分析測定標準料金表
(平成20年1月)
料金について
1.掲載しました価格は、原則として1試料当たりの標準を示します。 なお消費税は含まれておりません。 2.次のような場合には料金を割引致します。 ①試料数が多い場合 ②長期間契約に基づく場合 3.次のような場合には、ご相談の上、割増料金を申し受けることがあります。 ①妨害物質等により規定の方法で分析できない場合 ②分析結果に対する詳細な考察を必要とする場合 ③特に急を要する場合 ④試料を引き取りに伺う場合 備考 1.分析をご依頼の節は分析申込書にご記入の上FAX等にてご連絡下さい。 2.試料は原則として、ご持参あるいはご送付いただきます。 3.ご報告納期は、標準的な機器分析の場合、試料受け取り後2週間以内です。目 次
Ⅰ.元素分析
1.プラズマ発光分光分析(ICP-AES)・・・・・・・・・・・・1 2.マイクロ波誘導質量分析(MIP-MS)・・・・・・・・・・・・2 3.プラズマ質量分析(ICP-MS)・・・・・・・・・・・・・・・2 4.原子吸光分析(AAS)・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・2 5.蛍光X線分析(XRF)・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・3 6.有機元素分析 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・3 7.重量分析・容量分析 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・3Ⅱ.クロマトグラフ分析
6.イオンクロマトグラフ分析(IC)・・・・・・・・・・・・・・・4 7.ガスクロマトグラフ分析(GC)・・・・・・・・・・・・・・・・5 8.ゲル浸透クロマトグラフ分析(GPC)・・・・・・・・・・・・・5Ⅲ.化合物構造解析
10.赤外分光分析(IR,FT-IR)・・・・・・・・・・・・・・・6 11.紫外・可視分光分析(UV・VIS)・・・・・・・・・・・・・・6 12.ウエハアナライザ(WTD-GC/MS)・・・・・・・・・・・・7 13.気中有機物分析(TCT-GC/MS)・・・・・・・・・・・・・7 14.X線回折(XD)・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・8 15.昇温脱離ガス分析(TDS)・・・・・・・・・・・・・・・・・・8Ⅳ.表面分析・局所分析
16.電子線マイクロアナリシス(EPMA)・・・・・・・・・・・・・9 17.オージェ電子分光分析(SAM)・・・・・・・・・・・・・・・11 18.二次イオン質量分析(SIMS)・・・・・・・・・・・・・・・12 19.X線光電子分光分析(XPS)・・・・・・・・・・・・・・・・13Ⅴ.形態観察
20.走査電子顕微鏡(SEM)・・・・・・・・・・・・・・・・・・14 21.透過電子顕微鏡(TEM)・・・・・・・・・・・・・・・・・・15 22.集束イオンビーム加工(FIB)・・・・・・・・・・・・・・・17 23.光学顕微鏡(OM)・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・17 24.写真撮影 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・17 -0-Ⅰ.元素分析
分 析 測 定 項 目
