Längenmessgeräte für gesteuerte Werkzeugmaschinen

NC工作機械向け

製品の詳しい情報は、弊社へお問い合わせくだ さい。 カタログ: • オープンタイプリニアエンコーダ • ベアリング内蔵角度エンコーダ • ベアリングを内蔵しない角度エンコーダ • ロータリエンコーダ • インターフェースユニット • 工作機械精度評価用計測装置 技術情報: • ハイデンハインエンコーダのインターフェース • 送り軸の精度 • 安全対応の位置計測システム • EnDat2.2-位置エンコーダのための双方向 通信 • DDモータ用エンコーダ このカタログの発行により、前版カタログとの 差し替えをお願いいたします。 ハイデンハインへの注文は契約時の最新カ タログを御覧ください。 ISO、IEC、ENなどの規格はカタログに明記 されているものに限ります。 関連資料: 各インターフェースおよび電気的仕様に関し ての詳しい説明が、カタログ  ハイデンハインエンコーダのインターフェース に記載されています。

概要 リニアエンコーダ

₄

  選択の手引き

₆

  技術的特徴と取付け情報 測定の原理 スケール本体

₈

  アブソリュート測定方式

₈

  インクリメンタル測定方式

₉

  光電走査

₁₀

  測定精度

₁₂

  シリーズ別エンコーダの取付け

₁₄

  機械的仕様

₁₈

  機能安全

₂₀

  仕様 リニアエンコーダ   シリーズもしくは型式      アブソリュート位置測定用 LC 400 シリーズ

₂₂

  LC 100 シリーズ

₂₆

  長い測定長での アブソリュート位置測定用  LC 200 シリーズ

₃₀

    非常に高い繰り返し精度の インクリメンタル測定用 LF 485

₃₂

  LF 185

₃₄

  インクリメンタル測定用 LS 400 シリーズ

₃₆

  LS 100 シリーズ

₃₈

  長い測定長でのインクリメンタル測定用 LB 382 - シングルセクション

₄₀

  LB 382 - マルチセクション

₄₂

  電気的接続 インクリメンタル信号 » 1 VPP

44

   TTL

₄₅

  位置値 EnDat

₄₆

  ファナック、三菱、シーメンス、パナソニック

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  ケーブルと接続部品

₄₉

  診断・検査機器

₅₈

 

目次

NC工作機械向けリニアエンコーダ

NC工作機械用のハイデンハイン製リニアエン コーダは、様々な環境でお使いいただけます。 このエンコーダは、フライス盤、マシニングセンタ、 ボール盤、旋盤、研削盤のようなサーボループ の軸を持つ工作機械や装置に最適です。 リニアエンコーダの動特性、高い許容走査速度、 測定方向への加速は、リニアモータや高い動特 性のボールネジ駆動軸での使用に適しています。 ハイデンハインでは、下記のアプリケーション向 けのリニアエンコーダも用意しております。 • マニュアル操作の工作機械 • プレス及び曲げ加工機 • 自動制御及び製造機器 リニアエンコーダの長所 スライド位置の測定にリニアエンコーダが使用さ れる場合、位置制御ループは送り機構全体を 含みます。これがClosed Loop運転と呼ばれる ものです。機械から生じる移動誤差は、リニアエ ンコーダによって検出され、制御装置によって 訂正できます。これにより、次のように考えられ る多くの誤差原因を除去することができます。 • ボールネジの熱膨張による位置決め誤差 • 方向反転誤差 • ボールネジのピッチ誤差による動的誤差 このように、リニアエンコーダは高精度位置決め と高速加工の要求を満たす機械に必要不可欠 と言えます。 機械的デザイン サーボ制御の工作機械向けリニアエンコーダは、 シールドタイプのエンコーダです。アルミニウム製 のハウジングがスケール、走査キャリッジ、ガイド を切粉、ダスト、飛散水から保護します。下向き に配置された弾力性のあるシーリングリップが、 ハウジングの開口部をふさいでいます。 走査キャリッジは、スケールユニット内ではほと んど摩擦なく移動します。カップリングが、走査 キャリッジを外部の取付けブロックと連結し、ス ケールとマシンガイドの間での避けれないミスア ライメントを補正する働きをします。 スケールと取付けブロック間の側面と軸方向の 許容オフセットは、エンコーダのタイプに応じて ±0.2 mmから±0.3 mmまでです。 関連資料: 詳細については、弊社へお問い合わせくだ さい。

走査キャリッジ 取付けブロック シーリングリップ 受光素子 DIADUR スケール 光源 熱特性 周囲が囲われた環境で、迅速な機械加工をお こなう場合、機械の作動している内部では温度 が常に上昇することになります。そのため、使用 するリニアエンコーダの熱特性は、機械の加工 精度を決める重要な要素となります。 通常、リニアエンコーダの熱特性は、工作物や 測定物の熱特性と一致するものが選択されま す。温度変化があった際には、リニアエンコーダ は定められた再現性の通りに伸縮しなければ なりません。ハイデンハインのリニアエンコーダは このように設計されています。 ハイデンハインリニアエンコーダの目盛スケール は、製品により熱膨張係数が異なります。 (仕様 を参照ください) このためアプリケーションに最適な熱特性を持つ リニアエンコーダを選択することができます。 動特性 機械の効率と性能の向上には、送り速度と加速 度を常に高める必要があります。もちろん、機械 の精度も妥協してはなりません。速くしかも正確 な送り動作をするためには、使用されるリニア エンコーダはもちろん、厳密な機械設計も非常 に重要になります。 ハイデンハイン製のリニアエンコーダの特質は、 測定方向における高い剛性にあります。これは 工作機械が高い経路精度を保つための必須 条件です。さらに、可動部分の質量が小さく設計 されていることも、すぐれた動特性を実現する ための要因となっています。 アベイラビリティ 工作機械の軸はとても長い距離を動きます。 (一般的な値は、3年間で10 000km) したがって、エンコーダは丈夫で長期にわたって 安定性を持つことが重要です。それにより、機械 の一定のアベイラビリティが保証されるからです。 ハイデンハインのリニアエンコーダには、長年ご 使用になられても適切な動作をするような設計 が細部に施されています。非接触でスケール本 体を光電走査する測定原理と、スケールハウジ ング内にある走査キャリッジのボールベアリング･ ガイドにより、製品寿命を伸ばすことが可能です。 この密閉性、特有の走査原理、そして必要に応 じて圧縮空気を注入することで、リニアエンコー ダは汚れに強くなります。完全なシールドの設計 は、高度な電気的ノイズ耐性をお約束します。 概要

断面 精度等級 内挿精度 (最大) 測定長 ML 信号周期 インターフェース 型式 ページ アブソリュート位置値測定 • ガラススケール ± 5 µm± 3 µm ±0.1 µm 70 mm ～ 1240 mm マウンティングスパー またはクランプ付 :  70 mm ～ 2040 mm – EnDat 2.2 LC 4152) 22 20 µm EnDat 2.2 (» 1 VPP 付) LC 485 – DRIVE-CLiQ LC 495 S 24 ファナックÞiインタフェース LC 495 F 三菱 LC 495 M パナソニック LC 495 P 高い繰り返し精度用の インクリメンタル・リニア測定 • スチールスケール • 信号周期が小さい ± 5 µm ± 3 µm ± 0.04 µm 50 mm ～ 1220 mm 4 µm » 1 VPP LF 485 32 インクリメンタル・リニア測定 • ガラススケール ± 5 µm± 3 µm ± 0.2 µm 70 mm ～ 1240 mm マウンティングスパー付:  70 mm ～ 2040 mm 20 µm » 1 VPP LS 487 36 –  TTL LS 477 アブソリュート位置値測定 • ガラススケール ± 5 µm± 3 µm ±0.1 µm 1) _{140 mm ～} 4240 mm – EnDat 2.2 LC 115 2) ₂₆ 20 µm EnDat 2.2 (» 1 VPP 付) LC 185 – DRIVE-CLiQ LC 195 S 28 ファナックÞiインタフェース LC 195 F 三菱 LC 195 M パナソニック LC 195 P 長尺用 アブソリュート位置値測定 • スチールスケールテープ ± 5 µm ±0.4 µm 3240 mm ～ 28 040 mm – EnDat 2.2 LC 211 30 40 µm EnDat 2.2 (» 1 VPP 付) LC 281 – ファナックÞiインタフェース LC 291 F 三菱 LC 291 M 高い繰り返し精度用の インクリメンタル・リニア測定 • スチールスケール • 信号周期が小さい ± 3 µm ± 2 µm ± 0.04 µm 140 mm ～ 3040 mm 4 µm » 1 VPP LF 185 34 インクリメンタル・リニア測定 • ガラススケール ± 5 µm± 3 µm ± 0.2 µm 140 mm ～ 3040 mm 20 µm » 1 VPP LS 187 38 –  TTL LS 177 長尺用 インクリメンタル・リニア測定 • スチールスケールテープ ± 5 µm ±0.8 µm 440 mm ～ 30 040 mm 測定長がこれ以上の場合は お問い合わせください (ただし、最長72 040 mm) 40 µm » 1 VPP LB 382 40 1) _{測定長3040 mm以上の場合:目盛接合部において±0.4 µm (約3100 mmの位置)} 2) _{EIB 3391 Yを経由して安川インターフェースに接続可能}

