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(1)

ToF によるセンシングのリファ レンス設計

TND6341JP/D

Rev. 3, August − 2021

(2)

ToF によるセンシングのリファレンス設計

センシングの要

ながなセンシングは、 、 、など、のでくのアプ

リケーションにとされています。オンセミは、のセンシングのリファレンス

とキットをしました。これにより、なけのセンシングソリュー

ションをにし、!"までの#をすることができます。

センシングには、な$があります。%えば、&なCMOSイメージセン

サを*する$としては、ステレオ-、. /01ピクセル、5!67などがあ ります。

Figure 1. Stereo Triangulation

Stereo Triangulation | Example: Intel RealSense, Subaru EyeSight

"#は、$なる28のカメラで;けた7の-から%められます。カメラで<=した

&>の'?.(の)/を*+することにより、'?までの"#を,できます。

G

パッシブ

G

&のイメージセンサ

(3)

G 28のカメラが

G

BC"#がカメラの"#にDE

G -FGHにCきくDE

G ,コストがC

適したアプリケーション

G

Jコストカメラ

G

KL − "#アプリケーション

Figure 2. Phase Detection

Phase Detection Pixels | Example: iPhone Camera AutoFocus

"#は、18のカメラで<=したシーンLのM.にNしてOPされます。ピクセルレベル

のイメージセンサが、$なる.(を/7したピクセルペアで;けた7の. /を*する か、SじマイクロレンズWの0Xのフォトダイオードを*してを,します。

G

パッシブ

G

&のイメージセンサ

G の\1が]る G -FGHにCきくDE G ,コストがC

G "#

適したアプリケーション

G

スマートフォンのオートフォーカス

(4)

Figure 3. Structured Light

Structured light | Example: iPhone Face ID

^_のCMOSイメージセンサを`したカメラで2a7のパターンを;けて1cし、その

3みをdしてシーンLのを,します。

パターンの3みを*して'?の34ef5を%めます。

G "#に6している

G

アクティブ

G

gh7の=7を;けやすい

G の8/が"#とともにij G 9"#にはk6

適したアプリケーション

G :;<

LiDAR

Figure 4. LiDAR

(5)

7による01および"(LiDAR:Light Detection and Ranging)では、との\1

が>いことから、lのmよりもnれたセンシングがです。また、2a7の7

トランスミッタとレシーバをいたアクティブなmのため、あらゆる-FGHでqrし ます。LiDARは、なで、、 、ロボット、 けのtu?v(AR)やw x?v(VR)などの々なアプリケーションや@にyくAzされています。

LiDARは、BにC{Time of Flight (dToF)|Dを}し、E~した~からその€7

までの#のFれを,します。もう

1

つのmは、{

ToF(iToF)

です。どちらのmでも

、パルス‚GまたはH‚Gを*できます。

iToFでは、IられたX(Jƒは2つ)のビンにXの7パルスをKLするイメージセンサピク

セルの‚Gをdします。…ってきたパルスのタイミングは、$なるビンのMNをす ることによってOされます。

Figure 5. Direct & Indirect ToF Methods

Table 1. TOF METHOD COMPARISON

Parameter iToF dToF

Acquisition Speed Long Integration Time Fast Acquisition

Range Ambiguity Yes No

Detect Multiple Echoes No Yes

Pixel Count Large Smaller

Data Volume Small Larger

Operation in Strong Ambient Light OK Good

(6)

iToFは、"#のセンシングアプリケーションや、KLP†および7がセンサにC

{"しないP†での*に6しています。

dToF

は、"#と9"#どちらのセンシングアプリケーションにも6しています。

OPレートがよりく、0Xの€7をできるため、リターンパスLにある0Xの'

?を01できます。

‡QではˆR、パルス

dToF にS.を‰ててTFします。このmは、 1

Šのによっ て、あるいはUみOりごとに0Xの‹をKLすることによってv?できます。

シングルショットモードでは、タイマのŒq#にトランスミッタからいレーザパルスを

します。レーザパルスがLiDARシステムの)VLの'?に‰たると、€して…ってき

ます。…ってきたパルスをレシーバで01し、タイマをWします。この#/の

1/2

に7

をけると、01した'?までの"#をメートル‘.で%めることができます。

Figure 6. Single Shot Mode

ワーストケースのNX'は、Yい“をZている[\]など、^くにあるJ€_の'?で す。この”、…ってきたレーザパルスを、gh7から_る7•などのノイズ`をaえて

<—することが˜bな”があります。より™šなレーザを*えば、このIcを›“でき

るœはありますが、レーザのBC1šはIEC−60825−1にdされるeのžIcのf hLにŸIするがあります。

マルチショットモードでは、01したレーザパルスのタイムスタンプのヒストグラムをr

¡することにより、LiDARシステムの~Nノイズ*(SNR)が¢します。このヒストグラ ムを*して、'?の"#を£1できます。この$により、システムが01できるBC

