The Mechanism of Migration Phenomenon for Fine Pitch Packaging

特 集 ・超高密 度実装 のためのマ イク ロソル ダ リング技術

フ ァイ ン ピ ッチ に お け る

マ イ グ レー シ ョン 現 象 の メ カ ニ ズ ム

The Mechanism of Migration Phenomenon for Fine Pitch Packaging Yoshinobu ANBE *

*有 限 会 社 安 部 実 装 技 術 研 究所(〒226神 奈 川 県 横 浜 市 緑 区霧 が丘6-11-4)

* Anbe Soldering Technologies Ltd. (6-11-4 Kirigaoka, Midori-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 226)

1.は じ め に 近 年,ま す ます超 高 密 度 化 が 進 展 して お り,電 極 間 スペ ー ス が よ り短 くな る傾 向 に あ る。 マ イ グ レー シ ョ ン現 象 は,電 界 強 度(印 加 電 圧/電 極 間 距 離) に著 し く影 響 を受 けや す い こ とか ら,フ ァイ ン ピ ッ チパ ッケ ー ジ実 装 にお い て は避 け て通 れ な い 課 題 と な っ て い る。 ま た,フ ロ ン規 制 に端 を発 した 脱 フ ロ ン対 策 の う ち,例 え ば民 生 用 ア セ ン ブ リメ ー カ と して は最 もロ ー コ ス トな 無 洗 浄 化 を志 向 して い る_{。 無 洗 浄 化 の場} 合,は ん だ 付 け条 件,フ ラ ック ス 残 渣 量,密 着 度, 吸 湿 性,ひ び 割 れ度,ハ ロ ゲ ン種 類 と含 有 量 な どに よ り,デ ン ドラ イ ト状 マ イ グ レー シ ョ ンの 発 生 傾 向 は異 な る とい わ れ て い る。 さ ら に,基 材 内 部 で もマ イ グ レ ー シ ョン(CAF)が 発 生 して い る。 マ イ グ レー シ ョ ン現 象 は上 記 要 因 の他,基 材 の特 性,穴 あ け工 程,め っ き工 程,ス ミア除 去 工 程,使 用 時 の温 湿 度 条 件 等 も影 響 す る複 雑 な現 象 で あ り, 過 去 多 くの 報 告 書 が提 出 さ れ て い るが,実 験 対 象, 実 験 方 法 等,各 々 異 な っ て お り,も ち ろ ん結 果 も各 々 異 な っ て い る。 マ イ グ レー シ ョ ン現 象 を解 明 す る に は,こ れ ら多 くの デ ー タ や 結 果 を有 機 的 に つ な ぎ合 わ せ,有 効 に 活 用 す る必 要 が あ る と思 わ れ る。 そ こ で,マ イ グ レ ー シ ョ ン現 象 は電 気 化 学 反 応 で あ る点 に着 目 し_,従 来 デ ー タ は も ち ろ ん,今 後 の デ ー タ を有 機 的 につ な ぐ指 標 を提 案 す る と共 に,基 本 メ カ ニ ズ ム の 解 明 を 試 み る。 2.マ イ グ レ ー シ ョ ン 試 験 方 法 マ イ グ レ ー シ ョン試 験 方 法 は,大 き く分 け て2通 りあ る。 2.1水 滴 滴 下 電 圧 印加 試 験 方 法 水 滴 滴 下 電 圧 印 加 試験 方 法 は,比 較 的短 期 間 で 試 験 で き る加 速 試 験 方 法 で あ る。 例 え ば ラ ン ド間 スペ ー ス約0 .3ミ リの間 に純水 等の水 をた らし,数V程 度 の 直 流 電 圧 を印 加 して,せ いぜ い30分 間 位 で 評 価 し よ う とす る もの で あ る。 