Development of Novel Pulse Radiolysis System and Research on Reaction Mechanism of Highly

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Research on Early Events in Radiation Chemistry:

Development of Novel Pulse Radiolysis System and Research on Reaction Mechanism of Highly

Sensitive Positive Type Resist

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2.2.2 Sࣂࣥࢻ RF㟁ሙ࡟ࡼࡿຍ㏿ ... 26

2.3 ࢡࣛ࢖ࢫࢺࣟࣥ ... 27

2.4 UVග※ ... 28

2.4.1 Pulrise-Ϭ ... 28

2.4.2 ࣇ࢓࢖ࣂ࣮࣮࣋ࢫࡢ࣐ࣝࢳࣃࣝࢫษฟࡋ ... 30

2.4.3 ࣇ࢓࢖ࣂ࣮࢔ࣥࣉ࣭LD࢔ࣥࣉ ... 31

2.4.4 ➨஧ḟ㧗ㄪἼⓎ⏕ ... 32

2.5 ┿✵ ... 33

2.6 ࢱ࢖࣑ࣥࢢ⣔ ... 34

2.7 㟁Ꮚࣅ࣮࣒ࣃ࣓࣮ࣛࢱ࣮ ... 36

2.7.1 ࢚࣑ࢵࢱࣥࢫ ... 36

2.7.2 ࣅ࣮࣒ࢫ࣏ࢵࢺࢧ࢖ࢬ ... 38

2.7.3 㟁Ⲵ㔞 ... 40

2.7.4 ࣅ࣮࣒࢚ࢿࣝࢠ࣮ ... 41

2.7.5 ࣂࣥࢳ㛗 ... 44

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3.1 ࣮ࣞࢨ࣮ ... 47

3.2 ▷ࣃࣝࢫⓑⰍග⏕ᡂ ... 48

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3.2.1 ➨஧㧗ㄪἼⓎ⏕ ... 48

3.2.2 ⮬ᕫ఩┦ኚㄪ ... 51

3.2.3 ㄏᑟ࣐ࣛࣥᩓ஘ ... 51

3.2.4 4ගἼΰྜ ... 52

3.3 ࣇ࢛ࢺࢽࢵࢡࢡࣜࢫࢱࣝࣇ࢓࢖ࣂ࣮ ... 52

3.4 ࣃࣝࢫࣛࢪ࢜ࣜࢩࢫ࡬ࡢSCගᛂ⏝ࡢ฼Ⅼ ... 54

3.5 ࣆࢥ⛊࣮ࣞࢨ࣮࡛ࡢSCග⏕ᡂ ... 55

3.5.1 SCග⏕ᡂࢭࢵࢺ࢔ࢵࣉ ... 55

3.5.2 ࣇ࢓ࣛࢹ࣮࢔࢖ࢯ࣮ࣞࢱ࣮ ... 56

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3.5.4 ࣅ࣮࣒࢚࢟ࢫࣃࣥࢲ࣮ ... 58

3.6 ࣇ࢓࢖ࣂ࣮ධᑕ ... 58

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3.7 ࣇ࢛ࢺࢹ࢕ࢸࢡࢱ࣮ ... 61

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3.9 SCගFluctuation ᐃ ... 63

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4.2 SCගࢼࣀ⛊ࣃࣝࢫࣛࢪ࢜ࣜࢩࢫࢭࢵࢺ࢔ࢵࣉ ... 70

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4.2.2 ࣇ࢛ࢺࢹ࢕ࢸࢡࢱ࣮ ... 72

4.2.3 ࢜ࢩࣟࢫࢥ࣮ࣉ ... 73

4.2.4  ᐃࣉࣟࢢ࣒ࣛ ... 74

4.3 SCග࡟ࡼࡿࢼࣀ⛊ࣃࣝࢫࣛࢪ࢜ࣜࢩࢫ ᐃ ... 75

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4.3.2 ⣧Ỉ࡟࠾ࡅࡿ㐣Ώ྾཰ ᐃ ... 76

4.3.3 ⣧Ỉ࡟࠾ࡅࡿ྾཰ࢫ࣌ࢡࢺࣝ ᐃ ... 77

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4.5 SCගࣆࢥ⛊ࣃࣝࢫࣛࢪ࢜ࣜࢩࢫࢭࢵࢺ࢔ࢵࣉ ... 79

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4.5.3 ࢳ࢙ࣞࣥࢥࣇගほ ࡟ࡼࡿࢱ࢖࣑ࣥࢢ ᐃ ... 81

4.6 ⣧Ỉ࡟࠾ࡅࡿࣆࢥ⛊ࣃࣝࢫࣛࢪ࢜ࣜࢩࢫ ᐃ ... 83

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5.3 ࣇ࢙ࢽࣝࣜࣥࢢ࡜ሷ⣲ཎᏊࡢ㛫ࡢ㟁Ⲵ⛣ື㘒య ... 100

