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デ ュ ア ル バ イ ブ レー タ を用 い た 移 送 ア ク チ ュ エ ー タ の 開 発*

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Academic year: 2022

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(1)973 JSPE‑58‑06 '92‑06‑973. 開発論文. デ ュ ア ル バ イ ブ レー タ を用 い た 移 送 ア ク チ ュ エ ー タ の 開 発* 小 田 高 広**. Development. of. the. Sheet. Takahiro. 青 柳 誠 司***. Feeding ODA, Seiji. 神 谷 好 承***. Mechanism. Using. Two Sets. AOYAGI, Yoshitugu. 岡 部 佐 規 一***. of. Ultrasonic. KAMIYA and Sakiichi. Vibration. Actuators. OKABE. This study describes the development of the sheet feeding mechanism using ultrasonic vibration actuator. It consists of a driving rotor, a sub-rotor , and two sets of piezoelectoric vibrators, which is called the dual vibrator in this paper . That vibrator generates the mode of bending vibration. Driving rotor is rotated by the ultrasonic vibration of the dual vibrator. The driving frequency and amplitude of one vibrator is different from that of the other. In this paper, the motion of driving rotor is analyzed theoretically , and it i s confirmed that its rotor can be rotated in the clockwise or counterclockwise direction . As a result of fundamental experiments, it was proved that telephone card could be fed easily, and flat and compact sheet feeding mechanism could be obtained . Key words: sheet feeding, ultrasonic vibration, piezoelectoric ceramics. 1.. 緒. 言. 在 波 型 モ ー タ の 研 究 は 行 わ れ て い る. 本 研 究 で は,定. 超 音 波 モ ー タ は構 造 が 簡 単 で,単. 位 重量 当 た りの出. 在 波型 モ ー タの正 逆 回転 を容 易 に可. 能 と す る こ と で,駆. 動 系 を コ ン パ ク ト化 した カ ー ド搬. 力 トル クが 電 磁 式 ア ク チ ュ エ ー タ に 比 べ て 大 き くで き. 送 装 置 の 開 発 を 目 的 とす る.実. る.そ の た め,駆. チ ュ エ ー タ で は,超 音 波 振 動 子 を 駆 動 ロー タ を 中 心 に. 動 系 の 小 型 ・軽 量 化 に と っ て 非 常 に. 左 右 対 称 に 配 置 す る最 も基 本 的 な 構 成 を 採 用 し6),こ. 