単価(単位:円) 備考 プラズマ発光分光分析 (ICP-AES) ●試料前処理 ・酸溶解(可溶性試料) ★2試料目より ・酸溶解(難溶性試料) ★2試料目より ・ろ過・洗浄 ・アルカリ融解 ・ 振とう抽出 ・灰化 ・切断 ・ 粉砕 ・ 加圧酸分解 ・有機物湿式分解 ・ マイクロ波溶解 ・ テフロン密封容器酸抽出 ・ 濃度調製 ●定性分析 ・水溶液1ppm以上指定成分 1試料/20元素まで ★追加1試料/同一系列ごとに ●半定量分析 ・1試料/20元素まで ★ 追加1試料/同一系列ごとに ●定量分析 ・ 1元素/1試料 ★追加1元素/同一試料または 同一系列試料ごとに 2~25元素目まで 26~50元素目まで 51元素目より ●定量分析(特殊溶媒測定) (有機溶媒測定、ふっ酸溶媒測定) ・ 1元素/1試料 ★追加1元素/同一試料または 同一系列試料ごとに 2~25元素目まで 26~50元素目まで 51元素目より ●定量分析(窒素パージ測定:S、P) 1元素/1試料 ★追加1元素/同一試料または 同一系列試料ごとに 2~25元素目まで 26~50元素目まで 51元素目より 10,000 5,000 20,000 7,000 5,000 15,000 5,000 5,000 5,000 5,000 20,000 20,000 20,000 12,000 3,000 15,000 10,000 20,000 15,000 8,000 5,000 3,000 2,000 10,000 7,000 5,000 4,000 10,000 7,000 5,000 4,000 -1-Ⅰ.元素分析(つづき)
分 析 測 定 項 目
単価(単位:円) 備考 プラズマ発光分光分析 (ICP-AES) ●水素化物法 (As,Se,Ge,Sb) ・1元素/1試料 ★追加1試料/同一元素 15,000 12,000 マイクロ波誘導質量分析 (MIP-MS) ●試料前処理 ・ クリーンルーム環境分析 ガス捕集器具準備 ★2箇所目より ・ 薬液中不純物分析 濃縮 ・ ウェハ表面微量金属分析(8インチ) 酸溶解(SiウエハHF溶解) ★2試料目より ・ ウェハ表面微量金属分析(12インチ) ・ ウェハ表面微量金属分析(不定形基板) ●定性分析 ●半定量分析 ●定量分析 ・ 1元素/1試料 ★追加1元素/同一試料または 同一系列試料ごとに 20,000 10,000 10,000 20,000 10,000 別途見積 別途見積 30,000 45,000 20,000 10,000 プラズマ質量分析 (ICP-MS) ●定量分析 ・ 1元素/1試料 ★追加1元素/同一試料または 同一系列試料ごとに ●その他特殊元素 20,000 10,000 別途見積 原子吸光分析 (AAS) ●フレーム法 ・1元素/1試料 ★追加1試料/同一元素ごとに ★2~10試料目まで ★11試料目より ●フレームレス法 ・1元素/1試料 ★追加1試料/同一元素 ●還元気化法 (Hg) ・1元素/1試料 ★追加1試料/同一元素 8,000 5,000 3,000 15,000 12,000 15,000 12,000 -2-Ⅰ.元素分析(つづき)
分 析 測 定 項 目
単価(単位:円) 備考 蛍光X線分析 (XRF-波長分散型) (XRF-エネルギー分散型) ●試料前処理 ・錠剤法 ・切断 ・粉砕 ●定性分析(原子番号9以上の元素) ・指定成分1元素/1試料 ★追加指定成分1元素/同一 試料ごとに ・未知試料 ●半定量分析(FP法)*1 1試料 ●定量分析 1元素/1試料 ●スクリーニング分析(RoHS指令*2物質) (Cd,Pb,Cr,Hg,Br) ★2試料目より 5,000 5,000 5,000 10,000 5,000 40,000 50,000 別途見積 20,000 10,000 有機元素分析 ●C,H,Nの定量分析 ・3成分/1試料(n=2)*3 20,000 重量分析 ●強熱残渣 ★2試料目より ●乾燥減量 ★2試料目より ●蒸発残留物 ★2試料目より ●その他 10,000 5,000 8,000 4,000 10,000 5,000 別途見積 容量分析 ●中和滴定 ★2試料目より ●その他 10,000 5,000 別途見積*1 FP法:Fundamental Parameter Method *2 RoHS:Restriction of Hazardous Substances *3 (n=2):2点測定を標準とする
