低 真 空 ポ ン プ
真空ポンプ オプション部品
低真空ポンプ
20/01/29 15:49:23
真空ポンプのメンテナンス周期を長くする目的から、ULVAC では用途に合わせた外部オプション部品を用意しております。
ダストやガラス粉、溶剤、水蒸気、高温蒸気などの排気時にご利用ください。
SUN-3SPWE
排気するもの ポンプ外部での対策 ポンプ内部での対策
ダスト（粉体）
ダストフィルタ DS
オイルクリーナー
SUN
ー
オイルトラップ OT
粉体吸着トラップ TRO
溶剤 コールドトラップ CT ガスバラスト、表面処理、シール材質変更
水蒸気 ー
油水分離機 ガスバラスト、表面処理、シール材質変更
高温蒸気 水冷トラップ WT ガスバラスト、表面処理、シール材質変更
腐食性ガス ステンレス配管 表面処理
引火性ガス 導電性配管、N2パージ Heタイト、防爆モータ
昇華性ガス 配管ヒーター 温度コントロール
セレクションガイド DS-20
SUN-100B
■ポンプ対策
油回転真空ポンプ→油交換、油種変更の検討、オイルクリーナー追加 ■ポンプ対策
油回転真空ポンプ→ガスバラストバルブ、油交換、油水分離機
＜注意事項＞
・異物かみこみ
・配管閉塞
＜注意事項＞
・水分凝縮
・オイル劣化
ダ ス ト を 伴 う 排 気 の 例 と 注 意 事 項 水 蒸 気 排 気 の 例 と 注 意 事 項
吸気水冷トラップ 排気
油水分離機 導電性配管
導電性配管
吸気ダストフィルター 排気
オイルクリーナー
2
真空ポンプ オプション部品
20/01/29 15:50:54
仕 様 表
（単位：mm）型式 DS-20 DS-25 DS-40 DS-50 DS-2 DS-3 DS-4
A 90 140 200 220
B 90 195 290 530 583
C (吸気口) VG20 VG25 VG40 VG50 VG50 VG80 VG100
D (排気口) VF20 VF25 VF40 VF50 VF50 VF80 VF100
材質 本体：ステンレス、ガスケット：フッ素ゴム、フィルタ
仕 様 表
型式 TRO-50 TRO-80 TRO-100
油量 （L） 2.5 8 19
推奨油 ULVOIL R-4
吸気口 VG50相当 VG80相当 VG100相当
排気口 VG50相当 VG80相当 VG100相当
適応ポンプ容量 （L/min） ≦ 1600 ≦ 4000 ≦ 7000
適応ポンプ例 VDシリーズ、PKS-016 VSシリーズ、PKS-030 PKS-070
質量 [kg] 30 75 130
使用電動機 （W） 25 60 90
材質 本体：ステンレス、ガスケット：フッ素ゴム
※ AC200V 3 相 50/60Hz
寸 法 表
（単位：mm）型式 TRO-50 TRO-80 TRO-100
A 390 600 740
B 290 440 550
C 135 190 240
D 190 200 320
E 260 370 470
F 127 160 210
G 120 200 250
H 140 200 260
I 465 631 741
J 40 50 55
K 140 195 240
L VG50 VG80 VG100
M VG50 VG80 VG100
概 要 ／ 特 長 ダストやガラス等の粉体除去用前段トラップです。
フィルタエレメントの交換が容易です。
粒子径：10μm以上の粉体を含む気体の排気（乾燥状態）に最適です。
寸 法 図
寸 法 図
取 付 要 領 図
取 付 要 領 図 概 要 ／ 特 長
回転ドラムと油を使用した特殊トラップ方式により、プロセスで発生した粉体を効 率良く吸着する前段トラップです。
フィルタ式粉体トラップのような、粉体の吸着に伴うコンダクタンスの減少があり ません。
油回転真空ポンプからの油の逆流を抑える効果があります。
保守は油交換だけでよく、大型の覗き窓から粉体を吸着した油の状態を監視でき ます。
ダ ス ト フ ィ ル タ D S シ リ ー ズ
粉 体 吸 着 ト ラ ッ プ T R O シ リ ー ズ
RP OUT IN
R P OUT I N
油回転真空ポンプ
給油口 F G
L
M
H I
（K）
吊り穴
（TRO-50は吊り穴なし）
排油口バルブ（1/2B）
φ18
D E
4-φ12
A C
D
B
C A J B
20/01/29 15:51:18
仕 様 表
（単位：mm）型式 OT-50 OT-80 OT-100
A 150 160 185
B 83 106 121
C 300 366 401
D 490 556 591
E 180 180 185
F Φ140 Φ165 Φ216
G VF50 VF80 VF100
H VG50 VG80 VG100
I Rc1 Rc1 Rc1
材質 本体：ステンレス