選択の手引き

小型ハウジングのリニアエンコーダ

小型スケールハウジングのリニアエンコーダは、 限られた設置スペースに適した設計になって います。マウンティングスパーやクランプを使用 して取付けた場合、より測定長の長いものが利 用でき、許容加速度も高くなります。

標準型ハウジングのリニアエンコーダ

標準型スケールハウジングのリニアエンコーダ は、堅牢性と高耐振性、長尺測定を特徴として います。走査キャリッジと取付けブロックの連結 部は“斜め”になっているため、シーリングリップ 部分が垂直下方向へ向けられるよう設計され ており、ハウジングの取付けが縦位置でも横位 置でも同じ保護等級を満たします。

LF 485 LS 487 LC 415 LF 185 LC 115 LC 211 断面 精度等級 内挿精度 (最大) 測定長 ML 信号周期 インターフェース 型式 ページ アブソリュート位置値測定 • ガラススケール ± 5 µm± 3 µm ±0.1 µm 70 mm ～ 1240 mm マウンティングスパー またはクランプ付 :  70 mm ～ 2040 mm – EnDat 2.2 LC 4152) 22 20 µm EnDat 2.2 (» 1 VPP 付) LC 485 – DRIVE-CLiQ LC 495 S 24 ファナックÞiインタフェース LC 495 F 三菱 LC 495 M パナソニック LC 495 P 高い繰り返し精度用の インクリメンタル・リニア測定 • スチールスケール • 信号周期が小さい ± 5 µm ± 3 µm ± 0.04 µm 50 mm ～ 1220 mm 4 µm » 1 VPP LF 485 32 インクリメンタル・リニア測定 • ガラススケール ± 5 µm± 3 µm ± 0.2 µm 70 mm ～ 1240 mm マウンティングスパー付:  70 mm ～ 2040 mm 20 µm » 1 VPP LS 487 36 –  TTL LS 477 アブソリュート位置値測定 • ガラススケール ± 5 µm± 3 µm ±0.1 µm 1) _{140 mm ～} 4240 mm – EnDat 2.2 LC 115 2) ₂₆ 20 µm EnDat 2.2 (» 1 VPP 付) LC 185 – DRIVE-CLiQ LC 195 S 28 ファナックÞiインタフェース LC 195 F 三菱 LC 195 M パナソニック LC 195 P 長尺用 アブソリュート位置値測定 • スチールスケールテープ ± 5 µm ±0.4 µm 3240 mm ～ 28 040 mm – EnDat 2.2 LC 211 30 40 µm EnDat 2.2 (» 1 VPP 付) LC 281 – ファナックÞiインタフェース LC 291 F 三菱 LC 291 M 高い繰り返し精度用の インクリメンタル・リニア測定 • スチールスケール • 信号周期が小さい ± 3 µm ± 2 µm ± 0.04 µm 140 mm ～ 3040 mm 4 µm » 1 VPP LF 185 34 インクリメンタル・リニア測定 • ガラススケール ± 5 µm± 3 µm ± 0.2 µm 140 mm ～ 3040 mm 20 µm » 1 VPP LS 187 38 –  TTL LS 177 長尺用 インクリメンタル・リニア測定 • スチールスケールテープ ± 5 µm ±0.8 µm 440 mm ～ 30 040 mm 測定長がこれ以上の場合は お問い合わせください 40 µm » 1 VPP LB 382 40

アブソリュート測定方式

アブソリュート測定方式では、電源をONすると すぐにエンコーダからの位置情報を入手でき、 また後続電子部によって随時呼び出すことが 可能です。原点位置を探すために軸を移動さ せる必要はありません。そのアブソリュート位置 値情報は、連続したアブソリュートコード構造と して形成されたスケール目盛から読まれます。 独立したインクリメンタルトラックは、位置値用に 内挿されると同時に、有効なインクリメンタル信 号を発生させるために使用されます。 補助的インクリメンタルトラック付きアブソリュートコード構造 (例:LC 485) アブソリュートリニアエンコーダの目盛

測定の原理

スケール本体

ハイデンハインエンコーダは光学走査方式を採 用しており、格子構造で形成される目盛をスケー ル本体に使用しています。 これらの目盛は、ガラスまたはスチール上に精 密に形成されます。長尺測定用のスケールに は、スチールテープが使われています。 ハイデンハインは特別に開発された各種フォトリソ グラフィー製法により精密目盛を製造しています。 • AURODUR: 金メッキされたスチールテープにエッチングに より通常40 µmの目盛を構成 • METALLUR: 金の表面に汚れに耐性を持った通常20 µm の金属の目盛を構成 • DIADUR: ガラス表面上の極めて頑強なクロムライン  (目盛周期:通常20 µm)  もしくはガラス表面上の三次元クロム構造  (目盛周期:通常8 µm) • SUPRADUR: 汚れに対して特に強い平面構造の光学三次 元位相格子目盛、目盛周期は通常8 µmま たはそれ以下 • OPTODUR: 特に高い反射率を持つ平面構造の光学三次 元位相格子目盛、目盛周期は通常2 µm以下 これらの各製法は、精巧かつ均一に極めて微細 な格子間隔を形成することができます。これらの 格子は鮮明なエッジを形成しています。光電走 査方式とともにこの鮮明なエッジが高い品質の 出力信号を得る条件となります。 ハイデンハインは、独自の製造技術により高精度 なマスター目盛を製造しています。

インクリメンタル測定方式

インクリメンタル測定方式では、目盛は周期的 な構造になっています。位置情報は、個々の基 点からの増加量(測定ピッチ数)をカウントする ことによって得られます。ただし、測定上の絶対 位置を確立するためには、絶対的となる基準が 必要となります。 その絶対的な基準を確立するため、スケール またはスケールテープには、原点を備えた補助 トラックが設けられています。絶対位置を確立 することのできる原点は、正確に1信号周期分に 同期するよう作られています。 このように絶対的な基準を確立するためには、 原点を走査する必要があります。 ある状況においては、原点を見つけるために、 測定長全長を通過させる必要があります。その ような「原点復帰」を迅速に、かつ容易に行うた めに、多くのエンコーダでは、絶対番地化原点 (数学的アルゴリズムに従って個々に間隔を設 けた多重原点)を用意しています。隣接する2つ の原点を通過、すなわち数ミリの移動のみで、 後続電子機器では絶対的な基準点を見つける ことができます。(下表参照) 絶対番地化原点付きリニアエンコーダは、型式 名の後に「C」を付けています。 (例: LS 487C) 絶対番地化原点を使用する場合、絶対的な 基準は2つの原点間の信号周期をカウントする ことにより、以下の式を使用して算出されます。 ここで P1 = (abs R–sgn R–1) x N + (sgn R–sgn D) x abs M_{2 2} RR R = 2 x MRR–N 記号の意味: P1  =  最初に通過した原点の位置  (信号周期で表記) abs  = アブソリュート値 sgn  =  サイン関数 (“+1” または “–1”) MRR =  通過した原点間の信号周期の数 N  =  2つの原点の間の基本信号周期の数 (下表参照) D  =  移動方向 (+1 または –1)。  走査ユニットが右方向(正しく取付けられ ている場合)へ移動する場合は+1。 インクリメンタルリニアエンコーダの目盛 信号周期 基本信号周期の数N 最大移動距離 LF 4 µm 5000 20 mm LS 20 µm 1000 20 mm LB 40 µm 2000 80 mm 技術的特徴と取付け 情報

