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TEM 像の解釈 ( ) 今野豊彦 a 東北大学金属材料研究所 キーワード : 透過電子顕微鏡 (TEM), 走査型透過電子顕微鏡 (STEM) 1. はじめに 透過電子顕微鏡 (TEM) は電子の粒子と波としての性質 をたくみに用いて物質の構造を解析する類まれな装置であ る. すなわちレンズ作用は

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Academic year: 2021

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図

図 5 に示した光線図からわかるように，仮に後焦点面に 置かれた対物しぼりを用いて透過波だけを選ぶと試料下面か ら出てきた透過波の強度分布が一次像面上で像となって現れ る．これが明視野像（ Bright Field image）だ．たとえば重い 原子で染色されたミトコンドリアや，軽い金属の内部に存在 する重い元素からなる析出相を通過する電子は相対的に非弾 性的に散乱される確率が高く，その領域の透過波の強度は弱 くなる．これは吸収ではないが透過波からするとあたかも電 図 5　ガウス光学系における光線図．物体か
図 17　 高 分 解 能 STEM 像 と HRTEM 像 の 比 較．（a）STEM- 較．（a）STEM-HAADF 像，（b）STEM-BF 像，and（c）HRTEM 像． そ れ ぞ れの像の左側が Cu マトリックス（fcc［100］入射入射），右側 が α-Cu 4 Ti 析出物．Ti 原子カラムの位置が HAADF 像では暗い 点 STEM-BF および HRTEM 像では明るい点として見えるのに 対し，Cu マトリックスはすべての像において Cu 原子カラム が明るいコントラストとして現

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