仕 様 表
（単位：mm）型式 WT-25 WT-50 WT-80 WT-100
A 93 150 150 200
B 100 150 150 200
C 100 100 140 180
D 160 175 250 290
E 550 550 705 815
F Φ60.5 Φ114 Φ165 Φ216
G Φ120 Φ185 Φ235 Φ300
H （排気口） VG25 VG50 VG80 VG100
I （吸気口） VG25 VG50 VG80 VG100
材質 本体：ステンレス
仕 様 表
（単位：mm）型式 CT-25 CT-40 CT-50 CT-80 CT-100
A 100 110 125 140 155
B 96 88 99 114 131
C 276 288 314 364 396
D VF25 VF40 VF50 VF80 VF100
E VG25 VG40 VG50 VG80 VG100
材質 本体：ステンレス
概 要 ／ 特 長 配管を通して粉体を油に吸着させる前段トラップです。
蒸気圧の低い真空ポンプ油（ULVOIL R-4）を使用します。
概 要 ／ 特 長
冷却水を利用して、通過するガスを冷やして液化させる前段トラップです。
溶剤等の高い蒸気圧物質排気や高温ガスの排気時にご使用下さい。
概 要 ／ 特 長
液体窒素を用いて溶剤や水分を吸着させる前段トラップです。
高い吸入圧で使用すると液体窒素の消耗が激しくなります。
バイパス配管で排気したのち、圧力が低くなってから接続してください。
寸 法 図
寸 法 図
寸 法 図
取 付 要 領 図
取 付 要 領 図
取 付 要 領 図 オ イ ル 式 ト ラ ッ プ O T シ リ ー ズ
水 冷 式 ト ラ ッ プ W T シ リ ー ズ
コ ー ル ド ト ラ ッ プ C T シ リ ー ズ
R P OUT I N
R P I N
OUT
I N
OUT
R P E
のぞき窓
オイル・ドレーン
冷却水入口 冷却水出口
A
E
B
C
A H I G B
（Rc1/8）
（Rc1/8） φ F H
I F
G 油回転真空 ポンプ
油回転真空ポンプ A
BED
C
D C
4
真空ポンプ オプション部品
20/01/29 15:52:14
セ レ ク シ ョ ン ガ イ ド
排気量 真空ポンプ
➡
油水分離機 オイルクリーナー
水分の分離 パーティクル除去
100m
3／h 以下 PVDシリーズ SUN-3SPWE SUN-100B
VDシリーズ
100～300m
3／h VSシリーズ ➡ SUN-6SPW SUN-230
PKS-030
300m
3／h 以上 PKS-070 ➡ SUN-3000 SUN-490
VS650A 油 水 分 離 機 使 用 例
項目
油水分離用フィルタ なし あり
使用期間 7日 3ヶ月
オイル R-7
プロセス 真空乾燥
汚染度（mg/10ml） 14.8 0
全酸化（KOH/10mg） 0.2 0.1
水分（ppm） 15,000 170
オ イ ル ク リ ー ナ ー 使 用 例
項目
オイルクリーナー用フィルタ なし あり
使用期間 1か月 6か月
オイル R-7
プロセス 真空熱処理炉
汚染度（mg/10ml） 35.5 0.1
全酸化（KOH/10mg） 0.8 0.2
水分（ppm） 250 100
油水分離機／オイルクリーナー
概 要
真空ポンプオイルから水分やパーティクルを自動的に処理するシステムです。オイル交換周期の延長、新油の状態を維持することによ り、真空ポンプの性能劣化を防止します。
20/01/29 15:52:31 仕 様 表
タイプ 油水分離機 オイルクリーナー
型式 SUN-3SPWE SUN-6SPW SUN-3000 SUN-100B SUN-230 SUN-490
流量 50／60 Hz（L/min） 0.6／0.7 2.2／2.7 3.7／4.5 1.2／1.4 2.2／2.7 6.7／8.0
最高使用圧力（Mpa） 0.5 0.5
圧力スイッチ設定値（Mpa） 0.3 0.4 0.4
使用油温範囲（℃） 15～60 15～70 15～60
電源／モータ出力（異電圧にも対応） AC100V／25W AC100V／75W AC100V／200W AC100V／75W AC100V／200W 寸法（W×L×H mm） 308×305×425 400×380×910 470×320×1060 200×280×425 365×440×850 365×440×1050
質量（kg） 15 50 75 18 55 65
エレメントプレフィルタ S-1-10-10 S-1-10-20 S-1-10-20×3 －
エレメント油水分離用 A A×2 A×3 －
エレメントオイルクリーナー用 － J（K、Z） HJD HJD×2
