• 高精度、1 m 以下の長さでの精度等級は ±1 µm （国際規格に沿って較正） • 堅牢性に優れた ZeroMet は 0.75 ±0.35 µm/m/°C ＠ 20 °C と低い熱膨張率を持つだけでなく、 取り 扱いと取り付けも簡単 • スケールは、 両面テープまたはクリップ/クランプによ り固定可能 • IN-TRAC 両方向自動位相オプティカルリファレン スマーク • デュアルリミットにより測定軸両末端を検出
RELM ZeroMet
™スケールは熱膨張率がほ
とんどゼロの素材から製造されているため、
広範な温度範囲で高い精度を維持するこ
とができます。
RELM スケールは機械式クリップ/クランプか両面テープで機械に 直接固定することができ、 位相調整が自動で早く行える IN-TRAC™ オプティカル（光学式）リファレンスマークを使用することもできます。20 µm ピッチの RELM スケールは、 レニショーの VIONiC™、 TONiC™、
SiGNUM™ シリーズと組み合わせて使用でき、その性能はファイン
ピッチのスケールを用いたエンコーダシステムと同程度です。
仕様
スケール 形状 1.6 mm × 14.9 mm（高 × 幅） スケール長 (L) 80 mm ～ 1.5 m (10 mm 単位の長さをご用意) 測定長 (ML) 精度 長さ 1 m 以下で ±1 µm 、長さ 1 m から 1.5 m で ±1 µm/m を保証 較正は国際基準に対してトレーサブルです 材質 安定性が高い低熱膨張率のニッケルと鉄の合金 熱膨張係数 0.75 ±0.35 µm/m/°C @20 °C 取付方法 エポキシ基準点と両面テープまたはデータムクランプと取り付けクリップ 全スケールに両面テープ（公称厚 0.2 mm）を付属) 質量 184 g/m リファレンスマーク タイプ IN-TRAC オプティカルリファレンスマーク 位置 RELM – スケールの中心 RELE – スケールの端から 20 mm 位相調整 キャリブレーション（較正）作業により、自動で早く調整可能 繰返し精度 仕様の温度と速度範囲において分解能単位までの繰返し精度を実現 取り付けや固定方式オプションについて詳しくは、 RELM 取り付けガイド （M-6195-9235、 M-9572-9113、 M-9653-9228） `を参照してください。 これについては、www.renishaw.jp または www.renishawsupport.jp からダウンロードできます。 最大長 L 1.5 m 測定長 ML (mm) - リミットなし ML = L -10 mm 測定長 ML (mm) VIONiC と TONiC - デュアルリミット 10 mm ML = L -20 mm SiGNUM - デュアルリミット 10 mm ML = L -22.5 mm アナログ 1 Vpp のみ。 Ti、 TD、 DOP インター フェースとの接続時に、 5 µm ～ 1nm の RS422 デジタル信号 を出力 ±30 nm 0.5 nm まで 10 m/s リードヘッド から分解能 0.1 µm ～ 2.5 nm のデジタル信号 を出力 <±10 nm 1.6 nm まで 12 m/s リードヘッド から分解能 5 µm ～ 20 nm の デジタル信号 を出力 <±30 nm 1.6 nm まで 12 m/s 出力 SDE （平均） ジッタ （RMS） 最高速度SiGNUM
VIONiCplus
VIONiC
TONiC
SiGNUM インターフェー ス使用時の出力： 1 Vpp アナログ、 5 µm ～ 5 nm の RS422 デジタル信号を出力 FANUC シリアル ±30 nm 7.5 nm まで 12.5 m/sVIONiC
、 VIONiCplus
™、 TONiC、 SiGNUM
リードヘッドで使用可能
