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1 研究実施の概要 本プロジェクトでは高分子ブロック共重合体が形成する デカナノスケールの周期を有するナノ 相分離構造をテンプレートとして用い 実用リソグラフィ技術及びビーム加工技術の加工下限界を 超える微細構造デバイスの創製を目的とした まず第一に ランダムに配向したグレイン構造をも つ従来のナノ

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Academic year: 2021

シェア "1 研究実施の概要 本プロジェクトでは高分子ブロック共重合体が形成する デカナノスケールの周期を有するナノ 相分離構造をテンプレートとして用い 実用リソグラフィ技術及びビーム加工技術の加工下限界を 超える微細構造デバイスの創製を目的とした まず第一に ランダムに配向したグレイン構造をも つ従来のナノ"

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図 1a.3 ATRP 法による PEO-b-PMA(Az)の重合 図 1a.2 MA(Az)モノマーの合成
図 1b.1.  マイクログラビア印刷によるロール型ペットフィルム基板に連続製膜  左:膜表面の AFM 位相像    右:膜断面の TEM 像
図 1d.2  (A)(B)電解電位±1 V の三角波を印加前後の PEO 114 -b-PMA(Az) 47 薄 膜 の 表 面 AFM 像 及 び (C)(D)ITO/PET 基板を用いて同様の電場印加を行った 前後の断面 TEM 像。 る表面観察と膜断面 TEM 像によってシリンダー構造の配向変化を評価した。アゾベンゼンの光配向制御は、(1)屈曲構造の cis 体から棒状構造の trans 体への異性化において分子長軸が等方的に再配向すること、および(2)trans 体の光吸収の効率(モル吸光係数)が
図 1d.4  電解電位±0.5 V の矩形波を印加した際の PEO 114 -b-PMA(Az) 47 キャスト膜 の表面 AFM 像変化。印加時間は、 (A) 0 min, (B) 15 min, (C) 45 min とした。
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