有効 で あ り,様 々 な 分 野 へ の 応 用 が 検 討 さ れ て い る. その一例 と し て,情. 報 機 器 で は カ ー ドの 搬 送 に 直 接 応. こで は,2つ. タ(回 転 体)の. く の場 合,ロ. ー. 成 す る2つ. 動 ロ ー タ を 効 率 よ く正 逆 回 転 さ せ る 方. 法 を 新 た に考 案 した.本 い て,2つ. 正 逆 方 向 へ の 回 転 が 必 要 と され る。 進. 行波型 モ ー タ3)で は,合. の超 音波 振 動子 の駆 動振 動 数比 と振幅 比. を 制 御 して,駆. 用す る とい っ た 研 究 が 早 くか ら報 告 さ れ て い る1)2). モー タ と し て の 使 用 に 際 して は,多. 際 に 試 作 した 移 送 ア ク. 論 文 で は,こ. の駆動 方 法 につ. の超音 波振 動 子 と駆動 ロー タ との接触 関 係. を 考 慮 した 運 動 方 程 式 を 導 出 す る こ とで,駆. の振動 の位相 差 を. 動 ロー タ. 電気的 に調 節 す る こ と で 進 行 波 の 振 動 方 向 が 制 御 で き. の 回 転 特 性 を 数 式 的 に 明 らか に した.ま. るた め正 逆 回 転 が 容 易 に 可 能 で あ る.一 方,定. 移 送 ア ク チ ュ エ ー タ に 本 方 式 を 用 い た と こ ろ,実. モー タ41で は,原. 在 波型. 理上 振動 方 向 の制御 が 困難 で あ るた. め振動 子 自身 の 工 夫 が 必 要 で あ る.よ. っ て,実. た,試. 果 は理 論 特 性 と比 較 的 よ く一 致 した の で,こ. 用 され. 作 した 験結. れ らにつ. い て 報 告 す る.. てい る超 音 波 モ ー タ の ほ とん ど は 前 者 の 方 式 で あ る. しか し,モ ー タ の 効 率 面 で は5),定. 在 波 型 が80%程. 度. 可能 で あ るの に 対 し,進 行 波 型 で は50%程. 度 とい うよ. う に定在 波 型 の 方 が 高 効 率 で あ る こ と,さ. らに振動 子. 2.. 2.. の 設 計 が比 較 的 容 易 で あ る こ と な どか ら,現 在 で も定. 1. 図1に. 基本 構成 移 送 ア ク チ ュ エ ー タ の 駆 動 原 理 を 示 す.駆. ロ ー タ は,補 * 原 稿 受 付 平 成3年10月3日. 駆 動 メカニ ズ ム. に よ り2つ. 助 ロ ー タ と一 体 に 構 成 さ れ て,予. の 超 音 波 振 動 子1,2に. ** 正 会 員. 沖 電 気 工 業(株)(八王 子 市 東 浅 川 町550‑5). る.超 音 波 振 動 子1,2が. *** 正 会 員. 金 沢 大 学 工 学 部(金 沢 市 小 立 野2‑40‑20). Q1, 53. Q2と. 動. 圧 Fc. 押 し付 け られ て い. 駆 動 ロ ー タ と接 触 す る 点 を. し,無 振 動 時 に お い て,そ. れ ら と駆 動 ロ ー.

(2) 精 密 工 学 会 誌58/6/1992. 974. Fig.1. Driving. タ の 重 心0と. mechanism. of. が な す 角 度 を2α. の と き,駆. ら の 力P1,. 中 心 とす る 回 転 運 動(図1で. とす る)を 行 う.な. actuator. とす る.こ. 動 ロ ー タ は 超 音 波 振 動 子1,2か 重 心Oを. an. P2に. よ り. は時計 方向 を正. お,カ. ー ドは,駆. 動 ロー タと補助. ロー ラ と の 間 で 挟 ま れ,接. 触 点Q3で. 駆 動 ロー タか ら. 受 け る摩 擦 力 に よ り,X方 2.. 2. Fig.2. of. two sets. of. vibrators. よ る 損 失 を 考 慮 す る 必 要 が あ る10)11).こ. 