THE
K I・W A・M I
摩 擦
摩 擦
材 料
形 状
磁 石
摩擦をなくすと…
⇨
僅かな推力も
⇨
細かな推力も
⇨
フィードバックがなくても…
小形化で…
⇨
限られたスペースにも
取付可能
摩擦が一定になると…
多孔質を使うと…
多孔質を使うと…
多孔質を使うと…
⇨
全面吸着で
⇨
浮かして
⇨
スティックスリップが少ない
⇨
推力変動が少ない
磁力を使うと…
磁力を使うと…
磁力を使うと…
⇨
推力が一定
⇨
メンテナンスフリー
『 特 定 要 素を極 め る 』にこだわります
SSD2シリーズ
LCRシリーズ
STR2シリーズ
エアファイバ
FSM-X
SMGシリーズ
GRCシリーズ
アライメント
LBC-Rシリーズ
バッファ
FBU2シリーズ
バッファ ＆
ピックアップ（バッファ）
AFB-Pシリーズ
吸着
PVP-Bシリーズ
吸着
PVPシリーズ
推力
LBCシリーズ
微速シリンダ
制御可能
搬送可能
摩 擦
摩 擦
材 料
形 状
磁 石
摩擦をなくすと…
⇨
僅かな推力も
⇨
細かな推力も
⇨
フィードバックがなくても…
小形化で…
⇨
限られたスペースにも
取付可能
摩擦が一定になると…
多孔質を使うと…
多孔質を使うと…
多孔質を使うと…
⇨
全面吸着で
⇨
浮かして
⇨
スティックスリップが少ない
⇨
推力変動が少ない
磁力を使うと…
磁力を使うと…
磁力を使うと…
⇨
推力が一定
⇨
メンテナンスフリー
『 特 定 要 素を極 め る 』にこだわります
SSD2シリーズ
LCRシリーズ
STR2シリーズ
エアファイバ
FSM-X
SMGシリーズ
GRCシリーズ
アライメント
LBC-Rシリーズ
バッファ
FBU2シリーズ
バッファ ＆
ピックアップ（バッファ）
AFB-Pシリーズ
吸着
PVP-Bシリーズ
吸着
PVPシリーズ
推力
LBCシリーズ
微速シリンダ
制御可能
搬送可能
LBC
Series
摩擦をなくすと…
1
フィルムのテンションコントロール
コイルの巻線におけるテンションコントロール
非接触エアベアリング機構を採用した、摺動抵抗ゼロの空気静圧式ソフトアクチュエータ。
摺動抵抗がゼロのため、電空レギュレータ（EV-FL）
使用により、荷重の高精度リニア制御ができます。
微小 0.01N から荷重をコントロールできるため、
対象ワークへのソフトタッチが可能。衝撃を与えず、
傷もつけません。
目的・用途に合わせた、ベストな荷重をワークに与
えることができます。
電空レギュレータ（EV）との組合せによ
り、繊細で精密な荷重コントロールを実
現します。
高精度リニア制御
ソフトタッチ
最適荷重をコントロール
■
仕様
項 目
LBC-01
LBC-05
LBC-30
使用流体
圧縮空気（0.3 μ m フィルタ使用、油分水分不可）
使用圧力（MPa）
エアベアリングポート
推力ポート
0.002 〜 0.1
0.3 〜 0.5
推力範囲（N）
0.02 〜 1.0
0.1 〜 5.0
0.6 〜 31.4
■
用途例
フィルム
巻線
ローラ
LBC
LBC
エアベアリングにおけるロッドの求心作用
エアベアリング
エアベアリング
メタルシール
メタルシール
エアの流れ
ブッシュ
ブッシュ
ロッド
ロッド
10
0
推力（N）→
20
摺
動
抵
抗
ｆ（N
）→
30
接触による摺動抵抗 ｆ
エアベアリングとメタルシールとの摺動抵抗比較
摩 擦
ウェハーの洗浄（スクラバー洗浄機用）
半導体部品の研磨仕上げ
表面走査の計測プローブ
チップ部品の組み付け（ボンディング装置用）
レンズの研磨仕上げ
半導体テスターの針先高さ検出
ウェハー
LBC
チップ部品
LBC
LBC
ポリッシャー
チップ部品
LBC
レンズ
研磨ヘッド
レーザー変位計
ヘッド部
LBC
試料表面
プローブピン
LBC
ウェハー（チップ）
ウェハーチャック
LBC-R
Series
摩擦をなくすと…
摩 擦
平行調整を可能にするエアジャイロ。
高精度な平行出し、調整の自動化、工数削減に威力を発揮します。
平行にしたい面同士を押しあてれば、数秒で倣い調