光電走査

ほとんどのハイデンハインのエンコーダでは、光 電走査方式を使用しています。スケール本体 への光電走査は非接触で摩耗がありません。 光電走査では、数µm幅の極めて細い目盛でも 信号検出が行えるよう設計されており、非常に 小さい信号周期の出力信号を生成します。 スケール本体の格子間隔が微細であるほど、 光の回折は大きくなります。ハイデンハインでは、 この回折の有無により、二種類の走査方式を 使用しています。 • 投影走査方式 (格子間隔20～40 µmに適用) • 干渉走査方式 ( 例えば、格子間隔8 µm以下の微細目盛に 適用) 投影走査方式 投影走査方式は、格子間隔の等しい2つの目盛 格子(スケールと走査レチクル)を相対的に移動 させながら光を投射し、発生する投影光を信号 とする方式です。走査レチクル側の目盛は、透明 な材質上に付けられますが、ディスク側の目盛 は透明材質(透過型)か、反射材質上(反射型) に付けられます。 平行な光が格子を通過すると、特定の間隔で 明るい面と暗い面が投影されます。そこに同じ 格子間隔を持つ相手格子(走査板側)が置かれ ています。2つの格子が互いに相対移動すると、 入射光は変調されます。目盛の無い部分が揃 うと、光は通過します。一方の格子の目盛が他 方の目盛の無い部分に一致すると光は通過し ません。投影光を受ける複数の受光素子はこ れら光の強さの変化を、電気信号(出力信号) に変換します。走査レチクルの格子は、出力信 号が正弦波波形となるように作られています。 格子構造の格子間隔が細かいほど、走査レチク ルとスケール間の距離は狭くなり、公差も厳しく なります。 リニアエンコーダLC、LS、LBは、投影走査方式 に基づいて動作しています。 投影走査方式 LED光源 スケール本体 コンデンサレンズ 走査レチクル 受光素子

干渉走査方式 干渉走査方式では、微細目盛に照射された光 の回折と干渉を利用して変位を検出する信号を 作り出します。 スケール本体には高さ0.2 µmの段状の格子が 平坦な面に施されています。 走査レチクル(スケールと同じ格子間隔を持つ透 明な位相格子)は、そのスケール本体の正面に あります。 光が走査レチクルを通過すると、ほぼ同等の光 度を持つ反射回折次数–1、0、+1の3つの部分 波に回折されます。その部分波はさらにスケー ルにより回折され、反射回折次数+1と–1として 検出されます。これらの部分波は再び走査レチ クルの位相格子で回折干渉し、3つの位相差が ある波が作られます。 これらは異なる角度で走査レチクルを透過し、 受光素子がこれら光の強さの変化を電気信号 に変換します。 スケールと走査レチクルの相対移動によって、 回折された部分波の移動が得られます。格子 が1間隔分移動すると、次数1の波は1波長分、 正方向に移動し、次数–1の波は1波長分、負方 向に移動します。2つの波は、格子を出る時に 互いに干渉するので、相対的に波長2つ分位相 シフトすることになります。この結果、1格子間隔 分の相対移動から2信号周期分の位相シフトが 生じることになります。 干渉走査方式は、格子間隔が8 µm、4 µm、 それより微細のエンコーダに採用されています。 その走査信号は基本波以外の調波をほとんど 含まないため、高倍率で内挿できます。そのた め、これらのエンコーダは、高分解能および高 精度の要求を満たすことができます。 干渉走査方式に従って動作するシールドタイプ リニアエンコーダはLFという名称が与えられて います。 LED光源 コンデンサレンズ 走査レチクル 受光素子 干渉走査方式 (光学概念図) C  格子間隔 y  走査レチクルを通過する時の光波の位相シフト   スケールの移動Xによる光波の位相シフト

長さ測定の精度は、主に次の要因により決定 されます。 • 格子目盛の品質 • 信号走査の品質 • 信号処理回路の品質 • 走査ユニットが移動するマシンガイド面からの 誤差 比較的長い移動距離(例えば測定長全体)に わたる位置誤差と1信号周期内の内挿精度と は区別されます。 測定範囲にわたる位置誤差 シールドタイプリニアエンコーダの精度は、精度 等級として規定され、次のように定義されます。 測定長の任意区間(最長1 m)において、測定 グラフの位置誤差の最大値Fは、精度等級±a の範囲内にあります。この値(F)は、最終検査で 確認され、精度表上に記載されます。 シールドタイプリニアエンコーダの場合、この値(F) は走査ユニットを含むスケール全体に当てはま り、これをシステム精度と呼びます。 1信号周期内の内挿精度 1信号周期内の内挿精度は、エンコーダの信号 周期と、格子目盛および信号走査の品質によっ て決定されます。どの測定位置においても、その 値は、通常、信号周期の±0.5 %から±2 %の間 となります。(6ページの選択の手引きを参照く ださい) 信号周期が細かければ、1信号周期内の内挿 精度は小さくなります。これらは等速制御や低速 制御の際、極めて重要な要素となり、加工表面 や加工部品の品質に大きく影響します。 測定長ML全体にわたっての位置誤差 a 1信号周期内の 内挿精度 1信号周期内の内挿精度 u 信号周期 360 °elec.

測定精度

位置誤差  位置 位置誤差  信号レベ ル  位置誤差 [µm] 位置 [mm] LFシリーズの1信号周期内の内挿精度(測定長70 mm)

すべてのハイデンハイン製リニアエンコーダは、 出荷前に位置決め精度と機能が検査されます。 位置誤差は両方向に走査して測定され、平均 の曲線が精度表に示されます。 製造者発行検査証明書に各エンコーダのシス テム精度が記載されています。検定標準は、 公認の(ドイツ)国内規格または国際規格に合致 するトレーサビリティ(ISO 9001に準拠)が確保 されていることを保証するものです。 カタログに記載しているLC、LF、LSの各シリーズ については、精度表に測定長全体にて確認した 位置誤差だけでなく、各測定パラメータや校正 時の不確定性も記載されます。 温度範囲 リニアエンコーダの検定は、20 °Cの基準温度 において行われます。校正証明書に記載のシス テム精度は、この温度において定めたものです。 使用温度範囲は、リニアエンコーダが正しく機能 する周囲温度範囲を表します。 保存温度範囲 –20 °C ～ 70 °Cは、梱包状態 の製品に該当します。測定長3240 mm以上に 関しては、LC 1x5の許容保存温度範囲は  –10 °C ～ 50 °Cに制限されます。 例

// 0.1 F LF 485 LC 415 LS 487

シリーズ別エンコーダの取付け

小型ハウジングのリニアエンコーダ

小型ハウジングタイプのLC、LF、LSシリーズは、 特に激しい動きが要求される場合には、その全 長にわたって機械表面に取付けなければなりま せん。マウンティングスパーやクランプ(LC 4x5 のみ)を使用して取付けた場合、より測定長の 長いものが利用でき、さらに高い振動負荷が可 能になります。 小型ハウジングのリニアエンコーダは、全て取付 け寸法が同じという特長があります。このため、 例えば、インクリメンタルエンコーダのLSもしくは LFをアブソリュートエンコーダLCに置換えること も可能になります。(ただし、LFはLC/LSより測定 長が20 mm短くなることにご注意ください。) さらに、LC、LF、LSは、共通のマウンティングス パーを使用することも可能です。 エンコーダは、シーリングリップが下方向きにな るか、あるいは飛散水から避けるように取付けて ください。 (18ページの機械的仕様 の項を参照ください) 熱特性 リニアエンコーダは、2個のM8ねじを使ってしっ かりと固定されるので、それ自体で取付け表面 に充分適応できます。マウンティングスパーを 使って取付ける場合、エンコーダは、取付け面 へ中心点で固定されます。中心固定点以外の 固定点は熱膨張による伸縮を吸収する構造と なっており、熱特性を確実に再現可能にします。 スチールのベースに目盛を付けたLF 485の熱 膨張係数は、鋳鉄またはスチールの取付け表 面と同じ数値です。 取付け ハイデンハインのシールドリニアエンコーダの取 付けはとても簡単です。したがって、あとはスケー ルユニットを数箇所でマシンガイド面にあわせる だけ取付けが完了します。スケールを合わせる のに固定面または固定ピンを使用することもで きます。スケールユニットと走査ユニットの間の ギャップと側面の公差は、あらかじめ輸送安全 具によって適切に設定されています。スペース が不足していて輸送安全具を取付け前に取り 外さなければならない場合には、取付けゲージ によってスケールユニットと走査ユニットの間の ギャップを簡単で正確に設定できます。側面の 公差も確実に保ってください。 輸送安全具