向 に 移 送 さ れ る.. 運 動形 鰭. 音 波 振 動 子1,2の. 駆 動 ロ ー タ の 回 転 力 と して,超 ら の 力P1,P2に. Motion. 音 波 振 動 子1,2か. 角 度2α. の と き,超. 表 面 速 度V1,V2は,式(1)と. よ り,次. 式(2)で. 接触. 表 さ れ る.. (2 ). よ り駆 動 ロ ー タ の 接 線 方 向 に発 生 す. る摩 擦 力 を 用 い て い る.そ 波 振 動 子1,2と. の た め,駆. 動 ロ ー タ と超 音 3.. の 接 触 状 態 が 重 要 と な り,両 者 間 の. 駆 動 ロー タの運動 解析. 相 対 運 動 を 考 慮 す る 必 要 が あ る. い ま,図1に 02を. お い て,超. 音 波 振 動 子1,2が. 中 立 点 と して 名 方 向 に,振. 振 動 数 が ω1,ω2で. 点O1,. 幅 がU1,U2,駆. 振 動 す る と,接. 3.. 動角. 触 点Q1,Q2の. 1. 図2に. Zi≧Oか. (1 ) こ こ で は,ω1,ω2の. 域 を 使 用 す る た め,超. と分 離 が 生 じ る.こ. の と き,域. 再 び 接 触 す る場 合,一. 値 と して 超 音 波 領. 方 向 で は,両 般 に,分. 同 図 の接 触 区 間 に お い て,力P1,P2がz方. 向で生. (3 ) と 表 され る.こ. こ で,κ1,κ2は. こ こで,式(2),(3)で. 表 され るviとPiと. 波 領 域 の 角 振 動 数 ωiで 変 化 す る た め,マ. っ て,. る と,そ Viの. 面 速 度V1,Piの. の を 平 均 押 付 力Piと な る。. りに. 54. ク ロ 的 にみ って,. 変 動 を そ の接 触 時 間 で 平 均 化 した も の を 平 均 表. 向 で は,超. 音 波 振 動 子 と駆 動 ロ ー タ と の速 度 の 差 か ら. は,超 音. の 変 動 が 平 均 化 さ れ た よ う に な る.よ. 接 触 と分 離 を 定 常 的 に 繰 り返 す 運 動 と い え る. 一方 ,接 触 点Q1,Q2に おけ る駆動 ロー タの接線 方. 線 方 向 の 運 動 で は,滑. 超 音 波 振 動 子1,2の. z方 向 の 曲 げ 剛 性 で あ る.. か も両 者 の 接 触 時 間 が 非. 駆 動 ロ ー タ と の 之 方 向 の運 動 は,. って,接. 接触し. れ 以 外 で は分 離 す. 離 した 物 体 が. 常 に 短 い こ と か ら反 発 しな い と考 え られ る.よ. 滑 りが 生 じ る.よ. と き に 超 音 波 振 動 子iと. じ る振 動 子 の 変 形 量 で 近 似 で き る と す る と,. 者 の 間で接 触. し か し,本 機 構 で は 駆 動 ロー タ の質 量 が 超 音 波 振 動 子. 超 音 波 振 動 子1,2と. の と き,. の 加 速 度 の 差 か ら,. る と考 え られ る.. 種 の 衝 突 現 象 が 生 じ る7)〜9).. の 質 量 と比 べ 十 分 大 き く,し. つvi≧Oの. (図 中 の斜 線 で 囲 ま れ た 領 域),そ. 音 波 振 動 子 と駆 動 ロー タ と の 加. 速 度 の 差 が 大 き く な り,之. 運 動 を 示 す.こ. 駆 動 ロー タ は超 音 波 振 動 子1,2と. 運動. は,. で 表 さ れ る.. 平 均 押 付 力 と平 均 表 面 速 度 の 導 出 超 音 波 振 動 子1,2の. 変 動 を そ の 接 触 時 間 で 平 均 化 した も す る と,そ. れ ぞ れ 以 下 の よ うに.