整が完了。自動化も可能です。（弊社試験条件にて）
" 倣い " は、エア加圧により球面ベースを浮上させて
行なう球面静圧軸受け方式。摩擦、磨耗がなく高精
度の平行調整（平行度2μm）を支えます。
" 倣い " で一発平行調整
職人技に頼らない高精度 " 倣い "
フリップチップボンダ 圧着ヘッドの角度調整
ラミネータ装置 FPD パネルの貼り合せ
バンプレベラー 加圧ヘッドの角度調整
CMOS パッケージ組立 カメラモジュール組立
■
用途例
回転中心
倣い面
球面静圧
軸受け部
ベース
加圧
エア浮上
加圧
押し付け
加圧
倣い動作
真空
角度保持
真空
調整完了
基準面
空気圧
で姿勢を保持
押しあてるだけで対象面を
平行調整
LBC-R
LBC-R
LBC-R
LBC-R
圧着治具
IC チップ
IC チップ
IC チップ
基板
基板
ハンダバンプ
ハンダバンプ
加圧ヘッド
治具
OK
NG
液晶パネル、
有機 EL パネル
カバーガラス
接着
接着
CMOS センサ
レンズユニット
CMOS
パッケージ
吸着ヘッド
CMOS パッケージ
治具
レンズユニット
セラミック基板
微速シリンダ
Series
スムーズ＆スロー
摩 擦
特殊な摺動機構により、スティックスリップのない滑らかな低速作動を実現。
スティックスリップなどがなく、速度も安定。
立上がりも終端も滑らかな作動・停止。
全機種すべて、標準形番製品と同一寸法。
1mm/sec までの超低速
両端部でもソフト作動
コンパクト設計
ラビング装置
レンズ（ガラス）研磨（押圧一定制御）
■
シリンダの速度目安
■
商品体系
■
用途例
ペンシルシリンダ
〈SCPD3-F〉
〈SSD2-F〉
スーパーコンパクトシリンダ
〈MDC2-F〉
小形ダイレクトシリンダ
〈GRC-F〉
テーブル形ロータリアクチェエータ
小形コンパクトシリンダ
〈MSD-F〉
〈LCR-F〉
リニアスライドシリンダ
〈STR2-F〉
スーパーツインロッドシリンダ
〈SMG-F〉
スーパーマウントシリンダ
微速シリンダ
普通シリンダ
←
スピード
ストローク→
0
1mm/sec
微速
シリンダ
10mm/sec
低速
シリンダ
50mm/sec
普通
シリンダ
1000mm/sec
高速
シリンダ
3000mm/sec
超高速
シリンダ
遅
速
微速シリンダ
微速シリンダ
微速シリンダをリフター
として使用
作業テーブルからガラス基板を
ゆっくり持ち上げ静電気の発生
を防止する
研磨治具
（ガラス）
レンズ
FBU2
Series
Fine Buffer
可動軸
初期作動時
100 万回作動後
ロングライフ メンテナンス フリー固定軸
磁石
磁石の吸引力を利用した、従来にないまったく新しい緩衝ユニットです。
ソフトな接触と安定した押し圧により、対象ワークの損傷を解消します。
微小デバイス・壊れやすいワークのダメージレスハンドリングに最適です。
可動軸、固定軸に組み込まれた磁石がずれると斜め
方向の磁力線が発生し、軸方向分の力が戻ろうとす
る力を発生します。
構成部品が、可動部、固定部と 2 パーツのみ。その
ため、小形、超軽量化（5g 以下）が可能になりました。
また可動部の質量も少なく、ワークへのソフトタッチ、
ショック低減が可能になります。
従来の金属バネ式に比べ、金属接触がなく可動接触
面積も微小なため、発塵量が極少。しかも推力は磁
力により発生しているため金属バネのような疲労が
無く高寿命かつ性能も安定しています。
真空吸着による部品のピック & プレイス、搬送・移
送をはじめ、ワークの押し当て、部品の挿入など、
多彩な使い方が可能です。
押し圧一定
小形・軽量
（FBU2 シリーズ）
クリーン＆ロングライフ
用途多彩
■
用途例
■
押し圧特性
■
小形・軽量
積層搬送
プリント基板・フレキ基板搬送
チップ検査装置
電子デバイス吸着搬送
可動部
固定部
FBU2
FBU2
FBU2
FBU2