x x 色 ID 取付けゲージ 1.0 mm 灰 737748-01 最大テストゲージ 1.3 mm 赤 737748-02 最小テストゲージ 0.7 mm 青 737748-03 アクセサリ(別売): 小型ハウジングタイプリニアエンコーダ用 取付けおよびテストゲージ 取付けゲージは、輸送安全具を取付け前に取 り外さなければならない場合に、スケールユニッ トと走査ユニットの間のギャップを設定するため に使用します。テストゲージは、取付けたリニア エンコーダのギャップを素早く簡単にチェックす ることができます。 2個のM8ねじを使用してスケールユニットを平 面に取付ける標準的な方法の他にも、取付け 方法があります。 マウンティングスパーを使用した取付け マウンティングスパーの使用は、エンコーダの取 付け時に非常に有効です。組付け時、マウンティ ングスパーは機械の構成部品のように取付け ることができるので、スケール自体は最終組付 け時にクランプするだけで済みます。したがって、 客先工程内での修理の際にも、簡単に交換で きます。620 mm以上の測定長で激しい動きを するアプリケーションには、マウンティングスパー の使用をお勧めします。測定長が1240 mm以 上の場合には、マウンティングスパーが常に必 要になります。 マウンティングスパーMSL 41には、固定に必要 な部品が含まれています。標準エンドブロック、 短エンドブロック付、両方のエンコーダに対応し ています。LC 4x5、LF 4x5そしてLS 4x7は、エ ンコーダの表裏どちらの面も取付けることができ るため、ケーブル方向も左右両方向に向けるこ とができます。マウンティングスパーMSL 41は、 別売品です。 取付け補助具をマウンティングスパーに固定す ることにより、最適な走査ユニットの取付け状態 を模擬することが可能です。この補助具に従っ て調整することにより、簡単に走査ユニットを取 付け面に合わせることができます。調整後、この 取付け補助具を取外し、エンコーダ本体を取付 けてください。 アクセサリ(別売): マウンティングスパー MSL 41 ID 770902-xx 走査ユニット用取付け補助具 ID 753853-01 クランプを使用した取付け ケーブル出口が右の場合、通常エンドブロック で固定するLC 4x5の走査ユニットは、クランプ で固定することもできます。これにより、測定長 が620 mm以上でもマウンティングスパーが不 要となります。 アクセサリ(別売): クランプ ピンおよびM5x10ねじ付き ID 556975-01 (10セット入り) マウンティングスパー マウンティングスパーに固定されている取付け補助具

標準型ハウジングのリニアエンコーダ

輸送安全具 標準型ハウジングタイプのリニアエンコーダ LB、LC、LF、LSは、その全長にわたってマシン 表面に取付けられます。これにより、高い耐振 動性が得られます。シーリングリップを斜めに配 置することにより、縦位置でも横位置でも同じ保 護等級で自由自在の取付けが可能です。 LC 1x5はシーリングリップを2重にして最適化し たシーリングシステムを特徴としています。きれ いな圧縮空気をハウジングに導入すると、2組 のシーリングリップを効果的に外気から遮断しま す。これによりエンコーダ内部を汚れから最適に 保護します。 スロットル付エアニップルにより流量を設定でき ます。(18ページの保護等級 に記載の別売アク セサリを参照ください) 熱特性 標準型ハウジングタイプのリニアエンコーダ LB、LC、LF、LS 100シリーズでは、その熱特性 を利用しています。 LFシリーズの場合、スチールスケールは機械に 直接固定されるスチールベースに固定されて います。 マルチセクションのLC 200シリーズとLBシリーズ の場合、スチールスケールテープは機械に直接 クランプ固定されます。それゆえ、エンコーダは 取付け面の温度変化に影響を受けます。 LCシリーズとLSシリーズは、取付け面へ中心点 で固定されます。中心固定点以外の固定点は 熱膨張による伸縮を吸収する構造となっており、 熱特性を確実に再現可能にします。 取付け ハイデンハインのシールドリニアエンコーダの取 付けはとても簡単です。したがって、あとはスケー ルユニットを数箇所でマシンガイド面にあわせる だけ取付けが完了します。 スケールを合わせるのに固定面または固定ピ ンを使用することもできます。スケールユニットと 走査ユニットの間のギャップは、あらかじめ輸送 安全具によって適切に設定されています。 側面のギャップは、取付けの際に設定してくださ い。スペースが不足していて輸送安全具を取付 け前に取り外さなければならない場合には、取 付けゲージによってスケールユニットと走査ユ ニットの間のギャップを簡単で正確に設定でき ます。側面の公差も確実に保ってください。 LC 1x5のシーリングシステム

マルチセクションLC 2x1とLB 382の取付け 測定長が3240 mmを超えるLC 2x1とLB 382 は、セクションごとに機械表面に取付けられます。 • 各ハウジングセクションをつなぎ合わせて取 付ける • スチールテープを全体にわたって引き入れ、 テンションをかける • シーリングリップに潤滑油をさし、引き入れる • 走査ユニットを挿入する スチールテープのテンション調整により、直線 機械誤差を±100 µm/mまで補正できます。 アクセサリ(別売): 取付け補助具 LC 1x3、LS 1x7用  ID 547793-02 LC 1x5用    ID 1067589-02 LC 2x1、LB 382用  ID 824039-01 取付け補助具をスケールユニットに固定するこ とにより、最適な走査ユニットの取付け状態を模 擬することが可能です。この補助具に従って調 整することにより、簡単に走査ユニットを取付け 面に合わせることができます。取付け補助具を 取り外し、走査ユニットを取付けブラケットに取 付けます。 アクセサリ(別売): 標準型ハウジングタイプのリニアエンコーダ用 取付けおよびテストゲージ 取付けゲージは、輸送安全具を取付け前に取 り外さなければならない場合に、スケールユニッ トと走査ユニットの間のギャップを設定するため に使用します。テストゲージは、取付けたリニア エンコーダのギャップを素早く簡単にチェックす ることができます。 LC 1xx、LS 1xx LB 382/LC 2x1 x ID x ID 取付けゲージ (灰) 1.5 mm 575832-01 1.0 mm 772141-01 最大テストゲージ (赤) 1.8 mm 575832-02 1.3 mm 772141-02 最小テストゲージ (青) 1.2 mm 575832-03 0.7 mm 772141-03 例 アクセサリ(別売): グリス塗布器 LC 2x1、LB 382シーリングリップ用 ID 1104590-05

DA 400

機械的仕様

保護等級 シールドタイプリニアエンコーダは、飛沫防止の シーリングリップが付いていれば、EN 60 529もし くはIEC 60 529に定める等級IP 53の要求を満 たしています。必要であれば、別個の保護カバー を付けます。 エンコーダに高濃度の冷却剤や潤滑剤がかか りそうな場合は、スケールハウジングに圧縮空気 を供給し、汚れの侵入をさらに効果的に防ぐこ とができます。この時の保護等級はIP 64に相当 します。ハイデンハインのシールドタイプリニアエ ンコーダLB、LC、LF、LSは、エアパージ用の圧 縮空気注入口をスケール両端のエンドブロック と走査ユニットの取付けブロックに備えています。 エンコーダに直接導入される圧縮空気は、あら かじめ微細フィルタで清浄されていなければな らず、ISO 8573-1(2010版)に準じた以下の品質 等級に適合しなくてはなりません。 • 固体汚染物質:   等級 1  粒子サイズ  粒子数/ m3  0.1 µm ～ 0.5 µm  ≦ 20 000  0.5 µm ～ 1.0 µm  ≦ 400  1.0 µm ～ 5.0 µm  ≦ 10 • 最大加圧露点:  等級 4  (3 °Cの時の加圧露点) • 全油含有量:  等級 1  (最大油濃度: 0.01 mg/m3) シールドタイプリニアエンコーダに供給する圧縮 空気を最適にするには、1台あたり7 ～ 10リットル/ 分の空気流量が必要になります。ハイデンハイン のスロットル付エアニップルを使用し設定圧力を 0.1 MPa (1 bar)にすることにより、エアパージの 効果を確保することができます。 アクセサリ(別売): 接続部品 (直線タイプ) スロットルおよびガスケット付き ID 226270-02 接続部品 (直線・短タイプ) スロットルおよびガスケット付き ID 275239-01 その他アクセサリ(別売): 90°スイベルねじ込み継手 シール付き ID 207834-02 アクセサリ(別売): 圧縮空気ユニットDA 400 ID 894602-01 DA 400 ハイデンハインは、浄化機能を搭載した圧縮空 気フィルタシステムDA 400を用意しています。 この製品はエンコーダへの圧縮空気導入用途 に特別に設計されています。 DA 400は、3段階のフィルタ(プリフィルタ、微細 フィルタ、そして活性炭素フィルタ)と圧力計付 圧力調整器で構成されています。圧力計と圧力 スイッチ(別売アクセサリ)は効果的に圧縮空気 の要求圧を監視します。 DA 400へ供給する圧縮空気は、ISO 8573-1 (2010版)に準じた以下の品質等級を満たさな ければなりません。 • 固体汚染物質:  等級 5  粒子サイズ  粒子数/ m3  0.1 µm ～ 0.5 µm  規定なし  0.5 µm ～ 1.0 µm  規定なし  1.0 µm ～ 5.0 µm  ≦ 100 000 • 最大加圧露点:  等級 6  (10 °Cの時の加圧露点) • 全油含有量:  等級 4  (最大油濃度: 5 mg/m3) 関連資料: さらに詳しい情報については、製品情報  DA 400 を参照ください。

