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像の復元に適した符号化開口を設計した. 本稿では, この設計した符号化開口を適用して画像復元を行い, 位置合わせの精度を評価し, 推定した合焦画像が位置合わせ装置に必要十分な画質であることを示す.. 産業用装置の位置合わせ機能半導体や液晶, プリント基板の各種検査装置の検査工程において, 検査材料の

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Academic year: 2021

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図  6  各符号化開口を実装したときに撮影された PSF  当する.よって,物体面にはマイクロメータを設置し,μ m オーダーで光軸方向に移動できるようにして,±300μm の範囲で物体の撮影をできるようにした.負の方向は物体 面がレンズに近づく方向であり,正の方向は物体面がカメ ラから遠ざかる方向である.また,従来の絞りを設置する 位置には設計した符号化開口を設置できるように固定部を 設けた.  5.2  PSF の撮影方法  画像復元を行うとき, PSF が必要になる.この PSF はブ ラインドデコ

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