スプリング式バッファ 0.5 0 0.5 1 1.5 0.2N 0 0.5 1 1.5 0.2N 0.5N 0.5N 1.0N 1.0N 0.5 1.0 1.0 1.5 1.5 2.0 2.0 ファインバッファ ファインバッファ スプリング式バッファ 押し圧（ N） 押し圧（ N） ストローク（mm） ストローク（mm）（当社寿命試験による）磁 石
磁 石
オールインワンで多連ヘッドを小型・軽量に。
モータとファインバッファを一体化し、回転
とバッファ動作を行います。
オールインワンで多連ヘッドを小型軽量に。
●
ファインバッファ、エアシリンダ、シリンダスイッチ
を一体化。
●
省スペースで薄型。狭ピッチのマニホールド化が可能。
●
ファインバッファ内臓で、低発塵・長寿命・押し圧
一定・ソフトタッチを実現。
●
小形、狭ピッチ配置。
●
ファインバッファ内蔵で、低発塵・長寿命・押し圧
一定・ソフトタッチを実現。
AFB
Series
アクティブファインバッファ
0.2
0.5
1.0
2
6
16
穴なし
M3
M4
M5
M6
穴なし
M3
M4
M5
M6
押し圧 (N)
ストローク(mm)
テールピース形状
ヘッドピース形状
外径
軸受精度
■
バリエーション
AFB-P
Series
AFB-RB
Series
空圧シリンダ駆動ファインバッファ
モータ駆動ファインバッファ
三位
一体
スリム
ソフト
ファインバッファ
シリンダ
スイッチ
シリンダ
軽量タイプ
FBU2-7
φ7h7
φ12h7
M8 × 0.75
M12 × 1
M12 × 1
− 標準のみ
S 標準
S 標準
H 高精度型
H 高精度型
HV 内部流路式高精度型
HV 内部流路式高精度型
標準タイプ
FBU2-12
汎用タイプ
FBU2-SU
回転
アライメント
バッファ動作
※特注対応品。
詳細はお問い合わせ
ください。
ファインバッファ
（磁気ばね緩衝機構）ステッピング
モータ
コンパクトに設置可能
・P&P 中の回転アライメント真空ポート
ボディ前面に ポート配管ロッド
先端でワーク 真空吸着ガイドブッシュ
ボールガイド ブッシュで軸振れを 高精度に抑制 磁気ばねで ストローク中の 押圧一定UP/EH/PG/CG
Series
エアファイバ
形 状
UP/EH
Series
PG/CG
Series
エアファイバ
エアファイバ用ワンタッチ継手
外径φ1.8 ×内径φ1.2 の極細サイズ。
配管スペースを大幅に削減できます。また、チュー
ブ配管の容積が小さく、省エネルギーにもなります。
継手のプッシュリングを押しながら、チューブを挿入
または抜くだけで着脱可能。従来に比べて容易にな
りました。
また、樹脂材料はポリプロピレン（PP）樹脂を標準
採用して、耐食性を上げました。
エアファイバ（UP シリーズ）は、帯電防止対策が施
してあり、静電気やホコリの付着を防ぎます。
省エネ・省スペース
ワンタッチ着脱
静電気やホコリの付着防止
エアファイバ
φ1.8×20本：80mm
2φ3.2×20本：253mm
従来品
2φ4.0×20本：396mm
従来品
2■
バリエーション
機 種
バリエーション
バリエーション
シリーズ
シリーズ
チューブ材質
材 質
色
バリエーション
ウレタン（帯電防止）
黄銅＋無電解ニッケルメッキ、PP
特殊ポリオレフィン
ステンレス（禁油）、PP
標準仕様
標準仕様
クリーン仕様
クリーン仕様
7 色
10 タイプ
16 種類
2 色
6 タイプ
11 種類
UP
Series
UP
Series
PG
Series
PG
Series
EH
Series
EH
Series
CG
Series
CG
Series
エア
ファイバ
エア
ファイバ
ワンタッチ
継 手
ワンタッチ
継 手
FSM-X
Series
超小形流量スイッチ
（空気・N
2
用）ラピフロー
形 状
z
y
x
バルブ真空源
コレットノズル
インラインフィルター
ワーク
センサヘッド分離で省エネスペース。センサヘッド単
体で従来体積比 48％減、業界最軽量の質量 4g、
業界最薄クラスの幅 8mm を実現いたしました。
センサヘッド単品（継手なし）での対応が可能になり
ました。
双方向での流量検知に加え、片方向タイプも対応。
双方向流れ：± 0.5、±1、± 5、±10L/min
