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Title Author(s) 先端半導体デバイス対応欠陥レビュー走査型電子顕微鏡の画像処理技術に関する研究 原田, 実 Citation Issue Date Text Version ETD URL DOI /7258

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Academic year: 2021

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図 1.1: 主要な CPU におけるトランジスター数の推移 [Transistor count (19 Octo- Octo-ber 2018, at 09:27 (UTC))
図 4.5: 自己組織化マップの概念図
図 4.6: GHSOM における平均量子化誤差 (Mean of Quantization Error: MQE) 算出
表 4.1: 評価用データセット 項目 値 欠陥画像枚数 45 良品画像枚数 45 画素サイズ 20 nm / 画素 画像サイズ 512 × 512 ᳨ᰝ⏬ീ 㻔㻡㻝㻞㽢㻡㻝㻞 ⏬⣲㻕 䝃䜲䝈ᑠ 䝃䜲䝈୰ 䝃䜲䝈኱Ḟ㝗㒊఩䛾ᣑ኱ᅗ 㻔㻤㻡㽢㻤㻡㻌⏬⣲㻕 ᅇ㊰ 䝟䝍䞊䞁 ኴ䜚 Ḟ㝗✀ ᅇ㊰ 䝟䝍䞊䞁 ⣽䜚 㻔䜸䞊䝥䞁㻕 図 4.8: 評価用データセットにおける欠陥画像例 4.4.2 パッチ画像のクラスタリング結果 クラスタリングを行って得られた平均画像の一覧を図 4.9 に示す。GHSOM の パラメータであ
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