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08 電界効果トランジスタ

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Academic year: 2021

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(1)

電界効果トランジスタ 08

(1)JFET

電子デバイス工学

(2)

接合形電界効果トランジスタ

Junction Field Effect Transistor: JFET

p+/n接合界面に形成される

空乏層幅をV

G

で制御(広げ たり・狭めたり)

ソース・ドレイン間の電流 の経路(チャネル)がV

G

制御される

 増幅効果

VG, VD

の印加の度合いに よって空乏層の幅が変わる

VD=0, VG=0 VD=0, VG<0

VD>0, VG<0 VD>0, VG<<0 VD>0, VG<<<0

VD=0, VG<<0

p+-type

p+-type n-type

VG

≦0

VD

W x y

z L

a

Source Drain

Depletion Layer Depletion Layer

Gate

Gate

Channel

(3)

JFETの電流・電圧特性(概要)

ソース・ドレイン間の電圧増加

途中までほぼリニアに増加

チャネルの縮小が顕著になるとその増加率が低下

チャネルが空乏層で閉じられる(ピンチオフという)

とほぼ一定(飽和)

p+-type

p+-type n-type

VG≦0 VD

W x y

z L

a

Source Drain

Depletion Layer Depletion Layer

Gate

Gate

Channel

(4)

VD VG

VD VG

VD VG

VD VG

VD VG

VD VG

VG

VD

VD VG

P P

VDSat 0 VD

-VDSat VDSat

VD VG

VD VG

P 0 VDSat VD-VDSat VD

P VD

P VDSat VD

VG

VD VG

P VDSat

VD

JFET の電流・電圧特性

空乏層の広がりとの関係

(5)

JFET の電流・電圧特性

チャネルがとぎれてもよいのか?

チャネル先端とドレインの間に空乏層 ピンチオフ以降

空乏層は高抵抗

Pから空乏層に注入された電子は,

その高電界で直ちにドレインへ

VDSat以上の電圧はほとんど空乏層にかかる

空乏層に高電界形成

VD VD VDSat VDSat

P

P P P

VD VD

S D

G

V(x)

x P P

(6)

理論解析

(7)

2 / 1

D Bi 0 S 2

/ 1

A D

D Bi 0

D S 2

1

1 2





≈ 





= +

qN V /N

N qN

W ε ε V ε ε

A

D N

N <<

ゲートのp

+

層のアクセプタ密度N

A ソース・ドレイン間のn層のドナー密度ND

よって,pn接合のn形側に形成される空乏層の幅W

D

は,

無バイアス時のチャネルの幅

WD

L a

p+

n

p+層があるため,もとの幅 a

よりも,空乏層

の幅 W

D の分だけ,狭くなる.

どれくらい狭くなる?

拡散電位V

Bi

は,次のようにN

D,NA,ni

を用いて表すことができる.

(8)

拡散電位V Bi と不純物密度の関係

−

= kT

n qV

np0 n0 exp Bi

i2 p0

p0p n

n =

A

p0 N

p =

D

n0 N

n =

−

= kT

N qV N

n Bi

D A

i2 exp



 

=  2

i D

Bi ln A

n N N

q V kT

EC

EF EV

拡散電位

VD

n形 p形

np0=ni2/pp0 =ni2/NA

pp0=NA

nn0=ND

pn0=ni2/nn0 =ni2/ND

−

= kT

p qV

pn0 p0 exp Bi

どちらを使ってもOK

VBi

(9)

pn 接合の空乏層幅に関する 以前のスライドの復習

拡散電位の記号について.

FETについては,ドレインを意味するときの添え字として”D”を

使うので,拡散電位(Diffusion Potential)をV

D

とあらわすとドレイン電圧のV

D

と同

じになってしまう.そこで,拡散電位については,別名Built-in Potentialとも呼ば

れることから,V

Bi

とすることにする.