を¤ばすことができます。

Figure 7. Multi−shot Mode

このモードでは、1つ1つの‘7•の01イベントは、#にN¦§けられます。Pられ たヒストグラムには、ghの7•などのノイズ`からのノイズレベルが¨まれますが、シ

(7)

ーンLのvgの'?からは、ほぼSじ#©によりくの…り7があるため、ヒストグラム ªにNX'までの"#を«えるFなピークができます。

Figure 8. Histogram Peak

¬hした$を0iする¢では、LiDARシステムのœには>­センサがkjという ことはFらかです。dToF LiDARシステムに*するBなセンサの%をFigure 3にkし ます。

PIN

ダイオードとアバランシェフォトダイオード

(APD)

は、"ってくる7のに*%

した1šを«えるリニアモードの01°です。'?の€としてN¦§けられるスレッシ ョルドにlするまで、7•をあるmKLするがあります。これら^_の01°は、

より>œのセンサに±に(き²えられつつあります。そのようなセンサは、‘7•

アバランシェフォトダイオード(SPAD)¢に5nされており、7•1³にNしても­があり ます。これらのセンサの%としては、シリコンフォトマルチプライヤ(SiPM)、SiPMアレ イ、SPADアレイなどがあります。オンセミでは、これらのo¶をCMOSプロセスでo!し ているため、デバイスの¸œにnれ、JM¹qrがで、pƒに>いゲインをzえ ています。これらのセンサのq»は、Jコストで>œなLiDARのC に6していま す。

Figure 9. dToF Sensors

(8)

ここまでに¼をhべたrsは、シングルポイントLiDARシステムについてTFしたもの です。これは、‘の.にNしては¾¿な"ツールとなります。しかし、Sじアーキ テクチャをスキャニングオプトエレクトロニクスシステムとtみ”わせることで、7ビー ムの$をŸÃし、シーンのの>Äな.u(ポイントクラウド)をf¡することができ ます。また、スキャニングシステムにより、レーザ1šをより¾_に*できるように なりますが、vÅなŠwx(で5¡されるためCÆになり、コストが>くなります。こ れらのvÅなビーム$ŸÃシステムは、ÇÈMyvÅシステム(MEMS)のミラー、zÉ メタ{|(LCM)、7フェーズドアレイ(OPA)などのÇÈシステムへの(き²えがŒまってい ます。

また、センサアレイと7}•アレイをÊしてシーンをフラッシュ(にËÌ)するこ とにより、ビーム$ŸÃを*わずに>Äの.uをPることもできます。フラッシュベ ースのLiDARは、SiPMやSPADのC~アレイとともに*し、€のソリッドステートソリ ューションをrることができます。フラッシュ

LiDAR

は、"#からª"#のアプリケーシ ョンに6しています。レーザ1šがシーンž?に\Íすることと、eのžHによりセ ンサの)VLのM.に"するÎ17•のがŸIされているためです。

スキャニング$の%をWÏにkします。

Figure 10. Beam Steering Methods

オンセミの LiDAR リファレンス設計

7•が…ってくると、

LiDAR

システムのシグナルチェーンは、アナログ

デジタルコンバ ータ(ADC)または#−デジタルコンバータ(TDC)のいずれかを*して、01したレーザ の€7をデジタル6することができます。ADCベースのシステムでは、パルスž?のデ ジタル6がで、パルスのf5からÑできる€_など、NX'に‚する§jÒÓを Pることができます。しかし、TDCベースの$には、コストとƒ„Mšの|でd.があ

(9)

ります。そのr…は、ԗŠ†を*+‡‘にvxでき、このmがˆいパルスÕのレー ザに6しているからです。そのため、eのžIcに=7を«えることなく、パルスごと により>いピーク1šを*できることになります。

‡Qで‰Öするリファレンスは、の£1にマルチショットのヒストグラム1šを

いるTDC~×rmにØづきます。これらは、LiDARエコシステムのおÙやパートナ

ーが、オンセミのo¶とシステムソリューションをŠして、‹Œのを5nできるよ うにされたものです。

SiPM dToF LiDAR リファレンスプラットフォーム

SiPM dToF LiDARリファレンスプラットフォームは、オンセミによるڞなリファレンス でもあり"いただくことができます。これはシングルポイントLiDARシステムのター

