周囲温度・湿度 10~60℃/85%以下 最高使用温度 160℃(空気温度)
AIN型
フィンヒーター
AIN型
CS HS ヒーターシース ターミナル ターミナルナット 非発熱部 発熱部 SUS304 SUS304 Bsニッケルグリット・シーズヒーターにフィンを加工し放熱効果を高めたヒー
ターです。
・フィンもヒーターシース同様ステンレスを採用しました。
・仕上がり径 12mm のヒーター外径φ 24.5mm のフィン
を取り付け優れた熱効率を実現しました。
・標準品以外の電圧・容量・長さのものも製作いたします。
■特長
■注意 ・送風なし(無風)で通電しますとヒーターは、過熱高温となり危険です。インターロックをとる又は、過昇温防止装置を取り付けて下さい。ダクトヒーター、空調暖房機、熱風発生機などの熱源に。
フィン加工により熱伝導面積が広く、ヒーター内部から高温の熱を敏速に放熱
型式
電圧
相数
(W/c㎡)
ワット密度
電力
(W)
(mm)
L
(mm)
CS
(mm)
φFO
★AIN2J39Z
200V
単相
3.9
500
330
40
32
★AIN2R41Z
4.1
667
420
★AIN2S42Z
4.2
833
500
★AIN2143Z
4.3
1000
590
AIN2J40
200V
単相
4.0
500
480
75
24.5
AIN2K40
555
520
AIN2R40
666
590
AIN2O40
750
650
AIN2S40
833
700
AIN2140
1000
810
AIN2Y40
1110
890
AIN2T40
1330
1030
AIN2U40
1660
1260
AIN2240
2000
1480
AIN2L40
2330
1700
AIN2M40
2500
1810
AIN2X40
2660
1920
AIN2340
3000
2140
AIN2P40
3330
2360
φFO 25 CS ヒーターシース M5×P0.8 25 HS(L−150) 発熱部 首下寸法L CS ★印…短納期www.yagami-inc.co.jp
配管
・
タ
ン
ク
用
ヒ
ー
タ
ー
容器用
ヒ
ー
タ
ー
金属加熱用
ヒ
ー
タ
ー
液体加熱用
ヒ
ー
タ
ー
気体加熱用
ヒ
ー
タ
ー
関連材料
温度制御機器
温度
セ
ン
サ
ー
断熱材
技術資料
129
高崎オフィス6P9R122=137
製版者 訂正回数 色 数 4 製 版 課 大谷1
0111 小林 (広) 4 UPLV129-130_4.indd 129 2018/10/06 11:24AMQ型
M字タイプ
フィンヒーター
AUQ型
AMQ型
・シースヒーターにフィンを加工し放熱効果を高めたヒーターです。
・フィンもヒーターシース同様ステンレスを採用しました。
・仕上がり径12mmのヒーターに外径24.5mmのフィンを取り付け優れた熱効率を実現。
■特長
ヒーターシース ターミナル ターミナルナット SUS304 SUS304 Bsニッケルグリット CS HS 非発熱部発熱部 ヒーターシース ターミナル ターミナルナット SUS304 SUS304 Bsニッケルグリット ■注意 ・送風なし(無風)で通電しますとヒーターは過熱、高温となり危険です。インターロックをとる又は、過昇温防止装置を取り付けてご使用下さい。 型式 電圧 相数 (W/c㎡)ワット密度 電力(W) (mm)L ★AUQ1J40Z 100V 単相 4.0 500 200 ★AUQ2155Z 200V 5.5 1000 270 ★AUQ21.555Z 1500 400 ★AUQ2255Z 2000 510 AUQ2J40 200V 単相 4.0 500 190 AUQ2K40 555 210 AUQ2R40 666 250 AUQ2O40 750 280 AUQ2S40 833 300 AUQ2140 1000 360 型式 電圧 相数 (W/c㎡)ワット密度 電力(W) (mm)L ★AMQ1J20Z 100V 単相 2.0 500 200 ★AMQ2130Z 200V 3.0 1000 250 ★AMQ21.540Z 4.0 1500 280 ★AMQ2245Z 4.5 2000 330 AMQ2J40 200V 単相 4.0 500 120 AMQ2K40 555 130 AMQ2R40 666 150 AMQ2O40 750 160 AMQ2S40 833 170 AMQ2140 1000 200 型式 電圧 相数 (W/c㎡)ワット密度 電力(W) (mm)L AUQ2Y40 200V 単相 4.0 1110 400 AUQ2T40 1330 470 AUQ2U40 