Ⅱ.クロマトグラフ分析
分 析 測 定 項 目
単価(単位:円) 備考 イオンクロマトグラフ分析 (IC) ●試料前処理 ・溶液濃度調製(希釈) ・ 水抽出(超音波抽出) ・ 振とう抽出 ・ テフロン密封容器抽出 ・遠心分離 ・ ろ過 ・ 試料燃焼処理 ・酸素フラスコ燃焼 ★2試料目より ・その他(発生ガス捕集など) ●標準無機陰イオン (F-,Cl-,NO2-,Br-,NO3-,PO43-,SO42-)
・1試料7成分まで
★追加1試料(同一系列)ごとに ●標準無機陰イオン(濃縮法)
(F-,Cl-,NO
2-,Br-,NO3-,PO43-,SO42-)
・1試料7成分まで ★追加1試料(同一系列)ごとに ●標準無機陽イオン (1価:Li+,Na+,K+,NH 4+) ・1試料4成分まで ★追加1試料(同一系列)ごとに (2価:Ca2+,Mg2+) ・1 価陽イオンと同一試料追加2成分まで ★追加1試料(同一系列)ごとに ●標準有機酸イオン (HCOO-,CH 3COO-,C2H5COO-) ・1試料3成分まで ★追加1試料(同一系列)ごとに ●その他特殊イオン 3,000 5,000 5,000 12,000 3,000 5,000 10,000 10,000 8,000 別途見積 25,000 15,000 40,000 20,000 25,000 15,000 10,000 5,000 25,000 15,000 別途見積 -4-
Ⅱ.クロマトグラフ分析(つづき)
分 析 測 定 項 目
単価(単位:円) 備考 ガスクロマトグラフ分析 (GC) ●サンプリング(ガス捕集) ●試料前処理 ・濃縮(ロータリーエバポレータ) ・振とう抽出 ・ソックスレー抽出 ★2試料目より ●定性分析(無機ガスのみ) ・指定1成分/1試料 ★追加1試料/同一条件 ●定量分析(TCD,FID)*1 ・指定1成分/1試料まで ★追加1成分/同一試料ごとに ★ 追加1試料ごとに ●熱分解ガスクロマトグラフ分析 5,000 10,000 5,000 15,000 10,000 10,000 8,000 30,000 8,000 10,000 別途見積 ゲル浸透クロマトグラフ分析 (GPC) ●試料前処理 ・溶液濃度調製(希釈) ・溶解(THF)*2 ・振とう抽出 ・濾過 ●測定(成分数、ポリスチレン基準の相対分子量) ・1試料/1条件(THF) ★追加1試料ごとに 5,000 5,000 5,000 5,000 30,000 20,000*1 TCD:Thermal Conductivity Detector FID:Flame Ionization Detector *2 THF:Tetrahydrofuran
Ⅲ.化合物構造解析
分 析 測 定 項 目
単価(単位:円) 備考 赤外分光分析 (IR,FT-IR) ●試料前処理 KBr錠剤法 フィルム法 KRS板塗布法 振とう抽出 ソックスレー抽出 2試料目より 乾留(試験管) 濃縮(ヒーターなどによる) 濃縮(ロータリーエバポレータ) カラムクロマト分離(シリカゲルによる) 粉砕 削り取り 切断 ●測定1(フーリェ変換型装置) ・透過法・反射法 ・ATR法*・高感度反射法 ●測定2(顕微FT-IR法) ・マイクロサンプリング ・20μmφ以上(顕微鏡写真を含む) ・顕微高感度反射法 ●特別データ処理 ・差スペクトル,チャート拡大 ●データ解析(定量・図表作成) ●同定・解析 ・通常のもの ・検討を要するもの 5,000 3,000 3,000 5,000 15,000 10,000 3,000 5,000 10,000 別途見積 5,000 5,000 5,000 10,000 15,000 12,000 20,000 30,000 10,000 10,000 30,000 別途見積 紫外・可視分光分析 (UV・VIS) ●透過率測定 ・スペクトル測定(200~900nm) ★2試料目より ●積分球反射率測定 ・スペクトル測定(240~800nm) ★ 2試料目より ・その他 10,000 5,000 10,000 5,000 別途見積 * ATR法:Attenuated Total ReflectionⅢ.化合物構造解析(つづき)