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6.2 ᐇ㦂ヨ⸆ ... 106

6.3 DCM⁐፹୰࡛ࡢ㐣Ώ྾཰ࢫ࣌ࢡࢺࣝ... 106

6.4 DCM⁐፹୰࡛ࡢ500 nmࡢ྾ගᗘࡢῶ⾶ ... 108

6.5 DCM⁐፹୰࡛ࡢ㉥እ㐣Ώ྾཰ࢫ࣌ࢡࢺࣝ ... 109

6.6 THF⁐፹୰࡛ࡢ㐣Ώ྾཰ࢫ࣌ࢡࢺࣝ ... 110

6.7 THF⁐፹୰࡛ࡢTOAࡢῧຍ࡟ࡼࡿ྾ගᗘࡢኚ໬ ... 112

6.8 㟁Ⲵ⛣ື㘒య࡬ࡢTOAࡢᙳ㡪 ... 114

6.9 THF⁐፹୰࡛ࡢ࣮࣍ࣝ⛣ື࡜┤᥋࢖࢜ࣥ໬ ... 115

6.10 ZEP520Aࡢศゎᶵᵓ⪃ᐹ࡜⥲ᣓ... 118

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ᅗ 2.2 RF✵⬗࡜ෆ㒊㟁ሙ ... 26

ᅗ 2.3 ࢡࣛ࢖ࢫࢺࣟࣥࣔࢪ࣮ࣗࣞࢱ࣮࣭ࢡࣛ࢖ࢫࢺࣟࣥእほ ... 27

ᅗ 2.4 Pulrise-Ϭ ... 29

ᅗ 2.5 Intensity Modulator ... 31

ᅗ 2.6 ࣇ࢓࢖ࣂ࣮࢔ࣥࣉ ... 32

ᅗ 2.7 LD࢔ࣥࣉ ... 32

ᅗ 2.8 UV⏕ᡂࢩࢫࢸ࣒඲యᅗ ... 33

ᅗ 2.9 ✵ㄪࢩࢫࢸ࣒ ... 33

ᅗ 2.10 ࢱ࣮࣎ศᏊ࣏ࣥࣉ ... 34

ᅗ 2.11 ࢖࣏࢜ࣥࣥࣉ ... 34

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ᅗ 2.13 ࣓࢖ࣥไᚚ┙ ... 35

ᅗ 2.14 ࢱ࢖࣑ࣥࢢ⣔ࢲ࢖࢔ࢢ࣒ࣛ ... 36

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ᅗ 2.16 ࢯࣞࣀ࢖ࢻ࣐ࢢࢿࢵࢺࡢ㟁ὶ࡜☢ሙ ... 37

ᅗ 2.17 Q࣐ࢢࢿࢵࢺ࡟ࡼࡿ☢ሙ ... 38

ᅗ 2.18 Q࣐ࢢࢿࢵࢺタ⨨ᅗ ... 39

ᅗ 2.19 ࢔࣑ࣝࢼ⺯ගᯈ ... 40

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ᅗ 2.23 BPM ... 43

ᅗ 2.24 ୖὶ㟁Ⲵ㔞࡜࢚ࢿࣝࢠ࣮ࡢPhase Scan ... 44

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ᅗ 3.2 PCFࡢ᩿㠃㢧ᚤ㙾෗┿ ... 53

ᅗ 3.3 ࢫ࣮ࣃ࣮ࢥࣥࢸ࢕ࢽ࣒࢘ࡢ᫬㛫ᵓ㐀... 54

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ᅗ 3.5 ࣇ࢓ࣛࢹ࣮࢔࢖ࢯ࣮ࣞࢱ࣮ෆ㒊ᵓ㐀... 56

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ᅗ 3.7 ࣇࣛࢵࢩࣗࣛࣥࣉ࢔ࣥࣉ ... 57

5

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ᅗ 3.9 xyzࢫࢸ࣮ࢪ ... 59

ᅗ 3.10 DET10A/M ... 62

ᅗ 3.11 SCගࡢἼᙧ ... 62

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ᅗ 3.14 ࣮࢜ࢺࢥ࣮ࣜࣞࢱ࣮ ... 65

ᅗ 3.15 SCගࡢἼ㛗࡜ࢳ࣮ࣕࣆࣥࢢࡢࢩ࣑࣮ࣗࣞࢩࣙࣥ⤖ᯝ ... 66

ᅗ 4.1 ࢫࢺࣟ࣎ࢫࢥࣆࢵࢡἲ࡟࠾ࡅࡿගᏛ㐜ᘏ ... 69

ᅗ 4.2 ࢫࢺࣟ࣎ࢫࢥࣆࢵࢡἲ࡟ࡼࡿO.D. ᐃ ... 70

ᅗ 4.3 SCග࡟ࡼࡿࢼࣀ⛊ࣃࣝࢫࣛࢪ࢜ࣜࢩࢫࢭࢵࢺ࢔ࢵࣉ ... 71

ᅗ 4.4 ศගჾ ... 72

ᅗ 4.5 DET100A/M ... 73

ᅗ 4.6 DSO6054L ... 73

ᅗ 4.7 SCගࣉ࣮ࣟࣈ࡟ࡼࡿ⣧Ỉヨᩱ㐣Ώ྾཰ ... 76

ᅗ 4.8 SCගࣉ࣮ࣟࣈ࡟ࡼࡿ⣧Ỉヨᩱ྾཰ࢫ࣌ࢡࢺࣝ ... 77

ᅗ 4.9 SCග࡟ࡼࡿࣆࢥ⛊ࣃࣝࢫࣛࢪ࢜ࣜࢩࢫࢭࢵࢺ࢔ࢵࣉ ... 79

ᅗ 4.10 SGSP26-200(X) ... 80

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ᅗ 5.2 㧗ឤᗘ࣏ࢪᆺ㟁Ꮚ⥺ࣞࢪࢫࢺZEP520A ... 99

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