaの. 値 は 小 さ くな り,ま. うね りWDの. た,割. 断 方 向 う ね りWL,深. 値 と も 小 さ く な る こ と が わ か る.こ. 裂 が ス ム ー ズ に 創 成 さ れ る た め,初 り も 小 さ な 値 と な り,そ. れ は,初. れ か ら,ノ が わ か る.こ. 1). 岡 野 光 治,小. 林 駿 介:液. 2). 藤 森 康 朝:レ. ー ザ プ ロ セ シ ン グ,日. の 後 の き 裂 の 進 展 も滑 ら か に 行 わ れ た 3). 黒 部 利 次,川. 4). ッ チ の 長 さ が 一 定 で あ って も,負 荷 荷 重. 黒 部 利 次,永. 難波. に 生 成 さ れ る た め と 思 わ れ る.. 6). 田 中 紘 一:破. Vol.. 63,. No.. 7,. 1997. 進:レ. 料,. 風 館,. (1990). 52.. 経 産 業 図 書,. 尾 利 幸:YAGレ 42,. 479,. 井 久 司,川. ス の 曲 線 割 断,材 5). 精 密工 学 会誌. 向 徳 康,高. ス の 精 密 割 断,材. こ. ッチ 負 荷 荷 重 が 増 え る に つ れ て 割 断 能 率 が 増 す こ と. 晶,培. (1990). 230.. が 増 え る につ れ て ノ ッチ の 深 さ も 大 き くな り,初 期 き 裂 が 容 易. 1022. 献. 期 き. ッチ 付 与 荷 重 を 変 え た 場 合 の 測 定 結 果 を 示 す.. れ は,ノ. 文. 期 き 裂 割 断 面 の 粗 さや う ね. た め で は な い か と考 え ら れ る. 図10に,ノ. 考. さ方 向. 料,. ー ザ に よ る ガラ. (1993). 1004.. 向 徳 康:YAGレ 43,. ー ザ と 加 工,共 壊 と 材 料,裳. 492,. (1994). 立 出 版, 華 房,. ー ザ に よ る ガラ 1147. (1983). (1991). 81.. 14..
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