1660 580 AUQ2240 2000 690 AUQ2L40 2330 800 AUQ2M40 2500 860 AUQ2X40 2660 910 AUQ2340 3000 1020 AUQ2P40 3330 1130 型式 電圧 相数 (W/c㎡)ワット密度 電力(W) (mm)L AMQ2Y40 200V 単相 4.0 1110 220 AMQ2T40 1330 260 AMQ2U40 1660 310 AMQ2240 2000 370 AMQ2L40 2330 420 AMQ2M40 2500 450 AMQ2X40 2660 480 AMQ2340 3000 530 AMQ2P40 3330 590 3 5 (25) 20 CS=30 50±2 φ12 M5×P0.8 M16×P1.5 ブッシュ ヒーターシース 放熱フィン R25 φ24.5 ※ HS=L−30 L 0 −10 平径24 3 5 (25)20 CS=30 150±2 平径24 φ1 2 M5×0.8 M16×1.5 ブッシュ ヒーターシース 放熱フィン 3−R25 φ2 4.5 ※ HS=(L−CS)L 0 −10 ※型式末尾が“Z”の製品は仕上がり外径φ32mm ★印…短納期 CS HS 非発熱部発熱部 ※型式末尾が“Z”の製品は仕上がり外径φ32mm ★印…短納期AUQ型
U字タイプ
周囲温度・湿度 10~60℃/85%以下 最高使用温度 160℃(空気温度) 周囲温度・湿度 10~60℃/85%以下 最高使用温度 160℃(空気温度) 25配管
・
タ
ン
ク
用
ヒ
ー
タ
ー
容器用
ヒ
ー
タ
ー
金属加熱用
ヒ
ー
タ
ー
液体加熱用
ヒ
ー
タ
ー
気体加熱用
ヒ
ー
タ
ー
関連材料
温度制御機器
温度
セ
ン
サ
ー
断熱材
技術資料
130
高崎オフィス6P9R122=137
製版者 訂正回数 色 数 4 製 版 課 大谷1
0111 小林 (広) 4ダクトヒーター
ADM型
・ヒーターシースは仕上がり径を12mmとし高熱効率を実現しました。
・高品質の絶縁材(MgO)を使用した長寿命のヒーターです。
■特長
■仕様
定格電圧 AC200V 3相 周囲温度、湿度 10〜60℃/85%以下 安全装置 過昇温サーモスタット(50〜320℃)付 ヒーターシース SUS304 ターミナルボックス SUS304 ケーシング SUS304 サーモスタットボックス ターミナルボックス 電源取出口 SS SUS304 SUS304 ヒーターシース ダクト本体 サーモスタット保護管 SUS304 SUS304 SUS304 型式 電圧 (W/c㎡)ワット密度 電力 寸法(mm) ヒーター構成 安全装置 周囲湿度温度 L H W A ADM3515 200V 三相 1.5 5kW 440 340 250 30 833W × 6 過昇防止用 サーモスタット 50 ~ 320℃ 85%以下 10 ~ 60℃ ADM3520 2.0 350 340 250 30 833W × 6 ADM3525 2.5 290 340 250 30 833W × 6 ADM3015 1.5 10kW 440 340 370 30 833W × 12 ADM3020 2.0 350 340 370 30 833W × 12 ADM3025 2.5 290 340 370 30 833W × 12 ADM31515 1.5 15kW 440 340 490 30 833W × 18 ADM31520 2.0 350 340 490 30 833W × 18 ADM31525 2.5 290 340 490 30 833W × 18 ADM32015 1.5 20kW 440 460 490 30 833W × 24 ADM32020 2.0 350 460 490 30 833W × 24 ADM32025 2.5 290 460 490 30 833W × 24 ADM32515 1.5 25kW 800 700 290 50 1666W × 15 ADM32520 2.0 620 580 480 50 1666W × 15 ADM32525 2.5 510 580 480 50 1666W × 15 ADM33015 1.5 30kW 800 700 410 50 1666W × 18 ADM33020 2.0 620 580 480 50 1666W × 18 ADM33025 2.5 510 580 480 50 1666W × 23 L A A サーモスタット保護管 H A A ダクト本体 ターミナルボックス 有効発熱部 非発熱部 電源取出口 サーモスタットボックス W OUT IN ヒーターシース ■注意 ・送風なし(無風)で通電しますとヒーターは過熱、高温となり危険です。インターロックをとる又は、過昇温防止装置を取り付けてご使用下さい。www.yagami-inc.co.jp