u オプティカルフィルター機構と自動ゲインコントロー ルにより、 高い信頼性と確実なリサジュー信号を取得 u ダイナミック信号制御により非常に低いサブ ディビジョナルエラー （SDE） を確保 結果： よりスムーズなスキャニング性能 u 高い S/N 比によりジッタを抑え、 位置決め安 定性を最適化 u IN-TRAC リファレンスマークにより位相調整を自動化 u 業界標準の 1 Vpp アナログ信号出力および RS422 デジタル信号出力が可能 u クロック出力により、 業界標準の様々なコン トローラで、全ての分解能で速度性能を最適化TONiC
と併用する場合のスケールの取り付け
（接着式取り付けを表示）詳細については、 VIONiC、 TONiC、 SiGNUM の RSLM/RELM 取り付けガイドを参照してください。
寸法と公差 （単位 mm） 注： 接着取 り 付け の ス ケ ー ルは取 り 付け 後に 再利用 し ない で く だ さ い 。 12 10 RGG-2 、2 液混合 タ イ プの エ ポ キ シ 接着剤 両 面 テ ープ = エ ポ キ シ 接着剤の塗布領域は通常 IN-TRA C リ フ ァ レ ン ス マ ーク と一 致 し ま す 。 =ス ケ ー ル長に 関 ら ず取 り 付け 用両面 テ ー プが付属 し て い ま す 。 ‡ ス ケ ー ルを垂 直 に 取 り 付 け る 場 合 は、 デ ー タ ム エ ッ ジ をサ ポ ー ト す る よ う に ダ ウ エ ルを配 置 し て く だ さ い。 L L /2 ± 0.25 20 ± 0.25 別 の リ フ ァ レ ンス マ ーク の 位 置 (RELE) 14.9 ± 0.2 6 ± 0.5 0.05/50 0.5 F F = 移動軸 ダ ウエ ル ピン ‡ デ ー タ ム エ ッジ オ プ テ ィ カ ル セン ターラ イ ン （ イ ンク リ メン タ ル お よ びリ フ ァ レ ン ス マ ー ク ） 5 測定長, ML = (L-25) 10 mm リ ミ ッ ト の場合 リ ミ ッ ト セ ン サーの 位 置 2.1 ± 0.15 17.5 ML = (L-10) リ ミ ット な し 7.8 1.7 ± 0.1 5
SiGNUM
と併用する場合のスケールの取り付け
（クリップ/クランプ式取り付けを表示）詳細については、 SiGNUM、 VIONiC、 TONiC の RSLM/RELM 取り付けガイドを参照してください
寸法と公差 （単位 mm） 注： デー タ ム ク ラ ン プは通常 IN-TR AC リ フ ァ レ ン ス マ ー ク と 一 致 しま す 。 た だ し 、位 置 は ア プ リ ケ ー シ ョ ン に応 じ て ユーザーが 選 択 で き ま す 。 長 さ 80 mm 以 上で 190 mm 未満の場合 、 ス ケ ー ルの両端だけ で な く そ の 間でも 固 定 し て 下さ い 。 リ ミ ッ ト と リ フ ァ レ ン ス マ ー ク 選択に つい て は 、別の項 目 を ご覧 く だ さ い 。 最適な性能 を 得 る ために 、 リ ー ド ヘ ッ ド を 設計最適位置に 取 り 付け て く だ さ い 。 リ ー ド ヘ ッ ド 及び取 り 付け ブ ラ ケ ッ ト と ク リ ッ プ及び デ ー タ ム ク ラ ン プの間に 十 分な間隔 を あ け る よ う 注意 し て 下 さ い 。 ク リ ッ プ と ク ラ ン プの固定に は付属の専用 ネ ジ のみ を 使用 し て 下 さ い 。 必要に 応 じ て ス ペ ア も お求めいただけ ま す 。 31 20 ± 0.25 31 L 24 取 り 付 け クリッ プ 20 12 21 13 デ ー タ ム クラ ン プ （注 参 照） 14.9 ± 0.2 6 150 20 12 L /2 ± 0.25 150 0.05/50 0.5 F F = 移動軸 デ ー タ ム エ ッジ RELM (中 央 リ フ ァレ ン ス マ ー ク ) RELE (端 リ フ ァレ ン ス マ ー ク ) 23 ± 0.25 1.9 ( ク ラ ン プの高 さ ) 1.5 mm 六 角 ソ ケ ット の 専用 M3 小型 ネ ジ (A-9584-2047 - 1 パ ッ ク 25 本 ) 