最 もマ イ グ レ ー シ ョ ン の発 生 しや す いAg電 極 等 で は,数 秒 ∼ 数10秒 で樹 枝 状 の デ ン ドラ イ トが 析 出 す る。 2.2高 温 高湿 電 圧 印加 試 験 上 記 の水 滴 滴 下 電 圧 印 加 試 験 方 法 に比 べ,一 般 に 長 期 間 の,ど ち らか とい え ば再 現 試 験 に近 い 試 験 方 法 と して,高 温 高 湿 電 圧 印 加 試 験 が あ げ られ る。 た だ し,印 加 す る電 圧 に よ り,再 現 試 験 を越 え加 速 試 験 に な る場 合 もあ り,さ ら に極 端 な 場 合 に は破 壊 試 験 とな る恐 れ もあ り う る。 もち ろん 試 験 中,試 験 基 板 上 に水 滴 が 付 着 す る よ う な条 件 に な る と,上 記 の 2.1の 試験 条 件 に近 い 結 果 とな り,急 速 に マ イ グ レー シ ョン が発 生 す る。 3.マ イ グ レ ー シ ョ ン の 発 生 パ タ ー ン 3.1デ ン ドラ イ ト 一般 的 に は,基 板 表 層 の ラ ン ド問 に お い て樹 枝 状 に発 生 す る こ とか ら,デ ン ドラ イ トと呼 ば れ て い る。 Agは 最 も発 生 しや す く,Cu,Pb,さ らにSnな どで も発 生 す る。 陰 極 は もち ろ ん,陽 極 で も発 生 す る。

3.2CAF

基 板 内 層 の 主 と して ガ ラ ス 繊 維 とエ ポ キ シ樹 脂 と の境 界 で,陽 極 か ら溶 出 した 銅 イ オ ンが 陽 極 近 傍 で 還 元 析 出 し発 生,CAF(Conductive Anodic Fila-ment)と 呼 ば れ て い る。 精 密 な分 析 の 結 果 で は粗 な 金 属 銅 との報 告 も あ る1)。 4.マ イ グ レ ー シ ョ ン を 予 知 す る指 標 と現 状 これ ま で無 洗 浄 プ ロ セ ス に お け る基 板 清 浄 度 を示 す 指標 と して,RA,RMA,R等 の活 性 区分 に よ る フ ラ ッ ク ス の分 類,絶 縁 抵 抗,イ オ ン残 渣 量 な どが 用 い られ て きた 。 しか し,測 定 方 法 に も よ る が,こ れ らの 指 標 が必 ず し もマ イ グ レ ー シ ョ ン を予 測 す る数 値 とは な り得 な い とい う実 験 デ ー タ が,多 々 報 告 さ れ て い る2)∼4)。低 残 渣 化 は む し ろマ イ グ レ ー シ ョ ン 防 止 上 不 利 との デ ー タ も多 い2),4)∼6)。さ らに 無 洗 浄 プ ロセ ス を マ イ グ レ ー シ ョン性 で評 価 す る場 合,単 に フ ラ ック ス 残 渣 を主 要 因 と して評 価 し よ う とす る試 験 方 法 自体 に無 理 が あ る こ と を暗 示 す る デ ー タ もあ る7)。CAFの 場 合,基 材,穴 あ け 工 程,め っ き工 程, ス ミア 除 去 工 程 な ど も影 響 して い る8),9)。CAF現象 は 基 板 内 層 で 発 生 す る こ とか ら,特 に は ん だ 付 け工 程 とは直 接 の 因 果 関係 は少 な い もの と思 わ れ る。 これ らの 点 を考 え る と,無 洗 浄 化,フ ァ イ ン ピ ッ チ化 を 図 る に は早 急 に マ イ グ レー シ ョ ンの 防 止 対 策 を た て る必 要 が あ る。 そ れ に は,ま ず マ イ グ レ ー シ ョ ンの メ カニ ズ ム を解 明 す る必 要 が あ る。 5.