片方向流れ：0.5、1、5、10L/min
の全 8 種類を用意いたしました。超小形形状ながら
大流量（10L/min）まで使用可能です。
超小形・軽量
センサヘッド単品対応
双方向の流量測定が可能
豊富な流量レンジ
■
用途例
チップマウンター
ペットボトルの漏れ検査
コレットノズルによる吸着確認
超小形、最薄 8 ｍｍ。ヘッド分離でさらに省スペース !!
半導体微少チップの吸脱着確認。
（フィルタの目詰り、ノズルのツブレ検知も可能。）
■
概要
装置組込用に機能を絞込み、さらに小形・軽量化を図りまし
た。測定部直近の可動部先端への取付が可能となり、システ
ムとしての応答性改善に貢献します。
また、双方向検出が可能で幅広い分野で付加価値の高い機
能を提供します。
FSM-X
FSM-X
FSM-X
パーツフィーダ
マルチプルヘッド
PCB
PVP
Series
精密吸着プレート
CKD 独自の気孔率 40％フッ素樹脂焼結多孔質を採用。
極薄材料や軟材質でも、ワークを傷めず、吸着による歪みや変形も解消。
高精度・高難度工程に威力を発揮。
吸着面の平面度：2 μ m、平行度：5 μ m。
（R-36-18、C-50、S-50-50 の仕様値です）
ワーク固定精度が高く、高精度なワーク処理が可能です。
吸着面の硬度はショア D60。ソフトな接触でワーク
を傷つけません。
従来の白色多孔質では反射により不可能だった検査
工程も、黒色の採用により可能にしました。
プレート形状は標準 3 タイプをご用意。さらにお客
様のご要望に合わせて思いのままの形状にカスタマ
イズいたします。
気孔率が40％もあり、大きい吸着力で全面吸着が可能。
大きい吸着力でも極薄ワークの吸引変形がありません。
高精度なワーク処理
ワークを傷めない
反射しない
（黒色多孔質）
プレート形状は思いのまま
吸着力が大きい
■
黒色多孔質
真空ポート M5
フッ素樹脂多孔質
フッ素樹脂多孔質
真空ポート
アルミベース
多孔質含浸
エポキシール
■
標準タイプ
■
形状特注タイプ例
PVP-R
①ドーナッツ形
PVP-C
②丸形
③四角形
PVP-S
ディスクなど
半導体、
ウェハー型
ロボットハンド用途
多点吸着型
シリコンウェハーなど
プラスチック基板
など
※形状特注タイプにつきましては、弊社までお問い合わせください。
材 料
■
用途例
フィルムの貼り合わせ・剥離
検査工程
フィルム基板搬送工程
ロボットハンド
液晶ガラス張り合わせ工程
太陽電池製造工程
PVP
PVP
PVP
PVP
PVP
PVP
カラーフィルター
ガラス基板
フィルム基板
太陽電池セル
GFM
Series
フロートスター
ライン革命 品質・歩留まり向上に貢献
非接触・クリーン・ダメージレス搬送が一段と進化した、
最新の CKD 浮上システム・フロートスター GFM シリーズ。
新素材の採用により、エア消費量の大幅削減、静電気＆パーティクル発生の抑制で、
高品質な浮上システムを実現します。
ラフ搬送に最適。
高浮上レール
GFM-T
Series
アライメント工程に最適。
アライメント浮上パッド
GFM-A
精度の高い搬送や
ロ－ダ－・アンロ－ダ－に最適。
浮上レール（標準タイプ）
GFM-RS
Series
搬送工程に最適。
浮上レール（汎用タイプ）
GFM-RF
Series
各種プロセスに最適。
精密浮上ステージ
GFM-P
ガラス基板などの搬送から、プロセス・製品検査に至るまで、
基板の浮上用途・高精度浮上に対応します。
材 料
新素材多孔質の採用により、安定した浮上が実現し、
あわせて空気消費量が低減しました。
（GFM-Tを除く）
ブラックボディの採用により、乱反射がなく、ワー
クの視認性がアップします。
帯電防止の新素材によって静電気を抑制します。
（GFM-T を除く）
浮上に最適な空気圧機器を提案いたします。
新素材多孔質により浮上エアのパーティクルを抑制。
※ GFM シリーズの当社テストによる JISB9920 のクラス 4 相
当であり、測定値には 0.5 μ m 以上の粒径も含まれます。