取付け ケーブル配線を簡単にするために、通常、走査 ユニットの取付けブロックを機械の可動しない 部分にねじ止めし、反対にスケールハウジングを 可動部に取付けます。 リニアエンコーダの取付け場所は、最高の精度 と可能な限り長い寿命が確保されるように慎重 に選定してください。 • エンコーダは、アッベの誤差が小さく抑えられ るよう、できるだけ作業面に近い位置に取付 けてください。 • 正常な動作を行うため、常時エンコーダに強 い振動を与えないよう考慮してください。機械 の剛性を上げることでも、取付け面での振動 を抑えることができます。エンコーダを中空部 品に取付けたり、アダプタを介在させたりして はなりません。小型のシールドタイプリニアエン コーダの取付けには、マウンティングスパーの 使用を推奨します。 • 温度の影響を避けるため、エンコーダを熱源 から離して取付けてください。 • ケーブル配線時に、曲げて固定する場合と 繰り返し曲げる場合の最小曲げ半径を考慮 する必要があります。(下表参照) • 走査ユニットとスケールハウジングは低抵抗 (1 以下)で機能接地に接続しなければなり ません。 必要送り力 必要送り力とは、スケールユニットを走査ユニッ トに対して相対移動させるのに必要な最大の力 のことです。 加速度 リニアエンコーダは、操作中ならびに取付け中に 様々な種類の衝撃振動にさらされます。 • 記載の振動最大値は、  55 ～ 2000 Hz(IEC 60 068-2-6)の周波数に 適用されます。用途や取付け方によりますが、 共振により許容値を超える振動が生じると、 エンコーダを損傷しかねません。したがって、 システム全体の総合的テストが必要となり ます。 • 衝撃やインパクトに対する最大許容加速度 値(半正弦波形衝撃)は11 ms (IEC 60 068-2-27)の時に有効です。いかなる 場合でも、エンコーダの調整にハンマーまたは 類似の道具を使用しないでください。 RoHS ハイデンハインは、電気・電子機器に含まれる 特定有害物質の使用制限に関する欧州指令 2002/95/EC(RoHS)及び電気・電子機器の廃 棄に関する欧州指令2002/96/EC(WEEE)に基 づく材料の有害性に関する製品試験を行なっ ています。各製品毎の対応状況については、各 営業所までお問い合わせください。 消耗品 ハイデンハインのエンコーダは、耐用年数の長い 設計となっています。予防保全は必要ありませ ん。しかし、アプリケーションや操作によっては摩 耗しやすい部品が含まれています。たとえばケー ブルは頻繁に屈曲させる場合は消耗品に含ま れます。 また、ベアリング内蔵のエンコーダ用としてはベ アリングが、ロータリおよび角度エンコーダ用とし てはシャフトシーリングリングが、シールドタイプ リニアエンコーダ用としてはシーリングリップが消 耗品とされます。 システム検査 ハイデンハインのエンコーダは、通常、シス テムの一部として組み込まれます。このよう な使用法では、エンコーダの仕様ではなく、 システム全体での検査が必要となります。 カタログに記載の仕様は、システム全体では なく、特定のエンコーダに適応されるもので す。仕様の範囲外でのご使用や、意図され たアプリケーション以外でご使用の場合には、 弊社では責任を負いません。 取付け 取付時に行う作業手順と取付寸法について は、製品に添付されている取付説明書の記 載に従ってください。このカタログに記載され ている取付けについてのすべての情報は暫 定的なもので、拘束力はありません。 このカタログの情報は、契約の情報にはなり ません。 関連資料: 取付けに関するさらに詳しい情報は以下資料 を参照ください。

• カタログ: Cables and Connectors for HEIDENHAIN Controls • カタログ: ハイデンハインエンコーダの  インターフェース • 各エンコーダのMounting instructions • 出力およびアダプタケーブルの  Mounting instructions ¬ 3.7 mm ¬ 4.5 mm ¬ 6.0 mm ¬ 6.8 mm ¬ 6.6 mm¬ 10 mm ¬ 8.0 mm T ≧ –40 °C (–40 °F) ≧   8 mm ≧ 10 mm ≧ 20 mm ≧ 35 mm R1 ≧ 40 mm T ≧  –10 °C  (–14 °F) ≧ 40 mm ≧ 50 mm ≧ 75 mm ≧ 75 mm R2 ≧ 100 mm

機能安全

安全対応の軸 工作機械の駆動軸は通常、人にとって大変に 危険だと考えられます。特に、ワークのセットアッ プ時など作業員が互いに干渉しあうように機械 に触れる場合、機械側が制御不能な動きを発 生しないようにしなければなりません。このため に、軸の位置情報が機能安全に対応することが 必要とされます。機能安全モジュールを評価す る事によって、制御装置は位置情報の誤りを検 知する事とそれに対応した動作を必要に応じて 実行する役割を負います。 機械の軸構成や制御装置の処理能力に応じて、 異なった安全対応を実施することが可能です。 例えば、シングルエンコーダのシステムでは、機 能安全のために、軸当たりのエンコーダは1台の みの評価になります。しかし、例えばロータリエン コーダとリニアエンコーダのように、直線軸に2台 のエンコーダを搭載していると、制御装置におい て2つの冗長性を持った位置値を使ってお互い に比較することも可能となります。 機能安全によるエラー検出は、制御装置とエン コーダといった、2つの要素が互いに正しく適合 した場合のみ確立することができます。ここで、 制御装置メーカーの安全設計はメーカー毎に 異なるということに注意しなければなりません。 これは接続するエンコーダへの要求事項も異な る場合があるということです。 規格試験に合格したエンコーダ ハイデンハインのシールドリニアエンコーダは安 全設計が大きく異なるさまざまな制御装置で使 用されています。EnDatインターフェースもしくは DRIVE-CLiQインターフェース搭載のLC 1x5/ LC 4x5は機能安全対応の型式認定されたエン コーダです。EN 61 508規格で定められたコント ロールカテゴリSIL - 2やISO 13 849のパフォーマ ンスレベル“d“を満たすアプリケーションに適合 の制御装置に接続する際には、これらのエンコー ダはシングルエンコーダシステムとして使用する ことが出来ます。インクリメンタルエンコーダとは 異なり、アブソリュートリニアエンコーダLC 1x5/ LC 4x5は安全アブソリュート位置値を提供しま す。それには、電源オンもしくは電源異常復帰後 に、直ちに位置値を出力することも含まれます。 それぞれ2つずつ独立して生成される絶対位置 値とエラービットのおかげで通信の信頼性を高 め、安全制御装置にデータを提供します。ピュア シリアルによるデータ通信には、信頼性の大幅 な向上、精度と診断機能の向上、ケーブル芯数 が少なくて済むことによるコスト低減などの利点 もあります。 DRIVE-CLiQはSIEMENS AG社の登録商標です。 エンコーダの機械的取付けとインターフェース 電気的接続 機械取付け エンコーダ 安全制御装置 標準エンコーダ 安全対応と明示されているエンコーダの他に、 例えば、ファナックインターフェースや1 VPP信号 出力の標準エンコーダも安全対応の軸で使用 することができます。その場合には、それらのエ ンコーダの仕様を各制御装置の要求事項に合 わせておく必要があります。ハイデンハインでは、 個別のエンコーダについての追加データ  (EN 61 800-5-2準拠の故障率や故障モデル) の提供が可能です。 関連資料: 安全対応の特性値はエンコーダの仕様に記 載されています。技術情報安全対応の位置 計測システム では、それらの特性値について 説明しています。 標準エンコーダを安全アプリケーションに使 用する場合には、個別の製品に関して追加 データ(EN 61 800-5-2準拠の故障率や故障 モデル)をハイデンハインから提供できます。 必要な場合は、お問い合わせください。

機械的接続の緩みに対する故障除外 インターフェースに関係なく、安全設計には安全 な機械的接続が必要です。電気モータに関す る規格EN 61 800-5-2では、エンコーダとモータ 間の機械的接続の欠落または緩みを考慮を必 要とするエラーと定義しています。制御装置側 がそのようなエラーを検知するという保証はでき ないため、多くの場合、緩みの可能性を排除し なければなりません。故障除外に必要な要件 は、仕様の許容制限値に対して追加制約となる 機械的接続の安全位置1) 取付け方法 固定方法2) 技術仕様上の制限 LC 1x5   ハウジング部 ±0 µm M6 ISO 4762 8.8/A70 なし