分 析 測 定 項 目
単価(単位:円) 備考 ウエハアナライザ (WTD-GC/MS) ●前処理 ケース搬送 ●測定 ・1試料目 ・2試料目 ●半定量 ・30成分まで/試料 ・50成分まで/試料 ・追加25成分ごと ●定量 ・50成分まで/試料 ・指定1成分定量/試料 ●定性 ・10成分まで/試料 ・50成分まで/試料 ・追加1成分ごとに ●化合物分類 ・50成分まで/試料 5,000 25,000 15,000 25,000 30,000 5,000 30,000 1,000 20,000 60,000 10,000 100,000 TICピーク 面積測定法 気中有機物分析 (TCT-GC/MS) ●前処理 ・吸着管エージング ●サンプリング ●測定 ・ 1試料目 ・ 2試料目から ●半定量 ・ 10成分まで/試料 ・ 30成分まで/試料 ●定性 ・ 10成分まで/試料 ・ 30成分まで/試料 ●化合物分類 ・ 30成分まで/試料 12,000 8,000 20,000 10,000 15,000 30,000 10,000 25,000 120,000 -7-Ⅲ.化合物構造解析(つづき)
分 析 測 定 項 目
単価(単位:円) 備考 X線回折 (XD) ●試料前処理 ・粉砕 ●回折図形のみ ★2試料目より ●回折図形+解析 ・ 既知物質の結晶性、配向性 ★2試料目より ・ 結晶子径評価 ★2試料目より ・ 複雑な未知物質の同定 ★2試料目より ●その他 3,000 12,000 10,000 25,000 15,000 30,000 20,000 35,000 25,000 別途見積 昇温脱離ガス分析 (TDS) ●指定質量数分析(n=2)、マスフラグメント測定(n =2)、パイロスキャンモード測定(n=2) (1~200amu の指定質量数:8個まで, ステージ温度:80 ~ 1000℃) ・ 1~2試料目 ・ 3試料目 ・ n数追加ごとに ・ 追加元素1~7まで ●定性分析(n=2) ・ 出力指定質量数=5 個 ・ 出力質量数追加(質量数5個ごと) ●定量(H2のみ) ●解析 40,000 30,000 15,000 30,000 40,000 5,000 別途見積 別途見積 標準測定条件 (昇温レート 1℃/sec) 以外での測定 は別途見積 -8-Ⅳ.表面分析・局所分析
分 析 測 定 項 目
単価(単位:円) 備考 電子線マイクロアナリシス (EPMA) (波長分散型) ●試料前処理 ・試料調製(特殊切断等) ・包埋研磨 ★包埋または研磨各々単独 ・蒸着 ★2試料目より ・ 微細パターン断面研磨 ●定性分析1(スペクトル表示) ・1測定(n=2) ★ 同一視野追加1測定点 ●定性分析 2(半定量分析;B,C,N,O を除く) ●定性分析 3(精密測定) ・ 1元素/1測定点 ●表面形状像(二次電子像) ●組成像(反射電子像) ●面分析(特性X線像) ・1元素/1測定 ★同一視野追加1元素 ●定量分析(*1ZAF法) ・5元素まで/1測定(n=5) ★2測定目より1測定につき ★2試料目より ★追加1元素/同一測定点 3,000 20,000 13,000 5,000 3,000 別途見積 15,000 5,000 20,000 10,000 5,000 7,000 12,000 8,000 40,000 30,000 32,000 10,000 3試料目より 20%引 定量分析のみ 2試料目より -9-Ⅳ.表面分析・局所分析(つづき)
分 析 測 定 項 目