ンキーソリューションにいもので、レーザÛ°、7܎、センサ、1 mから23 mまでの

をするためのFPGAのコードを¨むUみ1し;~チェーンで5¡されています。

Figure 11. SiPM dToF LiDAR Reference Platform

トランスミッタは、OSRAMの905 nmレーザダイオードSPL PL 90_3を*

し、NX 'にレーザパルスをします。E~レンズLには、リファレンス SiPM

として

MicroRB−

10010−MLP−TRを*し、1レーザパルスを01して、TDCのŒ~を ¡します。

Figure 12. RB−Series SiPM Sensor

レシーバには、2のSiPMとしてMicroRB−10010−MLP−TRを*し、NX'からの€

パルスを01します。iՐにより、J‘の€レーザパルスをvに01できます。

アンプの1šはTDCのW~をݒします。

(10)

TDCはFPGALにvxされ、Œ~とW~にタイムスタンプを§jするために*

されます。FPGA¢でヒストグラム×rが\われ、ÞのNX'までのが,されます。

SiPM dToF LiDAR

リファレンスプラットフォームには、グラフィカルユーザインタフェー スが¨まれています。これにより、ユーザはヒストグラムのデータを{kしたり、レーザ

"#をシングルショットまたはマルチショットモードにすることができます。また

、バイアスM¹を‚àして

SiPM

の­をすることもできます。

Figure 13. User Interface showing Depth Histogram

Figure 14. SiPM dToF LiDAR Reference Platform

このLiDARリファレンスプラットフォームは、オンセミのIoTプラットフォームLのlの センサに{Hするように5¡することができます。

SiPM dToFリファレンスプラットフォームには、ˆWのものが¨まれます。

• キット

G SiPM dToF LiDARリファレンスプラットフォーム G

ユニバーサルM`とケーブル

G

ソフトウェアGUI

(11)

リファレンスのドキュメント

G の”•なTF

G

vxに‚するアドバイス

G

インタフェースコマンドライブラリ

パッケージのリリース

G FPGA

のコード

G Gerberファイル G Cadenceファイル G Eagle

ファイル

G

ڞなBOM

‰–のSiPM dToF LiDARリファレンスプラットフォームの”•は、sensl_questions@

onsemi.comにおáい”わせください。

16 チャンネル LiDAR リファレンス設計

Figure 15. 16 Channel Reference Design Block Diagram

16

チャンネル

LiDAR

リファレンスは、や などのスキャニング

LiDAR

アプリケーションに6しています。これは、ˆWにkすモジュールãのサブブロックコン ポーネントとしてされたXäのプリントŠ†Øå(PCB)のファイルソフトウェア リリースパッケージで5¡されています。

• M`PCB

レーザPCB

アナログフロントエンド

(AFE)PCB

(12)

ԗ°PCB

• TDC/×rPCB

このリファレンスのMサブブロックは、tみ—て、テスト、0˜が\われています。

‡には、レーザパルスの 、…り~の01、.uの ¡になすべてのM•v

が¨まれています。システムの7܎、スキャニングハードウェア、モータŸÃはこ

ののNXaであることにご™çください。

このリファレンスは、そのままオプトメカニカルサブシステムとともに*して、Ú

žな

LiDAR

システムを5nすることができます。あるいは、オンセミoデバイスの@に^

って*する”は、³々のブロックをのšとしてŠすることもです。

Figure 16. Physical PCBs

M` PCB

には、

12 V

"šを

50 V

までè¹する

SiPM è¹コンバータが`されていま

す。SiPMのバイアスM`は、SPIJ~をÖして‚àし­をŸÃできます。è¹コンバー タはレーザPCBへのM`ݒに*することもできます。

7トランスミッタは›9905 nmの‘レーザ-°です。このœ|7レーザ7`は、

GaNベースのディスクリートレーザドライバを*し、3 nsパルスÕで75 Wのピーク1š

のレーザパルスをv?できます。

AFEボードには01°とフロントエンドŠ†が`されています。01°はArrayRDM−

0116A10−DFNであり、これは905 nmで16%という cB>の7•01¾_(PDE)をzえた 16チャンネルリニアアレイです。SiPMアレイのMチャンネルは、16のポイントをS#

に1šするためにéêにUみ1されます。01°はiՐに{Hされ、‘7•イベント のになゲインをPています。

(13)