マ イ グ レ ー シ ョ ン 現 象 を 解 明 す る鍵 以 上 の 通 り,マ イ グ レー シ ョン試 験 方 法,結 果, 指 標 共 混 沌 と した 面 もみ られ る。 マ イ グ レ ー シ ョン 現 象 の 発 生 原 因 は基 材,め っ き等 の 工 程,は ん だ 付 け工 程,マ イ グ レー シ ョ ン試 験 方 法 な どに また が る こ とか ら,マ イ グ レ ー シ ョ ン現 象 の メ カニ ズ ム を解 くに は,電 気 化 学,化 学,基 板 製 造 技 術,め っ き製 造 技術,は ん だ 付 け技 術 な どの知 識 が 必 要 とな る。 な か で も,マ イ グ レ ー シ ョン現 象 は電 気 化 学 反 応 で あ る こ とか ら,電 気 化 学 理 論 が最 も重 要 な鍵 で あ る。 一 般 に電 気 化 学 理 論 は難 解 な 点 も あ り_{,こ の こ と} もマ イ グ レー シ ョ ン現 象 の メ カ ニ ズ ム を解 明 す る ブ レー キ とな って い る よ う に思 え る。 そ こで,電 気 化 学 的 に マ イ グ レ ー シ ョン現 象 を見 直 して み た い。 6.マ イ グ レ ー シ ョ ン の 電 気 化 学 6.1電 気 化 学 反 応 の特 徴 電 気 化 学 反 応 は,通 常 の化 学 反 応 と は ま った く異 な る反 応 で あ る。 例 え ば,水 を化 学 反 応 に よ り水 素 と酸 素 と に分 解 す る に は,超 高 圧,超 高 温 と しな け れ ば な ら な い。 そ れ だ け水 はエ ネ ル ギ レベ ル が 低 く 安 定 な 物 質 とい え る。 と こ ろが,電 気 化 学 反 応 を利 用 す れ ば,2Vで 容 易 に水 を水 素 と酸 素 と に分 解 す る こ とが で き る。 これ は,電 極 反 応 が 電 極 面 近 傍 の ご く薄 い電 気2 重 層(厚 さ10-3∼10-4μm)と 呼 ばれ るほ とん ど平 面 で 生 じて お り,エ ネ ル ギ が ご く狭 い範 囲 に集 中 す る こ と に よ り可 能 な ら し め て い る もの と思 わ れ る 。 化 学 反 応 と大 き く異 な る も う1つ の 点 は,酸 化 反 応(電 子 放 出反 応)と 還 元 反 応(電 子 受 け入 れ 反 応) とが,ま っ た く別 々 の場 所(各 々 陽 極,陰 極)で 起 こ っ て い る点 で あ る。 な お 電 気 化 学 反 応 が生 じ る際, 電 荷 の移 動 を伴 うが,陽 ・陰 両 極 にお け る 反 応 量 は 常 に等 しい 。 これ は,陽 極 で電 子 が 放 出 さ れ た 時, 同 時 に 陰極 で 電 子 を 受 け入 れ る反 応 が 生 じて い る と 考 え れ ば よい 。 6.2電 気 化 学 反 応 に必 要 な理 論 的 電 圧 わ か りや す く水 の 電 気 分 解 の例 で 述 べ る。 H2+1/2O2→H2O+△F 水 素 は よ く燃 焼 し,発 熱 反 応 で あ る こ と は誰 で も よ く知 っ て い る。 △Fは 定 量 ・定 圧 に お け るエ ネ ル ギ (cal)で あ る。 逆 に, H2O+△F→H2+1/2O2 を電 気 化 学 的 に起 こ そ う とす る と,最 低 限 必 要 な 理 論 分 解 電 圧Ed(V)以 上 の電 圧 を外 部 か ら印 加 しな け れ ば な ら な い。 わ か りや す くい え ばEd=△Fと 解 釈 して も よ い。 一 般 に エ ネ ル ギ は レベ ル(ま た は強 度)× 量 で 表 さ れ る。Edは レ ベ ル に 相 当 す るが,量 が1化 学 当 量 と決 ま っ て い れ ばEdは エ ネ ル ギ と考 え る こ と もで き る 。 も う少 し詳 し く述 べ る と,