(10)

拡散電位 V D と不純物密度の関係 に用いた以前のスライドの復習

拡散電位の記号について.

FETについては,ドレインを意味するときの添え字として”D”を

使うので,拡散電位(Diffusion Potential)をV

D

とあらわすとドレイン電圧のV

D

と同

じになってしまう.そこで,拡散電位については,別名Built-in Potentialとも呼ば

れることから,V

Bi

とすることにする.

(11)

ゲート電圧のみ印加

ドレイン電圧は少しだけ

(12)

(

a W W

)

L qN V

ID = Dµe δ × 2( − D)

( 断面積 )

×

= e

e J

I

E qn

q

Je = − Φe = µe

VG=0の時にチャネルを流れる電流

2 / 1

D Bi 0 D 2 S





= 

qN W ε ε V



 

=  2

i D

Bi ln A

n N N

q V kT

WD

L a

p+

n

VG=0

Ie

δV

(13)

VG<0の時にチャネルを流れる電流

W W

L a qN V

ID = Dµe δ 2( − D)

2 / 1

D

G Bi

0

D 2 S ( )





 −

= qN

V W ε ε V



 

=  2

i D

Bi ln A

n N N

q V kT

負のV

G

が印加されることで

p+/n接合が逆バイアスになり

空乏層幅W

D

が広がる

VG

WD

L a

p+

n

VG<0

Ie

δV

VG<0なので,実際には

「ひく」ではなく,「たす」

(14)

チャネルが空乏層で閉じられるとき

(VD=0)

VG

WD

L a

p+

n

VG=VTH

a V

qN V

W  =

 

 −

=

2 / 1 G Bi

D 0

DSε ( )

0 S

D 2 Bi

TH 2ε ε

a V qN

V = −

VBi VP

ピンチオフ電圧

(15)

ドレイン電圧も

印加

(16)

ソースとドレインの間に電圧を印加

[

Bi G

]

1/2

D 0

D( ) 2 S ( ) 



+

= V V V x

x qN

W ε ε

[ Bi G] 1/2

D 0 DS 2 S





= V V

W qNε ε [ Bi G D] 1/2

D 0 DD 2 S





+

= V V V

W qNε ε

ソース側空乏層幅 ドレイン側空乏層幅

VG<0

VD a

WD(x) x

y

V(x) x

VD

0 V(x)

WDD

WDS

ドレイン電圧とゲート電圧の両方の効果

 xの位置によって空乏層幅が異なる

(17)

VG

VG<0

VD a

WD(x) x

y

dx

[a W x ]W N

q x x

R 2 ( )

) d ( d

D D

e

= µ

微小区間x~x+dxの抵抗dR(x)は

[a W x ]W N

q I x

x R I

x V

) ( 2

d )

( d )

( d

D D

D e D

=

=

µ

オームの法則より,

ソース・ドレイン間で積分すれば,

[V V V x ] V x I L

a qN W

N

q V D

0

2 / 1 G

Bi D

0 D S

e

D 2 ( ) d ( )

2 =





+

ε ε

µ

[ ]

= L

V

x I

x V x

W a W N q

0 D 0

D D

e ( ) d ( ) d

2 µ D

電流の導出(1/2)

(18)

( ) ( )

[ ]

+

= D Bi G 3/2 Bi G 3/2

D 0 D S

max

D 2

3

2 V V V V V

qN V a

g

I ε ε

[ ] ( ) D

D

0 2 / 3 G Bi D

0 S 0

2 / 1 G

Bi D

0

S 2

3 2

2 V

V

V V qN V

aV V

d V

V qN V

a

+

=





+

ε ε ε ε

L

aW N

gmax = 2qµe D

[V V V x ] dV x I L a qN

W N

q V D

0

2 / 1 G

Bi D

0 D S

e

D 2 ( ) ( )

2 =





+

ε ε

µ

電流の導出(2/2)

(19)