（GFM-T を除く）
非接触で安定した高精度浮上
高感度検査に最適
ワークへの帯電を防止
豊富なアプリケーション
クラス10 レベルを実現
※
GFM-A
GFM-A
GFM-T
Series
GFM-T
Series
GFM-RF
Series
GFM-RF
Series
GFM-RF
Series
GFM-RF
Series
GFM-P
GFM-P
位置決め
ラフ搬送
搬送
ロ−ダ−・
アンロ−ダ−
各種プロセス
10μm以上
※2250μm以上
※2250μm以上
※2150μm以上
※230μm以上
※3■
バリエーション
浮上量 [ μ m]
主用途
空気消費量ℓ /min(abs)(0.1MPa 時 )
※ 1機種バリエーション
0
5
10
15
20
※ 1空気消費量の目安とお考えください。
※ 2浮上量の目安とお考えください。
※ 3正圧・負圧流量の組合わせで、数値が変わります。
2
3
3
10
20
20
15
15
100 以下
お問合せは
お近くの営業所へどうぞ
U.S.A.
CKD USA CORPORATION
●CHICAGO HEADQUARTERS4080 Winnetka Avenue, Rolling Meadows, IL 60008, USA PHONE +1-847-368-0539 FAX +1-847-788-0575 ・CINCINNATI OFFICE
・SAN ANTONIO OFFICE ・SAN JOSE OFFICE ・DETROIT OFFICE
Mexico
CKD MEXICO, S. DE R.L. DE C.V.
Cerrada la Noria No. 200 Int. A-01, Querétaro Park II, Parque Industrial Querétaro, Santa Rosa Jáuregui, Querétaro, C.P. 76220, México
PHONE +52-442-161-0624
Europe
CKD EUROPE B.V.
Beechavenue 125A, 1119 RB Schiphol-Rijk, The Netherlands PHONE +31-23-554-1490
・GERMANY OFFICE
CKD CORPORATION EUROPE BRANCH
●SALES HEADQUARTERS
Beechavenue 125A, 1119 RB Schiphol-Rijk, The Netherlands PHONE +31-23-554-1490 ・CZECH OFFICE ・UK OFFICE
Malaysia
M-CKD PRECISION SDN.BHD.
●HEAD OFFICELot No.6,Jalan Modal 23/2, Seksyen 23, Kawasan MIEL, Fasa 8, 40300 Shah Alam,Selangor Darul Ehsan, Malaysia PHONE +60-（0）3-5541-1468 FAX +60-（0）3-5541-1533 ・JOHOR BAHRU BRANCH OFFICE
・PENANG BRANCH OFFICE
Thailand
CKD THAI CORPORATION LTD.
●SALES HEADQUARTERS
Suwan Tower, 14/1 Soi Saladaeng 1, North Sathorn Road, Kwaeng Silom, Khet Bangrak, Bangkok 10500, Thailand PHONE +66-（0）2-267-6300 FAX +66-（0）2-267-6305 ・RAYONG OFFICE
・NAVANAKORN OFFICE
・EASTERN SEABOARD OFFICE
・LAMPHUN OFFICE ・KORAT OFFICE ・AMATANAKORN OFFICE ・PRACHINBURI OFFICE ・SARABURI OFFICE
Singapore
CKD SINGAPORE PTE. LTD.