で あ り,電 位EA,Ec,は そ れ ぞれ 平 衡 電 位 と呼 ば れ る。 も っ と も,例 え ば, Cu→Cu2++2e-(陽 極 反 応) Cu←Cu2++2e-(陰 極 反 応) の場 合,Ed=0と な る。実 際 に銅 の製 錬 で は外 部 か らの 印加 電 圧 が わ ず か0.3V程 度 で 運 転 され て い る。 い ず れ に し ろ,マ イ グ レ ー シ ョ ン反 応 に 必 要 な理 論 分 解 電 圧 は,通 常2V以 下 で 大 き な値 で は な い 。 6.3マ イ グ レ ー シ ョ ン生 成 速 度 マ イ グ レー シ ョ ン現 象 を解 決 す る に は,そ の メ カ ニ ズ ム を完 全 に究 明 す る こ とが 必 要 で あ る。 メ カ ニ ズ ム の究 明 に際 して 最 も基 本 的 な こ とは,各 要 因 を 共 通 の もの さ しで表 現 で き る指 標 を明 確 に す る こ と と思 わ れ る。 著 者 は,こ の指 標 が マ イ グ レー シ ョン生 成 速 度 で あ る と考 え る。 この マ イ グ レ ー シ ョン生 成 速 度 を極 力 数 式 化 して 表 現 す る こ とが,重 要 と思 わ れ る。 そ し て,あ ら ゆ る要 因 をマ イ グ レー シ ョン生 成 速 度 と い う1つ の 指 標 で 説 明 す る努 力 が,必 要 と思 わ れ る。 詳 細 は省 くが,マ イ グ レー シ ョ ン生 成 速 度v(析 出 金 属 重 量/時 間 ・面 積)は, M v=M/ nF・ ηl M=原 子 量(場 合 に よ り分 子 量) n=電 荷 移 動 数 F=フ ァ ラ デ ィ(定 数) η=析 出効 率(%) i=電 流 密 度(ア ンペ ア/cm2) で表 す こ とが で き る。す な わ ち,V∝ηiで あ る。わ か りや す く説 明 す る と,基 本 的 に マ イ グ レ ー シ ョ ン析 出量 は,電 極 間 に流 れ た電 流(総 電 気 化 学 反 応 量 を 意 味 し て い る)に 比 例 して お り,さ ら に流 れ た 電 流 の う ちマ イ グ レー シ ョ ン反 応 量 に使 用 され た割 合 に 比 例 し て い る 。 陰 極 で析 出 す る デ ン ドラ イ トに 限 っ て説 明 す る と,η は マ イ グ レ ー シ ョ ン反 応 量 の%で あ り,陰 極 電 流効 率 と同 じで あ る。 例 え ば,カ ソー ドで は金 属 析 出 反 応 の み が生 じ て い る と は限 らな い 。 H2O+e-→OH-+1/2H2↑ 等,金 属 析 出反 応 以 外 の電 極 反 応 が 同 時 に生 じて も, 何 ら不 思 議 で は な い 。 例 え ば,電 流 が 流 れ 始 め た 当 初 は金 属 イオ ンが 少 な い こ とか ら,流 れ た 電 流 の う ち,大 半 が ガ ス 発 生 反 応 に使 わ れ る(η は 変 化 す る)。 ηは, η= 金属析出反応量/全 反 応 量 と表 せ る。 全 反 応 量 は通 電 さ れ た 電 気 量 を示 す 。 し か し,金 属 析 出 反 応 は,陰 極 で 発 生 す る デ ン ド ラ イ トの よ う に常 に 陰 極 で 生 ず る とは 限 らず,通 常 の 化 学 反 応 で 陽 極 近 傍 に生 ず るか も しれ な い が,電 気 化 学 反 応 に し ろ化 学 反 応 に し ろ,移 動 した 電 気 量 (ク ー ロ ン)に 換 算 して 表 せ ば よ い。 