配管
・
タ
ン
ク
用
ヒ
ー
タ
ー
容器用
ヒ
ー
タ
ー
金属加熱用
ヒ
ー
タ
ー
液体加熱用
ヒ
ー
タ
ー
気体加熱用
ヒ
ー
タ
ー
関連材料
温度制御機器
温度
セ
ン
サ
ー
断熱材
技術資料
131
高崎オフィス6P9R122=137
製版者 訂正回数 色 数 4 製 版 課 大谷1
0111 小林 (広) 4 UPLV131-132_4.indd 131 2018/10/06 11:25・ヒーターシースは仕上がり径を12mmとし高熱効率を実現しました。
・高品質の絶縁材(MgO)を使用した長寿命のヒーターです。
SS SUS304 SUS304配管
・
タ
ン
ク
用
ヒ
ー
タ
ー
容器用
ヒ
ー
タ
ー
金属加熱用
ヒ
ー
タ
ー
液体加熱用
ヒ
ー
タ
ー
気体加熱用
ヒ
ー
タ
ー
関連材料
温度制御機器
温度
セ
ン
サ
ー
断熱材
技術資料
132
熱風発生機
JSN型
ダクトヒーター 200V 3φ 温度センサー K熱電対 φ3.2×L90 リード線3m CPT1/8B 送風機 SB-75 コントロールパネル■特長
コントロール性が向上
ベースヒーターとコントロールヒーターを使用し、制御制度の向上を図り
ました。
小型・軽量
特殊形状のシースヒーターを使用したことで小型・軽量となりました。
安全性の向上
シースヒーターは二重絶縁構造で取り付け、空焚き防止として安全回
路が設けてあります。
使い易さ
操作パネルの操作性と簡素化を重視したコンパクト設計です。
特殊形状のシースヒーター使用により
従来と比べ小型・軽量化に成功
■制御機構
ヒーター機構及び制御 ベースヒーター ON-OFF(手動) MC駆動 コントロールヒーター PID制御 SSC駆動 温度設定 デジタル設定 デジタル表示 センサー 熱電対K 安全回路 優先回路(ヒーター空焚き防止用) 遅延回路(ヒーター過熱防止用) 型式 使用電圧 ヒーター電力 ヒーター構成 最大風量50/60Hz 風量調節方式 最大静圧 温度調節範囲 重量 JSNT05 三相 200V 5kW コントロールヒーター5kW 送風機電力:0.25kW7/8.5m3/min 手動ダンパ 392/588Pa 常温〜120℃(MAX) 約27kgJSNU10 10kW コントロールヒーター5kWベースヒーター5kW 送風機電力:0.4kW11/13m3/min 490/784Pa 常温〜100℃(MAX)2段切替式 40〜180℃(MAX) 約34kg JSNV15 15kW コントロールヒーター5kWベースヒーター10kW 送風機電力:0.4kW11/13m3/min 490/784Pa 常温〜100℃(MAX)2段切替式
40〜250℃(MAX) 約41kg JSNW20 20kW コントロールヒーター10kWベースヒーター10kW 送風機電力:0.75kW19/20m3/min 388/980Pa 常温〜140℃(MAX)2段切替式
40〜250℃(MAX) 約73kg JSNW30 30kW コントロールヒーター10kWベースヒーター20kW 送風機電力:0.75kW19/20m3/min 588/980Pa 常温〜140℃(MAX)2段切替式
40〜300℃(MAX) 約73kg ●コントロールパネル構成 スイッチ 電源・送風機・ヒーター 表示灯 電源(R)・送風機(R) ヒーター(R・G)・異常(0) 温度調節器 PV、SVデジタル表示・設定キー ヒューズ トリップ機構 高崎オフィス6P
9R122=137
製版者 訂正回数 色 数 4 製 版 課 大谷1
0111 小林 (広) 4www.yagami-inc.co.jp
配管
・
タ
ン
ク
用
ヒ
ー
タ
ー
容器用
ヒ
ー
タ
ー
金属加熱用
ヒ
ー
タ
ー
液体加熱用
ヒ
ー
タ
ー
気体加熱用
ヒ
ー
タ
ー
関連材料
温度制御機器
温度
セ
ン
サ
ー
断熱材
技術資料
133
熱風発生機
■特長
・特殊形状のシースヒーターを採用し、小型・軽量化を実現しています。
・シースヒーターはステンレス製のため、クリーンで耐久性に優れています。
・PID制御による温度コントロールを有しています。
・インバーター制御により風量調整を行ない、熱風循環にも対応しています。
JAC型
