フレキシブルシートデバイスを実現するためには 電子的機械的機能を有する機能性繊維状基材を高速連続製造するとともに その繊維状基材を製織によって大面積集積化する 織物製造技術を模して応用発展させた新たな製造技術の創出が必要である つまり 将来のメーター級大面積デバイスの高機能化 低コスト化のためには

962 ングを行いダイヤフラムを形成。 969 た［図③-(1)-2.60］。 989 University, 2007), pp.32-44 996 (1)-3-4 JCK MEMS / NEMS 2011 Viscosity [mPa ・ s] Solution supply pressure (kPa)Gapbetween die andsubstrate (μm) N 2Substrate 1075 e. プロセス安定性