な お,マ イ グ レー シ ョ ン析 出 物 質 が 常 に金 属 と は限 らず,例 え ば 水 酸 化 物 状 態 等 も考 え られ る が,こ の場 合 も同 様, 電 気 量 に換 算 し て表 せ ば よ い(マ イ グ レ ー シ ョン反 応 は我 々 の 目的 とす る反 応 で は な く,め っ き と異 な り,マ イ グ レー シ ョ ン析 出 効 率 が 大 き い の はむ し ろ 敬 遠 す べ き現 象 で は あ るが,一 応 従 来 か ら使 用 され て い る電 流 効 率 に準 じて 表 現 した)。 以 上,主 と して 陰 極 電 流 密 度,陰 極 電 流 効 率 で 論 じた が,ほ ぼ 金 属 溶 出量=金 属 析 出 量 と考 え られ る 場 合 は,陽 極 電 流 密 度,陽 極 電 流 効 率 で 論 じて も大 きな 支 障 は な い もの と考 え られ る。 6.4各 種 要 因解 析 の 試 み マ イ グ レ ー シ ョン現 象 が 電 気 化 学 反 応 で あ る以 上, 少 な く と も生 成 速 度 は ηiで示 し得 る。 η,iに は も ち ろ ん 多 くの要 因 が 関 与 す る。 この 関与 の 仕 方,程 度 を つ き とめ る こ とが す な わ ち,マ イ グ レー シ ョ ン現 象 の 究 明 と対 策 につ なが る。 マ イ グ レ ー シ ョ ン現 象 に 関 す る あ ら ゆ る要 因,例 え ば 基 材 の種 類 ・特 性,穴 あ け条 件,め っ き工 程, フ ラ ッ ク ス材 料,は ん だ付 け工 程,フ ラ ッ ク ス残 渣, マ イ グ レー シ ョ ン試 験 方 法 等 の 要 因 を ηi,ま た は こ の 関連 で 解 明 す る と共 に,不 明 の 点 は そ の 点 の み を 明 らか にす る実 験 方 法 を考 案 し,追 求 す る こ とが 問 題 解 決 の 近 道 と思 わ れ る。 例 え ば,水 滴 滴 下 試 験 や 極 間 距 離1が 小 さい 場 合 に マ イ グ レ ー シ ョ ンが 早 期 に発 生 す る の は,電 解 液 中 に お け る電 位 降 下(IR損) のR項,す な わ ち, R=ρ1/A A R:電 解 液 中 に お け る 抵 抗(Ω) ρ:比 抵 抗(Ω ・cm)

1:電 極 間 距 離(cm) A:実 効 断面 積(cm2:水 滴 を滴 下 す る と大 き く な る) のR項 が小 さ くな るた め,電 解 液 中 に お け る電 位 降 下 が小 さ くな り,外 部 か ら印加 した 電 圧 が 電 極 近 傍 に効 果 的 に印 加 され るた め,iが 増 大 す る とい う よ う に。 また,「ガ ラ ス繊 維 とエ ポ キ シ樹 脂 との 密 着 が 強 固 で あ る方 が,CAFが 生 じ に くい 」 こ とが 経 験 的 に 知 られ て い るが,こ れ を電 気 化 学 に よ る論 理 的 表 現 に 直 す必 要 が あ る。 電 気 化 学 的 に 説 明 し よ う と考 え る と,ηiに 関連 し て説 明 され な けれ ば な らな い(た と え ば,単 に推 察 さ れ る1例 に す ぎ な い が,密 着 力 が 弱 い と,ガ ラス 繊 維 とエ ポ キ シ樹 脂 との熱 膨 張 率 の ミス マ ッチ に起 因 し,繊 維 と樹 脂 との境 界 に ク ラ ッ ク(隙 間)が 形 成 され,水 分 が 毛 細 管 現 象 で この 隙 間 に侵 入 し,こ の 隙 間 に お け るρを下 げ る こ とに よ り,電 極 間 に お け る電 位 降下 が 小 さ くな り,そ の 結 果iが 増 大 す る と いう よ うに)。 