走査ヘッド部 ±0 µm 取付け方法I および II M6 ISO 4762 8.8/A70 なし

LC 4x5

  ハウジング部 ±0 µm 取付け方法I

エンドブロック12A(M8) M8 ISO 4762 8.8/A70M8 DIN 6912 8.8 なし ±0 µm 取付け方法III マウンティングスパー MSL 41 ID 770902-xx M6 ISO 4762 8.8/A70 加速度 ≦ 60 m/s2 (測定方向)   走査ヘッド部 ±0 µm 全ての取付け方法 M6 ISO 4762 8.8/A70 なし 1)_{明確に規定された取付け方法の場合のみ、故障除外が可能です。} 2)_{ねじ留めの際に回転止めの使用が必要です。} 可能性があります。さらに、機械的接続の欠落 や緩みに関する故障除外は、エンコーダ取付時 や、例えばねじ部の回転防止ロックの処置を行 う際には、通常、追加的監視を要します。適切 なエンコーダや取付け方法を選択する際には、 これらの要素を考慮しなければなりません。 関連資料: エンコーダを正しく動作するように以下資料の記載内容にしたがってください。 • Mounting Instructions  LC 115/LC 195 S    743390    LC 415/LC 495 S  (end block 14A)  737907 

    (end block 12A)  737908 

    (mounting spar MSL 41)  894918

• 技術情報:  安全対応の位置計測システム  596632

制御導入に関する資料

• Specification for safe control    533 095

LC 1x5/LC 4x5シリーズの故障除外 LC 1x5/LC 4x5シリーズの機械的接続の緩みに 対する故障除外には、さまざまな取付け方法が あります。搭載インターフェースを問わず、すべ てのLC 1x5/LC 4x5シリーズで故障除外が可能 です。

ML 70 120 170 220 270 320 370 420 470 520 570 620 670 720 770 820 920 1020 1140 1240 1340 1440 1540 1640 1740 1840 2040 L 37.5 55 75 100 115 140 175 200 225 250 275 300 325 350 375 400 450 500 555 610 655 710 760 810 855 910 1010

LC 400 シリーズ

小型ハウジングのアブソリュートリニアエンコーダ • 限られた設置スペースに対応  = エンドブロック12A(マウンティングスパー使用時・未使用時の両方で取付け可能)   =  エンドブロック14A(マウンティングスパー使用時、直接M4ネジで取付ける場合、仕様に制約があります)   = マウンティングスパーMSL 41 F  = マシンガイド P  = 調整用計測点 k  = 取付けに必要な寸法 d  = 圧縮空気注入口 s  = 測定長(ML)開始点(絶対位置値 = 20 mm) ð  = インターフェースの記述に基く出力信号を得るための走査ヘッド移動方向 公差

仕様 LC 415 LC 415 LC 485 スケール本体 熱膨張係数 DIADURガラススケール (アブソリュートとインクリメンタルトラック)、目盛間隔20 µm Þtherm  8 x 10–6 K–1 (取付けタイプ /); マウンティングスパー付き: Þtherm  9 x 10–6 K–1 (取付けタイプ ) 精度等級* ± 3 µm、± 5 µm 測定長 ML*(mm) マウンティングスパー*もしくはクランプ* ML 1240までは推奨、ML 1340以上は必須  70  120  170   220    270    320    370    420    470    520    570    620    670    720 770  820  920   1020    1140   1240   1340   1440   1540   1640    1740   1840  2040 機能安全 以下条件で適用が可能 • SIL-2 (EN 61 508) • カテゴリ3、パフォーマンスレベル “d” (EN ISO 13 849-1:2008) – PFH ≦ 15 x 10–9 (ただし、設置場所は海抜6000 m以下) – 安全位置1) エンコーダ本体: ±550 µm (安全測定分解能: SM = 220 µm) – 機械的接続: ハウジングと走査ヘッド間の緩みに関する故障除外 (21ページを参照ください) インターフェース EnDat 2.2 区分 EnDat22 EnDat02 分解能   精度 ±3 µm       精度 ±5 µm 0.001 µm0.010 µm 0.005 µm0.010 µm クロック周波数(計算時間 tcal) ≦ 16 MHz (≦ 5 µs) ≦ 2 MHz (≦ 5 µs) インクリメンタル信号 – » 1 VPP (20 µm) カットオフ周波数 –3 dB – ≧ 150 kHz 電気的接続 取付けブロック差込用分離型アダプタケーブル (1 m/3 m/6 m/9 m) ケーブル長 ≦ 100 m2) ≦ 150 m2) 供給電圧 DC 3.6 V ～ 14 V 消費電力(最大) 3.6 V: ≦ 1.1 W; 14 V: ≦ 1.3 W 走査速度 ≦ 180 m/min (測定方向最大加速度 ≦ 100 m/s2) 必要送り力 ≦ 5 N 振動 55 Hz ～ 2000 Hz 衝撃 11 ms 走査ユニット部: ≦ 200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ハウジング部(マウンティングスパー未使用時): ≦ 100 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ハウジング部 (マウンティングスパー使用時、ケーブル出口が右): ≦ 150 m/s2、 (マウンティングスパー使用時、ケーブル出口が左): ≦ 100 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ≦ 300 m/s2 (IEC 60 068-2-27) 使用温度 0 °C ～ 50 °C

保護等級 IEC 60 5293) IP 53 (取付説明書に従って取付けた場合)、IP 64 (DA 400から圧縮空気を注入する場合) 質量 エンコーダ: 0.2 kg + 0.55 kg/m (測定長1 mあたり); マウンティングスパー: 0.9 kg/m

仕様 LC 495 S LC 495 S LC 495 F LC 495 M LC 495 P スケール本体 熱膨張係数 DIADURガラススケール (アブソリュートとインクリメンタルトラック)、目盛間隔20 µm Þtherm  8 x 10–6 K–1 (取付けタイプ /); マウンティングスパー付き: Þtherm  9 x 10–6 K–1 (取付けタイプ ) 精度等級* ± 3 µm、± 5 µm 測定長 ML*(mm) マウンティングスパー*もしくはクランプ* ML 1240までは推奨、ML 1340以上は必須 70  120  170  220  270  320  370  420  470  520  570  620  670 720  770  820  920  1020  1140  1240  1340  1440  1540  1640  1740  1840  2040 機能安全 以下条件で適用が可能 • SIL-2 (EN 61 508) • カテゴリ3、パフォーマンスレベル “d” (EN ISO 13 849-1:2008) – PFH 25 x 10–9 (ただし、設置場所は海抜1000 m以下) – 安全位置1) エンコーダ本体: ±550 µm (安全測定分解能: SM = 220 µm) – 機械的接続:ハウジングと走査ヘッド間の緩みに関する故障除外 (21ページを参照ください) インターフェース DRIVE-CLiQ ファナックシリアルインターフェース/ Þiインタフェース 三菱高速シリアルインターフェース パナソニックシリアルインターフェース

区分 DQ01 Þiインタフェース Mitsu03-04 Pana01

分解能         精度 ±3 µm         精度 ±5 µm 0.001 µm0.010 µm Þiインタフェース/Þインタフェース 0.00125 µm/0.010 µm 0.0125 µm/0.050 µm 0.001 µm0.010 µm クロック周波数(計算時間 tcal) – 電気的接続 取付けブロック差込用分離型アダプタケーブル (1 m/3 m/6 m/9 m) ケーブル長 ≦ 30 m2) ≦ 50 m ≦ 30 m ≦ 50 m 供給電圧 DC 10 V ～ 28.8 V DC 3.6 V ～ 14 V 消費電力(最大) 10 V: ≦ 1.5 W; 28.8 V: ≦ 1.7 W 3.6 V: ≦ 1.1 W; 14 V: ≦ 1.3 W 走査速度 ≦ 180 m/min (測定方向最大加速度 ≦ 100 m/s2) 必要送り力 ≦ 5 N 振動 55 Hz ～ 2000 Hz 衝撃 11 ms 走査ユニット部: ≦ 200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ハウジング部(マウンティングスパー未使用時): ≦ 100 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ハウジング部 (マウンティングスパー使用時、ケーブル出口が右): ≦ 150 m/s2、 (マウンティングスパー使用時、ケーブル出口が左): ≦ 100 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ≦ 300 m/s2 (IEC 60 068-2-27) 使用温度 0 °C ～ 50 °C

保護等級 IEC 60 5293) IP 53 (取付説明書に従って取付けた場合)、IP 64 (DA 400から圧縮空気を注入する場合)

質量 エンコーダ: 0.2 kg + 0.55 kg/m (測定長1 mあたり); マウンティングスパー: 0.9 kg/m * 注文時にご指定ください 1) _{位置値比較後に後続電子機器内で公差が発生する可能性があります。(機器メーカーにお問い合わせください)} 2)_{これより長いケーブルはお問い合わせください。} 3)_{LCを組込む機械内において、飛沫(粉塵、水滴、油滴など)から保護する必要があります。}