ハウジング容量（L） 1.5+1.5 4.5+8.5 21+21 3.5 14.0 40.0
標 準 付 属 品
ポンプ型式 付属品
油水分離機型式
① ② ③ ④
PVD-180/360 M 12 3/8 3/8 9×15φ SUN-3SPWE
VD151 M 12 3/4 3/8 9×15φ SUN-3SPWE
VD201 3/8 3/4 3/8 9×15φ SUN-3SPWE
VD30C/40C/60C/90C 1/2 1 3/8 9×15φ SUN-3SPWE
PKS-016 3/8 3/4 3/8 9×15φ SUN-3SPWE
VS1501/2401 3/8 3/8 3/8 12×18φ SUN-6SPW
PKS-030 1/2 3/4 3/8 12×18φ SUN-6SPW
PKS-070B 3/4 1･1/4 3/8 12×18φ SUN-3000
VS650B 1 1 3/8 12×18φ SUN-3000
ポンプ型式 付属品
オイルクリーナー型式
① ② ③ ④
PVD-180/360 M 12 3/8 3/8 12×18φ SUN-100B
VD151 M 12 3/4 3/8 12×18φ SUN-100B
VD201 3/8 3/4 3/8 12×18φ SUN-100B
VD30C/40C/60C/90C 1/2 1 3/8 12×18φ SUN-100B
PKS-016 3/8 3/4 3/8 12×18φ SUN-100B
VS1501/2401 3/8 3/8 3/8 12×18φ SUN-230
PKS-030 1/2 3/4 3/8 12×18φ SUN-230
PKS-070B 3/4 1･1/4 1/2 19×26φ SUN-490
VS650B 1 1 1/2 19×26φ SUN-490
仕 様 表 （ フ ィ ル タ ー ）
タイプ プレフィルタ 油水分離用 オイルクリーナー用
型式 S-1-10-10
S-1-10-20 A J K（オプション） Z（オプション） HJD
外観
水分 － ○ ○ △ ◎ ○
酸 － － ○ △ ◎ ○
パーティクル ○ － ○ ◎ △ ○
取 付 図
4 3 2
給油口
ドレインバルブ
① 排油口継手
② 給油口継手
③ 付属品継手（ドレンバルブ×1個付）
④ 接続ホース（1.5m×2本）
※ 油水分離機及びオイルクリーナーは 大成技研株式会社の製品です。
※ 油水分離機及びオイルクリーナーに は真空ポンプ油が付属されません。
ご使用に際し、各製品のハウジング 容量＋1L 程度の真空ポンプ油をご 準備下さい。
6
真空ポンプ オプション部品
20/01/29 15:53:36
ゲ ー ジ ポ ー ト 付 短 管 T P シ リ ー ズ
寸 法 表
（単位：mm）品番 φD φｄ φｐ ｔ
TP-20 80 27.2 60 8
TP-25 90 34.0 70
TP-40 105 48.6 85 10
TP-50 120 60.5 100
※材質：ステンレス／フッ素ゴム
ベローズジョイント BJ シリーズ 真空ゴムホース
寸 法 表
（単位：mm）品番 A φD
BJ-25A 65 90
BJ-40A 90 105
BJ-50A 105 120
BJ-80A 110 160
BJ-100A 110 185
BJ-150A 100 235
※材質：ステンレス／フッ素ゴム
寸 法 表
（単位：mm）品番 φｄ φD L 適用配管
R-5 4.5 18
1000 -
R-9 9 24 3/8B
R-15 15 36 1/2B
R-18 18 42 3/4B
R-25 25 55 1B
※材質：天然ゴム
L 型 管 ／ T 型 管
寸 法 表
（単位：mm）品番 φD φｄ A B
T-20 80 27.2 50 100
T-25 90 34.0 55
T-40 105 48.6 60 130
T-50 120 60.5 150
※材質：ステンレス／フッ素ゴム
品番 φD φｄ A T
L-20 80 27.2 60 8
L-25 90 34.0 65
L-40 105 48.6 80 10
L-50 120 60.5 90
※材質：ステンレス／フッ素ゴム
I 型 管
寸 法 表
（単位：mm）品番 φD1 φD2 φｄ A
I-VF20×VG20 80
80
27.2
100
VG25 90
VG40 105
VG50 120
I-VF25×VG25
90 90
34.0
VG40 105
VG50 120
I-VF40×VG40VG50 105 105 120 48.6
I-VF50×VG50 120 120 60.5
※材質：ステンレス／フッ素ゴム
フ レ キ シ ブ ル ホ ー ス
寸 法 表
（単位：mm）品番 D L T 品番 D L
VFH-20- 200 500
1000 80 200 8
-
40 - 500
