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本研究では,硬さが26

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Academic year: 2021

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図 16 に示しているのは,これまでに試作した工具の先端半径が 0.1 mm の PCD 製マイクロ研削工具の半 球部分と砥石作用面の状態である.図 16(a) に示しているのは放電加工後の砥石作用面 (6) ,図 16(b) に示し ているのはダイヤモンドスラリを用いた湿式ラッピング後の砥石作用面 (7) ,図 16(c) に示しているのは化学 気相合成法 (CVD) で作られた多結晶ダイヤモンド製の円板をツルーアに用いて湿式研削を行い平坦に成形 した砥石作用面 (6) ,ならびに図 16(d) に示して

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