1 研究実施の概要 本プロジェクトでは高分子ブロック共重合体が形成する デカナノスケールの周期を有するナノ 相分離構造をテンプレートとして用い 実用リソグラフィ技術及びビーム加工技術の加工下限界を 超える微細構造デバイスの創製を目的とした まず第一に ランダムに配向したグレイン構造をも つ従来のナノ
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