1000 VFH-25- 200
500 1000 90 200 KFH-25-200 200
500 500 500
1000 1000 1000
VFH-40- 500 1000 2000
105 500 10
KFH-40-500
55 500
1000 1000 1000
120 2000 2000 2000
VFH-50- 500 1000
2000 120 500 KFH-50-500
75 500
1000 1000 1000
2000 2000 2000
※材質：ステンレス
寸 法 図
寸 法 図
寸 法 図
寸 法 図
寸 法 図 寸 法 図
φ18
φ10 t t
φD
φD φDφdφD φD φd
A
φD1
φD
φD A
A
L L t
L=1000 B
φ d
φ d A φ d A
T T
φd
4-φ10
4-φ10
φD2
φp φ d
VF VG
VF
VF VF
VF
VF VG
VG VG
VG
VG
VG
T型管
JIS規格真空フランジ型 ISO規格KFフランジ型 L型管
ゲージポートφ18（標準）
リークポート 100
20/01/29 15:53:56 吸 気 管 付 フ ラ ン ジ
ゲ ー ジ ポ ー ト 付 フ ラ ン ジ
寸 法 表
（単位：mm）品番 φD A T
GF-20 80 60 8
GF-25 90
GF-40 105 62 10
GF-50 120
GF-80 160 64 12
GF-100 185
※材質：ステンレス
寸 法 表
（単位：mm）品番 P φD T φｄ1［外径］ φｄ2［内径］ ｄ3 適用ゴムホース VF20×15A
20A
25A 60 80 8
21.7 16.1 18 φ15×φ36
27.2 21.4 24 φ18×φ42
34.0 27.2 30 φ25×φ55
VF25×15A
20A25A 70 90 8
21.7 16.1 18 φ15×φ36
27.2 21.4 24 φ18×φ42
34.0 27.2 30 φ25×φ55
VF40×15A 20A
25A 80 105 10
21.7 16.1 18 φ15×φ36
27.2 21.4 24 φ18×φ42
34.0 27.2 30 φ25×φ55
VF50×15A 20A
25A 100 120 10 21.7 16.1 18 φ15×φ36
27.2 21.4 24 φ18×φ42
34.0 27.2 30 φ25×φ55
※材質：ステンレス
ルーズ式・フランジ付吸気管 RFシリーズ ルーズ式・フランジ付排気管 RFシリーズ
寸 法 表
（単位：mm）品番 適用機種 寸法 A B H
RF-1 PVD-180型 φ80 72 315
RF-2 PVD-180型TMX付 235 478
RF-3 PVD-360型
φ90
72 315
RF-4 D-330K型 220 419
D-330DK型 425
RF-5 PVD-360型TMX型 285 528
RF-6 D-330K型TMX付 310 509
D-330DK型TMX付 515
※材質：ステンレス／フッ素ゴム
※フランジ規格JISB2290による。
※Hは取付要領図をご参照ください。
寸 法 表
（単位：mm）品番 適用機種 寸法 A B C H
RF-7 PVD-180型 φ80 PF3/4" 50 314
RF-8 PVD-360型 φ90 PF1" 80 344
RF-9 PVD-180型TMX付 φ80
PF1・1/2"
50 507 RF-10 PVD-360型TMX型
φ90
D-330K型TMX付 383(486)
D-330DK型TMX付 389(492)
RF-11 D-650K型TMX付 φ105 383(486)
D-650DK型TMX付 389(492)
RF-12 D-950K型TMX付 φ120 PF2" 383(491)
D-950DK型TMX付 389(497)
※材質：ステンレス／フッ素ゴム
※フランジ規格JISB2290による。
※Hは取付要領図をご参照ください。
寸 法 図
寸 法 図
取 付 要 領 図 取 付 要 領 図
寸 法 図
φd3
φd2
φd1
PφD φD
φA φA
φ18 B C
T
T
Oリング ULVACNo5
PF3/4（PVD180）
H H H H
排気
排気
排気
排気
TMX TMX
吸気
吸気
吸気 吸気
RP RP RP RP
M M M M
RF1,3,4
RF2,5,6
RF7,8
RF9〜12 PF1（PVD360）
内部構造 A
4-φ10 80
VF
VG VG
B Oリング
真空ポンプ オプション部品
■東日本営業統括部
■西日本営業統括部
■規格品事業部
国内販売： アルバック販売株式会社
海外販売： 株式会社アルバック
TEL 03-5769-5511（代）