LC 400 シリーズ

小型ハウジングのアブソリュートリニアエンコーダ • 限られた設置スペースに対応 • LC 415/LC 485/LC 495は、すべて同寸法

仕様 LC 495 S LC 495 S LC 495 F LC 495 M LC 495 P スケール本体 熱膨張係数 DIADURガラススケール (アブソリュートとインクリメンタルトラック)、目盛間隔20 µm Þtherm  8 x 10–6 K–1 (取付けタイプ /); マウンティングスパー付き: Þtherm  9 x 10–6 K–1 (取付けタイプ ) 精度等級* ± 3 µm、± 5 µm 測定長 ML*(mm) マウンティングスパー*もしくはクランプ* ML 1240までは推奨、ML 1340以上は必須 70  120  170  220  270  320  370  420  470  520  570  620  670 720  770  820  920  1020  1140  1240  1340  1440  1540  1640  1740  1840  2040 機能安全 以下条件で適用が可能 • SIL-2 (EN 61 508) • カテゴリ3、パフォーマンスレベル “d” (EN ISO 13 849-1:2008) – PFH 25 x 10–9 (ただし、設置場所は海抜1000 m以下) – 安全位置1) エンコーダ本体: ±550 µm (安全測定分解能: SM = 220 µm) – 機械的接続:ハウジングと走査ヘッド間の緩みに関する故障除外 (21ページを参照ください) インターフェース DRIVE-CLiQ ファナックシリアルインターフェース/ Þiインタフェース 三菱高速シリアルインターフェース パナソニックシリアルインターフェース

区分 DQ01 Þiインタフェース Mitsu03-04 Pana01

分解能         精度 ±3 µm         精度 ±5 µm 0.001 µm0.010 µm Þiインタフェース/Þインタフェース 0.00125 µm/0.010 µm 0.0125 µm/0.050 µm 0.001 µm0.010 µm クロック周波数(計算時間 tcal) – 電気的接続 取付けブロック差込用分離型アダプタケーブル (1 m/3 m/6 m/9 m) ケーブル長 ≦ 30 m2) ≦ 50 m ≦ 30 m ≦ 50 m 供給電圧 DC 10 V ～ 28.8 V DC 3.6 V ～ 14 V 消費電力(最大) 10 V: ≦ 1.5 W; 28.8 V: ≦ 1.7 W 3.6 V: ≦ 1.1 W; 14 V: ≦ 1.3 W 走査速度 ≦ 180 m/min (測定方向最大加速度 ≦ 100 m/s2) 必要送り力 ≦ 5 N 振動 55 Hz ～ 2000 Hz 衝撃 11 ms 走査ユニット部: ≦ 200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ハウジング部(マウンティングスパー未使用時): ≦ 100 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ハウジング部 (マウンティングスパー使用時、ケーブル出口が右): ≦ 150 m/s2、 (マウンティングスパー使用時、ケーブル出口が左): ≦ 100 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ≦ 300 m/s2 (IEC 60 068-2-27) 使用温度 0 °C ～ 50 °C

保護等級 IEC 60 5293) IP 53 (取付説明書に従って取付けた場合)、IP 64 (DA 400から圧縮空気を注入する場合)

質量 エンコーダ: 0.2 kg + 0.55 kg/m (測定長1 mあたり); マウンティングスパー: 0.9 kg/m

* 注文時にご指定ください

LC 100 シリーズ

標準型ハウジングのアブソリュートリニアエンコーダ • 高い耐振動性 • 水平方向取付け可 • ダブルシーリングリップによる高い信頼性    = 取付け方法 F  = マシンガイド P  = 調整用計測点 k  = 取付けに必要な寸法 a  = 別の取付け寸法 b  = アダプタケーブル左右どちら側からでも取付け可能 d  = 圧縮空気注入口。左右どちら側からでも取付け可能 t  = 機械取り付け時の固定点(推奨) h  = 機械取り付け時の固定点(旧形式と互換性あり) g  = 機械取り付け時の固定点(100 mm間隔) s  = 測定長(ML)開始点(絶対位置値 = 20 mm) w  = 接触面 ð  = インターフェースの記述に基く出力信号を得るための走査ヘッド移動方向 公差

仕様 LC 115 LC 115 LC 185 スケール本体 熱膨張係数 DIADURガラススケール (アブソリュートとインクリメンタルトラック)、目盛間隔20 µm Þtherm  8 x 10–6 K–1 精度等級* ± 3 µm (測定長3040 mmまで); ± 5 µm 測定長 ML*(mm)  140    240    340    440    540    640     740    840    940  1040  1140  1240  1340  1440 1540   1640    1740  1840  2040  2240  2440  2640  2840  3040  3240  3440  3640  3840 4040  4240 機能安全 以下条件で適用が可能 • SIL-2 (EN 61 508) • カテゴリ3、パフォーマンスレベル “d” (EN ISO 13 849-1:2008) – PFH 15 x 10–9; ML > 3040 mmの場合: 25 x 10–9 (ただし、設置場所は海抜6000 m以下) – 安全位置1) エンコーダ本体: ±550 µm; ML > 3040 mmの場合: ±2050 µm (安全測定分解能: SM = 220 µm) – 機械的接続: ハウジングと走査ヘッド間の緩みに関する故障除外 (21ページを参照ください) インターフェース EnDat 2.2 区分 EnDat22 EnDat02 分解能   精度 ±3 µm       精度 ±5 µm 0.001 µm0.010 µm 0.005 µm0.010 µm クロック周波数(計算時間 tcal) ≦ 16 MHz (≦ 5 µs) ≦ 2 MHz (≦ 5 µs) インクリメンタル信号 – » 1 VPP (20 µm) カットオフ周波数 –3 dB – ≧ 150 kHz 電気的接続 分離型アダプタケーブル (1 m/3 m/6 m/9 m)、取付けブロックの左右どちら側からでも差込可能 ケーブル長 ≦ 100 m2) ≦ 150 m2) 供給電圧 DC 3.6 V ～ 14 V 消費電力(最大) 3.6 V: ≦ 1.1 W; 14 V: ≦ 1.3 W 走査速度 ≦ 180 m/min (測定方向最大加速度 ≦ 100 m/s2) 必要送り力 ≦ 4 N 振動 55 Hz ～ 2000 Hz 衝撃 11 ms ハウジング部: ≦ 200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) 走査ユニット部: ≦ 200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ≦ 300 m/s2 (IEC 60 068-2-27) 使用温度 0 °C ～ 50 °C

保護等級 IEC 60 5293) IP 53 (取付説明書に従って取付けた場合)、IP 64 (DA 400から圧縮空気を注入する場合)

仕様 LC 195 S LC 195 S LC 195 F LC 195 M LC 195 P スケール本体 熱膨張係数 DIADURガラススケール (アブソリュートとインクリメンタルトラック)、目盛間隔20 µm Þtherm  8 x 10–6 K–1 精度等級* ± 3 µm (測定長3040 mmまで); ± 5 µm ± 3 µm (測定長2040 mmまで); ± 5 µm ± 3 µm (測定長3040 mmまで); ± 5 µm 測定長 ML*(mm) 140  240  340  440  540  640  740  840  940  1040  1140  1240  1340 1440   1540  1640  1740  1840  2040  2240  2440  2640  2840  3040  3240  3440  3640  3840  4040  4240 機能安全 以下条件で適用が可能 • SIL-2 (EN 61 508) • カテゴリ3、パフォーマンスレベル “d” (EN ISO 13 849-1:2008) – PFH 25 x 10–9; ML > 3040 mmの場合: 40 x 10–9 (ただし、設置場所は海抜1000 m以下) – 安全位置1) エンコーダ本体: ±550 µm; ML > 3040 mmの場合: ±2050 µm (安全測定分解能: SM = 220 µm) – 機械的接続: ハウジングと走査ヘッド間の緩みに関する故障除外 (21ページを参照ください) インターフェース DRIVE-CLiQ ファナックシリアルインターフェース/ Þiインタフェース 三菱高速シリアルインターフェース パナソニックシリアルインターフェース