1.5 mm 六 角 ソ ケ ット の 専用 M3 小型 ネ ジ (A-9584-2047 - 1 パ ッ ク 25 本 ) スケー ル の セ ン ターラ イ ン 全 て の固定穴 （ 最低深 さ 6 mm ） に 対 し 、ザ グ リ （直 径 3.2 mm 、 深 さ 1 mm ～ 1.5 mm ） が必要 全 て の固定穴 （ 最低深 さ 6 mm ） に 対 し 、ザ グ リ （直 径 3.2 mm 、深 さ 1 mm ～ 1.5 mm ） が必要 8 ± 0.25 デ ー タ ム クラ ン プ (A-9584-2050) 取り付 けク リ ッ プ (A-9584-2049) 16.5 17.1 23 ± 0.25 1.8 ( クリッ プ の 高 さ )
VIONiC
リードヘッドの取り付け図
寸法と公差 （単位 mm） * 取り付 け 面。 =最 適 な サ ブ デ ィビ ジ ョナ ル エ ラ ー（ SDE ）を 確保す る ための推奨 ア ラ イ メ ン ト 公 差 。 詳 細 に つ い て は 、 VIONiC シ リ ー ズ エンコ ーダ シス テ ム の デ ータ シ ー ト （ L-9517-9681 ） を 参 照 し て く だ さ い 。 R>30 動的曲げ半径 R>10 静的曲げ半径 Ø4. 25 ±0.25 35 23 11.5 最低 6 M2.5 取付通 し 穴 2 ヶ 所 、両側に Ø3 × 深さ 2.3 の ザ グリ セ ット ア ッ プ LED 0.6 1.6 ( ク リ ッ プ/ ク ラ ン プ固定 ) 1.8 ( 接着固定 ) リ フ ァ レ ン ス マ ーク セレ ク タ ー セ ン サーの 位 置 P と Q リ ミ ッ ト ス イ ッ チセ ンサ ー の 位 置 P リ ミ ッ ト の磁石 (A-9653-0138) 取り付 け 面 (ロ ー ル公差 ±0.5°) 0.08 13.5 8.75 * 4.15 4.25 10 0.25 15 10 7.8 7.8 オ プ テ ィ カ ル セン ターラ イ ン （ イ ンク リ メン タ ル お よ びリ フ ァ レ ン ス マ ー ク ） オ プ テ ィ カ ル セン ター ラ イン マ ー カ ー 18 14.9 ±0.2 リ フ ァ レ ン ス マ ーク セレ ク タ ー (A-9653-0143) (寸法は P リ ミ ッ ト の 磁 石と同 じ ) 3.7 Q リ ミ ッ ト の磁石 (A-9653-0139) (寸法は P リ ミ ッ ト の 磁 石と同 じ ) 0.7±0.5 P リ ミッ ト の 公 称 トリ ガ ー ポ イ ント ( ±3) 15 ±1 29 12.1 4.6 1.5 ヨ ー 公 差： ± 0.4° (VIONiC と VIONiCplus) ± 0.125° (VIONiCplus のみ ) = 取り付 け 高 さ ： 2.1 ± 0.15 (VIONiC と VIONiCplus) 2.1 ± 0.05 (VIONiCplus のみ ) = ピ ッ チ 公 差： ± 1° (VIONiC と VIONiCplus) ± 0.5° (VIONiCplus のみ ) = スケー ル を 固 定 し リ ー ド ヘ ッ ドを 動か し た際の カ ウ ン ト 増加方向 Q リ ミッ ト の 公 称 トリ ガ ー ポ イ ント ( ±3)
TONiC
リードヘッドの取り付け図
寸法と公差 （単位 mm） *取り付 け 面 。 T ONiC リ ー ド ヘ ッ ド の詳 し い取 り 付け 手順に つい て は 、 TONiC T101x RSLM /RELM 取り付 け ガ イ ド （ M-9653-9228 ） を参 照 し て く だ さ い。 