TEL 06-6397-2281（代）
TEL +81-467-89-2261
当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。
お問い合わせ
www.ulvac.co.jp 株式会社アルバック 規格品事業部
1176J/2020012000SP d
VFまたはVG
φD1
φd1 φd2 φD2
φD
φD
φB
φB φD
φ5
B
d h
h
ff
g
g G1
G1 G2
G2 C
C D
D
T 45 3.9 8
AC H 40
T
SS
20/01/29 15:49:54
クイックカップリング接続アダプタ
真空フランジ ISO 規格 クイックカップリングフランジ
真空フランジ JIS B 2290 寸 法 図
寸 法 図 寸 法 図
寸 法 図
寸 法 図
寸 法 図
寸 法 表
（単位：mm）品番 D1 D2 呼び径 KCG KCF
KCG-10 KCF-10 30 80 KF10 VG20 VF20
KCG-16 KCF-16 KF16
KCG-25 KCF-25 40 90 KF25 VG25 VF25
KCG-40 KCF-40 55 105 KF40 VG40 VF40
KCG-50 KCF-50 75 120 KF50 VG50 VF50
※材質：ステンレス
寸 法 表
（単位：mm）品番 呼び径 A B C φD KQC-16 KF10/16 45 61 16 22 KQC-25 KF25 55 75 16 32 KQC-40 KF40 70 90 16 47 KQC-50 KF50 95 123 25 62
※材質：アルミニウム合金
寸 法 表
（単位：mm）品番 呼び径 φｄ1 φｄ2
NBR-10 KF10 10 12
NBR-16 KF16 16 17
NBR-25 KF25 25 26
NBR-40 KF40 40 41
NBR-50 KF50 50 52
※材質：ステンレス／フッ素ゴム
クランプ
カップリング（ショート）
Ｏリング座／Ｏリング
寸 法 表
（単位：mm）品番 呼び径 φB φD
KLC-10 KF10 15 30
KLC-16 KF16 20
KLC-25 KF25 30 40
KLC-40 KF40 45 55
※材質：ステンレス
寸 法 表
（単位：mm）品番 呼び径 φB φD H
KSC-10 KF10 15 30 16
KSC-16 KF16 20 KSC-25 KF25 30 40
20 KSC-40 KF40 45 55 KSC-50 KF50 56 75
※材質：ステンレス
寸 法 表
（単位：mm）呼び径 適用する 鋼管の外径d
フランジ外径D 鋳造製
フランジの外部寸法 ボルト穴 ボルト
呼び
ガスケットの溝 フランジの厚さT ｆ ｇ 中心円の
径C 数 径ｈ 内径G1 外径G2 呼びS 鋳造フランジ その他
10 17.3 70 10 8 1 38 50 4 10 M8 24 34 3
20 27.2 80 10 8 1 48 60 4 10 M8 34 44 3
25 34 90 10 8 1 58 70 4 10 M8 40 50 3
40 48.6 105 12 10 1 72 85 4 10 M8 55 65 3
50 60.5 120 12 10 1 88 100 4 10 M8 70 80 3
65 76.3 145 12 10 1 105 120 4 12 M10 85 95 3
80 89.1 160 14 12 2 120 135 4 12 M10 100 110 3
100 114.3 185 14 12 2 145 160 8 12 M10 120 130 3
125 139.8 210 14 12 2 170 185 8 12 M10 150 160 3
150 165.2 235 14 12 2 195 210 8 12 M10 175 185 3
200 216.3 300 18 16 2 252 270 8 15 M12 225 241 4.5
250 267.4 350 18 16 2 302 320 12 15 M12 275 291 4.5
300 318.5 400 18 16 2 352 370 12 15 M12 325 341 4.5
350 355.6 450 - 20 2 402 420 12 15 M12 380 396 4.5
400 406.4 520 - 20 2 458 480 12 19 M16 430 446 4.5
450 457.2 575 - 20 2 511 535 16 19 M16 480 504 7
500 508 625 - 22 2 561 585 16 19 M16 530 554 7
550 558.8 680 - 24 2 616 640 16 19 M16 58 609 7