(3) 小 田 ・青 柳 ・神 谷 ・岡 部:デ. 975. ュ ア ル バ イ ブ レ ー タ を 用 い た 移 送 ア ク チ ュエ ー タ の 開 発. (11) た だ し, J=MR2/2. (4). こ こ で,Mは. 駆 動 ロ ー タ の 質 量,Rは. 駆 動 ロー タ の. 半 径 で あ る. 3.. 3. 回 転 数 及 び 送 り速 度 の 導 出. 式(11)を,初. 期 条 件(t=Oの. と き, θ=dθ/dt=. O)で 解 く と,駆 動 ロ ー タ の 角 速 度 ω は,. (5) 3.. 2. (12). 駆 動 ロー タの運 動 方程 式 の導 出. 接 触 点Q1,Q2に. お い て,駆. 子 ごよ り受 け る 回 転 力 をFMiと 波 振 動 子iがviπ/(2ωi)だ. 動 ロー タが超音 波振 動 す る.こ. の と き,超 音 と な る.こ. け滑 る間 の仕事 量 と 滑. の と き,駆. 動 ロ ー タ の 回 転 数nは. /(2π)で 求 め られ る た め式(12)よ. り に よ る損 失 量 と の 関 係 を,. n=60ω. り次 式 で 表 され る.. (6) (13) と して,回. 転 力FMiを,. で 表 す.こ. こ で,(e1i一e2i)は. (7) の 損 失 量,e1iは e2iは. 超 音 波 振 動 子 ごか ら駆 動 ロ ー タ へ,. 駆 動 ロー タ か ら超 音 波 振 動 子iへ. 図1で. 触 点Q1,Q2で. カ ー ドと の 間 の 滑 り を 考 慮 して,駆. それ ぞ れ与 え. られ る単 位 距 離 当 た り の 仕 事 量 で あ る.ε す 係 数 で,接. 一 方 ,カ ー ドの 送 り速 度 に つ い て は,駆. 単位 距 離 を滑 る とき. nと 同 様 に 解 析 す る.ま. は損 失 を 表. め,(vR‑v)と. 同 じ とす る.. な り,仕. な る。. よ っ て,カ. のX方. 向(図1の. 右 方 向)の. とな るた. ー ドが 駆 動 ロー タ. か ら受 け る押 付 力 をFc=P1+P2と. 滑 り速 度 は そ れ ぞ れ (v1‑Rω). と(‑V2十Rω)と. 向 の 滑 り速 度 は,式. (12)よ り駆 動 ロー タ の 表 面 速 度 がvR=Rω. 駆 動 ロー タが角速 度 ω で時 計方 向 に回転 す る. と,接 触 点Q1,Q2の. ず,x方. 動 ロー タ と. 動 ロー タ の回転 数. す る と,カ. ー ド. 運 動 方 程 式 は,. 事 量e1iは,. (14) (8) た だ し, v=dX/dt で 表 され る。 複 号 は 同 順 で,i=1の の と き下 を と る.な. お,μ. ＝2. と な る.こ. は 滑 り摩 擦 係 数 で あ り,滑. り速 度 に よ らず 一 定 とす る.ゆ (7)に 式(4),(5),(8)を. と き 上,ご. え に,回. 転 力FMiは. 代 入 す る こ と で,次. こ で,μpは. 滑 り摩 擦 係 数,εpは. 式. 式(14)を,初. 式(9)で 表. 期 条 件(t=Oの. 0)で 解 く と,送. され る.. 駆 動 ロ ー タ と カ ー ドと の 問 の. 損 失 を 表 す 係 数 で あ る. と き, X=dX/dt=. り速 度 はv=Rω. と な り,式(12)を. 代 入 す る こ とで,. (9) (15) た だ し, ω=dθ/dt な お,駆. 動 ロ ー タ の 回 転 時 間tは. 超 音波 振動 子 の周. 期 に 比 べ 十 分 大 き く次 の 関 係 が 成 り立 つ.. で 表 され る.. (10) 式(9)よ り,駆. 動 ロ ー タ の 運 動 方 程 式 は 次 式(11)で. こ の と き,式(13),(15)を る と,回. 表 さ れ る.. 転 数n及. 評 価 で き る.. 55. 次 式(16)の. び 送 り速 度vは. 関 数f. よ うに展 開 す (U1/U2)で.