上面の取 り 付 け面 M2.5 の 通し 穴 2 ヶ 所 、上面の取 り 付け 面か ら Ø3 × 深さ 2.75 の ザ グリ P と Q リ ミ ット ス イ ッ チ セ ン サーの 位 置 P リ ミ ッ ト の磁石 (A-9653-0138) 推奨取 り 付け 面 (ロ ー ル公差 ±0.5°) 0.08 13.5 8.75* 11 * 0.25 (ヨー 公 差 ±0.4°) 31 16 15 10 7.8 6.3 1.5 オ プ テ ィ カ ル セン ターラ イ ン （ イ ンク リ メン タ ル お よ びリ フ ァ レ ン ス マ ー ク ） 18 R>20 動的曲げ半径 R>10 静的曲げ半径 35 23 11.5 M2.5 取付通 し 穴 2 ヶ所 、 両側に Ø3 × 深さ 2.3 の ザ グリ セ ット ア ッ プ LED CAL/A GC LED 0.6 (ピ ッチ 公 差 ±1°) 29 22 取付高 さ 2.1 ±0.15 1.6 ( ク リ ッ プ/ ク ラ ン プ固定 ) 1.8 ( 接着固定 ) 最低 6 Ø4. 25 ±0.25 14.9 ± 0.2 3.7 3 3 4.15 4.25 10 13.8 Q リ ミ ッ ト の磁石 (A-9653-0139) ス ケ ー ルを固 定 し リ ー ドヘ ッ ド を 動か し た際の信号増加方向 ス ケ ー ル セ ン タ ー ラ インとオ プ テ ィ カ ル セン ターラ イ ン
SiGNUM
リードヘッドの取り付け図
寸法と公差 （単位 mm） * 取 り 付け た基材の表面が基準 。 =推 奨 最小捻 じ 込み長 さ 5 mm (ザ グリ含 み 8 mm )。 推奨締め付け ト ル ク 0.5 ～ 1.0 Nm 。 SiGNUM リ ー ドヘ ッ ドの 詳 し い 取 り 付 け 手 順 に つ い て は、 SiGNUM RSLM /RELM 取り付 け ガ イ ド（ M-9572-9113 ）を 参 照 し て く だ さ い 。 7.15 (ヨー 公 差 ± 0.4°) 5.8 2.5 15.5 15.5 11.7 固定通 し 穴 (M3 × 深 さ 6) 2 ヶ所 14 36 18 12 14 M3 固定通 し 穴 2 ヶ 所 、 両側に 深 さ 3 の ザ グリ = 0.32 (ピ ッチ 公 差 ± 0.5°) Ø 4. 7 ±0.1 3.8 オ プ テ ィ カ ル セン ターラ イ ン （ イ ンク リ メン タ ル お よ びリ フ ァ レ ン ス マ ー ク ） リ ミ ッ ト セ ン サーの 位 置 16.5 ス ケ ー ル セン ターラ イ ン と オ プ テ ィ カ ル セン ターラ イ ン 8 ± 0.25 14.9 ± 0.2 15.6 8.9 5.5 (ロ ー ル公差 ± 0.5°) 0.05 平均 6
*
0.25 10 取付高 さ 0.8 ± 0.08 1.6 ( ク リ ッ プ/ ク ラ ン プ固定 ) 1.8 ( 接着固定 ) R > 20 動的曲げ半径 R > 10 静的曲げ半径 最低 6.5 セ ット ア ッ プ LEDリファレンスマークの位置
外部検出器や物理的調整は不要です。 RELE: IN-TRAC リファレンス マークをスケールの端から 20 mm に配置 注： VIONiC または TONiC システムを使用する場合には、すべてのリファレンスマークを出力できるように リードヘッドをご注文いただく必要があります。 アクチュエータの磁石は不要です。 RELM: IN-TRAC リファレンス マークをスケールの中心に配置スケール上のリミット
SiGNUM
システム
バッキングペーパーに貼り付けられた状態のリミットマーカーを、ペアとして長さ10 mm、 20 mm、 50 mm で提供しております。 (A-9570-0139). 注： リミットを使用すると、測定長の表（2 ページ）に示したように測定長に影響が出ます。 注： Siインターフェースは、リミットが機能する物を選定頂く必要があります。 P リミット Q リミットVIONiC
および TONiC システム
（TONiC を図示）P リミット (10 mm, A-9653-0138)
リミットの磁石は、 長さ 10 mm、 20 mm、 50 mm のものをご利用いただくことができ、 バックプレートに両面テープを付けてお届けします。
注： リミットを使用すると、測定長の表（2 ページ）に示したように測定長に影響が出ます。