単価(単位:円) 備考 電子線マイクロアナリシス (EPMA) (波長分散型) ●線分析1(ステージスキャン) ・5 元素/1測定点 ★追加1元素/同一測定点 ●線分析2(ビームスキャン) ・5 元素/1測定点 ★ 追加1元素/同一測定点 ●面分析 (カラーマッピング) ・5 元素/1測定,X 軸/Y 軸=250 点/250 点 ★追加1元素/同一測定 ・5 元素/1測定, X 軸/Y 軸=400 点/400 点 ★追加1元素/同一測定 ・特殊な表示条件設定 ●P&B測定*2 ・5 元素/1測定点(n = 5) ★追加1元素/同一測定点 15,000 6,000 20,000 8,000 60,000 20,000 100,000 30,000 別途見積 20,000 8,000 3試料目より 20%引 定量分析のみ *1 ZAF:Z(原子番号),Absorption (吸収),Fluorescence (蛍光) の各補正係数を求めて定量を実施 *2 P&B:Peak & Background -10-Ⅳ.表面分析・局所分析(つづき)
分 析 測 定 項 目
単価(単位:円) 備考 オージェ電子分光分析 (SAM) ●試料前処理 ・ 試料調製 ・ 切断 ・ 洗浄 ●表面形状像 ●定性分析 ★同一視野追加1測定点 ★同一試料イオンエッチング後 ●深さ方向の元素分布(4元素まで) ・30分まで ★追加1元素 ・60分まで ★追加1元素 ・15分以下 ・60分以上 ●線分析(4元素まで) ★追加1元素 ●面分析(3元素まで) ★追加1元素 ●バルク定量分析 3,000 5,000 3,000 5,000 13,000 10,000 10,000 40,000 10,000 60,000 15,000 別途見積 別途見積 40,000 10,000 40,000 10,000 別途見積 -11-Ⅳ.表面分析・局所分析(つづき)
分 析 測 定 項 目
単価(単位:円) 備考 二次イオン質量分析 (SIMS) ●試料前処理 ・試料調製 ・切断 ・洗浄 ●質量スペクトル測定(定性分析) ・1次イオン源1種による測定(n=2) ・高質量分解能スペクトル ●深さ方向の元素分布(4元素まで) 1次イオン源1種による測定(n=2) ・15分まで(Si換算 2000Å:O2+) 追加1元素 ・30分まで 追加1元素 ・30分以上 ・高質量分解能測定(1元素当たり) ●線分析 ・同時測定可能な4元素、 長さ1mm までの1測定 ●バルク定量分析 ●画像処理解析 ・RAE分析 ・二次イオン像 ・デプスプロファイル ・ 断面プロファイル ●絶縁物分析 3,000 5,000 3,000 70,000 +20,000 70,000 7,000 100,000 10,000 別途見積 +20,000 80,000 別途見積 別途見積 別途見積 別途見積 別途見積 +20,000 -12-Ⅳ.表面分析・局所分析(つづき)
分 析 測 定 項 目
単価(単位:円) 備考 X線光電子分光分析 (XPS) ●試料前処理 ・試料調製 ・切断 ・洗浄 ●定性分析 ・ワイドスキャン ●精密測定(ナロースキャン) ・ワイドスキャン測定後1元素 ・イオンエッチング後1元素 ・試料傾斜測定 ●化学結合状態分析 ・ピーク分離 ●深さ方向分析(Si 換算 1000Åまで) (4元素/1試料) ・4元素4水準まで ★追加1元素/4水準まで ★追加1水準 3,000 5,000 3,000 20,000 8,000 10,000 12,000 別途見積 70,000 15,000 15,000 -13-Ⅴ.形態観察
分 析 測 定 項 目