(4) 976. 精 密 工 学 会 誌58/6/1992. Fig.3. Relation. between. f(U1/U2),Ut,/U2. Fig.4. and. Relation. ω2/ω1. 4. 4. 図5に す.こ. (16). ＋ ∞ と な り,し. き,0＜. ら わ か る よ う に,. κ2/κ1＜1と. 図3,4に0＜. ω2/ω1＜1か. 0＜ ω2/ω1＜1の. っ0＜ κ2/κ1＜1の. f(U1/U2)→. 音 波 振 動 子1,2内. で 出 力 部 を2つ. お,接. 触 角 度2α. を π/2と. し た.ま. よ り検 出 した.. 試 作 で は,前 節 の 正 逆 回 転 の. 両 者 の 形 状 と 寸 法 を 同 一 と し た.ま. と. た,図. よ り超 音 波 振 動 子1,. た,使. よ って. 用 す る駆 動. 逆 数 の 大 き さ に 比 例 して 大 き く な り, κ1の と き, f(U1/U2)=0と. とき. 図 と も,. ＋∞ とな る こ. ラ フ の 傾 き は, (ω2/ω1−. 以 上 よ り, U1/U2→. の と き,超. 原 理 よ り,駆 動 特 性 を 同 一 に す る必 要 が あ る. κ2/κ1と. の 関 係 を 示 す.両. ＋ ∞ に 対 し て,. と が わ か る.グ. 実 験装 置. な る.. のU1/U2とf(U1/U2)と U1/U2→. and. 試 作 した 移 送 ア ク チ ュ エ ー タ の主 要 部 分 を示. 超 音 波 振 動 子1,2の. 符 号 が変 化. だ し, ω2/ω1と. 1. 2を 励 振 し,振 動 状 態 を 圧 電 素 子2に. ＋ ∞ に 対 してf(U1/. か もf(U1/U2)の. し な い こ と が 望 ま し い.た の 関 係 は 図9か. U1/U2. 試作 によ る駆 動特 性 の基 礎 的実験. の よ う に接 着 し た 圧 電 素 子1に. 動 ロー タの回 転方 向 あ るい は媒体 の搬 送 方. 向 を 考 慮 した 場 合 に,U1/U2→ U2)→. f(U1/U2),. 設 計 し,駆 動 ロ ー タ と補 助 ロ ー タ と を そ れ ぞ れ に設 置 した.な. な お,駆. between. κ2/κ1. κ2/κ1)の. U1/U2=κ2/. な る. ＋∞. に対 して,駆. 動 ロー タが. 安 定 して 回 転 す る駆 動 条 件 は, 0＜ ω2/ω1＜1, と な る.こ. 方 向 で あ り,カ な お,駆 方 向 は,上. U1/U2≧. κ2/κ1,. 0＜ κ2/κ1＜1. の と き,駆 動 ロー タ の 回 転 方 向 は 図1の ー ドの 搬 送 方 向 はXの. 正. 正 方 向 で あ る.. 動 ロ ー タ の 回 転 方 向 あ る い は カ ー ドの 搬 送 記 の 条 件 を 超 音 波 振 動 子1,2で. Fig.5. 切 り替 え. Schematic feeding. て 入 力 す る こ と で 可 能 と な る.. 56. diagram actuator. of. a trial-made. sheet.

(5) 小 田 ・青 柳 ・神 谷 ・岡 部:デュ. 977. ア ル バ イ ブ レ ー タ を用 い た 移 送 ア ク チ ュエ ー タ の 開 発. 角 振 動 数 と し て,振. 幅 と の 関 係 よ り,10kHzか. の 範 囲 に あ る共 振 周 波 数 を2つ 1,2の. 駆 動 角 振 動 数 ω1,ω2(ω1＞. で,図6に. ω2)と. 計 上 両 者 の 比 は,1.5＜. ＜3の 範 囲 内 に あ っ た た め,ω1/ω2が Design. of. a trial-made. で 試 作 した.図6に. vibrator. した.こ. こ. 示 す 超 音 波 振 動 子 の 寸 法 比(D/a,L4/L2)を. 変 化 さ せ た と こ ろ,設. Fig.6. ら40kHz. 選 択 し,超 音 波 振 動 子. 材 質 は黄 銅 で,質. そ の と き の 寸 法 値 を 示 す.な 量 は1.77×10‑3kgで. 