Figure 17. ArrayRDM−0116A10−DFN

ԗ°PCBはSiPMアレイのMチャンネルにコンパレータをzえています。SiPMの~を Øスレッショルドと*+し、TDCのW~を させます。コンパレータのスレッシ ョルドは、SPIŸÃのデジタル−アナログコンバータ(DAC)をÖしてŸÃできます。

このリファレンスは、16チャンネルのTDCベースのUみ1しをëし、14e01°

アレイž?に…ってきたパルスをS#にデジタル6します。

TDC

Intel ® Cyclone ® 10LP FPGAにvxされています。このFPGAは、タイミングヒストグラムと34e.uデータを ¡するだけでなく、レーザおよびモータŸÃvけにシステムŸÃ~とタイミング

~を1šします。

ž&とするLiDARシステムは、)Vž?に‘レーザビームをスキャンし、>\1の3 4eマップをr¡できます。

‡リファレンスの”•は、sensl_questions@onsemi.comにおáい”わせください。

その(の)能

デッドタイムのい>、yダイナミックレンジの

TDC

• TDCの\1を31〜250 psのでプログラム

• TDCのBCfhは150 m(4096ビン)

シリアルおよびUSBインタフェース(イーサネットはN¦ì)

なIりグレードのš¶を*

車載要*

アプリケーションには、Ÿ なGHやyい¡fhでvにqrできる>œセンサ

とデバイスがです。これらの¢£と¤Ùの%を¥たすために、オンセミは?í、

アプリケーションîにされたSiPMおよびSiPMアレイo¶をX¦ïÝしていま

す。これには‡リファレンスで*しているArrayRDM−011A16−DFNも¨まれます。

‰–の

SiPM

および

SiPM

アレイo¶の”•は、

sensl_questions@onsemi.com

におáい”

わせください。

これらはで"mなðの;˜

SiPM

センサです。これらの

o¶の

; ˜

をO P す る た め に 、オ ン セ ミは

§ ¨

Þと デ ザイン セ ン タに

o !

Ø

IATF16949の;˜を;けました。Œにñ—ち、これらのo¶は、M•š¶©ò (AEC)によるSiPMなどのオプトエレクトロニクスóô?け~õAEC−Q102にöした;

ストレスª«を;けています。

(14)

16チャンネルLiDARリファレンスには、ˆWが¨まれています。

リファレンスのアプリケーショノート

G の”•なTF

G

vxに‚するアドバイス

G

ハードウェアテストの¬¿

G

インタフェースコマンドライブラリ

パッケージのリリース

G FPGAのコード G Gerberファイル G Cadenceファイル G Eagleファイル G

ڞなBOM

Pandion SPAD アレイ評,キット (EVK3)

SPADアレイを*すると、ピクセルÄが>いためLiDARシステムの\1を¢

させることができます。SiPMとは$なり、これらのセンサのMSPADは、³—にアドレス }してUみ1すことができます。さらに、これらのセンサは

CMOS

ロジックでされ ているため、SPADのクエンチングにアクティブŠ†を*でき、クエンチング÷øにD EするSiPMのようなパッシブ01°よりもリカバリ#をできます。アクティブクエ ンチングŠ†をzえているために、7•01ùのリカバリ#をでき、gh7­ú

šが¢します。オンセミのPandion SPADアレイは、4ûピクセル (400 x 100) の1>

をzえたセンサで、4Di1š(とF&>のS#1š)を ¡するシステムで*できま す。このvはキットで~×rを\うことによってü¾になります。

Figure 18. Pandion SPAD Array

(15)

Figure 19. Pandion EVK3 Block Diagram

Pandion EVK3はLiDARシステムの;~チェーンž?

をïÝします。LiDARシステムに は、SPADアレイ、タイムスタンプとヒストグラム×rのUみ1しFPGAだけでなく、.

uデータを)®6しýrするためのソフトウェア GUI

も¨まれます。ユーザは、‹Œの7Ü

Žや7`を¯jして、SPADアレイをベースとしたカスタムLiDARシステムを5nできま

す。Pandionチップはローリングシャッタ$ãのUみ1しを*し、1šのピンXをBÈI にþえています。

Pandion EVK

は、フラッシュまたはスキャニング-Fとtみ”わせて、

LiDARシステムをÚ¡させることができます。

Figure 20. Flash Illumination

(16)

Figure 21. Scanning Illumination

Pandion EVKの./01

1.