No.33 Tannery Lane #04-01 Hoesteel Industrial Building, Singapore 347789, Singapore
PHONE +65-67442623 FAX +65-67442486
CKD CORPORATION BRANCH OFFICE
No.33 Tannery Lane #04-01 Hoesteel Industrial Building, Singapore 347789, Singapore
PHONE +65-67447260 FAX +65-68421022
India
CKD INDIA PRIVATE LTD.
Unit No. 607, 6th Floor, Welldone Tech Park, Sector 48, Sohna Road, Gurgaon-122018, Haryana, India
PHONE +91-（0）124-418-8212
CKD INDIA PRIVATE LTD. BANGALORE BRANCH
No. 201/B, 2nd Floor, Museum Terraces Apartment, No. 29, Museum Road, Bangalore-560001, Karnataka, India PHONE +91-（0）80-4212-7008/7009 FAX +91-（0）80-4212-7007Indonesia
PT CKD TRADING INDONESIA
●SALES HEADQUARTERS
Menara Bidakara 2, 18th Floor, Jl. Jend. Gatot Subroto Kav. 71-73, Pancoran, Jakarta 12870, Indonesia
PHONE +62 21-2938-6601 FAX +62 21-2906-9470
・SURABAYA OFFICE
Vietnam
CKD VIETNAM ENGINEERING CO.,LTD.
18th Floor, CMC Tower, Duy Tan Street, Cau Giay District, Hanoi, VietnamPHONE +84-4-37957631 FAX +84-4-37957637
Taiwan
台湾喜開理股 有限公司
TAIWAN CKD CORPORATION
16F-3, No. 7, Sec. 3, New Taipei Blvd., Xinzhuang Dist., New Taipei City 242, Taiwan
PHONE +886-（0）2-8522-8198 FAX +886-（0）2-8522-8128 ・新竹営業所（HSINCHU OFFICE） ・台中営業所（TAICHUNG OFFICE） ・台南営業所（TAINAN OFFICE）
China
喜開理（上海）機器有限公司
CKD(SHANGHAI)CORPORATION
●営業部 / 上海浦西事務所（SALES HEADQUARTERS / SHANGHAI PUXI OFFICE） Room 601, 6th Floor, Yuanzhongkeyan Building, No. 1905 Hongmei Road, Xinhui District, Shanghai 200233, China PHONE +86-（0）21-61911888 FAX +86-（0）21-60905356
・上海浦東事務所（SHANGHAI PUDONG OFFICE） ・無錫事務所（WUXI OFFICE） ・杭州事務所（HANGZHOU OFFICE） ・寧波事務所（NINGBO OFFICE） ・南京事務所（NANJING OFFICE） ・蘇州事務所（SUZHOU OFFICE） ・昆山事務所（KUNSHAN OFFICE） ・北京事務所（BEIJING OFFICE） ・天津事務所（TIANJIN OFFICE） ・長春事務所（CHANGCHUN OFFICE） ・大連事務所（DALIAN OFFICE） ・青島事務所（QINGDAO OFFICE） ・済南事務所（JINAN OFFICE） ・烟台事務所（YANTAI OFFICE） ・瀋陽事務所（SHENYANG OFFICE） ・重慶事務所（CHONGQING OFFICE） ・成都事務所（CHENGDU OFFICE） ・西安事務所（XIAN OFFICE） ・武漢事務所（WUHAN OFFICE） ・鄭州事務所（ZHENGZHOU OFFICE） ・長沙事務所（CHANGSHA OFFICE） ・広州事務所（GUANGZHOU OFFICE） ・深圳西事務所（WEST SHENZHEN OFFICE） ・深圳東事務所（EAST SHENZHEN OFFICE） ・東莞事務所（DONGGUAN OFFICE） ・厦門事務所（XIAMEN OFFICE）
Korea
CKD KOREA CORPORATION
●HEADQUARTERS（3rd Floor）, 44, Sinsu-ro, Mapo-gu, Seoul 121-856, Korea PHONE +82-（0）2-783-5201～5203 FAX +82-（0）2-783-5204
・水原営業所（SUWON OFFICE） ・天安営業所（CHEONAN OFFICE） ・蔚山営業所（ULSAN OFFICE）