また,エ ッチ ン グ液 等 の 残 渣 は当 然 ρを下 げ る。基 材 の 種 類,特 性,穴 あ け条 件 等 に つ い て も同様,電 気 化 学 的 に 説 明 され る必 要 が あ る。 6.5マ イ グ レー シ ョン試 験 方 法 水 滴 滴 下 試 験 を行 う場 合 は,た と え 同一 の 水 滴 量 で あ っ て も滴 下 した水 と基 板 との ぬ れ 性 に よ るが, 水 の ぬ れ 広 が り面 積 が 異 な り,Aの 値 が 変 動 す る可 能 性 が あ る。 再 現 性 の あ る実 験 を行 う に は,滴 下 し た 水 分 量 が 常 に 同一 の 実 効 断面 積 を形 成 す る必 要 が あ る10)。 な お,マ イ グ レ ー シ ョン現 象 の メ カ ニ ズ ム を解 明 し よ う とす る実 験 で は,定 電 圧 試 験(で きれ ば常 時 電 流 を測 定)の 他,定 電 流 試 験 が 有 効 と思 わ れ る。 定 電 流 試 験 で あ れ ば,ηiの う ちiを一 定 とで き る こ と か ら,各 種 要 因 の ηに与 え る影 響 度 を 明 確 に す る こ とが で き る。 6.6フ ラ ッ ク ス残 渣 の 影 響 無 洗 浄 化 を実 現 す る場 合,す で に述 べ た 通 り,低 残 渣 は む し ろ マ イ グ レ ー シ ョ ン防 止 上 不 利 との デ ー タ も多 く,今 後,残 渣 が 備 えて い る耐 マ イ グ レ ー シ ョ ン性 の メ カ ニ ズ ム を解 明 し,よ り耐 マ イ グ レ ー シ ヨン性 の 向 上 した残 渣 を形 成 で き る ソル ダ ペ ー ス ト の 開 発 が 図 られ よ う。 この 際,残 渣 の基 板&電 極 に対 す る密 着 度,吸 湿 性,ひ び 割 れ 度,ハ ロゲ ン含 有 量 等 を ηiにか らめ て 解 析 す る こ とが 開発 の 近 道 に な る もの と思 わ れ る 。 6.7マ イ グ レー シ ョ ン対 策 の 順 序 マ イ グ レー シ ョ ン を防 止 す る に は 基 本 的 に ま ずi を小 さ くす る努 力(水 分 を少 な く,水 の 通 路 を作 ら な い,etc.)が 必 要 で あ り,次 に ηを小 さ くす る努 力 (金属 を溶 出 しに くい 状 態 とす る,金 属 イ オ ン が マ イ グ レー シ ョ ン とな る前 に捕 獲,固 定 す る,etc.)が 必 要 で あ る。 とい う の は,た とえ ηを小 さ くで きた と して も,i が 大 き く他 の ガ ス 発 生 反 応 が 生 じ て し ま っ て は,マ イ グ レー シ ョ ン は防 げ る か も しれ な い が,内 層 に お い て ガ ス 圧 に よ りス ル ー ホ ー ル 内壁 が は く離 す る こ と も考 え られ る9)。ま た,電 解 に よ りpHが 変 化 す る こ とか ら,金 属 の 溶 出が 促 進 され る可 能 性 も あ る11)。 した が っ て まず,iを 小 さ くす る努 力 を優 先 す べ き もの と思 わ れ る。 7.お わ り に マ イ グ レ ー シ ョン現 象 に は多 くの 要 因 が 絡 ん で い る。 中 に は,ド リル 穴 あ け条 件 な ど,一 見,脈 絡 の な い と思 わ れ る要 因 もあ る。 が,こ れ らす べ て の 要 因 が,科 学 的 にか つ 論 理 的 に説 明 され な け れ ば な ら な い 。 