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第1章 電子顕微鏡のハードウェア

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Academic year: 2021

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図 21 は種々の電子源に対して横軸に C c 、縦軸に分解能を示した。曲線 A-D に用いた Q を決める条件を表 III に示した。 電子源として LaB 6 を用いた場合、 E/E=5x10 -6 として 0.1nm の 分 解 能 を 得 る た め に は C c =0.3mm を達成しなければな らない。一方、FEG を用いる と、 E/E=1.5x10 -6 として分解 能 0.1nm は C c が 1mm より小さ ければ達成される。試料ホル ダーなどの条件を考慮して可 能性のある C

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