Pandion EVK3は、オンセミのDemo3インタフェースボードとtみ”わせて、DevWare

ソフトウェアP†でPandion SPADアレイのながになるプラグアンドプレ イシステムを5nすることができます。ユーザはPandionチップのvについてÜ°す ることができ、LiDARシステムにNするr1を}くめることができます。

Figure 22. Pandion EVK and Demo3 Interface Board

DevWareソフトウェアP†では、F1šや.uのデータを>1>でプロット

でき、SPADアレイのMピクセルの のヒストグラム¦±を;することもできます。

また、このソフトウェアでは、システムオフセットのキャリブレーションを\ったり、

々な"#に6するポイントのの²をカスタマイズすることもです。

(17)

2. LiDARシステムのレシーバ

Pandion EVKは、システムのレシーバとしてLiDARシステムにtみ³むことができま

す。

EVK

ボードは、プロセッサまたはマイクロコントローラから

I 2 C

のコマンドを*

してデータをUみ1すことにより、データの.uとFÒÓを1šします。

Figure 23. Pandion EVK and Customer Processor/ECU 3.

カスタムレシーバソリューション

Pandion EVKはڞなリファレンスでもあります。EagleのŠ†Ïおよびレイアウ

トファイルを、100のTDCのFPGAコードとヒストグラム×rアルゴリズムとÊせ、

‹Œのソリューションの0iをŒめたいと´えているおÙにごdいただけます。

Figure 24. Pandion EVK FPGA Code and Design Files

Pandion SPAD

アレイの”•は、

sensl_questions@onsemi.com

におáい”わせください。

(18)

Figure 25. Pandion EVK Flash Based Demo Units

オンセミは、Pandion EVKを*したフラッシュベースのデモvを5nし、Pandionチッ プによるおよびFイメージングのœを‰Öしています。このシステムで ¡で きる>Äの.uとFの&>%をWにkします。

Figure 26. Pandion Point Cloud Example Figure 27. Pandion 4Di Output

Pandion EVK

には、45のものが8まれています。

• キット

G Pandionチップを`したUみ1しボード G

ユニバーサルM`とケーブル

G DevWareソフトウェアP†

G

レンズマウント

リファレンスのドキュメント

G の”•なTF

G

vxに‚するアドバイス

G

インタフェースコマンドライブラリ

G EVKのユーザマニュアル

(19)

パッケージのリリース

G FPGAのコード G Gerber

ファイル

G Cadenceファイル G Eagleファイル

G

ڞな

BOM

(20)

?象アプリケーション

Table 2. TARGET APPLICAITON

Application

Recommended Reference Design Laser Rangefinder 16−Channel LiDAR

Ref Design Pandion EVK AUTOMOTIVE

Long/Short Range LiDAR Yes + Scan

Mechanism Yes + Scan

Mechanism No

Turn Assist/Blind Spot Detection Yes + Scan

Mechanism Yes + Scan

Mechanism No

ADAS Yes + Scan

Mechanism Yes + Scan

Mechanism No

INDUSTRIAL/CONSUMER

Fill Level Monitoring Yes Yes Yes

Storage Retrieval Yes Yes Yes

Stack Height Control Yes Yes Yes

Measuring the Thickness of Metal,

Ceramics, Wood etc. Yes Yes Yes

Distance Measurement Yes Yes Yes

Distance Monitoring Yes Yes Yes

Position Feedback in Industrial

Automation Yes Yes Yes

Level Control, e.g. in the Packaging

Industry Yes Yes Yes

Exact Positioning of Stacker Cranes,

Gantry Cranes, and Conveyors Yes Yes Yes

Safeguarding Minimum Distances Yes + Scan

Mechanism Yes + Scan

Mechanism Yes

Verifying Occupancy Conditions Yes + Scan

Mechanism Yes + Scan

Mechanism Yes

Overhang, Gap, and

Compartment−occupied Checks Yes + Scan

Mechanism Yes + Scan

Mechanism Yes

Avoidance of Collisions for AGVs, Suspended Conveyor Systems, or Freely Navigating Platforms

Yes + Scan

Mechanism Yes + Scan

Mechanism Yes

Object Detection and Classification Yes + Scan

Mechanism Yes + Scan

Mechanism Yes

Safety/Proximity Yes + Scan

Mechanism Yes + Scan

Mechanism Yes

Security Yes + Scan

Mechanism Yes + Scan

Mechanism Yes

People Counting Yes + Scan

Mechanism Yes + Scan

Mechanism Yes

(21)

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