区分 DQ01 Þiインタフェース Mitsu03-04 Pana01

分解能         精度 ±3 µm         精度 ±5 µm 0.001 µm0.010 µm Þiインタフェース/Þインタフェース 0.00125 µm/0.010 µm 0.0125 µm/0.050 µm 0.001 µm0.010 µm クロック周波数(計算時間 tcal) – 電気的接続 分離型アダプタケーブル (1 m/3 m/6 m/9 m)、取付けブロックの左右どちら側からでも差込可能 ケーブル長 ≦ 30 m2) ≦ 50 m ≦ 30 m ≦ 50 m 供給電圧 DC 10 V ～ 28.8 V DC 3.6 V ～ 14 V 消費電力(最大) 10 V: ≦ 1.5 W; 28.8 V: ≦ 1.7 W 3.6 V: ≦ 1.1 W; 14 V: ≦ 1.3 W 走査速度 ≦ 180 m/min (最大加速度 ≦ 100 m/s2) 必要送り力 ≦ 4 N 振動 55 Hz ～ 2000 Hz 衝撃 11 ms ハウジング部: ≦ 200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) 走査ユニット部: ≦ 200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ≦ 300 m/s2 (IEC 60 068-2-27) 使用温度 0 °C ～ 50 °C

保護等級 IEC 60 5293) IP 53 (取付説明書に従って取付けた場合)、IP 64 (DA 400から圧縮空気を注入する場合)

質量 0.55 kg + 2.9 kg/m (測定長1 mあたり) * 注文時にご指定ください 1) _{位置値比較後に後続電子機器内で公差が発生する可能性があります。(機器メーカーにお問い合わせください)} 2)_{これより長いケーブルはお問い合わせください。} 3)_{LCを組込む機械内において、飛沫(粉塵、水滴、油滴など)から保護する必要があります。}

LC 100 シリーズ

標準型ハウジングのアブソリュートリニアエンコーダ • 高い耐振動性 • 水平方向取付け可 • ダブルシーリングリップによる高い信頼性

仕様 LC 195 S LC 195 S LC 195 F LC 195 M LC 195 P スケール本体 熱膨張係数 DIADURガラススケール (アブソリュートとインクリメンタルトラック)、目盛間隔20 µm Þtherm  8 x 10–6 K–1 精度等級* ± 3 µm (測定長3040 mmまで); ± 5 µm ± 3 µm (測定長2040 mmまで); ± 5 µm ± 3 µm (測定長3040 mmまで); ± 5 µm 測定長 ML*(mm) 140  240  340  440  540  640  740  840  940  1040  1140  1240  1340 1440   1540  1640  1740  1840  2040  2240  2440  2640  2840  3040  3240  3440  3640  3840  4040  4240 機能安全 以下条件で適用が可能 • SIL-2 (EN 61 508) • カテゴリ3、パフォーマンスレベル “d” (EN ISO 13 849-1:2008) – PFH 25 x 10–9; ML > 3040 mmの場合: 40 x 10–9 (ただし、設置場所は海抜1000 m以下) – 安全位置1) エンコーダ本体: ±550 µm; ML > 3040 mmの場合: ±2050 µm (安全測定分解能: SM = 220 µm) – 機械的接続: ハウジングと走査ヘッド間の緩みに関する故障除外 (21ページを参照ください) インターフェース DRIVE-CLiQ ファナックシリアルインターフェース/ Þiインタフェース 三菱高速シリアルインターフェース パナソニックシリアルインターフェース

区分 DQ01 Þiインタフェース Mitsu03-04 Pana01

分解能         精度 ±3 µm         精度 ±5 µm 0.001 µm0.010 µm Þiインタフェース/Þインタフェース 0.00125 µm/0.010 µm 0.0125 µm/0.050 µm 0.001 µm0.010 µm クロック周波数(計算時間 tcal) – 電気的接続 分離型アダプタケーブル (1 m/3 m/6 m/9 m)、取付けブロックの左右どちら側からでも差込可能 ケーブル長 ≦ 30 m2) ≦ 50 m ≦ 30 m ≦ 50 m 供給電圧 DC 10 V ～ 28.8 V DC 3.6 V ～ 14 V 消費電力(最大) 10 V: ≦ 1.5 W; 28.8 V: ≦ 1.7 W 3.6 V: ≦ 1.1 W; 14 V: ≦ 1.3 W 走査速度 ≦ 180 m/min (最大加速度 ≦ 100 m/s2) 必要送り力 ≦ 4 N 振動 55 Hz ～ 2000 Hz 衝撃 11 ms ハウジング部: ≦ 200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) 走査ユニット部: ≦ 200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ≦ 300 m/s2 (IEC 60 068-2-27) 使用温度 0 °C ～ 50 °C

保護等級 IEC 60 5293) IP 53 (取付説明書に従って取付けた場合)、IP 64 (DA 400から圧縮空気を注入する場合)

質量 0.55 kg + 2.9 kg/m (測定長1 mあたり)

* 注文時にご指定ください

1) _{位置値比較後に後続電子機器内で公差が発生する可能性があります。(機器メーカーにお問い合わせください)}

2)_{これより長いケーブルはお問い合わせください。}

LC 200 シリーズ

標準型ハウジングのアブソリュートリニアエンコーダ • 最大測定長28 m • 簡単な取付け(垂直もしくは水平方向) • ミラーイメージバージョン供給可(取付け側寸法についてはお問い合わせください) , ,  = 取付け方法 F = マシンガイド L  = ハウジングセクションの長さ k  = 取付けに必要な寸法 b  = アダプタケーブル左右どちら側からでも取付け可能 d  = 圧縮空気注入口。左右どちら側からでも取付け可能 s  = 測定長(ML)開始点(絶対位置値 = 100 mm) w  = 接触面 ð  = インターフェースの記述に基く出力信号を得るための走査ヘッド移動方向 公差

仕様 LC 211 LC 281 LC 291 F LC 291 M スケール本体 熱膨張係数 METALLUR スチールスケールテープ (アブソリュートとインクリメンタルトラック付)、目盛間隔40 µm 取付け相手側に同じ (鋳鉄の場合、Þtherm  10 x 10–6 K–1) 精度等級 ± 5 µm 測定長 ML*(mm) 3240 mm ～ 28 040 mm (200 mm間隔)2) シングルセクションMETALLURスチールスケールテープとハウジングセクションキット付 インターフェース EnDat 2.2 ファナック シリアルインターフェース Þiインタフェース 三菱高速 シリアルインターフェース

区分 EnDat22 EnDat02 Þiインタフェース Mitsu03-04

分解能 0.010 µm Þiインタフェース/Þインタフェース 0.0125 µm/0.050 µm 0.010 µm 診断用インターフェース デジタル クロック周波数 計算時間 tcal ≦ 16 MHz ≦ 5 µs ≦ 2 MHz≦ 5 µs –– インクリメンタル信号 – » 1 VPP – 信号周期 – 40 µm – カットオフ周波数 –3 dB – ≧ 250 kHz – 電気的接続 分離型アダプタケーブル (1 m/3 m/6 m/9 m)、取付けブロックの左右どちら側からでも差込可能 ケーブル長1) ≦ 100 m (クロック周波数 ≦ 8 MHz) ≦ 150 m ≦ 50 m ≦ 30 m 供給電圧 DC 3.6 V ～ 14 V 消費電力(最大) 14 Vにおいて:  ≦ 1.3 W 3.6 Vにおいて:  ≦ 1.1 W 消費電流(標準値) 5 Vにおいて: 225 mA (負荷なし) 走査速度 ≦ 180 m/min (測定方向最大加速度 ≦ 100 m/s2) 必要送り力 ≦ 15 N 振動  55 Hz ～ 2000 Hz 衝撃 11 ms ハウジング部: 200 m/s2 (IEC 60 068-2-6) 走査ユニット部: 300 m/s2 (IEC 60 068-2-6) ≦ 300 m/s2 (IEC 60 068-2-27) 使用温度 0 °C ～ 50 °C

保護等級 IEC 60 529 IP 53 (取付説明書に従って取付けた場合)、IP 64 (DA 400から圧縮空気を注入する場合)

質量 1.3 kg + 3.6 kg/m (測定長1 mあたり)

* 注文時にご指定ください

1) _{ハイデンハイン製ケーブル使用時} 2) _{LC 291 Mは20 040 mmまで}

LF 485

小型ハウジングのインクリメンタルリニアエンコーダ • 非常に高い繰り返し精度 • 鋼・鋳鉄に近い熱特性 • 限られた設置スペースに対応  =  エンドブロック 12A; ( マウンティングスパー使用時・未使用時の  両方で取付け可能)  =  エンドブロック 11A; (マウンティングスパー使用時)  = マウンティングスパーMSL 41 F  = マシンガイド P  = 調整用計測点 k = 取付けに必要な寸法 r =  LF 485の原点位置  測定長に原点2個  50 ...1000 1120 ...1220 z = 25 mm zi = ML – 50 mm z = 35 mm zi = ML – 70 mm c = LF 485Cの原点位置 d = 圧縮空気注入口 s = 測定長(ML)開始点 ð =  インターフェースの記述に基く出力信号を得る ための走査ヘッド移動方向 公差