用 した 共 振 モ ー ドを 示 す.こ Bで 位 相 差 が あ る が,こ 生 じ る た め,駆. お,. あ る.図7に. こ で,図7(a)の. 使. 端 部A,. れ は超 音波 領域 の角振 動 数 で. 動 ロ ー タ の 回 転 数 及 び カ ー ドの 送 り速. 度 の 評 価 で は 本 質 的 な 問 題 と な ら な い.ま 子1,2と. ω1/ω2. 最大 にな る寸法. して,分. 極 が 厚 み 方 向 で,厚. た,圧. 電素. さ1mm,幅5mm,. 長 さ16.7mmの 単 板 型 圧 電 素 子 を 用 い た.. (a) Fig.7. Vibration. 図8に. (b) mode of. a trial-made. 試 作 した 超 音 波 振 動 子 の 入 力 電 圧 一振 幅 特 性. を 示 す.. vibrator. こ の と き,光. 学 式 変 位 計 を 用 い て 端 部A,B. の 振 幅 を 測 定 した.な お,図 中 の 直 線 は,測 定 値 か ら 一 次 近 似 した もの で あ る.こ れ よ り,ω1,ω2の 場合 と も入 力 電 圧 に 比 例 して,振 る.図9に. 幅 が 増加 す るこ とがわ か. 試 作 した 超 音 波 振 動 子 の 負 荷 カ ー 振 幅 特 性. を 示 す.測. 定 値 か ら近 似 し た 直 線 の 傾 き よ り,ω1の. と き の 曲 げ 剛 性 κ1を1.38×107N/m, 剛 性 κ2を3.97×106N/m,と 4.. 2. ω2の と き の 曲 げ. そ れ ぞ れ 求 め た.. 振 幅比 一回転数 特 性. 図10に. 試 作 した 移 送 ア ク チ ュ エ ー タ の 振 幅 比 一 回. 転 数 特 性(正. 回 転)を. 中 に 示 す.. 示 す.こ. の と きの駆動 条 件 を図. こ れ よ り,回 転 数nは. 振 幅 比U1/U2に. 例 して 増 加 す る こ と が わ か る.な を36.4kHz,超 Fig.8. Relation output. between amplitude. input. voltage. お,超. 音 波 振 動 子2を13.2kHzで. 比. 音 波 振 動 子1 振動 させ た と. き駆 動 ロー タ は正 回 転 し,こ の 駆 動 振 動 数 を 入 れ 替 え. V and. て 振 動 させ た と き は 逆 回 転 した.ま. U1,U2. 比 較 と して,ど. ロ ー タ を 回 転 さ せ た が,ほ 4.. 3. 振 幅 比ｰ送. 図11に. 転数 特性 の. とん ど回 転 し な か った.. り速 度 特 性. テ レ フ ォ ン カ ー ドを搬 送 さ せ た と きの 振 幅. 比 一 送 り速 度 特 性(正. 方 向)を. 条 件 を 図 中 に 示 す.こ. れ よ り,送. U1/U2に. た,回. ち らか 一 方 の 超 音 波 振 動 子 の み で 駆 動. 示 す.こ. の と きの 駆 動. り速 度vは,振. 比 例 して 増 加 す る こ とが わ か る.な. 幅比 お,駆. 動 ロー タ と テ レ フ ォ ン カ ー ド との 間 の 滑 り摩 擦 係 数 は 0.20〜0.30で 4.. 4. あ っ た. 測定 値 と計算 値 との比較 及 び考 察. 図10,11に 線 で 示 す.こ. 式(13),(15)よ. 時 と同 じ(ω1/ω2≒2.8, Fig.9. Relation output. between amplitude. pressure. force. 3.64×104rad/s, ＝0 .210×10‑6m,. FN and. UI,U2. 57. り算 出 し た 計 算 値 を 実. の と き,計 算 式 内 の 各 パ ラ メ ー タ は 実 験. ω2=2π. κ2/κ1≒0.29, ×1.32×104. R＝9.5×10‑3m,α. ω1=2π rad/s, ＝45°)と. × U2 し,.