VG

VG

VG<0

VD a

x y

L

WD(L)=a

( )





=

=

0 S

D 2 Bi

G

G Bi

0 S

D 2 Dsat

2 2

ε ε ε

ε

a V qN

V

V a V

V qN

[V V V ] a

L qN

W  =



+

=

2 / 1 DSat G

Bi D

0 D( ) 2εSε

0 S

D 2 P 2ε ε

a

V = qN VDSat =VP (VBi VG)

ピンチオフ時の電圧

ピンチオフ電圧V

P

を用いると,飽和時の電圧V

Dsat

は,

(20)

( ) ( )

[ ]

+

= DSat Bi G 3/2 Bi G 3/2

D 0 DSat S

max

DSat 2

3

2 V V V V V

qN V a

g

I ε ε

( Bi G)

P

Dsat V V V

V =

( )









+

=

2 / 3

P G Bi

P G P Bi

DSat 1 3 2

V V V

V V I V

I

[ ]

0 S

D 2 DSat

G Bi

P V V V qN2ε εa

V = + =

L a N q I W

0 S

3 D2 e 2

P 3ε ε

= µ

ピンチオフ時の電流

をI

D

の式に代入して

ただし,

であることを用いれば,

(21)

( ) ( )

[ ]

+

= D Bi G 3/2 Bi G 3/2

D 0 D S

max

D 2

3

2 V V V V V

qN V a

g

I ε ε

[ ] P

0 S

D 2 DSat

G

Bi V V qN2 a V

V + =

ε ε













+

=

2 / 3

P G Bi

2 / 3

P

G Bi

P D D

max

D 3

2

V V V

V

V V

V V V

g I

VPを用いたドレイン電流の式

(22)













+

=

2 / 3

P G Bi

2 / 3

P

G Bi

P D D

max

D 3

2

V V V

V

V V

V V V

g I

JFETのV D /I D 特性

IDSat

VDSat

ピンチオフ

(23)

D 2 / 1

P G max Bi

G Bi 2 D

/ 1 P

2 / G 3 D Bi

max

2 / 3

G Bi 2 D

/ 1 P

2 / G 3 D Bi

max

2 / 3

P G Bi 2 / 3

P G Bi P D

D max D

1

2 1 1 3 3

) (

2

1 3 1

) (

2 3 2

V V V g V

V V

V V

V V V

g

V V

V V

V V V

g

V V V V

V V V V

V g I









=

+









+

=













+

=

D 2 / 1

P G max Bi

D 1 V

V V g V

I 







=

G Bi

D V V

V <<

I D /V D 特性の線形領域の近似式

(24)













+

=

=

2 / 1

P G Bi

2 / 1

P

G Bi

max D const.

G m D

D V

V V

V

V V

g V V

g I

V

トランス・コンダクタンス

(25)

( Bi G)1/2

P1/2 max D

mLin 2V V V

g V

g =









=

2 / 1 P

G max Bi

mSat 1

V V g V

g

線形領域と飽和領域の

トランス・コンダクタンス

VDに依存 VDに依存しない

(26)

MES-FET

(27)

MES-FET

p+/nのn形側に形成される空乏層幅 = ショットキー接触した半導体側の空乏層幅

n形半導体の上にp+層を形成する代わりに,

n形半導体の上にショットキー接触を形成しても,

同じ幅の空乏層が形成される

 JFETと同じことができる

(28)

付録

VG=0.0V, VD=0V VG=0.2V, VD=0V VG=0.4V, VD=0V

VG=0.4V, VD=5V

VG=0.4V, VD=10V VG=0.2V, VD=10V

VG=0.2V, VD=5V VG=0.0V, VD=5V

VG=0.0V, VD=10V VG=0.8V, VD=10V

VG=0.8V, VD=5V VG=0.8V, VD=0V

JFETの空乏層のVG&VD依存性とピンチオフの様子

空乏層 Gate Gate

S D

参照

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