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* ホールプレートの校正法とそれによる座標測定機の性能評価 和合健 ** ** 池浩之 高精度座標測定機を使用して 環境温度に依存しない低熱膨張特性を有する低熱膨張セラミックス製ホールプレートへの目盛り付け方法を試み その不確かさを求めた さらに ホールプレートを利用した座標測定機の性能検査を行い

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Academic year: 2021

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図 4  使用したスタイラス
図 9  YZ 面の誤差  5-4  YZ 面の HP 測定  Forward+Backward 測定を繰り返し無しで行い、測定時 間は 20  分であった。スタイラスは図 8 に示す-X 方向横 向きの φ8 mm チップの赤色ルビーを使用した。  5-5  YZ 面の HP の測定での温度変動    測定中の温度の平均値は 19.3 ℃、変動幅は 0 ℃であっ た。YZ 面の測定では、HP の線膨張係数がほぼ 0  /℃で あるため温度補正は行わなかった。  5-6  実験結果及び考察    表 4 と

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