(6) 精 密 工 学 会 誌58/6/1992. 978. Fig.10. Rotational using. speed n.of a. trial-made. U1/U2=0.2〜1.2ま. a driving. rotor. Fig.11. Sheet made. actuator. で 計 算 した.両. 図 と も,測 定 値. feeding. speed v. using. 下 さ っ た 沖 電 気 工 業 の 関 係 各 位,お. と 計 算 値 は 定 性 的 に ほ ぼ 一 致 して い る こ と が わ か る.. a. trial-. actuator. よ び 実 験 装 置 の製. 作 に 関 し て 御 示 唆 を 賜 っ た 金 沢 大 学 工 学 部 の 野 村 久直 技 官 に 心 か ら感 謝 の 意 を 表 し ま す.. 5.. 結. 言 参. 考. 文. 献. デ ュ ア ル バ イ ブ レー タ を 用 い た 移 送 ア ク チ ュ エ ー タ を 試 作 し,そ の 駆 動 特 性 に関 して,理 か ら検 討 を 行 っ た.以. 論 と実 験 の 両 面. 1). (1) 本 研 究 で は,2つ. の超 音波 振動 子 か らな るデ ュ. ア ル バ イ ブ レー タ に駆 動 ロ ー タ を 押 し付 け,そ. 2). れ. 曲Bn多. 沼 雅 利,小. 年記念シ. 笠 原 俊 治,高. 野 剛 浩:縦. 重 モ ー ド振 動 子 を 用 い た 平 板 状 超 音. 3). 波 モ ー タ の 応 用,日 本 音 響 学 会 平 成 元 年 度 秋季 研 究 発 表 会 講 演 論 文 集II, 10, (1989) 945. 松 下 電 器 産 業 モ ー タ 事 業 部:超 音 波 モ ー タ,ナ シ. 4). 指 田 年 生:超. よ り,駆 動 ロ ー タ を 正 逆 方 向 に 回 転 で き る方 法 を 考 案 した.. ョ ナ ル 技 術 資 料.. (2) 駆 動 ロ ー タ の 運 動 解 析 と して,重. 力 方 向 を振 動. 51,. 子 と の 加 速 度 の 差 か ら接 触 と 分 離 を定 常 的 に繰 り 5). 動 ロ ー タ の接 線 方 向 を 振 動 子 と の 速. 度 の 差 か ら滑 り運 動 と そ れ ぞ れ 仮 定 し,回 転 運 動. (3) (2)の 式 よ り,駆 動 ロ ー タ の 回 転 数 及 び カ ー ド の 送 り速 度 の 式 を 導 く と と もに,こ. (4) 試 作 に よ る実 験 結 果 は,(3)で の 傾 向 と比 較 的 よ く一 致 し た.こ. 音 波 駆 動 モ ー タ の 試 作,応. (1982). 黒澤. 実,上. 率,日. 本 音 響 学 会 誌,. 羽 貞 行:進. 岡 部 佐 規 一,横. の こ と か ら,定. 9). 在波 型超 音 波 モー タ に対 す る本方 式 の有 利性 が確. 1,. (1988). 40.. Driven Motor, 16, 7, (1973). 山 恭 男,神. 保 泰 雄:振. I BM 2263.. 動 輸 送 の研. 究(第1報)−. 振 動 す る 面 上 に あ る 物 体 の 運 動 −,. 精 密 機 械,35, 横 山 恭 男,小. 5, (1969) 299. 泉 邦 雄:衝 突 振 動 の 研 究(第1報. 本 式 と 実 験 装 置),精. 行 った解析結 果. 行 波 型 超 音 波 モ ー タの効 44,. 7). 8). 用 物 理,. 713.. H.V.Barth: Ultorasonic Tech. Disclosure Bull.,. れ ら と駆 動 振. 動 数 比 及 び 振 幅 比 と の 関 係 を 明 らか に した.. 6,. 6). に 関 す る運 動 方 程 式 を 導 出 した.. 密 機 械,36,. 11,. 基. (1970). 731. 西 村 源 六 郎,横 山 恭 男:振 動 加 工 の 研 究(第1報) − 工 具 運 動 の 解 析 一 ,精 密 機 械,30, 2, (1964) 171.. 認 で き た.. 謝. 最 後 に,本. 音 波 モ ー タ の カ ー ド送 り 装 置 へ の応. 富 川 義 朗,柳 L1‑屈. ぞ れ を 異 な る 駆 動 振 動 数 と振 幅 で 励 振 す る こ と に. 返 す 運 動,駆. 吉 田 哲 男:超. 用,固 体 ア ク チ ュ エ ー タ 研 究 部 会2周 ン ポ ジ ウ ム 講 演 論 文,10 (1989) 3.. 下 に主 な結 果 を 述 べ る.. 10). A.K.Banerjee: on the Critical Motion, Wear,. 11). 石 川 義 雄,須. 辞. 精 密 機 械,44,. 研 究 の 実 施 に 関 し,機 会 と援 助 を 与 え て. 58. Influence of Kinetic Friction Velocity of Stick-slip 12, (1968) 107. 田. 稔:こ 6,. ろ が り 摩 擦 の 基 礎 研 究,. (1978). 704..

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