そ れ に は あ らゆ る要 因 を 同一 の 指 標 に従 っ て 表 現 す る必 要 が あ る。 例 え ばマ ンハ ッ タ ン現 象 で は, す べ て の要 因 が モ ー メ ン トで 説 明 され な け れ ば な ら な い が,電 気 化 学 反 応 で あ る マ イ グ レー シ ョ ン現 象 の場 合 は,析 出 効 率 ×電 流 密 度 が この 指 標 と して ふ さわ し い と考 え られ,提 案 させ て い た だ い た 。 (1994.9.12一受理) 文 献 1) 高 萩 泰,他:“ プ リ ン ト配 線 基 板 に お け る銅 の 移 行 に つ い て ”,茨 城 県 工 業 技 術 セ ン タ ー 2) 野 々 垣 光 裕,他:“ プ リ ン ト基 板 の マ イ グ レ ー シ ョ ン に 及 ぼ す フ ラ ック ス残 渣 の 影 響 ”,第11回 マ イ ク ロ 接 合 研 究 委 員 会,ソ ル ダ リ ン グ分 科 会,溶 接 学 会 3) 富 塚 健 一,他:“ 無 洗 浄 化 は ん だ 付 プ ロ セ ス と絶 縁

特 性 ”,第11回 マ イ ク ロ 接 合 研 究 委 員 会,ソ ル ダ リ ン グ分 科 会,溶 接 学 会 4) 松 島 博,他:“ 信 頼 性 面 か ら見 た 半 導 体SMDは ん だ 接 続 へ の 課 題 ”,第14回 マ イ ク ロ 接 合 研 究 委 員 会,ソ ル ダ リ ン グ 分 科 会,溶 接 学 会 5) 中 井 宗 明,他:“ は ん だ 材 料 の イ オ ン マ イ グ レ ー シ ョ ン に 関 す る考 察 ”,信 学 技 報R92-34(1992-11),電 子 情 報 通 信 学 会 6) 宇 高 育 雄,他:“ プ リン ト基 板 の イ オ ン汚 染 に 関 す る評 価 方 法 に つ い て の 一 考 察 ”,R91-62,電 子 情 報 通 信 学 会 7) 岩 崎 順 雄,他:“ プ リ ン ト配 線 板 の 耐 電 食 性 ”,第13 回 マ イ ク ロ 接 合 研 究 委 員 会,ソ ル ダ リ ン グ 分 科 会, 溶 接 学 会 8) 津 久 井 勤,他:“ プ リ ン ト回 路 板 の イ オ ン マ イ グ レー シ ョ ン と誘 電 特 性 ”,第11回 マ イ ク ロ接 合 研 究 委 員 会,ソ ル ダ リ ン グ 分 科 会,溶 接 学 会 9) 高 野 希,他:“ プ リ ン ト配 線 板 の 耐 電 食 性 に及 ぼ す 樹 脂 の 影 響 ”,第11回 マ イ ク ロ 接 合 研 究 委 員 会,ソ ル ダ リ ング 分 科 会,溶 接 学 会 10) 安 部 可 伸: 特 願 平6(出 願 番 号 未 定)“ マ イ グ レ ー シ ョ ン試 験 器 ”, 11) 靏 義 之,他:“ イ オ ン マ イ グ レ ー シ ョ ン ”,プ リ ン ト回 路 板 の 絶 縁 信 頼 性,(社)プ リ ン ト回 路 学 会,平6, 10 用 語解脱 電流 効率:め っ き等 の電気 化学 反応 におい て,通 電 し た電気 量(ア ンペ ア ×時 間)の うち,目 的 とす る電 極 反応 に使 わ れた電 気量 の割 合 を示 す。 陽極反 応 に お ける電流効 率 を陽 極電 流効 率,陰 極 反応 にお ける 電 流効 率 を陰極 電流 効率 と呼 ぶ。 安 部 可 伸(あ んべ よしのぶ) 昭和22年 生 まれ 。 昭 和46年,名 古 屋 工 業 大 学 工学 部 工 業化 学 科 卒 業。 現 在,有 限 会社 安 部 実装 技 術 研 究 所 所 長 。SMTは んだ 付 け技 術 の 開 発 に従 事 。