単価(単位:円) 備考 走査電子顕微鏡 (SEM) ●試料前処理1(通常測定) ・試料調製 ・包埋 ・研磨 ・蒸着 ★ 2試料目より ・フラットイオンミリング ・微細パターン断面研磨 ●試料前処理2(高分解能観察) ・試料調製 ・切断 ・蒸着 ★2試料目より ・包埋 ・研磨 ●測定1(通常) ・倍率2×104まで ・倍率2×104~8×104 ★1視野増すごとに ●測定2(高分解能観察) ・倍率1×105まで ・倍率1×105以上 ★1視野増すごとに ●測定3(絶縁物・極表面観察) ・倍率2×104まで ・倍率2×104~8×104 ★1視野増すごとに ●組成像(反射電子像) ●定性分析(EDX)* ★同一視野追加1測定点 ●線分析(EDX) ・2元素/1測定点 ★追加1元素/同一測定点 ●面分析(特性X線像(EDX)) ・1元素/1測定 ★同一視野追加1元素 3,000 20,000 5,000 3,000 10,000 別途見積 5,000 10,000 8,000 5,000 30,000 7,000 10,000 5,000 15,000 20,000 10,000 10,000 15,000 7,000 7,000 7,500 5,000 20,000 8,000 12,000 8,000 3試料目より 20%引*EDX:Energy Dispersive X-ray Spectrometer
Ⅴ.形態観察(つづき)
分 析 測 定 項 目
単価(単位:円) 備考 透過電子顕微鏡 (TEM) ●試料前処理 ●分散法 ・標準 ・検討を要するもの ●レプリカ法 ●イオンエッチング法 ・バルク試料 ・薄膜平面試料 ・薄膜断面試料 ★単層膜 ★標準 ★検討を要するもの ★多層膜 ★半導体・セラミックス系 ★金属層を含むもの ★検討を要するもの ★デバイス構造 ★半導体デバイス ★金属層を含むもの ★検討を要するもの ●化学研磨法 ・研磨条件が確立されているもの ・検討を要するもの ●電解研磨法 ・研磨条件が確立されているもの ・検討を要するもの ●超薄切片法 30,000 別途見積 30,000 100,000 120,000 100,000 別途見積 150,000 180,000 別途見積 180,000 210,000 別途見積 50,000 別途見積 50,000 別途見積 別途見積 -15-Ⅴ.形態観察(つづき)
分 析 測 定 項 目
単価(単位:円) 備考 透過電子顕微鏡(つづき) (TEM) ●撮影 ●明視野法 ・標準 ★追加1視野につき ●暗視野法 ・標準 ・特殊観察(弱ビーム法等) ★追加1視野につき ●電子線回折 ・反射法 ・透過法 ★制限視野回折 ★極微電子線回折 ★追加1視野につき ★極微電子線回折(特定微小領域) ★追加1視野につき ●格子像観察 ・2波格子像 ・多波格子像 ★追加1視野につき ●写真焼増 ●分析 ●点分析(定性分析) ★追加1測定点 ●線分析(4元素まで) ★追加1元素 ●面分析(3元素まで) ★追加1元素 35,000 10,000 35,000 60,000 10,000 25,000 20,000 40,000 10,000 45,000 35,000 40,000 80,000 35,000 1,000 30,000 15,000 30,000 10,000 40,000 10,000 -16-Ⅴ.形態観察(つづき)
分 析 測 定 項 目
単価(単位:円) 備考 集束イオンビーム加工 (FIB) ●イオンビーム加工 ・ 断面観察用試料作製(3hr 以内) ★3hr 以上 ・透過電子顕微鏡用試料作製 ・透過電子顕微鏡用試料作製 (ダイシング用前処理含) ・透過電子顕微鏡用試料作製 (再加工可能ピックアップ用) ●ダイシング ●ピックアップ ●観察(SIM像) ・1視野 ★追加1視野 60,000 別途見積 120,000 150,000 180,000 30,000 30,000 10,000 8,000 光学顕微鏡 (OM) ●試料前処理 ・切断 ・包埋 ・研磨 ・エッチング(化学的) ★2試料目より ・エッチング(電解) ★2試料目より ●観察 ・1視野(400倍まで) ★追加1視野(400倍まで) 5,000 20,000 10,000 5,000 20,000 10,000 5,000 3,000 写真撮影 ●接写 ・1視野 ★追加1視野増すごとに 5,000 3,000 -17-様式3