型式 電圧 電力 電動機容量 (50Hz、60Hz)最大風量 風量調整 最大静圧 温度調節範囲 吸込気体温度 重量 JAC 100V 単相 1.2kW 25W 1.1/1.2 ㎥/min インバーター 搭載 0.2/0.2kPa 15℃~230℃常温~170℃ 12kg 200V 三相 5kW 200W 3.2 ㎥/min 25kg 200V 三相 10kW 250W 6.0 ㎥/min 0.8kPa 15℃~250℃ 40kg 温度検出 制御方式 安全回路 熱電対(K) PID制御/SSR駆動 インターロック回路 電源コード VCTF 3芯×2.0Sq(2m)制御機構
温度指示 調節器 操作 スイッチ 異常表示 ランプ タイマー設定 タイマ設定 表示 風量調整 表示100V仕様
200V仕様
電源コード VCTF 3芯×2.0Sq(2m) 高崎オフィス6P9R122=137
製版者 訂正回数 色 数 4 製 版 課 大谷1
0111 小林 (広) 4 UPLV133-134_4.indd 133 2018/10/06 11:25配管
・
タ
ン
ク
用
ヒ
ー
タ
ー
容器用
ヒ
ー
タ
ー
金属加熱用
ヒ
ー
タ
ー
液体加熱用
ヒ
ー
タ
ー
気体加熱用
ヒ
ー
タ
ー
関連材料
温度制御機器
温度
セ
ン
サ
ー
断熱材
技術資料
134
上昇温度⊿T
(℃) 圧力損失 (MPa) N2流量(NL/min) 150 200 100 80 60 50 40 30 20 10 20 30 4050 60 80100 200 300 400 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 0.08 0.06 0.05 0.04 0.03 0.02 0.01流体加熱器
YHU型
■特長
・
気体にヒーターが直接触れない間接的加熱方式ですから流体へのク
リーン度を保つことができます。
・
流体が通過する内管はループ状に設計されていますから、流体に攪拌
作用が加わり熱効率を高めます。
・
管内温度の制御、出口温度のモニターなどの温度管理には、過昇温防止機
能付きのコンパクトな温度管理システムが用意されています。
(別売)
■構成
加熱部(内管)材質 ステンレス SUS316(PFAでの製作も可能) 温度センサー K熱電対×2本 温度制御方法 ※制御器は内蔵して いません。 ・内蔵温度センサーと外付けの電子式温度調節器によるヒーター温 度制御。(出口ガス温度とヒーター温度に差が生じます。) ・出口温度検知(外付け温度センサー)と、外付けの電子式温度調節器 とによる温度制御。この場合には流量センサーと付属センサーでヒ ーター過昇温の制御が必要になります。 過熱防止機能 ・内蔵温度センサーと外付けの電子式温度調節器による異温度検知。 ・内蔵温度ヒューズによる遮断制御(再復帰はしません) 設定温度上限 150℃■用途
・ウエハー洗浄装置等、乾燥用N
2ガスの昇温機構として
・サンプリングガスの昇温機として
・炉内パージガスのプレヒーターとして
・クリーンなスチーマーとして
・その他クリーン温風・不活性ガスの昇温機として
商品コード
型式
使用電圧
負荷電力
外形寸法
重量
接続口口径
10839-01
YHU-200-1
100V 単相
200W
236(H)×235(W)×52(D)mm
約2kg
RC1/4
10839-02
YHU-200-2
200V 単相
10839-03
YHU-400-1
100V 単相
400W
285(H)×290(W)×82(D)mm
約4kg
RC1/4
10839-04
YHU-400-2
200V 単相
10839-05
YHU-800-1
100V 単相
800W
335(H)×338(W)×82(D)mm
約5kg
RC1/2
10839-06
YHU-800-2
200V 単相
流量84NL/min 以下では、150℃の昇温能力があります。
流量100NL/min では130℃の昇温可能で、その時の圧力損失は
約0.053MPa になります。
例:YHU-400
■性能特性表
この特性表はN
2ガスを対象とした際の、昇温能力(⊿T)と圧力損失の相関
性を示しています。
グラフは実測値を元に編集した参考値であり、保証値ではございません。 機種選定の目安として下さい。昇温能力(⊿T)=出口温度ー入り口温度
■注意 ・本器には活性ガスを流さないで下さい。 ・本器は防水、及び防爆仕様品ではございません。 ・制御回路の入力電源電圧は、本器の定格値でご使用ください。 定格値外の電圧を加えると、故障、又は本器の特性が得られない場合があります。 使用領域 圧力損失 − − −表示機種 YHU-200-1YHU-200-2 YHU-400-1YHU-400-2 YHU-800-1YHU-800-2