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平成20年度卒業論文

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Academic year: 2021

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図  2.1(a)  CERN 製 GEM の全体        図  2.1(b)  CERN 製 GEM の拡大写真  CERN 製の GEM はパターン部の大きさが 10cm×10cm の大きさがある。 孔の配列は正三角形配列になっている。  GEM の加工方法もいくつかあり、精度、効率のよい加工方法が試されている。現在の GEM の加 工方法には主に以下の3つある。    ウェットエッチング    プラズマエッチング    レーザーエッチング  いくつか方法があるのは如何に孔をきれいな円筒形に
図  4.3  使用した ASD
図  4.14  V GEM を 1550V に変更したときの時間依存性
図  A.1    ASD の gain 測定のセットアップ
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参照

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